JP6515749B2 - 検出器システム - Google Patents
検出器システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6515749B2 JP6515749B2 JP2015174271A JP2015174271A JP6515749B2 JP 6515749 B2 JP6515749 B2 JP 6515749B2 JP 2015174271 A JP2015174271 A JP 2015174271A JP 2015174271 A JP2015174271 A JP 2015174271A JP 6515749 B2 JP6515749 B2 JP 6515749B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- cooling
- housing
- cond
- detection element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
そして、ガス源150と導光路120内と光検出器130の筐体内と外部とは、通気孔A〜Cを介して連通されている。
その結果、プラズマトーチからの光は、分光器110で分光され、分光器110の出口窓111より導光路120を経て光検出素子133に入射する。光検出素子133に入射した光は光電変換され、検出信号として基板131へ伝達される。
また、上述した温度と湿度を制限する制限方法では、結露に至らない温度と湿度を設置/動作環境とするため、常に理想的な動作環境でユーザが光検出器システムを使えるとは限らなかった。そのため、ユーザは冷却目標温度を高めの温度に設定して光検出器システムを用いたり、さらには、湿度が高いため仕方なく冷却機能をOFFにして光検出器システムを用いたりすることがあった。つまり、本来得られるはずの感度性能(S/N比)を充分に発揮できない状態でシステムを使わざるを得ない状況が発生するという問題点があった。
一方、上述した改良方法、すなわち、光検出素子とペルチェ素子とを「除湿器を備えた密閉筐体」に内包する方法においても、除湿器には性能保証の寿命があるため、その除湿能力が使用時間に比例して低下するという問題点があった。
上記した課題に対し、本発明は、ユーザの利用状況によって、理想的な動作環境ではない状況下であっても、その時々の環境に応じて結露しない温度を自動で算出し、常にベストな感度性能を得ることができる検出器システムを提供することを目的とする。
また、上記の発明において、冷却温度下限値Tbestを記憶する記憶部を備え、前記最適冷却温度決定部は、冷却温度下限値Tbestおよび結露温度Tcondに基づいて、目標温度Tctrlを決定するようにしてもよい。
ここで、「冷却温度下限値Tbest」とは、設計者やユーザ等によって決定される任意の温度であり、製品仕様として要求される感度性能を充分に得るために必要となる冷却温度である。
ここで、「マージン温度差ΔTmargin」とは、設計者やユーザ等によって決定される任意の温度差であり、測定誤差を考慮した温度差である。
さらに、本発明において、前記筐体内には、除湿器が配置されるようにしてもよい。
分光光度計1は、サンプルが配置される配置部(図示せず)と、光源(図示せず)と、分光器10と、光検出器システム30とを備える。
これにより、除湿器35によって密閉筐体32内の湿度を下げた上で、雰囲気拡散用ファン39によって密閉筐体32内の温度と湿度を均一にしている。
上記光検出器システムとしては、PMTとペルチェモジュールとが一体になった冷却機能付きの光電子増倍管モジュール(例えば浜松ホトニクス株式会社製の「フォトンカウンティングヘッド;H7421−40」)を用いてもよい。
上記除湿器としては、機器組込み用の除湿素子、例えば菱彩テクニカ株式会社(三菱電機株式会社)製の商品名「ロサール(登録商標)」等が挙げられる。
筐体温度センサ38は、筐体湿度センサ37と同様に「結露」を予知するためのものであり、雰囲気拡散用ファン39によって温度と湿度が均一にされた密閉筐体32内に取り付けられており、密閉筐体32内雰囲気の温度を検出して、筐体温度情報Tvapを所定時間間隔Δt(例えば10sec)で制御基板40に入力する。
ここで、図3は、記憶部42に記憶された飽和水蒸気量曲線の一例を示すグラフである。飽和水蒸気量曲線は、飽和水蒸気量Vcond(g/m3)と結露温度Tcond(℃)との関係を示すものである。
例えば、まず、下記式(1)に示すように、筐体温度情報Tvapを飽和水蒸気量曲線の関数V=F(T)に代入することにより、その筺体温度情報Tvapにおける密閉筐体32内の飽和水蒸気量Vcond(g/m3)を算出する。
Vcond=F(Tvap) ・・・(1)
Vmon=Hvap×Vcond ・・・(2)
最後に、下記式(3)に示すように、水蒸気量Vmonを飽和水蒸気量曲線の逆関数T=F−1(V)に代入することにより、密閉筐体32内に水蒸気量Vmonが存在したときの結露温度Tcond(℃)を算出する。
Tcond=F−1(Vmon) ・・・(3)
つまり、(Tcond+ΔTmargin)<Tbestであるときには、Tctrl=Tbestとし、(Tcond+ΔTmargin)≧Tbestであるときには、Tctrl=(Tcond+ΔTmargin)とする。
まず、ユーザが分光光度計1の電源をONにした直後、ステップS101の処理において、除湿器制御部41eは、除湿器35と雰囲気拡散用ファン39を作動させる。
一方、(Tcond+ΔTmargin)≧Tbestであるときには、ステップS106の処理において、目標温度Tctrl=(Tcond+ΔTmargin)とする。
一方、「1sec」が経過したと判定したときには、ステップS109の処理において、最新の目標温度Tctrlを設定してから「10sec」が経過したか否かを判定し、「10sec」が経過していないと判定したときには、ステップS107の処理に戻る。
一方、「10sec」が経過したと判定したときには、ステップS103の処理に戻る。つまり、新たな目標温度Tctrlを更新する処理に移行する。
<1>上述した分光光度計1においては、「10sec」ごとに新たに目標温度Tctrlを設定する構成としたが、目標温度Tctrlの急激な変化は検出信号への外乱として働き、好ましくないため、目標温度Tctrlを算出する際に移動平均処理(フィルタ)を適度にかけるような構成としてもよい。
a:ステップS103の処理を実行する前に、「暗電流値1」と、そのときの検出素子温度情報Tt(「温度1」)とを記憶する。
b:ステップS103の処理〜ステップS109の処理を実行する。
c:検出素子温度情報Ttが目標温度Tctrlに近づき、温調が安定する(例えば、ある規定時間以上において、TtとTctrlとの差が規定温度差以下を保つ)ようになったら、その時点での「暗電流値2」と、そのときの検出素子温度情報Tt(「温度2」)とを記憶する。
d:上記a以後(c以後を含む)において、実サンプルの分析が要求されたときには、その時点での検出素子温度情報Ttと、最も直近に取得した「暗電流」取得時の検出素子温度(例えば、「温度1」や「温度2」)とを比べ、それらの差が±2℃以上乖離している(例えば、Ttが上記「温度1」や「温度2」と比べて±2℃以上乖離している)場合には、「暗電流値」を測定し直す。このとき、再測定した「暗電流値」と、そのときの検出素子温度情報Ttとを、最も直近に取得した「暗電流値」、およびそのときの検出素子温度として記憶(上書き保存)する。
31 光導入窓
32 密閉筐体
33 PMT(光検出素子)
34 ペルチェモジュール(冷却手段)
36 検出素子温度センサ
41 制御部
41a 結露温度予測部
41b 最適冷却温度決定部
Claims (5)
- 光強度を検出する光検出素子と、
前記光検出素子を冷却するための冷却手段と、
光導入窓が形成され、前記光検出素子および前記冷却手段が内部に配置された筐体と、
前記光検出素子の温度を検出して検出素子温度情報を出力する検出素子温度センサと、
前記検出素子温度情報が目標温度Tctrlとなるように、前記冷却手段を制御するための出力値を演算して、当該出力値を前記冷却手段に出力する制御部とを備える検出器システムであって、
前記筐体に結露が発生する結露温度Tcondを算出する結露温度予測部と、
結露温度Tcondに基づいて、目標温度Tctrlを決定する最適冷却温度決定部とを備えることを特徴とする検出器システム。 - 冷却温度下限値Tbestを記憶する記憶部を備え、
前記最適冷却温度決定部は、冷却温度下限値Tbestおよび結露温度Tcondに基づいて、目標温度Tctrlを決定することを特徴とする請求項1に記載の検出器システム。 - 前記最適冷却温度決定部は、結露温度Tcondにマージン温度差ΔTmarginを加えた温度(Tcond+ΔTmargin)と、冷却温度下限値Tbestとを比較して、高い方の温度を目標温度Tctrlとすることを特徴とする請求項2に記載の検出器システム。
- 前記筐体内の湿度を検出して筐体湿度情報を出力する筐体湿度センサと、
前記筐体内の温度を検出して筐体温度情報を出力する筐体温度センサとを備え、
前記結露温度予測部は、前記筐体湿度情報および前記筐体温度情報に基づいて、結露温度Tcondを算出することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の検出器システム。 - 前記筐体内には、除湿器が配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の検出器システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015174271A JP6515749B2 (ja) | 2015-09-04 | 2015-09-04 | 検出器システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015174271A JP6515749B2 (ja) | 2015-09-04 | 2015-09-04 | 検出器システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017049194A JP2017049194A (ja) | 2017-03-09 |
JP6515749B2 true JP6515749B2 (ja) | 2019-05-22 |
Family
ID=58280885
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015174271A Active JP6515749B2 (ja) | 2015-09-04 | 2015-09-04 | 検出器システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6515749B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT201800009064A1 (it) * | 2018-10-01 | 2020-04-01 | Massimo Luigi Maria Caccia | Dispositivo e metodo per generare sequenze random di bit |
JP7486997B2 (ja) * | 2020-04-08 | 2024-05-20 | 株式会社東芝 | 紫外線照射装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05118925A (ja) * | 1991-10-28 | 1993-05-14 | Mitsubishi Electric Corp | 撮像素子の冷却制御装置 |
JPH0688746A (ja) * | 1992-09-08 | 1994-03-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 赤外線検出装置 |
JPH06294683A (ja) * | 1993-04-07 | 1994-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | 電子機器 |
JPH08167732A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-25 | Kyoshin Kogyo Kk | 光電スイッチ |
JPH09145644A (ja) * | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Shimadzu Corp | 温度調節が必要な検出素子を有する分析計 |
JP2004200768A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 撮像装置 |
JP2010164382A (ja) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Kyoto Electron Mfg Co Ltd | 屈折率測定装置 |
US8602640B2 (en) * | 2009-05-20 | 2013-12-10 | Entegris—Jetalon Solutions, Inc. | Sensing system and method |
DE102009036066A1 (de) * | 2009-08-04 | 2011-02-10 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Optoelektronischer Detektor und Betriebsverfahren für einen solchen |
-
2015
- 2015-09-04 JP JP2015174271A patent/JP6515749B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017049194A (ja) | 2017-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106338469B (zh) | 光学特性测定系统以及光学特性测定系统的校正方法 | |
JP5741770B2 (ja) | 分光測定装置 | |
JP6413759B2 (ja) | 光学分析装置 | |
JP6515749B2 (ja) | 検出器システム | |
JP2007298507A (ja) | 時間的に離間した計測値の処理方法、センサ用フィルタ、ガスセンサ装置、及びガスセンサ装置の作動方法 | |
JP5347983B2 (ja) | ガス分析装置 | |
JP4448808B2 (ja) | 分光光度計 | |
JP2017053680A (ja) | ガス分析計 | |
SE0802069A1 (sv) | Ett för en spektralanalys av höga gaskoncentrationer anpassat arrangemang | |
JP2006313164A (ja) | ガスセンサ装置及びガス計測方法 | |
US20140022542A1 (en) | Gas Analyzer | |
JP5358466B2 (ja) | 液体クロマトグラフ装置 | |
JP2006317451A (ja) | ガス試料の存在、濃度の計測方法、及びガスセンサ装置 | |
JP2006201156A (ja) | 分光計に使用される検出器の温度依存性補償のための装置および方法 | |
JP2010139299A (ja) | ガスセンサ | |
JP2009257808A (ja) | 赤外線ガス分析計 | |
US10677721B2 (en) | Optical concentration measuring device and control method for optical concentration measuring device | |
JP4727444B2 (ja) | ガス分析装置及び半導体製造装置 | |
JP2007003320A (ja) | 光検出器 | |
JP2007101433A (ja) | ガス分析装置 | |
JP2010286291A (ja) | 赤外線分光器および赤外線分光測定装置 | |
JP2011169636A (ja) | ガス濃度算出装置およびガス濃度計測モジュール | |
US20050063186A1 (en) | Light source apparatus, analyzer using the same, and method for controlling light source apparatus | |
JP6205656B2 (ja) | オゾン濃度測定装置 | |
JP2017032317A (ja) | ガス濃度測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180821 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20181022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190319 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190401 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6515749 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |