DE3243301C2 - Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator - Google Patents

Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator

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DE3243301C2 DE3243301A DE3243301A DE3243301C2 DE 3243301 C2 DE3243301 C2 DE 3243301C2 DE 3243301 A DE3243301 A DE 3243301A DE 3243301 A DE3243301 A DE 3243301A DE 3243301 C2 DE3243301 C2 DE 3243301C2
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Abstract

Ein nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator zur Bestimmung zweier Komponenten einer Gasprobe weist eine obere Probenkammer (2) und eine untere Probenkammer (2Δ) auf, in die abwechselnd die Gasprobe und ein Standardgas geleitet werden. Optisch hinter den Probekammern (2, 2Δ) befinden sich pneumatische Detektoren (7 und 8). Im Lichtweg vor den Detektoren (7, 8) sind Filter angeordnet. Das obere Filter (F ↓1) läßt dabei nur Licht aus dem Absorptionsbereich der einen Komponente durch, während das Filter (F ↓2) nur Licht aus dem Absorptionsbereich der anderen zu bestimmenden Komponente durchläßt. Zusätzlich zur Verwendung der Filter ist es von Vorteil, eine der beiden Probenkammern (2, 2Δ) kürzer auszubilden als die andere und hinter der längeren Kammer ein Filter zu verwenden, das nur Licht aus dem Absorptionsbereich der Komponenten mit niedriger Konzentration durchläßt.

Description

und im Zusammenhang mit der Abbildung 2 beschriebener Gasanalysator zur gleichzeitigen Messung zweier verschiedener Gase besitzt einen selektiven Empfänger mit Aufnahmekammern, in die ein geeignet zusammengesetztes Gemisch der beiden Empfängergase eingeschlossen ist Ober einen automatischen, in kurzen Zeitabständen schaltenden Gasumschalter wird das zu untersuchende Gasgemisch abwechselnd in einen rechten bzw. linken Strahlengang (rechte bzw. lhike Probenkammer) eingelassen, wobei durch besondere Filterkammern rechts Undurchlässigkeit für die Absorptionsweüenlänge der einen und iinks Undurchlässigkeit für die Absorptionswellenlänge der anderen Komponente hergestellt wird. Hinsichtlich der Querempfindlichkeit bzw. des Interferenzverhaltens besitzt dieser Gasanalysator somit verbesserte Eigenschaften. Er weist allerdings nur einen einzigen Detektor auf, der mit beiden zu detekiierenden Gaskomponenten gefüllt ist. Dieser Detektor liefert verschiedene Arten von Signalen, die den einzelnen zu bestimmenden Gaskomponenten zugeordnet sind. Die den einzelnen Gaskornponenten zugeordneten Signalanteile müssen daher aus den Detektorausgangssignalen separiert werden, was relativ komplizierte schaltungstechnische Maßnahmen erfordert Es ist darüber hinaus im Zusammenhang mit diesem Detektor nicht erwähnt, daß abwechselnd eine Gasprobe und ein Standardgas den beiden Probenkammern zugeführt wird. Vielmehr ist lediglich ausgeführt daß nur das zu untersuchende Gasgemisch abwechselnd in die beiden Probenkammern geleitet wird.
Auf Seite 567 der genannten Zeitschrift für angewandte Physik,... in der linken Spalte im Absatz 1 izt lediglich ausgeführt, in beide Strahlengänge Filterkammern einzubringen, um Bandüberlappungen zu beseitigen und damit den Interferenzeffekt zu vermeiden. Weitere Hinweise auf einen konkreten Aufbau eines Gasanalysators sind dieser Passage jedoch nicht zu entnehmen. Vielmehr wird nur auf die bereits im Zusammenhang mit der Abbildung 2 beschriebenen Gasanalysatoren Bezu; genommen.
Aus der DE-OS 28 27 345 ist ein nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator bekannt, bei dem zur Unterdrükkung des Störeinflusses von Gaskomponenten, deren Absorptionsbanden die Absorptionsbanden der Meßkomponente überlappen, im Vergleichsstrahlenweg anstelle der Vergleichsküvette ein; mit dem Probengas beschickte Küvette von geringerer Länge als die Meßküvette und im Meßstrahlenweg ein Interferenzfilter angeordnet sind, wobei das Interferenzfilter eine Absorptionskante im Überlappungsbereich besitzt und ansonsten im übrigen Absorptionsbereich der Meßkomponentc durchlässig ist
Bei diesem Gasanalysator strömt das zu untersuchende Gasgemisch gleichzeitig durch die Vergleichs- und die Meßküvette. Den Küvetten wird also nicht abwechselnd die Gasprobe und ein Standardgas zugeführt Letzteres ist nicht einmal erwähnt.
Andererseits besitzt der aus der DE-OS 28 27 345 bekannte Gasanalysator nur einen einzigen Detektor, mit dessen Hilfe lediglich die im Probengas vorhandene Meßkomponente mit geringerer Konzentration nachgewiesen werden soll.
Die gleichzeitige Messung zweier Gaskomponenten innerhalb des Probengases ist somit, ebenso wie in der Zeitschrift für angewandte Physik, nicht beschrieben. Aus diesem Grunde sind in diesen Druckschriften auch nicht die besonderen Probleme angesprochen, die sich bei der gleichzeitigen Messung zweier Gaskomponenten in einer Gasprobe mit Hilfe zweier Detektoren ergeben, wenn die Gaskomponenten ein sehr stark voneinander abweichendes Absorptionsverhaiten haben.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Gasanalysator der eingangs genannten Art mit zwei Detektoren zur gleichzeitigen Bestimmung der Konzentration zweier Komponenten einer Gasprobe derart weiterzubilden, daß die Interferenz der Komponenten weitestgehend ausgeschlossen wird und beide Detektoren bei stark voneinander abweichender Absorption der Komponenten in einem gleichen und möglichst linearen Bereich der Absorptionskurve im Bezug auf sich ändernde Konzentrationen arbeiten.
Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegeben.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
Der nichtdispersive Infrarot-Gasanalysator nach der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß zur Bestimmung vsn Komponenten mit stark voneinander abweichender Absorption die beiden P-voenkammern unterschiedlich lang sind, vor dem Detektor im Strahlengang der langen Probenkammer ein Filter angeordnet ist das im Absorptionsbereich der stärker absorbierenden Komponente vollständig absorbiert und im Absorptionsbereich der schwächer absorbierenden Komponente durchlässig ist und daß sich in dem Bereich, um den die kurze Probenkammer gegenüber der langen Probenkammer verkürzt ist, ein infrarotinaktives Gas im Strahlenweg befindet
Nach einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist zusätzlich vor dem Detektor im Strahlengang der kurzen Probenkammer ein Filter angeordnet, das im Absorptionsbereich der schwächer absorbierenden Komponente vollständig absorbiert und im Absorptionsbereich der stärker absorbierenden Komponente durchlässig ist
Durch die Lösung gemäß Anspruch 1 wird erreicht daß neben der weitgehenden Beseitigung der Querempfindlichkeit bzw. des Interferenzeffektes beide Detektoren in einem gleichen kalibrierten Bereich arbeiten, aer dem nahezu linearen Bereich der Absorptionskurve bei kleinen Absorptionswerten entspricht. Die Detektorausgangssignale beider Detektoren weisen daher eine gute Linearität und ein verbessertes Signal-Rauschverhältnis auf.
Durch die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 2 wird erreicht daß die Genauigkeit bei der Messung der Komponente mit hoher Konzentration durch die Komponente mit niedrigerer Konzentration nicht mehr beeinflußt wird, so daß auf diese Weise der Interferenzeffekt noch weiter vermindert wird.
Es sei darauf hingewiesen, daß die unterschiedliche Absorption der Komponenten entweder durch unterschiedliche Absorptionskoeffizienten oder durch unterschiedliche Konzentrationen hervorgerufen sein kann. Gemäß dem Lambert-Beer'schen Gesetzt, wie es in F i g. 2 dargestellt ist, ist die Absorption aber auch von der Kammerlänge abhängig. Je geringer der Wert ties Produkts Absorptionskoeffizient k · Konzentration C ■ Kammerlänge L ist, umso besser ist die Linearität der Absorptionskurve in bezug auf sich ändernde Konzentrationen. Die unterschiedliche Krümmung der Absorptionskurve für unterschiedliche Absorptionswerte führt dazu, daß shh eine Meßkurve, nach der die Meßinstrumente kalibriert sind, und eine tatsächliche Meßkurve nicht immer decken. Diese Verschiebung kann aber durch geeignete Wahl der Kammerlängen ausgeglichen
werden.
Die Zeichnung stellt mit Ausnahms der F i g. 1 Ausführungsbeispiele der Erfindung dar. Es zeigt
F i g. 1 den Aufbau eines bekannten nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysators,
F i g. 2 die Abhängigkeit der Absorption von dem Produkt aus Konzentration, Kammerlänge und Absorptionskoeffizient,
F i g. 3 den Aufbau eines Gasanalysators mit zwei Filtern und Probenkammer!! unterschiedlicher Länge, und
F i g. 4 den Aufbau eines Gasanalysators mit nur einem Filter und Probenkammern unterschiedlicher Länge.
Beim Infrarot-Gasanalysator gemäß Fig.3 liegen wieder, wie schon anhand der F i g. 1 beschrieben, zwei Lichtquellen 1 und Γ vor, die zwei Probenkammern 2,2' durchdringen, die mit Gaseinlässen 3,3' und Gasauslässen 4, 4' versehen sind. Die Einlasse 3 und 3' sind über Zufuhr!;itungen 5 und 5* mit einer fviehrwegeschaitvorrichtung 6 verbunden, die z. B. ein Drehventil mit zwei Einlassen und zwei Auslässen ist Durch die Vorrichtung 6 wird den beiden Kammern 2 und Ύ Standardgas Z (z. B. Stickstoff) und die Gasprobe 5 (z. B. Luft oder Verbrennungsabgas) abwechselnd zugeführt Pneumatische Detektoren 7 und 8, z. B. vom Kondensatormikrophon-Typ zum jeweiligen Bestimmen einer der beiden Komponenten, sind optisch hinter die Kammern 2 und 2' geschaltet Jeder der Detektoren 7 und 8 weist zwei Detektorkammern Ta, Tb bzw. 8a, Sb auf, die jeweils mit einer Mischung aus Standardgas und einer zu bestimmenden Gaskomponente (oder Komponenten mit dem gleichen Absorptionsband wie die zu bestimmende Komponente) gefüllt sind. Die Kammern 7a und 8a sind dabei in einem Lichtweg A von der Lichtquelle 1 durch die Probenkammer 2 angeordnet, während die Detektorkammern Tb und Sb im Strahlengang B hinter der Lichtquelle I' und der Probenkanunsr 2* 3Lnffcordnei sind. Die Gasmischungen in den Detektorkammern hängen, wie schon ausgesagt, von den zu bestimmenden Komponenten ab. Zum Beispiel ist in den Kammern 7a und Tb eine Mischung aus Standardgas und CO eingeschlossen, während in den Detektorkammern 8a und 86 eine Mischung aus Standardgas und CO2 eingeschlossen ist. Der Detektor 7 dient dann zur Bestimmung von CO und der Detektor 8 zur Bestimmung von CO2. Statt des dargestellten Detektors vom Kondensatormikrophon-Typ kann auch ein anderer pneumatischer Detektor, wie z. B. ein Mikroflußsensor, verwendet werden, bei dem die beiden Kammern über eine öffnung in Verbindung stehen, durch die hindurch Gas strömt, wenn durch Absorption und damit Erwärmung in der einen Kammer ein höherer Druck entsteht als in der anderen. Das Gas streicht dann an einem geheizten Draht, z. B. aus Platin, vorbei, dessen Widerstand sich ändert Die Ausgangssignale der Detektoren 7 und 8 werden durch Verstärker 9 bzw. IO verstärkt
Ein Transmissionsfilter, z. B. ein Bandpaßfilter Fi, das nur im Absorptionsbereich einer der beiden Komponenten durchlässig ist ist hinter die Probenkammer 2 geschaltet Im vorliegenden Fall ist das Filter F\ durchlässig für die Absorptionsbande von CO. Hinter der Probenkammer 1 ist entsprechend ein Bandpaßfilter F2 geschaltet das im Absorptionsbereich der anderen zu bestimmenden Komponente, hier für die Absorptionsbande von CO2, durchlässig ist Die Filter F-, und Fi können auch vor den Kammern angeordnet sein, wesentlich ist daß sie vor den Detektoren 7 und 8 angeordnet sind.
Wie erwähnt werden jeder der beiden Probenkammern 2 und 2' abwechselnd das Standardgas und die Gasprobe zugeführt. Infrarotstrahlen, die von den Lichtquellen 1 und 1' ausgehen, werden in den Probenkammern 2 und 2' durch die zu bestimmenden Komponenten, im Beispielsfalle CO und CO2, absorbiert wenn die Gasprobe in der jeweiligen Kammer ist während sie ohne Absorption die Kammern durchdringen, wenn sich in diesen jeweils gerade das Standardgas befindet Aufgrund des Filters Ft dringt nur Licht mit den Wellenlängen, im Beispielsfall nur Licht aus dem Absorptionsbereich von CO, über den Lichtweg A in die Detektorkammern 7a und 8a. Entsprechend dringt durch das Filter F2 hindurch auf dem Lichtweg B nur Licht in die Detektorkammern Tb, Sb, das dem Absorptionsbereich der anderen zu bestimmenden Komponente, im Beispielsfalle der Absorptionsbande von CO2, entspricht. Damit wird im Detektor 7, der eine Mischung aus Standardgas und CO enthält, nur Infrarotlicht kurzen Wellenlängenbereichs nachgewiesen, wie es dem Äbsorpiionsbereich von CO entspricht, während im Detektor 8 nur Infrarotlicht längerer Wellenlängen nachgewiesen wird, wie es dem Absorptionsbereich von CO2 entspricht. Die Transmissionsfilter sind so ausgebildet, daß sie Licht aus dem Absorptionsbereich der einen Komponente praktisch vollständig sperren, selbst wenn dadurch der Wellenlängenbereich etwas eingeschränkt wird, in dem die andere Komponente, deren Nachweis erfolgen soll, etwas bescki-iiten wird. Dadurch ist aber gewährleistet, daß keine Interferenz zwischen den Absorptionsbereichen der beiden Komponenten stattfindet und dadurch das Signal-Rausch- Vsrhältnis verbessert wird.
Im dargestellten Fall soll die obere Kammer 2 und der Detektor 7 zum Nachweis der Komponente geringer Konzentration und die untere Kammer 2' und der Detektor 8 zum Nachweis der Komponente mit hoher Konzentration dienen. Hinter die längere Kammer 2 ist, wie bereits erwähnt das Transmissionsfilter F; geschaltet das nur im Absorptionsbereich der Komponente mit niedriger Konzentration durchläßt z. B. ein optisches Bandpaßfilter, das nur Infrarotstrahlen des Absorptionsbereichs von CO durchläßt Entsprechend ist das Transmissionsfilter F2 hinter die kurze Probenkammer 2' geschaltet die nur im Absorptionsbereich der Komponente hoher Konzentration durchläßt, z. B. ein optisches Bandpaßfilter, das nur Infrarotstrahlen aus dem Absorptionsband von CO2 durchläßt Infolge der Verkürzung der Kammer 2' gegenüber der Kammer 2 entsteht eine weitere Kammer 2". Damit durch Gas in der Kammer 2" keine Verfälschung der Messung eintritt ist
so es von Vorteil, diese nicht mit Luft sondern mit einem infrarot-inaktivem Gas zu füllen.
Durch die angegebene Konstruktion gemäß F i g. 3, bei der aufgrund der unterschiedlichen Kammerlängen die Absorption durch die Komponente niedriger Konzentration ähnlich ist zur Absorption durch die Komponente hoher Konzentration, ist gewährleistet daß die Detektoren 7 und 8 jeweils in einem kalibrierten Bereich arbeiten, so daß Ausgangswerte guter Linearität und hohen Signal-Rausch-Verhältnisses erzielt werden.
Damit können zwei Komponenten mit sehr unterschiedlicher Konzentration in einem Probegas durch die Einstellung der Längen der Probekammern 2 und 2' genau bestimmt werden. Durch die Verwendung der Filter Fi und F2 ist darüber hinaus gewährleistet daß die eine Komponente nicht die Messung der anderen Komponente beeinflußt
In Fig.4 ist eine weitere Ausführungsform zum Nachweis von Komponenten mit stark unterschiedli-
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
40
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50
55
60
65
7
eher Konzentration dargestellt. In den Strahlengang der kurzen Kammer 2' ist dabei kein Filter mehr geschaltet, wie dies bei der Ausführungsform gemäß F i g. 3 der Fall war. Diese Ausführungsform basiert auf folgender Überlegung. Im Fall der Bestimmung der Komponente mit niedriger Konzentration, z. B. von CO in der oberen Kammer 2 durch den Detektor 7 muß gewährleistet seir, daß diese Messung nicht durch die Komponente mit hoher Konzentration, hier COj, beeinflußt wird. Daher ist das Filter Fi im oberen Strahlengang, das Licht to aus dem Absorptionsbereich der Komponente hoher Konzentration ganz ausfiltert, erforderlich. Im Falle der Bestimmung der Komponente mit hoher Konzentration, hier von CO2 durch den Detektor 8 kann ausreichende Meßgenauigkeit für praktische Anwendungsfäl-Ie auch erzielt werden, wenn das bei der Ausführungsform gemäß Fig.3 vorhandene Fü'er Fi weggelassen
wird, da es nicht erforderlich ist, den Absorptionsbe- .<
reich der Komponente niedriger Konzentration ganz zu ij
sperren, da diese Komponente ohnehin die Messung der 20 Komponente mit hoher Konzentration nur unwesent-
lieh beeinflußt.
Statt der bisher beschriebenen optischen Bandfilter können auch Absorptionsfilter, z. B. Gasfilter, verwendet werden. Als Filter F, wird dann z. B. CO2-GaS verwendet, das dann Licht aus dem Absorptionsbereich von CO2 ganz ausfiltert. Liegt nicht nur eine Mischung von CO und CO2 vor, wie im Beispielsfall, sondern eine Gasprobe, die noch weitere Komponenten enthält, so ist es vorteilhaft, im Gasfilter alle Komponenten bis auf die zu \iestimmende zu verwenden, so daß alle Absorptionsbereiche bis auf den des Absorptionsbereichs der nachzuweisenden Komponente gesperrt werden. Im Beispielsfall kann für das Filter F2 ein CO-Gasfilter verwendet werden.

Claims (2)

1 2 Die Erfindung betrifft einen nichtdispersiven InfraPatentansprüche: rot-Gasanalysator gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs I.
1. Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator zum Ein derartiger Gasanalysator ist bereits aus der DE-gleichzeitigen Bestimmen der Konzentrationen 5 OS 30 26 953 bekannt und wird im folgenden anhand zweier Komponenten einer Gasprobe, mit zwei ne- der F i g. 1 näher beschrieben. Dieser Gasanalysator beneinanderliegenden Probenkammern (2, 2'), de- dient zum gleichzeitigen Bestimmen der Konzentration nen abwechselnd die Gasprobe und ein Standardgas zweier Komponenten einer Gasprobe und besitzt zwei zugeführt und die von Lichtstrahlen durchdrungen nebeneinanderliegende Probenkammern 2, 2', denen werden, die nach teilweiser Absorption in den Pro- 10 abwechselnd die Gasprobe und ein Standardgas zugebenkammern auf zwei hinter den Probenkammern führt und die von Lichtstrahlen durchdrungen werden, (2,2') angeordnete, jeweils zwei Detektorkammern die nach teilweiser Absorption in den Probenkammern (7a, 76; 8a, Sb) aufweisende pneumatische Detekto- auf zwei hinter den Probenkammern 2,2' angeordnete, ren (7,8) fallen und in beiden Detektorkammern (7a, jeweils zwei Detektoikammern 7a, 7b;Sa, 86 aufweisen-7b) des einen Detektors (7) ein die eine zu bestim- -5 de pneumatische Detektoren 7, 8 fallen. In beiden Demende Komponente der Gasprobe und das Stan- tektorkammern 7a, 76 des einen Detektors 7 befindet dardgas enthaltendes Gasgemisch und in den beiden sich ein die eine zu bestimmende Komponente der Gasanderen Detektorkammern (8a, Sb) des anderen De- probe und das Standardgas enthaltendes Gasgemisch, tektors (8) ein die andere zu bestimmende Kompo- während in den beiden anderen Detektorkammern 8a, nente der Gasprobe und das Standardgas enthalten- 20 86 des anderen Detektors 8 ein die andere zu bestimdes Gasgemisch eingeschlossen sind, dadurch mende Komponente der Gasprobe und das Standardgekennzeichnet, daß gas enthaltendes Gasgemisch eingeschlossen ist
Ein derartiger Gasanalysator hat den Vorteil, daß er
— zur Bestimmung von Komponenten mit stark kaum durch Änderungen in der Umgebungstemperatur voneinander abweichender Absorption die bei- 25 und andere Temperaturgänge beeinflußt werden kann, den Probenkammern (2,2') unterschiedlich lang Er weist darüber hinaus praktisch keine Nullpunktdrift sind, und ein gutes Signal-Rauschverhältnis auf. Der bekann-
— vor dem Detektor (7) im Strahlengang (A) der te Gasanalysator hat jedoch den Nachteil, daß er eine langen Probenkammer (2) ein Filter (Fi) ange- relativ große Querempfindlichkeit bzw. ein starkes Inordnet ist das im Absorptionsbereich der star- 30 terferenzverhalten besitzt da sich Absorptionsbereiche ker absorbierenden Komponente vollständig von zu bestimmenden Gaskomponenten teilweise überabsorbiert und im Absorptionsbereich der lappen können, was besonders störend ist wenn die schwächer absorbieren Jen Komponente durch- Komponenten stark unterschiedlich absorbieren, lässig ist und daß Wie auf Seite 9 im letzten Absatz und Seite 10 in den
— sich in dem Bereich, um Jen die kurze Proben- 35 Zeilen 1 bis 5 der DE-OS 30 26 953 angegeben ist werkammer (2') gegenüber der langen Probenkam- den die einzelnen Detektoren so vorjustiert, daß sie ein mer (2) verkürzt ist ein infrarot-inaktives Gas der Konzentration der zu bestimmenden Komponente im Strahlenweg (B) befindet entsprechendes Ausgangssigna! abgeben. Bei stark voneinander abweichendem Abscptionsverhalten der
2. Infrarot-Gasanaiysator nach Anspruch 1, da- 40 Gaskomponenten führt die unterschiedliche Krümdurch gekennzeichnet daß zusätzlich vor dem De- mung der Absorptionskurve für unterschiedliche Abtektor (8) im Strahlengang (B) der kurzen Proben- sorptionswerte aber dazu, daß sich eine Meßkurve, nach kammer (2*) ein Filter (F2) angeordnet ist das im der die Meßinstrumente kalibriert sind, und eine tat-Absorptionsbereich der schwächer absorbierenden sächliche Meßkurve nicht immer decken. Fehlerhafte
:ί Komponente vollständig absorbiert und im Absorp- 45 Meßsignale sind die Folge.
y$ tionsbereich der stärker absorbierenden Kompo- Aus der Zeitschrift für angewandte Physik, Band 6,
Ii nente durchlässig ist Heft 12, 1954, Seiten 563 bis 576 sind weitere nichtdis-
yi 3. Infrarot-Gasanalysator nach Anspruch 1 oder 2, persive Iiifrarot-Gasanalysatoren bekannt So ist bei-
Ϊ, dadurch gekennzeichnet daß die Filter (FX, F2) spielsweise auf Seite 565 im letzten Absatz der linken
Transmissions- oder Absorptionsfilter sind. 50 Spalte und im ersten Absatz der rechten Spalte in Ver-
• - 4. Infrarot-Gasanalysator nach Anspruch 3, da- bindung mit Abbildung 2 ein Gasanalysator beschrie-
durch gekennzeichnet, daß das Transmissionsfilter ben, der ebenfalls zwei Probenkammern aufweist, hinter
'"' ein Bandpaßfilter ist denen mehrere Aufnahmekammern von selektiven
:, 5. Infrarot-Gasanalysator nach Anspruch 3, da- Empfängern hintereinander in die Strahlengänge einge-
:j durch gekennzeichnet, daß das Absorptionsfilter ein 55 bracht sind, wobei jede dieser Aufnahmekammern mit
'.;; Gasfilter ist. einem anderen Empfängergas gefüllt ist Bei diesem
ί 6. Infrarot-Gasanal) .,ator nach einem der Ansprü- Gasanalysator werden die Gaskomponenten und das
$ ehe 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Detek- Standardgas jedoch nicht abwechselnd in die beiden
Cf! toren (7,8) vom Kondensatormikrophon-Typ sind. Probenkammern geleitet. Darüber hinaus enthalten die
ι] 7. Infrarot-Gasanalysator nach einam der Ansprü- 60 Aufnahme- bzw. Detektorkammern der selektiven
;| ehe 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Detek- Empfänger jeweils nur die zu detektierende Gaskompo-
' j,1 toren (7,8) Mikroflußsensoren sind. nente.
[i 8. Infrarot-Gasanalysator nach einem der Ansprü- Dieser Gasanalysator weist daher bezüglich der
:{ ehe 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet daß das ent- Querempfindlichkeit bzw. seines Interferenzverhaltens
i| sprechende Filter (Fi, F2) hinter der jeweiligen 65 die gleichen Nachteile wie der Gasanalysator nach der
Probenkammer (2,2') angeordnet ist. DE-OS 30 26 953 auf.
H Ein weiterer auf Seite 565 in der Zeitschrift für ange-
?i? wandte Physik,... im zweiten Absatz der rechten Spalte
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