JP4726433B2 - 表面特性を特定する装置および方法 - Google Patents
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Description
8 検出装置
21 撮像素子
Claims (22)
- 表面特性を特定する方法であって、
・ 少なくとも1つの光線放射装置の所定の光線を測定面に当てる段階と、
・ 前記測定面が反射及び/または散乱する光線を複数の撮像素子を有する検出装置によって検出する段階と、
・ 前記複数の撮像素子によって検出された光線に基づいて、強度のパターンを表す複数の第1の信号を生成する段階と、
・ 設定基準を、統合された第1の信号の数として選択する段階と、
・ 互いに隣接する撮像素子によって生成される前記複数の第1の信号を、前記設定基準に対応する数の前記第1の信号で1つのグループを形成することによって、複数のグループに統合する段階と、
・ 複数のグループそれぞれについて、算術平均、移動平均、ベクトル平均、幾何平均、調和平均及び統計移動平均を含む統計量のグループから選択される、少なくとも1つのグループ固有の評価数値を計算する段階と、
・ それぞれのグループの各第1の信号及び設定基準の各値に基づいて、測定面の少なくとも1つの拡散反射特性と相関し、かつ平方偏差、標準偏差、ばらつき、極小値及び極大値を含むパラメータのグループから、あるいは設定基準に関する統計パラメータの曲線を表すグループであって、曲線の2点の差と、前記曲線のn次導関数とを含むグループから選択される、前記グループ固有の評価数値に依存する統計パラメータを計算する段階と、
・ 前記第1の信号を統合する際の設定基準に応じて前記統計パラメータを出力する段階と、
を有し、
前記表面特性は、設定基準の異なる値に対する少なくとも2つの統計パラメータの間の関係によって表されることを特徴とする方法。 - 複数の前記第1の信号を1つのグループに統合する際に、少なくとも1つの第1の信号はそれぞれ、少なくとも1つの別の第1の信号に対して異なるように加重されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも2つの統計パラメータの関係は、2つの統計パラメータの差、総和及び商を含むグループから選択されることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記グループ固有の評価数値としての平均値を決定するために、特定の波長のみ、及び/あるいは所定の波長領域を使用することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記グループ固有の評価数値としての平均値を決定するために、前記光線の所定の強度領域のみを使用することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の表面特性を特定する方法を実施するための装置であって、
・ 光線を測定面に当てる少なくとも1つの光線放射装置と、
・ 前記測定面によって反射及び/または散乱される光線が少なくとも部分的に検出装置に当たるように前記測定面に対して所定の角度をなして配設された少なくとも1つの検出装置と、を備え、
前記検出装置は、複数の撮像素子を有し、前記撮像素子は、検出された光線に基づいて、強度のパターンを表す複数の第1の信号を出力する装置において、
少なくとも1つの処理装置が設けられ、該処理装置は、
・ 設定基準を、統合された第1の信号の数として選択する手段と、
・ 互いに隣接する撮像素子によって生成される前記複数の第1の信号を、前記設定基準に対応する数の前記第1の信号で1つのグループを形成することによって、複数のグループに統合する手段と、
・ 複数のグループそれぞれについて、算術平均、移動平均、ベクトル平均、幾何平均、調和平均及び統計移動平均を含む統計量のグループから選択される、少なくとも1つのグループ固有の評価数値を計算する手段と、
・ それぞれのグループの各第1の信号及び設定基準の各値に基づいて、測定面の少なくとも1つの拡散反射特性と相関し、かつ平方偏差、標準偏差、ばらつき、極小値及び極大値を含むパラメータのグループから、あるいは設定基準に関する統計パラメータの曲線を表すグループであって、曲線の2点の差と、前記曲線のn次導関数とを含むグループから選択される、前記グループ固有の評価数値に依存する統計パラメータを計算する手段と、
・ 前記第1の信号を統合する際の設定基準に応じて前記統計パラメータを出力する手段と、
を備え、
これにより、設定基準の異なる値に対する少なくとも2つの統計パラメータの間の関係によって、前記表面特性の特定を実現することを特徴とする装置。 - 第1の信号が1つのグループ信号に統合される撮像素子のグループに属する各撮像素子は、前記グループに属する少なくとも1つのさらなる撮像素子に隣接していることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記複数の撮像素子は、一次元または二次元の少なくとも1つのアレイに配設されていることを特徴とする請求項6または7に記載の装置。
- 第1の信号が1つのグループ信号に統合される少なくとも1つの撮像素子のグループに属する撮像素子は、少なくとも一次元の少なくとも1つのサブアレイに配設されていることを特徴とする請求項6から8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記光線放射装置は、白熱電球、発光ダイオード、レーザー、及び熱光源を含む光源のグループから選択される少なくとも1つの光源を有することを特徴とする請求項6から9のいずれか一項に記載の装置。
- 前記光線放射装置は、少なくとも1つの光線フィルタリング手段を有することを特徴とする請求項6から10のいずれか一項に記載の装置。
- 前記光線フィルタリング手段は、絞り装置、回折格子、及びカットオフフィルターを含む素子のグループから選択されることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの光源は、波長及び/又は強度を変化させられることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記光線放射装置は、レンズ、透過格子、反射格子、プリズム、複屈折材料を含む装置のグループである少なくとも1つの第1の光線操作装置を有することを特徴とする請求項6から13のいずれか一項に記載の装置。
- 前記光線検出装置が、少なくとも1つの分散素子を有することを特徴とする請求項6から14のいずれか一項に記載の装置。
- 前記測定面と前記光線検出装置との間に、レンズ、透過格子、反射格子、プリズム、複屈折材料を含む装置のグループである第2の光線操作装置が設けられていることを特徴とする請求項14に記載の装置。
- 前記第1及び/又は第2の光線操作装置は、前記測定面に対して位置を変えられることを特徴とする請求項16に記載の装置。
- 前記第2の光線操作装置の光学軸は、前記アレイに対して第2の所定の角度をなして設けられていることを特徴とする請求項16または17に記載の装置。
- 前記第2の所定の角度は、0°から90°であることを特徴とする請求項18に記載の装置。
- 前記第2の所定の角度は、30°から90°であることを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 前記第2の所定の角度は、80°から90°であることを特徴とする請求項20に記載の装置。
- 前記測定面と前記検出装置との間に設けられたレンズ装置を有していることを特徴とする請求項6から21のいずれか一項に記載の装置。
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