JP2002195952A - 表面疵検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オンラインの質劣化が少ない疵情報を提供
し、検出信号処理の簡素化及び疵検出装置の低コスト化
を図ることを目的とする。 【解決手段】 検査対象材１表面の反射光を画像データ
に変換し、複数のフィルター６a〜６cにより大きさの異
なる疵に対した疵候補を抽出するとともに、濃度情報を
演算し、これらの情報を組み合わせて、所定小領域を一
画素に圧縮する。ｎ個の一次元カメラ３a〜3ｄで対象材
１を幅ｘ方向に分割して検査する場合は、各カメラ当り
の画像情報を幅ｘ方向に組み合わせて一元化すると共に
長さｙ方向に配列して2次元画像を形成する。あるい
は、各カメラ当りの画像情報を一旦メモリ２４a〜２４d
に記憶し、光強度検出時のｎ倍の周波数をもつクロック
信号で順次読み出すことにより、ｎ個のカメラ当りの画
像情報を一元化すると共に長さy方向に配列して2次元画
像を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、鋼板等検査対象材
の表面を撮影した画像信号に基づいて、その表面疵を検
出する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】鉄鋼やアルミ板などの帯状物の表面疵を
オンラインで検査する装置としては、画像処理による方
法が知られており、例えば特開平７−６３６９６号公報
が提示されている。これによれば、搬送される帯状の被
検査材の表面幅方向を照明光で照射し、被検査材の表面
からの反射光を反射光検出器で受光して電気信号に変換
する。この電気信号を各レベルに量子化してラインバッ
ファに与え、ラインバッファは１走査ライン毎に２値化
して蓄える。フィルタはラインバッファの信号を読込
み、予め定めた規則に基づいて情報を圧縮して画像処理
装置へ出力すると共に、細疵情報を判別してその結果を
疵判定装置に出力する。画像処理装置は圧縮された情報
に基づいて２次元画像を作成し、疵の特微量を求める。
疵判定装置はこの特徴量及び細疵情報に基づいて疵の種
類、等級等を判定する。この装置は検出情報の質を低下
させることなく情報量を低減することが出来るので、オ
ンライン処理で精度の高い表面疵の検査を高速に行なう
ことが出来るとしている。

【０００３】また帯状の被検査材の表面疵を画像により
検査する場合において、該被検査材の幅が広いと１台の
光検出器で全幅をカバーすることは難かしいので、複数
の光検出器で分担して全幅をカバーすることが知られて
いる。この場合各光検出器に対応して信号処理回路を備
え、各信号処理回路の出力を一系統にまとめて後段の系
に供給する方法が一般的である。

【０００４】しかし各光検出器に対応して複数の信号処
理回路を備えるのはコスト面等で不利であるので、複数
の光検出器の出力を１個の信号処理回路で処理する提案
がなされている。特開昭６１−２２３６０７号公報によ
れば、被検査材を分担して走査する複数台の走査形検出
器と、これら各走査形検出器による走査を時間的に重複
しないように順番に走査するための同期制御手段と、各
走査形検出器の走査期間の出力信号を時間的に直列に並
べた１系列の信号にまとめる回路手段と、まとめられた
信号から被検査材の表面欠陥等を弁別する信号処理手段
とを備える。この様な構成としたので複数台の走査形検
出器に対して１つの信号処理手段で対応出来、回路構成
が簡単になる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記特開平７−６３６
９６号公報に開示の表面疵検査装置は、処理対象エリア
及びその前後の画素を闇値により弁別して疵候補を求
め、この弁別結果に規則性に基づいて疵有無を判定し１
ビツトに圧縮すると共に、細い疵の情報を求めており、
これを全ての画素に対して実施している。しかしなが
ら、オンラインで高精度の表面疵検査を行なう為には、
情報量の低減を、検出情報の質を劣化させることなく高
速で行なう必要があり、また最終的に人間が疵判定を行
なう際には圧縮した疵情報の他、疵部の詳細な情報が必
要である。

【０００６】また前記特開昭６１−２２３６０７号公報
に開示の装置で、幅の広い被検査材の疵検査を行なう場
合、複数の光検出器を順番に次々と走査することにより
検査領域全幅をカバーするので、例えば回転ミラーでレ
ーザビームを走査する形式の検出器では回転ミラーを駆
動するサーボモータをも順次走査せねばならず、機構が
複雑であった。

【０００７】本発明は、オンラインの高速処理に於いて
質劣化が少ない疵情報の提供を第１の課題とし、検査員
が疵検査時に必要とする比較的に粗い面分割密度である
が疵判定精度は高い疵情報の提供を第２の課題とし、疵
検査対象材の広い面を細分割して各分割領域を複数の反
射輝度検出装置のそれぞれにて分割検出する場合の検出
信号処理の簡素化を第３の課題とし、疵検査装置の低コ
又ト化を図ることを第４の課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の表面疵検出装置
は、 １．検査対象材表面の反射光の輝度を電気信号に変換
し、検査対象材の幅方向ｘ対応でシリアルに発生する光
強度検出手段(3a)； 前記電気信号をデジタルデータす
なわち画像データに変換するアナログ／デジタル変換手
段(4、5)；前記画像データに、デジタル変換の画素単位
の輝度差を強調する処理、および、輝度差をならす平滑
化処理を施すフィルタ手段(6a〜6c)；前記輝度差を強調
する処理を施した画像データの輝度レベルが所定範囲内
(疵無)か否(疵有)を表わす第１の一次疵判定データ、お
よび、前記平滑化処理を施した画像データの輝度レベル
が所定範囲内(疵無)か否(疵有)を表わす第２の一次疵判
定データを生成する一次処理手段(7a〜7c)；前記幅方向
ｘおよびそれに直交するｙ方向に共に複数(5×2=10)画
素分のエリアの、前記第１および第２の一次疵判定デー
タの「否」(疵有)の論理和を生成する一次合成手段(9)；
前記エリアの「否」(疵有)の個数を計数する一次判定疵計
数手段(7d、10)；前記エリア内の画像データのピーク値
の極性を検出する極性検出手段(8、12a)；および、前記
一次判定疵計数手段(7d、10)が計数した個数および前記
極性検出手段(8、12a)が検出した極性に基づいて前記エ
リアを疵有エリアとするか疵無エリアとするか決定しこ
れを表わす信号を発生するエリア疵一次情報生成手段(1
1)；を備えることを特徴とする表面疵検出装置であり、

【０００９】２．前記一次判定疵計数手段(7d、10)が計
数した個数および前記極性検出手段(8、12a)が検出した
極性に基づいて前記エリアの画像データの最大値、最小
値又は平均値を選択するエリアデータ選択手段(12b)；
エリアデータ選択手段(12b)が選択したデータが所定範
囲内(疵無)か否(疵有)を表わすエリア疵二次情報を生成
する二次処理手段(15〜17)；および、前記エリア疵情報
生成手段(11)が発生したエリア疵一次情報と前記二次処
理手段(15〜17)が生成したエリア疵二次情報の論理和を
エリア疵信号として出力するエリア疵信号出力手段(1
4、18)；を更に備えることを特徴とする表面疵検出装置
であり、

【００１０】３．光強度検出手段(3a〜3d)は、それぞれ
が検査対象材表面の幅方向ｘの異った領域の反射光の輝
度を電気信号に変換する複数組ｎであり；前記アナログ
／デジタル変換手段(4、5)、フィルタ手段(6a〜6c)、一
次処理手段(7a〜7c)、一次合成手段、一次判定疵計数手
段(7d、10)、極性検出手段(8、12a)、エリア疵一次情報
生成手段(11)、および、エリアデータ選択手段(12b)
は、それぞれが各光強度検出手段(3a〜3d)宛てに複数組
ｎであり；前記二次処理手段(15〜17)は、各組のエリア
データ選択手段(12b)が選択したデータを、前記検査対
象材表面の幅方向ｘの異った領域の分布に対応した連な
りに合成する第１の二次合成手段(15)を含み、合成され
たデータが所定範囲内(疵無)か否(疵有)を表わすエリア
疵二次情報を生成し；前記エリア疵信号出力手段(14、1
8)は、前記エリア疵情報生成手段(11)が発生したエリア
疵一次情報を、前記検査対象材表面の幅方向ｘの異った
領域の分布に対応した連なりに合成する第２の二次合成
手段(14)を含み、合成したエリア疵一次情報と前記エリ
ア疵二次情報の論理和をエリア疵信号として出力するこ
とを特徴とする表面疵検出装置であり、

【００１１】４．検査対象材(1)表面を、幅ｘ方向にｎ
個に分割して撮影し電気信号に変換するｎ個の撮影手段
(3a〜3d)；該撮影手段(3a〜3d)に第１同期信号を供給す
る第１同期手段(22)；前記撮影手段からの電気信号を記
憶するｎ個の記憶手段(24a〜24d)；前記第１同期手段の
ｎ倍の周波数の第２同期信号を発生する第２同期手段(2
5)；前記ｎ個の記憶手段(24a〜24d)の記憶信号を選択す
る選択手段(26)；選択した記憶信号から疵候補を抽出す
る複数のフィルタ手段(6a〜6c、7a〜7c)；選択した記憶
信号から濃度情報を演算する濃度情報演算手段(8)；を
備える表面疵検出装置において、前記選択手段(26)は、
第２同期信号により前記ｎ個の記憶手段(24a〜24d)の記
憶信号を順次読出すことにより、前記ｎ個の撮影手段(3
a〜3d)が分割して得た電気信号をｘ方向に一元化し、一
元化後の電気信号に基づき疵検出を行なうことを特徴と
する表面疵検出装置であり、

【００１２】５．上記４において、前記複数のフィルタ
手段（6a〜6c、7a〜7c）が抽出した、大きさの異なる疵
に対応した疵候補情報を、前記濃度情報と組合わせるこ
とにより、検出情報の質を低下させることなく情報量を
低減した画像を形成することを特徴とする表面疵検出装
置であり、

【００１３】６．上記４又は５において、前記複数のフ
ィルタ手段（6a〜6c、7a〜7c）が抽出した複数の疵候補
情報の組み合わせから、検査対象材（1）表面上のｘ、
ｙ２次元分布に対応する所定小領域内画像の疵の有無判
定を行なうことを特徴とする表面疵検出装置である。な
お、理解を容易にするためにカツコ内には、図面に示し
後述する実施例の対応要素の記号又は対応事項を、参考
までに付記した。

【００１４】

【発明の実施の形態】１．検査対象材表面の反射光の輝
度を電気信号に変換し、検査対象材の幅方向ｘ対応でシ
リアルに発生する光強度検出手段(3a)； 前記電気信号
をデジタルデータすなわち画像データに変換するアナロ
グ／デジタル変換手段(4、5)；前記画像データに、デジ
タル変換の画素単位の輝度差を強調する処理、および、
輝度差をならす平滑化処理を施すフィルタ手段(6a〜6
c)；前記輝度差を強調する処理を施した画像データの輝
度レベルが所定範囲内(疵無)か否(疵有)を表わす第１の
一次疵判定データ、および、前記平滑化処理を施した画
像データの輝度レベルが所定範囲内(疵無)か否(疵有)を
表わす第２の一次疵判定データを生成する一次処理手段
(7a〜7c)；前記幅方向ｘおよびそれに直交するｙ方向に
共に複数(5×2=10)画素分のエリアの、前記第１および
第２の一次疵判定データの「否」(疵有)の論理和を生成す
る一次合成手段(9)；前記エリアの「否」(疵有)の個数を
計数する一次判定疵計数手段(7d、10)；前記エリア内の
画像データのピーク値の極性を検出する極性検出手段
(8、12a)；および、前記一次判定疵計数手段(7d、10)が
計数した個数および前記極性検出手段(8、12a)が検出し
た極性に基づいて前記エリアを疵有エリアとするか疵無
エリアとするか決定しこれを表わす信号を発生するエリ
ア疵一次情報生成手段(11)；を備えることを特徴とする
表面疵検出装置が提供される。

【００１５】デジタル変換の画素単位の輝度差を強調す
る処理を施した画像データの輝度レベルが所定範囲内
(疵無)か否(疵有)を表わす第１の一次疵判定データと、
輝度差をならす平滑化処理を施した画像データの輝度レ
ベルが所定範囲内(疵無)か否(疵有)を表わす第２の一次
疵判定データを生成して、複数画素(5×2=10)分のエリ
アの、第１および第２の一次疵判定データの「否」(疵有)
の論理和を生成するので、１エリア宛てのこの論理和デ
ータ(10個)は、画素単位での疵検出(6aで1画素)と、数
画素ならしでの疵検出(6b、6cで5画素)を含むので、す
なわち高分解能と低分解能の疵検出を含むので、小さな
疵候補および大きな疵候補の検出漏れがない。そして、
エリアの「否」(疵有)の個数を計数し、しかもエリア内の
画像データのピーク値の極性を検出して、これらに基づ
いてエリアを疵有エリアとするか疵無エリアとするか決
定するが、この処理により画素単位での疵検出に含まれ
るノイズが排除され、しかも、エリア全体に及ぶ疵の検
出漏れがなく、信頼性が高い、エリア全体として見ての
疵有無データが得られる。すなわちエリアは比較的に粗
い面分割密度であるが、疵有無データはエリア内画素単
位での疵検出を反映したものであり、信頼性が高い。

【００１６】２．前記一次判定疵計数手段(7d、10)が計
数した個数および前記極性検出手段(8、12a)が検出した
極性に基づいて前記エリアの画像データの最大値、最小
値又は平均値を選択するエリアデータ選択手段(12b)；
エリアデータ選択手段(12b)が選択したデータが所定範
囲内(疵無)か否(疵有)を表わすエリア疵二次情報を生成
する二次処理手段(15〜17)；および、前記エリア疵情報
生成手段(11)が発生したエリア疵一次情報と前記二次処
理手段(15〜17)が生成したエリア疵二次情報の論理和を
エリア疵信号として出力するエリア疵信号出力手段(1
4、18)；を更に備えることを特徴とする表面疵検出装置
が提供される。

【００１７】エリア内の、疵と一次判定された画素数お
よびエリア内ピーク値の極性に基づいて、エリアの画像
データの最大値、最小値又は平均値を代表値に定め、こ
の代表値に基づいてエリア疵二次情報を生成するので、
このエリア疵二次情報も、エリア内画素単位での疵検出
を反映したものであり、信頼性が高い。そして、このエ
リア疵二次情報とエリア疵一次情報の論理和をエリア疵
信号とするので、画素単位での疵検出に含まれるノイズ
が排除され、しかも、エリア全体に及ぶ疵の検出漏れが
なく、信頼性が高いエリア疵信号が得られる。

【００１８】３．光強度検出手段(3a〜3d)は、それぞれ
が検査対象材表面の幅方向ｘの異った領域の反射光の輝
度を電気信号に変換する複数組ｎであり；前記アナログ
／デジタル変換手段(4、5)、フィルタ手段(6a〜6c)、一
次処理手段(7a〜7c)、一次合成手段、一次判定疵計数手
段(7d、10)、極性検出手段(8、12a)、エリア疵一次情報
生成手段(11)、および、エリアデータ選択手段(12b)
は、それぞれが各光強度検出手段(3a〜3d)宛てに複数組
ｎであり；前記二次処理手段(15〜17)は、各組のエリア
データ選択手段(12b)が選択したデータを、前記検査対
象材表面の幅方向ｘの異った領域の分布に対応した連な
りに合成する第１の二次合成手段(15)を含み、合成され
たデータが所定範囲内(疵無)か否(疵有)を表わすエリア
疵二次情報を生成し；前記エリア疵信号出力手段(14、1
8)は、前記エリア疵情報生成手段(11)が発生したエリア
疵一次情報を、前記検査対象材表面の幅方向ｘの異った
領域の分布に対応した連なりに合成する第２の二次合成
手段(14)を含み、合成したエリア疵一次情報と前記エリ
ア疵二次情報の論理和をエリア疵信号として出力するこ
とを特徴とする表面疵検出装置が提供される。

【００１９】１組の光強度検出手段(3a)で検査対象材
(1)の全幅を撮影する場合には、視野を確保するために
光強度検出手段(3a)を検査対象材(1)から離す必要があ
るが、設置場所の制約上離せない場合や、離すと設置場
所の振動を受け易くなり、画像がぶれたりすることや、
反射光の輝度が低くなることや、解像度が低下すること
がおこる。ｎ組の光強度検出手段(3a〜3d)で検査対象材
(1)の幅ｘ方向を分割分担するので、それぞれ高い解像
度で疵検出を行なうことができかつ、検査対象材(1)の
全幅のエリア疵信号が得られる。

【００２０】４．図８において、検査対象材(1)表面
を、幅ｘ方向にｎ個に分割して撮影し電気信号に変換す
るｎ個の撮影手段(3a〜3d)；該撮影手段(3a〜3d)に第１
同期信号を供給する第１同期手段(22)；前記撮影手段か
らの電気信号を記憶するｎ個の記憶手段(24a〜24d)；前
記第１同期手段のｎ倍の周波数の第２同期信号を発生す
る第２同期手段(25)；前記ｎ個の記憶手段(24a〜24d)の
記憶信号を選択する選択手段(26)；選択した記憶信号か
ら疵候補を抽出する複数のフィルタ手段(6a〜6c、7a〜7
c)；選択した記憶信号から濃度情報を演算する濃度情報
演算手段(8)；を備える表面疵検出装置であって、前記
選択手段(26)は、第２同期信号により前記ｎ個の記憶手
段(24a〜24d)の記憶信号を順次読出すことにより、前記
ｎ個の撮影手段(3a〜3d)が分割して得た電気信号をｘ方
向に一元化し、一元化後の電気信号に基づき疵検出を行
なうことを特徴とする表面疵検出装置が提供される。

【００２１】ｎ個の撮影手段(3a〜3d)が、検査対象材
(1)の幅ｘ方向を分担して撮影する。該撮影手段(3a〜3
d)は第１同期手段(22)から供給される第１同期信号(ク
ロック信号)に従い撮影する。撮影画像に対応した電気
信号をｎ個の記憶手段(24a〜24d)に一旦記憶する。選択
手段(26)は、第２同期手段(25)が供給する、第１同期信
号のｎ倍の周波数を持つ第２同期信号(クロック信号)に
よって該ｎ個の記憶手段(24a〜24d)の記憶信号を順次読
出し、各記憶信号をｘ方向に整列する。即ち検査対象材
(1)の幅ｘ方向に分担して撮影して得た画像信号をｘ方
向に合体させ、あたかも一台の撮影手段が撮影して得た
画像信号の様にする。以後、この整列後の電気信号を処
理して疵検出を行なう。

【００２２】５．上記４において、前記複数のフィルタ
手段（6a〜6c、7a〜7c）が抽出した、大きさの異なる疵
に対応した疵候補情報を、前記濃度情報と組合わせるこ
とにより、検出情報の質を低下させることなく情報量を
低減した画像を形成することを特徴とする表面疵検出装
置では、検出情報の質を低下させることなく情報量を低
減した画像を形成することができる。

【００２３】６．上記４又は５において、前記複数のフ
ィルタ手段（6a〜6c、7a〜7c）が抽出した複数の疵候補
情報の組み合わせから、検査対象材（1）表面上のｘ、
ｙ２次元分布に対応する所定小領域内画像の疵の有無判
定を行なうことを特徴とする表面疵検出装置では、検査
対象材（図１の1）表面上のｘ、ｙ２次元分布に対応す
る所定小領域内画像の疵の有無判定を行なうことができ
る。

【００２４】本発明の他の目的および特徴は、図面を参
照した以下の実施例の説明より明らかになろう。

【００２５】

【実施例】−第１実施例− 図１に、本発明の第１実施例による表面疵検査装置の構
成を示す。ｙ方向に移動する帯状の検査対象鋼板１を、
４台のカメラ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄによりｘ方向（幅
方向）に４分割して撮影する。カメラ３ａ〜３ｄは１次
元ＣＣＤカメラであり撮影画像の明度に応じたアナログ
画像信号を出力する。検査対象鋼板１のｘ方向（幅方
向）を照明装置２により一様に照明し、この照明光が検
査対象鋼板１表面で正反射した方向に上記４台のカメラ
３ ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄの視野を合わせてあるので、
各カメラには一様な明るい画像が得られる。検査対象鋼
板１表面に割れ疵等の欠陥部がある場合には、その凹部
に影が出来るため撮影画像は暗くなるので、画像の明暗
（濃淡）により疵等の欠陥を検出する。

【００２６】カメラ３ａが撮影した検査対象鋼板１の表
面画像信号はカメラ信号処理回路３ａ１により信号処理
する。カメラ３ｂ〜３ｄが撮影した検査対象鋼板１の表
面走査信号は、カメラ信号処理回路３ｂ１〜３ｄ１（図
示せず。カメラ信号処理回路３ａ１と同様）により信号
処理する。

【００２７】以下、１次元カメラ３ａの信号処理につい
て説明する。１次元カメラ３ａは走査毎に検査対象鋼板
１のｘ方向の明度に応じた信号をシェーディング補正回
路４に供給している。１次元カメラ３ａからのアナログ
画像信号は、シェーディング補正回路４によりＡ／Ｄ変
換及び感度補正される。即ちシェーディング補正回路４
はＡ／Ｄ変換器（８ビット）を含み、１次元カメラ３ａ
からのアナログ画像信号をデジタル画像信号（２５６階
調）に変換した後、検査対象鋼板１の幅方向（ｘ方向）
の明度差、あるいは１次元ＣＣＤカメラの幅方向感度差
等による出力変化を補正する。なお、デジタル信号出力
の一次元カメラでは、シェーディング補正回路４に直接
デジタル信号が入力され、この場合にはシェーディング
補正回路４は上述の補正処理の補正を行なう。

【００２８】同期回路５は１個のバッファ（メモリ）を
備え、シェーディング補正回路４によりＡ／Ｄ変換さ
れ、感度補正されたデジタル画像信号が入力されてい
る。同期回路５はエネイブル期間中（後述）に入力され
るデジタル画像信号をバッファに書込む。バッファに書
込まれた１次元カメラ３ａの一走査分の画像信号はクロ
ック信号により順次次段に出力される。

【００２９】同期回路５のバッファから出力された１次
元カメラ３ａからの一走査分の画像信号は、フィルタ６
ａ、６ｂ、６ｃ及びエリア内濃度情報演算回路８に供給
される。フィルタ６ ａ、６ｂ及び６ｃによって、一走
査分の画像信号から検査対象鋼板１表面の疵の大きさに
応じた、異なった疵情報を抽出する。

【００３０】図３にフィルタ６ａ、６ｂ、６ｃの構成を
示す。フィルタ６ａはデジタル微分フィルタであり、高
い周波数帯を通過領域に持つバンドパスフィルタ ハイ
に相当し、高い周波数成分を持つ信号（パルス状信
号；小疵に対応）を抽出する。フィルタ６ａに入力され
るシリアルデジタル画像信号（２５６階調）の注目画素
を中心とした計３画素の値の各々に、図３に示す係数＋
１、０、−１を乗算し、得た３個の積の総和が注目画素
のフィルタ通過値となる。

【００３１】フィルタ６ｂは相異なる2つの移動平均フ
ィルタの差分フィルタであり、中程度の周波数帯を通過
領域に持つバンドパスフィルタ ロー に相当し、中程
度の周波数成分を持つ信号（ゆるやかに変化する信号；
中疵に対応）を抽出する。フィルタ６ｂに入力されるシ
リアルデジタル画像信号（２５６階調）の注目画素を中
心とした計５画素の値の各々に、図３に示す係数１／５
を乗算し、得た５個の積の総和を算出すると共に、注目
画素を中心とした計３２画素の値の各々に、図３に示す
係数１／３２を乗算し、得た３２個の積の総和を算出す
る。両総和の差が注目画素のフィルタ通過値となる。

【００３２】フィルタ６ｃは長周期の移動平均フィルタ
で口ーパスフィルタに相当し、低い周波数成分を持つ信
号（全体の明るさに相当する信号；大疵に対応）を抽出
する。フィルタ６ｃに入力されるシリアルデジタル画像
信号（２５６階調）の注目画素を中心とした計５画素の
値の各々に、図３に示す係数１／５を乗算し、得た５個
の積の総和が注目画素のフィルタ通過値となる。

【００３３】弁別回路７ａ、７ｂ、７ｃは各々のフィル
タからの信号を基に原信号の分解能での疵候補の有無判
定を行なう。図３に示す様に、弁別回路７ａはフィルタ
６ａからの信号を闇値で弁別し、正極性で疵有り、負極
性で疵有り、疵無し、の３値信号を得る。弁別回路７
ｂ、７ｃも同様にフィルタ６ｂ、６ｃからの信号を基に
正極性で疵有り、負極性で疵有り、疵無し、の３値信号
を得る。点状の信号、即ちノイズ成分は上記フィルタ及
び弁別回路により分離される。

【００３４】エリア内疵パターン化回路９は、弁別回路
７ａが弁別した疵候補信号をエリア毎の第１テーブルに
書込み、弁別回路７ｂが弁別した疵候補信号をエリア毎
の第２テーブルに書込み、弁別回路７ｃが弁別した疵候
補信号をエリア毎の第３テーブルに書込んでエリア内の
疵候補をパターン化する。

【００３５】ここでエリアとは、５×２画素の範囲を意
味する。図２の（ａ）に、エリアの一例を示す。例えば
１次元カメラ３ａのｍ番目走査で起点からｘ方向に撮影
した５画素と、次のｍ十１番目走査で起点からｘ方向に
撮影した５画素とを合わせた、ｘ方向５画素とｙ方向２
画素の範囲（５×２画素）を「エリア」と呼ぶ。

【００３６】各々のテーブルに書込まれる疵候補信号
は、「正極性で疵有り（十）」、「負極性で疵有り
（−）」、「疵無し（０）」の３値信号である。表１に
エリア内パターン化回路９の第１テーブル、第２テーブ
ル及び第３テーブルに書込まれた疵候補信号の一例を示
す。この第１〜第３テーブルにはノイズ等が分離された
原信号の分解能での疵候補パターンが書込まれる。

【００３７】

【表１】

【００３８】疵個数計数回路７ｄは、弁別回路７ａが弁
別し第１テーブルに書込まれた疵候補の（＋）数及び
（−）数を計数する。

【００３９】エリア内疵個数演算回路１０は、エリア内
パターン化回路９の各テーブルに書込まれている疵候補
個数のＯＲ（論理和）を取り、疵要素の総数（論理和で
の総数）を算出する。即ち第１テーブル〜第３テーブル
の疵候補である（＋）数及び（−）数のＯＲ（論理和）
を取る。

【００４０】表１の疵個数テーブルに、第１〜第３テー
ブルの疵候補（＋）あるいは疵候補（−）の論理和すな
わち、第1〜第3テーブルにおいて当該画素が（＋）ある
いは（−）であれば疵個数テーブルの当該画素を疵有の
（×）とし、第1〜第3テーブルにおいて当該画素がいず
れも（０）であれば疵個数テーブルの当該画素を疵無の
（０）と示す。この（×）の合計数６が疵要素の総数と
なる。結果として、第１〜第３テーブルの疵パターン情
報が１個の情報に圧縮（１０画素／１エリアから１画
素）される。

【００４１】エリア内濃度情報演算回路８は、同期回路
５のバッファから出力された画像信号の、エリア内に於
ける最大値、最小値、及び平均値を演算する。即ちフィ
ルタリングする前の信号の濃度情報を演算する。エリア
極性検出回路１２ａは、該最大値と平均値との差Ｓ＋
（明るい信号を意味する）及び平均値と最小値との差Ｓ
−（暗い信号を意味する）を生成する。

【００４２】エリア内疵有無判定回路１１は、疵個数計
数回路７ｄが計数した疵候補数、エリア内疵個数演算回
路１０が算出した疵要素の総数、及びエリア極性検出回
路１２ａからの最大値と平均値との差Ｓ＋、及び平均値
と最小値との差Ｓ−に基づき該エリアを疵ありとするか
否かの判定を行なう。

【００４３】エリア内代表選択回路１２ｂは、エリア極
性検出回路１２ａが判定した極性（Ｓ＋≧Ｓ−ならＳ
＋；Ｓ-＞Ｓ+ならＳ-）、エリア内濃度情報演算回路８
が演算した画像信号の最大値、最小値、平均値、疵個数
計数回路７ｄが計数した疵候補数、及びエリア内疵個数
演算回路１０が算出した疵画素の総数から、エリア内代
表信号の選択、即ち最大値をエリア内代表信号として選
択するか、最小値を選択するか、あるいは平均値を選択
するか、の選択を行なう。この様に回路１０、１１、１
２ｂは信号をエリア単位に圧縮して処理する。エリア内
疵有無判定及びエリア内代表信号の選択を表にして示
す。

【００４４】

【表２】

【００４５】表中の第1行目では、例えばフィルタ６ａ
が抽出した疵個数は０（弁別；７ａ、計数；７ｄ）であ
るが、フィルタ６ａ、６ｂ、６ｃが抽出した疵の論理和
を求めたときの疵個数（論理和演算及び個数演算；１
０）が１である場合には信号Ａは１となり、エリア内に
疵「有」と判定（判定；１１）し、疵「有」とする旨の
信号となる。そして極性信号がＳ＋（演算；１２a）で
ある場合にはエリア内疵代表値として信号Ｃは最大値と
なり、極性信号がＳ−（演算；１２a）である場合に
は、エリア内疵代表として信号Ｃは最小値を使用する。

【００４６】上記実施例では、最大値と平均値との差Ｓ
＋、及び平均値と最小値との差Ｓ−を直接比較し、エリ
ア内代表信号を決定する例を述べた。しかし、Ｓ＋、Ｓ
−の大きさが同じでも疵の有害性が異なることがあるの
でＳ＋、Ｓ−を直接比較するのではなく、重みをつける
ことで、優先性を持たせることもある。例えば、最小値
の信号を重みをつけて優先したい場合では、Ｓ＋、Ｓ−
の信号値に重み分の差を付けて比較し、最大値、最小
値、平均値の選択を行う。

【００４７】比較信号の選択基準を ｆ（Ｓ＋、Ｓ−）＝Ｓ＋ − （Ｓ− ＋α） α：オフセット、αは正負をとりうる ｆ（Ｓ＋、Ｓ−）＞０の時 Ｓ＋ ｆ（Ｓ＋、Ｓ−）≦０の時 Ｓ− として、重みを加えることで、同じ有害度でも最大値が
大きくなる場合、最小値が小さくなる場合と言った、疵
の特性に即した代表内代表信号の選択が可能となる。

【００４８】総疵個数（論理和個数演算；１０）の信号
Ａ、疵有無（判定；１１）の信号Ｂ及びエリア内疵代表
信号(選択；１２ｂ)の信号Ｃは、疵個数２次元化合成回
路１３、疵有無マップ２次元化合成回路１４及び濃淡画
像２次元化合成回路１５において、他のカメラ３ｂ、３
ｃ、３ｄからの信号と併せて検査対象鋼板１の全幅（ｘ
方向）に対応した信号にすると共に、検査対象鋼板１の
長さ方向（ｙ方向）に集積してｘｙ方向１画面分の２次
元画像を合成する。

【００４９】図２の（ｂ）は、カメラ３ａ〜３ｄの合成
１画面の一例を模擬的に示す。図２の（ｂ）は図２の
（ａ）で示したエリアを縮小して表示しており、点線で
囲まれた最小１区画が１画素である。画面の横幅（ｘ方
向幅）は４分割され、左方から１次元カメラ３ａ、３
ｂ、３ｃ、３ｄの順に撮影領域を分担している。例えば
１次元カメラ３ａはｘ方向（画面左側から横方向）に２
５画素／５エリアを分担し、ｙ方向（縦方向）に８画素
／４エリアを分担している。４台のカメラが撮影した１
画面の中には、即ち画像圧縮前の撮影画面の中には、例
えば図に示す様な線、面、点に相当する画像信号が含ま
れる。

【００５０】図２の（ｃ）は、（ｂ）で示した横５、縦
２画素の領域が、横１、縦１画素の領域に縮小（圧縮）
表示される状態を示す。すなわちエリア内疵個数演算回
路１０で１０画素／１エリアから１画素に画像圧縮され
た状態を合成１画面で示す。図２の（ｂ）で示した線、
面、点に相当する画像信号は、図２の（ｃ）では線状の
信号は疵と判定されて表示され、面状の信号も疵と判定
されて表示されるが、点状の信号は疵とは判定されず表
示されていない。

【００５１】画像フィルタ１６は、空間フィルタであり
濃淡画像２次元化合成回路１５からの濃淡の２次元分布
より２次元的な疵情報を抽出する。表にｘ方向３個、ｙ
方向７個の画像フィルタ係数マトリックスを示す。

【００５２】

【表３】

【００５３】画像フィルタフィルタ１６に入力される濃
淡画像２次元化合成回路１５からの注目画素を中心とし
た濃淡の２次元分布（ｘ方向３個、ｙ方向７個の領域に
於ける最大値、最小値、平均値の２次元分布）のｘ方向
３個に、表３に示す係数マトリックス１、０、−１を乗
算し、これをｙ方向７個について順次行ない、得た２１
個の積の総和が注目画素のフィルタ通過値である。これ
により大きいが濃度は薄い疵を抽出することが出来る。
弁別回路１７は画像フィルタ１６からの正極性、負極性
及び無の３値信号を、信号有無の単純２値化し疵候補の
有無の判定を行なう。

【００５４】合成回路１８は、弁別回路１７からの疵候
補信号（大疵情報）と疵有無マップ２次元化合成回路１
４からの疵有無マップ信号（小疵情報）の合成をＯＲロ
ジックで行ない、疵候補の２次元画像を得る。

【００５５】疵特徴検出回路１９では、この合成回路１
８からの信号と疵個数２次元化合成回路１３からの信号
及び濃淡画像２次元化合成回路１５からの信号を基に、
疵信号の特徴量を演算する。

【００５６】図４に疵特徴検出回路１９の処理手順を示
す。合成回路１８からの疵有無マップ２次元信号（１；
処理手順に対応。以下同様）を、２次元走査（ｘ、ｙ方
向）によりラベリング処理し（２）、例えば図に示す様
に、ブローブ１、ブローブ２、ブローブ３として検出す
る（３）。各ブローブの面積を閾値（基準値）で識別
し、基準値以下のブローブはノイズとして除去し
（４）、疵候補を決定する（５）。例えば図に示す様
に、ブローブ３はノイズとして除去する。疵特徴検出回
路１９は以下の各パラメータに基づき、疵信号の特微量
を演算する。

【００５７】 「形状パラメータ」；幅、長さ、面積、傾き、縦横比 「濃度パラメータ」；平均濃度、最大濃度、最小濃度、
濃度の分散 「画素内疵個数パラメータ」；圧縮後の画素（当所の１
エリア）内疵個数がｎ個以下の割合（微小な疵） 形状パラメータに基づく疵形状特微量の演算は、決定さ
れた各疵候補毎に行なう（６）。濃淡パラメータに基づ
く疵濃淡特微量の演算は、各疵候補毎に、該疵候補に対
応する濃淡画像２次元化信号により行なう（７）。疵個
数パラメータに基づく疵個数特微量の演算は、各疵候補
毎に、該疵候補に対応する疵個数２次元化信号により行
なう（８）。

【００５８】疵種・有害度判定回路２０は、１画面毎の
各疵候補について、上記の疵特微量を用いて疵の名称及
び有害の度合を判定する。本実施例に於ける１画面（ｘ
方向幅４０００画素、ｙ方向５００画素）は、被検査対
象鋼板１のｘ方向幅２０００ｍｍ、ｙ方向長さ５００ｍ
ｍの範囲に相当する。

【００５９】疵種・有害度判定は、判定パーツ、即ち 「IＦ ＴＨＥＮ ルール」 「ツリー状ルール」 「テーブル状ルール」 「ニューラルネットワーク」 等のいずれかを多層状に組み合わせて、あるいはそれら
を組み合わせて行なう。図５に判定パーツの一例を概略
で示す。すなわち（ａ）はツリー状ルールの一例を示
し、（ｂ）はテーブル状ルールの一例を示し、（ｃ）は
ニューラルネットワークの一例を示す。

【００６０】図６に、「ツリー状ルール」を多層状に組
み合わせて疵種・有害度判定を実行する一例を示す。疵
種判定を多層で繰り返えし、疵種類及び有害度を求める
ものである。

【００６１】図７に、４台の１次元カメラ３ａ、３ｂ、
３ｃ、３ｄの撮影画像を１枚の画像に合成する画像合成
システムの信号同期に関する部分の構成を示す。カメラ
コントローラ２２からクロック信号をカメラ３ａ〜３
ｄ、シェーディング補正・Ａ／Ｄ変換回路４ａ〜４ｄ、
同期回路５ａ〜５ｄ、信号処理回路２１ａ〜２１ｄ（図
１にも示す）、及び合成回路１３〜１５に供給する。４
台のカメラ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄは、クロック信号に
基づき検査対象鋼板１のｘ方向（幅方向）を撮影（走
査）を同時に分担して行ない、これを繰返えす。シェー
ディング補正回路４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは各々Ａ／Ｄ
変換器を備え、カメラ３ａ〜３ｄからのアナログ画像信
号をデジタル画像信号に変換した後、検査対象鋼板１の
幅方向（ｘ方向）の明度差、あるいは１次元ＣＣＤカメ
ラの幅方向感度差等による出力変化を補正する。

【００６２】移動距離検出器２３は、被検査対象鋼板１
が一定距離（例えば１ｍｍ）移動する毎にパルスを発生
するエンコーダであり、同期回路５ａ〜５ｄ、信号処理
回路２１ａ〜２１ｄ及び合成回路１３〜１５に距離信号
ＬＴを供給する。同期回路５ａ〜５ｄは該距離信号ＬＴ
によりエネイブル（ゲート）信号を作成し、信号処理回
路２１ａ〜２１ｄ及び合成回路１３〜１５も同様にゲー
ト信号を作成する。

【００６３】同期回路５ａはバッファを備え、該バッフ
ァはエネイブル期間に入力されたシェーディング補正回
路４ａからのデジタル画像信号をメモリする。同期回路
５ｂ〜５ｄのバッファも、各々同様にしてエネイブル期
間に入力されたシェーディング補正回路４ｂ〜４ｄから
のデジタル画像信号をメモリする。カメラ３ａ〜３ｄは
クロック信号に基づき走査を繰返すが、エネイブル期間
でなければ画像信号は各々のバッファにメモリされな
い。即ち距離信号ＬＴが供給された時にのみ各画像信号
をメモリする。この様にしてメモリされた各カメラ対応
の画像信号は、疵個数２次元化合成回路１３、疵有無マ
ップ２次元化合成回路１４及び濃淡画像２次元化合成回
路１５において合成し、検査対象鋼板１の全幅（ｘ方
向）に対応した信号に一元化すると共に、該信号をｙ方
向に積算してｘｙ方向１画面分の２次元画像とする。

【００６４】以上の様に不要な情報を前処理で集約し必
要な情報を残して圧縮するので、検出情報の質の低下を
伴うことなく情報量を低減できる。この為オンライン処
理によって精度が高い表面疵の検査を高速で処理するこ
とが可能であり、検査効率が向上する。加えて、本実施
例では濃度情報（中間調）を含む疵情報を提供出来るの
で検査員の疵検査能力が向上する。

【００６５】−第２実施例− 図８に本発明の第２実施例による表面疵検出装置の構成
を示す。本実施例ではｙ方向に移動する帯状の検査対象
鋼板１を、４台のＣＣＤカメラ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ
により幅方向（ｘ方向）を４分割して撮影する。検査対
象鋼板１の幅方向（ｘ方向）を照明装置２により一様に
照明し、この照明光が検査対象鋼板１表面で正反射した
方向に上記４台のカメラ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄの視野
を合わせてあるので、各カメラには一様な明るい画像が
得られる。

【００６６】図９は、図８に示す表面疵検出装置の４台
のＣＣＤカメラ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄのタイミングチ
ヤートである。

【００６７】１次元カメラ３ａ〜３ｄからのアナログ画
像信号は、シェーディング補正回路４ａ〜４ｄが備える
Ａ／Ｄ変換器によりデジタル変換された後、感度補正さ
れる。即ち検査対象鋼板１の幅方向（ｘ方向）の明度
差、あるいはＣＣＤカメラの幅方向感度差等による出力
変化を補正する。カメラ３ａ〜３ｄは、カメラコントロ
ーラ２２から供給される周波数ｆの第１クロック信号に
従い検査対象鋼板１を１／４板幅づつ同時に撮影する。
カメラ３ａ〜３ｄからの１次元画像信号は、シェーディ
ング補正回路４ａ〜４ｄを介して画像メモリ２４ａ〜２
４ｄに１走査線分、画素毎に記憶され、走査毎に記憶内
容は書換えられる。

【００６８】移動距離検出器２３は検査対象鋼板１の一
定距離移動（ｙ方向）に対応してパルスを発生するエン
コーダであり、読出しタイミング回路２５、同期回路５
及び信号処理回路２１ａに距離信号ＬＴを供給する。読
出しタイミング回路２５は該距離信号ＬＴによりエネイ
ブル（ゲート）信号を作成し、同期回路５及び信号処理
回路２１ａも同様にゲート信号を作成する。

【００６９】読出しタイミング回路２５は上記エネイブ
ル期間中、カメラコントローラ２２から供給されるカメ
ラ３ａ〜３ｄが撮影に使用した第１クロック信号の周波
数ｆを２倍した、周波数２ｆの第２クロック信号を作成
し、画像メモリ２４ａ〜２４ｄ及び選択回路２６に供給
する。カメラ３ａが撮影し画像メモリ２４ａに記憶され
ている画像信号（ＣＨ１）とカメラ３ｂが撮影し画像メ
モリ２４ｂに記憶されている画像信号（ＣＨ２）は、タ
イミング回路２５から供給される周波数２ｆの第２クロ
ック信号によって読出され、選択回路２６はその順番に
ＣＨ１、２を統合し、選択回路２６が持つ第１バッファ
にメモリする。同様に上記エネイブル期間中、画像メモ
リ２４ｃに記憶されている画像信号（ＣＨ３）とカメラ
３ｄが撮影し画像メモリ２４ｄに記憶されている画像信
号（ＣＨ４）は、タイミング回路２５から供給される周
波数２ｆの第２クロック信号によって読出され、選択回
路２６はその順番にＣＨ３、４を統合し、選択回路２６
が持つ第２バッファにメモリする。

【００７０】読出しタイミング回路２５は、カメラコン
トローラ２２から供給されるカメラ３ａ〜３ｄが撮影に
使用した第１クロック信号の周波数ｆを４倍した、周波
数４ｆの第３クロック信号を作成し、選択回路２６に供
給する。

【００７１】選択回路２６は上記第１バッファにメモリ
されているCH1、2統合信号、及び第2バッファにメモリ
されているCH3、4統合信号を、該周波数４ｆの第３クロ
ック信号で読み出し統合する。即ち画像信号を画像メモ
リ２４ａ、画像メモリ２４ｂ、画像メモリ２４ｃ、画像
メモリ２４ｄの順（ＣＨ１、ＣＨ２、ＣＨ３、ＣＨ４の
順）に読出して統合（１元化）し、同期回路５に供給す
る。同期回路５に入力される段階で既に４台のカメラ信
号が１行のシリアルデータに統合されている。従って信
号処理回路は１個（２１ａ）のみであり、また疵個数２
次元化回路１３、疵有無マップ２次元化合成回路１４、
濃淡画像２次元化合成回路の入力は１個のみであり、こ
れらの回路は各々の入力信号をｙ方向に積算するのみで
ｘｙ方向１画面分の２次元画像を合成する。上記説明以
外の信号処理は、第１実施例と同様であるので説明は省
略する。

【００７２】４台のＣＣＤカメラ３ａ、３ｂ、３ｃ、３
ｄにより検査対象鋼板１をｘ方向（幅方向）に４分割し
て同一時期に撮影して画像メモリ２４ａ〜２４ｄに記憶
し、これを撮影時の４倍遠のクロック信号で読出し統合
（１元化）することにより、恰も一台のカメラで検査対
象鋼板１の全幅を撮影した如く信号処理を行なうので、
伝送コスト及び信号処理コストを削減出来る。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、オ
ンラインの質劣化が少ない疵情報を提供し、検出信号処
理の簡素化及び疵検出装置の低コスト化を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の構成を示すブロック図で
ある。

【図２】図２（ａ）は図１に示す１台の１次元カメラが
走査する２本の走査線上の画素及びエリアを示す平面図
であり、図２（ｂ）は４台の１次元カメラが撮影する画
面の一例を示す平面図であり、図２（ｃ）は図２（ｂ）
の信号を処理し圧縮した状態を示す平面図である。

【図３】図１に示すフィルタ６ａ〜６ｃ及び弁別回路７
ａ〜７ｃの構成を示すブロック図である。

【図４】疵特徴検出回路１９の処理手順を示すブロック
図である。

【図５】疵特徴検出のための判定ツールの一例を示し、
図５（ａ）はツリー状ルールを示すブロック図であり、
図５（ｂ）はテーブル状ルールを示す図であり、図５
（ｃ）はニューラルネットワークを示すブロック図であ
る。

【図６】ツリー状ルールを使用した疵種・有害度判定の
一例を示すブロック図である。

【図７】図１に示す４台の１次元カメラの撮影画像を１
画面に画像合成処理を行なう部分の回路構成を示すブロ
ック図である。

【図８】本発明の第２実施例の構成を示すブロック図で
ある。

【図９】図８に示す４台の１次元カメラの撮影画像を１
画面に画像合成処理を行なう際のタイミングチャートで
ある。

【符号の説明】

１：検査対象鋼板 ２：照明装置 ３ａ〜３ｄ： １次元ＣＣＤカメラ ３ａ１〜３ｄ１：カメラ信号処理回路 ４ａ〜４ｄ：シェーディング補正回路（含Ａ／Ｄ変換
器） ５：同期回路 ６ａ、６ｂ、６ｃ：フィルタ回路 ７ ａ、７ｂ、７ｃ：弁別回路 ７ｄ：疵個数計数回路 ８：エリア内濃度情報演算回路 ９：エリア内疵パターン化回路 １０：エリア内疵個数演算回路 １１：エリア内疵有無判定回路 １２ａ：エリア極性検出回路 １２ｂ：エリアデータ選択回路 １３：疵個数２次元化合成回路 １４：疵有無マップ２次元化合成回路 １５：濃淡画像２次元化合成回路 １６：画像フィルタ １７：弁別回路 １８：合成回路 １９：疵特徴検出回路 ２０：疵種、有害度判定回路 ２１a〜２１ｄ：信号処理回路（６〜１２を纏めたも
の） ２２：カメラコントローラ ２３：移動距離検出器 ２４ａ〜２５ｄ：メモリ ２６：選択回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内藤 修治 富津市新富20−１ 新日本製鐵株式会社技 術開発本部内 (72)発明者 小林 尊道 富津市新富20−１ 新日本製鐵株式会社技 術開発本部内 (72)発明者 長谷川 昇 富津市新富20−１ 新日本製鐵株式会社技 術開発本部内 Ｆターム(参考） 2F065 AA49 AA61 BB13 BB15 CC06 FF04 FF16 FF61 GG16 JJ02 JJ05 JJ25 MM03 QQ03 QQ05 QQ06 QQ13 QQ21 QQ32 QQ33 QQ36 QQ42 RR00 RR05 2G051 AA37 AB07 CA04 CA07 CB01 EA09 EA11 EA12 EA14 EA16 EA19 EA20 EB01 EC03 5B057 AA01 BA02 CA08 CA11 CA16 CB08 CB12 CB16 CE02 CE05 CE06 CE10 CE11 DA03 DA12 DB02 DB09 DC14 DC22

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象材表面の反射光の輝度を電気信
   号に変換し、検査対象材の幅方向ｘ対応でシリアルに発
   生する光強度検出手段と、 前記電気信号をデジタルデータすなわち画像データに変
   換するアナログ／デジタル変換手段と、 前記画像データに、デジタル変換の画素単位の輝度差を
   強調する処理、および、輝度差をならす平滑化処理を施
   すフィルタ手段と、 前記輝度差を強調する処理を施した画像データの輝度レ
   ベルが所定範囲内か否を表わす第１の一次疵判定デー
   タ、および、前記平滑化処理を施した画像データの輝度
   レベルが所定範囲内か否を表わす第２の一次疵判定デー
   タを生成する一次処理手段と、 前記幅方向ｘおよびそれに直交するｙ方向に共に複数画
   素分のエリアの、前記第１および第２の一次疵判定デー
   タの「否」の論理和を生成する一次合成手段と、 前記エリアの「否」の個数を計数する一次判定疵計数手
   段と、 前記エリア内の画像データのピーク値の極性を検出する
   極性検出手段と、 前記一次判定疵計数手段が計数した個数および前記極性
   検出手段が検出した極性に基づいて前記エリアを疵有エ
   リアとするか疵無エリアとするか決定しこれを表わす信
   号を発生するエリア疵一次情報生成手段とを備えること
   を特徴とする表面疵検出装置。
2. 【請求項２】 前記一次判定疵計数手段が計数した個数
   および前記極性検出手段が検出した極性に基づいて前記
   エリアの画像データの最大値、最小値又は平均値を選択
   するエリアデータ選択手段と、 エリアデータ選択手段が選択したデータが所定範囲内か
   否を表わすエリア疵二次情報を生成する二次処理手段
   と、 前記エリア疵情報生成手段が発生したエリア疵一次情報
   と前記二次処理手段が生成したエリア疵二次情報の論理
   和をエリア疵信号として出力するエリア疵信号出力手段
   とを更に備えることを特徴とする請求項１記載の表面疵
   検出装置。
3. 【請求項３】 前記光強度検出手段は、それぞれが検査
   対象材表面の幅方向ｘの異った領域の反射光の輝度を電
   気信号に変換する複数組ｎであり、 前記アナログ／デジタル変換手段、フィルタ手段、一次
   処理手段、一次合成手段、一次判定疵計数手段、極性検
   出手段、エリア疵一次情報生成手段、および、エリアデ
   ータ選択手段は、それぞれが各光強度検出手段宛てに複
   数組ｎであり、 前記二次処理手段は、各組のエリアデータ選択手段が選
   択したデータを、前記検査対象材表面の幅方向ｘの異っ
   た領域の分布に対応した連なりに合成する第１の二次合
   成手段を含み、合成されたデータが所定範囲内か否を表
   わすエリア疵二次情報を生成し、 前記エリア疵信号出力手段は、前記エリア疵情報生成手
   段が発生したエリア疵一次情報を、前記検査対象材表面
   の幅方向ｘの異った領域の分布に対応した連なりに合成
   する第２の二次合成手段を含み、合成したエリア疵一次
   情報と前記エリア疵二次情報の論理和をエリア疵信号と
   して出力することを特徴とする請求項２記載の表面疵検
   出装置。
4. 【請求項４】 検査対象材表面を、幅ｘ方向にｎ個に分
   割して撮影し電気信号に変換するｎ個の撮影手段と、該
   撮影手段に第１同期信号を供給する第１同期手段と、前
   記撮影手段からの電気信号を記憶するｎ個の記憶手段
   と、前記第１同期手段のｎ倍の周波数の第２同期信号を
   発生する第２同期手段と、前記ｎ個の記憶手段の記憶信
   号を選択する選択手段と、選択した記憶信号から疵候補
   を抽出する複数のフィルタ手段と、選択した記憶信号か
   ら濃度情報を演算する濃度情報演算手段とを備える表面
   疵検出装置であって、 前記選択手段は、第２同期信号により前記ｎ個の記憶手
   段の記憶信号を順次読出すことにより、前記ｎ個の撮影
   手段が分割して得た電気信号をｘ方向に一元化し、一元
   化後の電気信号に基づき疵検出を行なうことを特徴とす
   る表面疵検出装置。
5. 【請求項５】 前記複数のフィルタ手段が抽出した、大
   きさの異なる疵に対応した疵候補情報を、前記濃度情報
   と組合わせることにより、検出情報の質を低下させるこ
   となく情報量を低減した疵検出画像を形成することを特
   徴とする、請求項４記載の表面疵検出装置。
6. 【請求項６】 前記複数のフィルタ手段が抽出した複数
   の疵候補情報の組み合わせから、検査対象材表面上の
   ｘ、ｙ２次元分布に対応する所定小領域内画像の疵の有
   無判定を行なうことを特徴とする、請求項４または請求
   項５記載の表面疵検出装置。