JP2984388B2 - 表面検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子写真方式の複写
機，プリンタ等に利用される感光体ドラムの感光層の表
面検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子写真方式の複写機，プリンタ等に利
用される感光体ドラムには、円筒状の外周面に感光層が
被覆されている。その表面にゴミ，キズ等の欠陥がある
と画像品質の低下をきたすため、予め感光体ドラムの表
面の欠陥検査が行われている。現在、感光体ドラムの表
面の検査行程はほとんど目視検査により行われている。
その一例として、特開昭６２−５２４０８号公報に開示
された「複写機用感光ドラムの検査方法および装置」が
ある。これは、オプティカルフラットに光を照射して、
オプティカルフラットに生ずる干渉縞を目視することに
より感光ドラムの良否を判断するものである。

【０００３】このような目視による検査行程を自動化へ
と移行するために、感光体ドラム等の被検査体の表面を
照明し、その表面反射光強度を１次元センサアレイやテ
レビカメラ等により検出し画像処理を行う方法が提案さ
れている。この画像処理による欠陥検出方法の第一の従
来例として、特開昭６１−７４０６号公報に開示された
「物体形状の欠陥検出方法」がある。これは、テレビカ
メラにより被検査物体を撮像し、撮像して得られた被検
査物体の物体形状の画像データと予め記憶された基準物
体の物体形状の画像データとを所定数画素単位で平均化
し、その平均値を比較することにより、短時間のうちに
被検査物体の欠陥の有無を検出する方法である。

【０００４】また、第二の従来例として、特開昭６１−
２４３３４７号公報に開示された「表面検査装置」があ
る。これは、主として半導体焼付装置のレチクル面上
に、ポリゴンミラーを介してレーザ光を光走査し、レチ
クル面上からの反射光を光電検出素子により検出し、そ
の検出信号の波形からレチクル面上に存在するゴミ等の
異物の状態を検知するものである。

【０００５】そして、第三の従来例として、特開昭６３
−４２４５３号公報に開示された「表面欠陥検査システ
ム」がある。これは、反射光分布検査装置と暗視野画像
検査装置との組合せにより、磁気ディスク，サブストレ
ート等の被検査体の表面の欠陥の種類の判別と超微細欠
陥の検出とを自動的に行うものである。

【０００６】しかし、最近では、電子写真方式の複写
機，プリンタ等の発展に伴い有機光導電体を用いた電子
写真方式の感光体の開発が盛んである。このうち機能の
異なる二層、すなわち、電荷を発生する電荷発生層と電
荷を輸送する電荷輸送層とを積層して感光体を形成する
ものの開発が主流となっている。このような有機光導電
体を用いたＯＰＣドラム等の被検査体に発生する欠陥
は、表面キズやゴミ付着等の微小な欠陥だけでなく、塗
工ムラ等の広い領域にわたる欠陥も多く発生する。これ
らの欠陥に対して、これまでの目視検査による良品と不
良品との判断基準は、微小な欠陥については欠陥面積を
主とし、広い範囲にわたる欠陥については表面反射光強
度の変化の度合いを主としている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、欠陥の
種類によって検査に必要となる画像情報が異なり、複数
種の欠陥を画像処理で評価するためには、高分解能かつ
高階調の画像情報が必要となる。従って、大容量の画像
メモリを必要とし、また、処理時間が長くなるという問
題がある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、照明手段により被検査体の表面を照明し、照明され
た前記被検査体の表面を撮像手段により撮像し、この撮
像手段により撮像して得られた画像を輝度変化の大小に
より複数の領域に分割し、これらの分割した領域毎に異
なった手法により欠陥検出を行うようにした。

【０００９】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、輝度変化の大小により分割した複数の領
域の中で、輝度変化の大きい領域を高分解能とし輝度変
化の小さい領域を低分解能として欠陥検出を行うように
した。

【００１０】請求項３記載の発明では、請求項２記載の
発明において、輝度変化の大小により分割した複数の領
域の中で、輝度変化の大きい領域を低階調とし輝度変化
の小さい領域を高階調として欠陥検出を行うようにし
た。

【００１１】請求項４記載の発明では、照明手段により
被検査体の表面を照明し、照明された被検査体の表面を
撮像手段により撮像し、この撮像手段により撮像して得
られた画像を空間周波数特性により複数の領域に分割
し、これらの分割した領域毎に異なった手法により欠陥
検出を行うようにした。

【００１２】請求項５記載の発明では、請求項４記載の
発明において、空間周波数特性により分割した複数の領
域の中で、高周波成分の多い画像領域を高分解能とし低
周波成分の多い画像領域を低分解能として欠陥検出を行
うようにした。

【００１３】請求項６記載の発明では、請求項５記載の
発明において、空間周波数特性により分割した複数の領
域の中で、高周波成分の多い画像領域を低階調とし低周
波成分の多い画像領域を高階調として欠陥検出を行うよ
うにした。

【００１４】

【作用】請求項１記載の発明においては、被検査体の表
面を撮像して得られた画像が輝度変化の大きな領域と小
さな領域とに分割されるため、各々の領域に存在する欠
陥に合わせて各々の領域毎に欠陥検出が行われ、従っ
て、効率良く欠陥検出を行うことが可能となる。

【００１５】請求項２記載の発明においては、輝度変化
の大きい領域が高分解能とされ、輝度変化の小さい領域
が低分解能とされ、従って、全画像領域を高分解能とす
ることに対して欠陥検出に必要な情報を減らすことなく
画像メモリの容量を少なくすることが可能となり、ま
た、効率良く欠陥検出を行うことが可能となる。

【００１６】請求項３記載の発明においては、輝度変化
の大きい領域が低階調とされ、輝度変化が小さい領域が
高階調とされ、従って、全画像領域を高階調にすること
に対して欠陥検出に必要な情報を減らすことなく画像メ
モリの容量を少なくすることが可能となり、また、効率
良く欠陥検出を行うことが可能となる。

【００１７】請求項４記載の発明においては、被検査体
の表面を撮像して得られた画像が空間周波数特性から高
周波成分の多い領域と低周波成分の多い領域とに分割さ
れるため、各々の領域に存在する欠陥に合わせて各々の
領域毎に欠陥検出が行われ、従って、効率良く欠陥検出
を行うことが可能となる。

【００１８】請求項５記載の発明においては、高周波成
分の多い画像領域が高分解能とされ、低周波成分の多い
画像領域が低分解能とされ、従って、全画像領域を高分
解能とすることに対して欠陥検出に必要な情報を減らす
ことなく画像メモリの容量を少なくすることが可能とな
り、また、効率良く欠陥検出を行うことが可能となる。

【００１９】請求項６記載の発明においては、高周波成
分の多い画像領域が低階調とされ、低周波成分の多い画
像領域が高階調とされ、従って、全画像領域を高階調と
することに対して欠陥検出に必要な情報を減らすことな
く画像メモリの容量を少なくすることが可能となり、ま
た、効率良く欠陥検出を行うことが可能となる。

【００２０】

【実施例】本発明の第一の実施例を図１ないし図５に基
づいて説明する。まず、表面検査システムの全体構成の
概要を図２に示す。駆動軸１に連結された駆動モータ２
が設けられている。この駆動モータ２の近傍に、中心部
に軸３を備えこの軸３を中心に回転自在な円筒形状の感
光体ドラム（ＯＰＣドラム等の被検査体）４が配設され
ている。この感光体ドラム４の外周面には感光層が被覆
されている。また、前記駆動軸１と前記感光体ドラム４
の前記軸３とに、駆動ベルト５が巻回されている。そし
て、前記感光体ドラム４の感光層表面の近傍に対向配置
された照明（蛍光灯等の照明手段）６が配設されてい
る。また、前記感光体ドラム４の感光層表面からの反射
光の光路上に撮像光学系（ルーフミラーレンズアレイ，
セルフォックレンズ等）７と１次元センサアレイ（ＣＣ
Ｄセンサ等の撮像手段）８とが順次配設されている。こ
の１次元センサアレイ８の出力側に輝度変化検出装置９
が接続されている。この輝度変化検出装置９の出力側に
Ａ／Ｄコンバータ１０が接続されている。このＡ／Ｄコ
ンバータ１０の出力側にフレームメモリ１１が接続され
ている。このフレームメモリ１１の出力側に画像処理装
置１２が接続されている。

【００２１】このような構成において、まず、照明６に
より感光体ドラム４の感光層表面が照射され、駆動モー
タ２により感光体ドラム４が回転駆動される。この感光
体ドラム４の感光層表面からの反射光は撮像光学系７を
通して１次元センサアレイ８に入射され、１次元センサ
アレイ８により感光体ドラム４の感光層表面の画像が高
分解能かつ高階調で読み取られる。読み取られた画像情
報は画像信号となって輝度変化検出装置９に入力され、
輝度変化検出装置９により画像信号の輝度変化の大小が
検出される。その輝度変化の大小によりＡ／Ｄコンバー
タ１０が制御され、入力画像信号が高分解能かつ高階調
として、又は、低分解能かつ高階調としてデジタルの画
像信号に変換される。また、必要に応じて輝度変化の大
小により入力画像信号が高分解能かつ低階調として、又
は、低分解能かつ高階調としてデジタルの画像信号に変
換される。Ａ／Ｄコンバータ１０によりデジタル化され
た画像信号は、フレームメモリ１１に順次記憶される。
これにより、フレームメモリ１１には、高分解能かつ低
階調の領域の画像情報と、低分解能かつ高階調の領域の
画像情報とに分割された状態で記憶される。そして、画
像処理装置１２では、フレームメモリ１１に記憶された
高分解能かつ低階調の領域の画像情報と、低分解能かつ
高階調の領域の画像情報との各々に対応した欠陥抽出が
行なわれる。

【００２２】次に、輝度変化検出装置９の動作例を図１
のフローチャートに基づいて述べる。１次元センサアレ
イ８の出力である高分解能かつ高階調の画像信号が入力
され、その入力画像信号の輝度変化が解析されて、図３
及び図４に示すような信号波形が得られる。図３（ａ）
は、感光体ドラム４の感光層表面キズやゴミ付着等の微
小な欠陥に対応する信号波形である。この信号波形を１
階微分した結果が図３（ｂ）である。図３（ｂ）におい
て、あるしきい値レベルを設定し、信号レベルがしきい
値レベルを越えた場合、入力画像信号に対応する感光体
ドラム４の感光層表面の輝度変化が大きいものと判断さ
れ、Ａ／Ｄコンバータ１０により高分解能かつ高階調の
Ａ／Ｄ変換が実行される。また、輝度変化が大きい場合
は高階調である必要がないため高分解能かつ低階調のＡ
／Ｄ変換が実行される。一方、図４（ａ）は、塗工ムラ
等の広い領域にわたる欠陥に対応する信号である。この
信号を１階微分した結果が図４（ｂ）である。図４
（ｂ）において、信号レベルがしきい値レベルを越えな
い場合、入力画像信号に対応する感光体ドラム４の感光
層表面の輝度変化が小さいものと判断され、Ａ／Ｄコン
バータ１０により低分解能かつ高階調のＡ／Ｄ変換が実
行される。このように、ＯＰＣドラム等の感光体ドラム
４の感光層表面に発生する欠陥が、輝度変化の大小によ
り微小な欠陥と広い領域にわたる欠陥とに分離される。
そして、微小な欠陥を検出するための画像情報について
は、微小な欠陥面積が正確に評価されるように高分解能
とされ、さらに、輝度変化が大きいため低階調とされ
る。一方、広い領域にわたる欠陥を検出するための画像
情報は、広い領域にわたる欠陥であるため低分解能とさ
れ、さらに、塗工ムラ等の微妙な輝度変化が検出される
ように高階調とされる。従って、輝度変化の大きい高分
解能かつ低階調の領域の画像情報と、輝度変化の小さい
低分解能かつ高階調の領域の画像情報とに分割された状
態でフレームメモリ１１に記憶される。

【００２３】以上は、１次元センサアレイ９による入力
の例であるが、２次元センサアレイによる入力でも同様
の処理は可能である。図５に示すように、入力画像情報
をＡ〜Ｄに４分割し、各々の領域毎に微分演算を行い、
各々の領域毎の輝度変化を検討し、その結果からＡ／Ｄ
コンバータ１０のＡ／Ｄ変換を制御する方法が考えられ
る。すなわち、微小な欠陥に対応する高分解能かつ低階
調の画像領域の場合、ある輝度レベルを設定し、しきい
値処理により２値化し、欠陥面積を算出し、その結果か
ら良、不良の判別をする２値画像処理を行う。一方、広
い領域にわたる欠陥に対応する低分解能かつ高階調の画
像領域の場合、輝度変化は微小ながら広い領域に及ぶ欠
陥であるため標準偏差を算出し、その結果から良、不良
の判別をする多値画像処理を行う。

【００２４】次に、本発明の第二の実施例を図６ないし
図１０に基づいて説明する。なお、第一の実施例（図１
ないし図５参照）と同一部分については同一符号を用
い、その説明を省略する。まず、表面検査システムの全
体構成の概要を図７に示す。感光体ドラム４の感光層表
面からの反射光の光路上に撮像光学系７，１次元センサ
アレイ８が順次配設されている。この１次元センサアレ
イ８の出力側にスペクトラムアナライザ１３が接続され
ている。このスペクトラムアナライザ１３の出力側にＡ
／Ｄコンバータ１０，フレームメモリ１１を介して画像
処理装置１２が接続されている。

【００２５】このような構成において、まず、照明６に
より感光体ドラム４の感光層表面が照射され、駆動モー
タ２により感光体ドラム４が回転駆動される。この感光
体ドラム４の感光層表面からの反射光は撮像光学系７を
通して１次元センサアレイ８に入射され、１次元センサ
アレイ８により感光体ドラム４の感光層表面の画像情報
が読み取られる。読み取られた画像情報は画像信号とな
ってスペクトラムアナライザ１３に入力され、スペクト
ラムアナライザ１３により画像信号の空間周波数特性か
ら周波数成分の高低が検出される。その周波数成分の高
低によりＡ／Ｄコンバータ１０が制御され、入力画像信
号が高分解能かつ高階調として、又は、低分解能かつ高
階調としてデジタルの画像信号に変換される。また、必
要に応じて周波数成分の高低により入力画像信号が高分
解能かつ低階調として、又は、低分解能かつ高階調とし
てデジタルの画像信号に変換される。Ａ／Ｄコンバータ
１０によりデジタル化された画像信号は、フレームメモ
リ１１に順次記憶される。これにより、フレームメモリ
１１には、高分解能かつ低階調の領域の画像情報と、低
分解能かつ高階調の領域の画像情報とに分割された状態
で記憶される。そして、画像処理装置１２では、フレー
ムメモリ１１に記憶された高分解能かつ低階調の領域の
画像情報、又は、低分解能かつ高階調の領域の画像情報
の各々に対応した欠陥抽出が行なわれる。

【００２６】次に、スペクトラムアナライザ１３の動作
例を図６のフローチャートに基づいて述べる。１次元セ
ンサアレイ８の出力である画像信号が入力され、その入
力画像信号の空間周波数特性により周波数成分が解析さ
れて、図８及び図９に示すような、信号波形が得られ
る。図８（ａ）は、微小な欠陥に対応する信号波形であ
る。この信号波形をフーリエ変換した結果が図８（ｂ）
である。図８（ｂ）において、微小な欠陥に対応する信
号波形のフーリエ成分は微小な欠陥のパターンに応じた
高周波成分を含んでいる。このため、あるしきい値周波
数を設定し、入力画像信号の周波数成分がしきい値周波
数以上の場合、入力画像信号に高周波成分が含まれるも
のと判断され、Ａ／Ｄコンバータ１０により高分解能か
つ高階調のＡ／Ｄ変換が実行される。また、高周波成分
を含む画像信号は輝度変化が大きく、この場合は高階調
である必要がないため高分解能かつ低階調のＡ／Ｄ変換
が実行される。一方、図９（ａ）は広い領域にわたる欠
陥に対応する信号波形である。この信号波形をフーリエ
変換したものが図９（ｂ）である。図９（ｂ）におい
て、広い領域にわたる欠陥に対応する信号波形のフーリ
エ成分は直流成分のみである。このため、入力画像信号
の周波数成分がしきい値周波数以下の場合、入力画像信
号に高周波成分が含まれないものと判断され、Ａ／Ｄコ
ンバータ１０により低分解能かつ高階調のＡ／Ｄ変換が
実行される。このように、ＯＰＣドラム等の感光体ドラ
ム４の感光層表面に発生する欠陥が、周波数成分の高低
により高周波成分の微小な欠陥と、低周波成分の広い領
域にわたる欠陥とに分離される。そして、高周波成分の
微小な欠陥を検出するための画像情報については、微小
な欠陥面積が正確に評価されるように高分解能とされ、
さらに、輝度変化が大きいため低階調とされる。一方、
低周波成分の広い領域にわたる欠陥を検出するための画
像情報は、広い領域に及ぶ欠陥であるため低分解能とさ
れ、塗工ムラ等の微妙な輝度変化が検出されるように高
階調とされる。従って、高分解能かつ低階調の領域の画
像情報と、低分解能かつ高階調の領域の画像情報とに分
割された状態でフレームメモリ１１に記憶される。

【００２７】以上は、１次元センサによる入力の例であ
るが、２次元センサによる入力でも同様の処理は可能で
ある。図１０に示すように、入力画像情報をＡ〜Ｄに４
分割し、各々の領域毎にフーリエ変換を行い、各々の領
域毎の周波数成分を解析し、その結果からＡ／Ｄコンバ
ータ１０のＡ／Ｄ変換を制御する方法が考えられる。す
なわち、微小な欠陥に対応する高分解能かつ低階調の画
像領域の場合、ある周波数を設定し、しきい値処理によ
り２値化し、欠陥面積を算出し、その結果から良、不良
の判別をする２値画像処理を行う。一方、広い領域にわ
たる欠陥に対応する低分解能かつ高階調の画像領域の場
合、標準偏差を算出し、その結果から良、不良の判別を
する多値画像処理を行う。

【００２８】上述の第一の実施例又は第二の実施例のよ
うに、高分解能かつ低階調の領域と低分解能かつ高階調
の領域とに分割して行う欠陥判別方法は、全画面高分解
能かつ高階調の画像情報として行う欠陥判別方法に対し
て、欠陥判別機能において同等の効果が得られる。ま
た、第一の実施例又は第二の実施例を実施した場合、必
要とするフレームメモリ１１のメモリ容量を具体的に概
算すると、次のようになる。図５又は図１０において、
全画面高分解能かつ高階調とし、５１２×５１２×８ｂ
ｉｔとすると、メモリ容量は、略２５６ＫＢ必要であ
る。一方、領域Ａを高分解能かつ低階調の画像情報と
し、２５６×２５６×４ｂｉｔ、領域Ｂ，Ｃ，Ｄを低分
解能かつ高階調の画像情報とし、１２８×１２８×８ｂ
ｉｔとすれば、メモリ容量は、３２ＫＢ＋１６ＫＢ×３
＝８０ＫＢが必要となる。このように、必要とするフレ
ームメモリ１１のメモリ容量を２５６ＫＢから８０ＫＢ
へと大幅に減少させることが可能となる。

【００２９】従って、全画面高分解能かつ高階調とした
画像情報を必要とする欠陥判別方法に対して、同等の欠
陥判別機能を有すると共にメモリ容量を大幅に減少させ
ることが可能となり、また、分割された各々の領域毎に
存在する欠陥に対応した画像情報と処理方法とにより効
率良く欠陥検出を行うことが可能となる。

【００３０】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、照明手段により
被検査体の表面を照明し、照明された前記被検査体の表
面を撮像手段により撮像し、この撮像手段により撮像し
て得られた画像を輝度変化の大小により複数の領域に分
割し、これらの分割した領域毎に異なった手法により欠
陥検出を行うようにしたので、被検査体の表面を撮像し
て得られた画像が輝度変化の大きな領域と小さな領域と
に分割されるため、各々の領域に存在する欠陥に合わせ
て各々の領域毎に欠陥検出が行われ、従って、効率良く
欠陥検出を行うことができる効果を有する。

【００３１】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、輝度変化の大小により分割した複数の領域
の中で、輝度変化の大きい領域を高分解能とし輝度変化
の小さい領域を低分解能として欠陥検出を行うようにし
たので、輝度変化の大きい領域が高分解能とされ、輝度
変化の小さい領域が低分解能とされ、従って、全画像領
域を高分解能とすることに対して欠陥検出に必要な情報
を減らすことなく画像メモリの容量を少なくすることが
でき、また、効率良く欠陥検出を行うことができる等の
効果を有する。

【００３２】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明において、輝度変化の大小により分割した複数の領域
の中で、輝度変化の大きい領域を低階調とし輝度変化の
小さい領域を高階調として欠陥検出を行うようにしたの
で、輝度変化の大きい領域が低階調とされ、輝度変化が
小さい領域が高階調とされ、従って、全画像領域を高階
調にすることに対して欠陥検出に必要な情報を減らすこ
となく画像メモリの容量を少なくすることができ、ま
た、効率良く欠陥検出を行うことができる等の効果を有
する。

【００３３】請求項４記載の発明は、照明手段により被
検査体の表面を照明し、照明された被検査体の表面を撮
像手段により撮像し、この撮像手段により撮像して得ら
れた画像を空間周波数特性により複数の領域に分割し、
これらの分割した領域毎に異なった手法により欠陥検出
を行うようにしたので、被検査体の表面を撮像して得ら
れた画像が空間周波数特性から高周波成分の多い領域と
低周波成分の多い領域とに分割されるため、各々の領域
に存在する欠陥に合わせて各々の領域毎に欠陥検出が行
われ、従って、効率良く欠陥検出を行うことができる効
果を有する。

【００３４】請求項５記載の発明は、請求項４記載の発
明において、空間周波数特性により分割した複数の領域
の中で、高周波成分の多い画像領域を高分解能とし低周
波成分の多い画像領域を低分解能として欠陥検出を行う
ようにしたので、高周波成分の多い画像領域が高分解能
とされ、低周波成分の多い画像領域が低分解能とされ、
従って、全画像領域を高分解能とすることに対して欠陥
検出に必要な情報を減らすことなく画像メモリの容量を
少なくすることができ、また、効率良く欠陥検出を行う
ことができる等の効果を有する。

【００３５】請求項６記載の発明は、請求項５記載の発
明において、空間周波数特性により分割した複数の領域
の中で、高周波成分の多い画像領域を低階調とし低周波
成分の多い画像領域を高階調として欠陥検出を行うよう
にしたので、高周波成分の多い画像領域が低階調とさ
れ、低周波成分の多い画像領域が高階調とされ、従っ
て、全画像領域を高階調とすることに対して欠陥検出に
必要な情報を減らすことなく画像メモリの容量を少なく
することができ、また、効率良く欠陥検出を行うことが
できる等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例を示すフローチャートで
ある。

【図２】本発明の第一の実施例の全体構成を示すブロッ
ク図である。

【図３】輝度変化検出装置における微小な欠陥の信号を
示す波形図である。

【図４】輝度変化検出装置における広い領域に及ぶ欠陥
の信号を示す波形図である。

【図５】２次元の撮像手段により撮像した画像の分割処
理状態を示す平面図である。

【図６】本発明の第二の実施例を示すフローチャートで
ある。

【図７】本発明の第二の実施例の全体構成を示すブロッ
ク図である。

【図８】スペクトラムアナライザにおける微小な欠陥の
信号を示す波形図である。

【図９】スペクトラムアナライザにおける広い領域に及
ぶ欠陥の信号を示す波形図である。

【図１０】２次元の撮像手段により撮像した画像の分割
処理状態を示す平面図である。

【符号の説明】

６ 照明手段 ８ 撮像手段

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 照明手段により被検査体の表面を照明
   し、照明された前記被検査体の表面を撮像手段により撮
   像し、この撮像手段により撮像して得られた画像を輝度
   変化の大小により複数の領域に分割し、これらの分割し
   た領域毎に異なった手法により欠陥検出を行うようにし
   たことを特徴とする表面検査方法。
2. 【請求項２】 輝度変化の大小により分割した複数の領
   域の中で、輝度変化の大きい領域を高分解能とし輝度変
   化の小さい領域を低分解能として欠陥検出を行うように
   したことを特徴とする請求項１記載の表面検査方法。
3. 【請求項３】 輝度変化の大小により分割した複数の領
   域の中で、輝度変化の大きい領域を低階調とし輝度変化
   の小さい領域を高階調として欠陥検出を行うようにした
   ことを特徴とする請求項２記載の表面検査方法。
4. 【請求項４】 照明手段により被検査体の表面を照明
   し、照明された被検査体の表面を撮像手段により撮像
   し、この撮像手段により撮像して得られた画像を空間周
   波数特性により複数の領域に分割し、これらの分割した
   領域毎に異なった手法により欠陥検出を行うようにした
   ことを特徴とする表面検査方法。
5. 【請求項５】 空間周波数特性により分割した複数の領
   域の中で、高周波成分の多い画像領域を高分解能とし低
   周波成分の多い画像領域を低分解能として欠陥検出を行
   うようにしたことを特徴とする請求項４記載の表面検査
   方法。
6. 【請求項６】 空間周波数特性により分割した複数の領
   域の中で、高周波成分の多い画像領域を低階調とし低周
   波成分の多い画像領域を高階調として欠陥検出を行うよ
   うにしたことを特徴とする請求項５記載の表面検査方
   法。