JP4724822B2 - 一体型構造体、測定装置、方法およびプログラム - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第一の実施形態にかかる格子(空隙配置構造体)1の斜視図である。格子(空隙配置構造体)1は、導体板10を有する。導体板10は、例えば金属板である。導体板10の厚みの方向は、Z方向である。導体板10には、空隙部(開口)12が開けられている。空隙部12はZ方向に導体板10を貫通する。空隙部12は、XY平面において開口する。空隙部12は、縦方向(Y方向)および横方向(X方向)に配列されている。すなわち、格子1は、二次元格子である。
= I0exp-αxのように表せる。
第二の実施形態は、格子(周波数特性調整部材)6を、格子1および充填格子2に平行に配置して使用する(または充填格子4に平行に配置して使用する)点が第一の実施形態と異なる。
第三の実施形態は、充填格子(一体型構造体)8が、基部11を有し、導体14が基部11に印刷されている点が第一の実施形態と異なる。
第四の実施形態にかかる測定装置は、充填格子4にテラヘルツ波を照射し、二次元走査を行う点で第一の実施形態と異なる。
10 導体板
11 基部
12 空隙部(開口)
14 導体
2 充填格子(一体型構造体)
20 被測定物
4 充填格子(一体型構造体)
4a 非配置部分
4b 配置部分
6 格子(周波数特性調整部材)
8 充填格子(一体型構造体)
32 放射制御部
34 電磁波照射部(第一電磁波照射手段および第二電磁波照射手段)
36 電磁波検出部(第一電磁波検出手段および第二電磁波検出手段)
40 特性測定部
42 透過率測定部
44 透過率記録部
46 屈折率導出部
Claims (13)
- 一体型構造体に第一電磁波を照射する第一電磁波照射手段と、
照射された前記第一電磁波に対する前記一体型構造体による応答である第一応答電磁波を検出する第一電磁波検出手段と、
前記空隙部に前記被測定物が配置されていない前記空隙配置構造体に第二電磁波を照射する第二電磁波照射手段と、
照射された前記第二電磁波に対する前記空隙配置構造体による応答である第二応答電磁波を検出する第二電磁波検出手段と、
前記第一電磁波検出手段の検出結果および前記第二電磁波検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の特性を測定する特性測定手段と、
を備えた測定装置であって、
前記第一電磁波および前記第二電磁波の周波数がミリ波帯〜テラヘルツ帯であり、
前記一体型構造体は、
電磁波を照射することにより特性が測定される被測定物と、
所定の平面において導体で囲まれた空隙部が配置された空隙配置構造体と、
を備え、
前記空隙配置構造体は、前記導体が配置される基部を有する、
測定装置。 - 一体型構造体における配置部分に第一電磁波を照射する第一電磁波照射手段と、
照射された前記第一電磁波に対する前記配置部分による応答である第一応答電磁波を検出する第一電磁波検出手段と、
前記非配置部分に第二電磁波を照射する第二電磁波照射手段と、
照射された前記第二電磁波に対する前記非配置部分による応答である第二応答電磁波を検出する第二電磁波検出手段と、
前記第一電磁波検出手段の検出結果および前記第二電磁波検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の特性を測定する特性測定手段と、
を備えた測定装置であって、
前記第一電磁波および前記第二電磁波の周波数がミリ波帯〜テラヘルツ帯であり、
前記一体型構造体は、
電磁波を照射することにより特性が測定される被測定物と、
所定の平面において導体で囲まれた空隙部が配置された空隙配置構造体と、
前記空隙部に前記被測定物が配置されている配置部分と、
前記空隙部に前記被測定物が配置されていない非配置部分と、
を備え、
前記空隙配置構造体は、前記導体が配置される基部を有する、
測定装置。 - 一体型構造体における各々の種類の前記被測定物に電磁波を照射する電磁波照射手段と、
照射された前記電磁波に対する前記一体型構造体による応答である応答電磁波を検出する電磁波検出手段と、
前記電磁波検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の特性を測定する特性測定手段と、
を備えた測定装置であって、
前記電磁波の周波数がミリ波帯〜テラヘルツ帯であり、
前記一体型構造体は、
電磁波を照射することにより特性が測定される被測定物と、
所定の平面において導体で囲まれた空隙部が配置された空隙配置構造体と、
を備え、
前記空隙配置構造体は、前記導体が配置される基部を有し、
前記空隙部に配置された前記被測定物が二種類以上ある、
測定装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の測定装置であって、
前記特性測定手段が、
前記第一電磁波検出手段の検出結果および前記第二電磁波検出手段の検出結果に基づき、電磁波の透過率を測定する透過率測定手段と、
測定された前記透過率に基づき、前記被測定物の屈折率を導出する屈折率導出手段と、
を有する測定装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の測定装置であって、
前記一体型構造体において、前記被測定物が前記空隙部の内部に配置されている、
測定装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の測定装置であって、
前記一体型構造体は、前記被測定物が配置されている配置部材を備え、
前記配置部材は前記空隙配置構造体の表面に配置されている、
測定装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の測定装置であって、
前記一体型構造体において、前記基部に前記導体が印刷される、
測定装置。 - 一体型構造体に第一電磁波を照射する第一電磁波照射工程と、
照射された前記第一電磁波に対する前記一体型構造体による応答である第一応答電磁波を検出する第一電磁波検出工程と、
前記空隙部に前記被測定物が配置されていない前記空隙配置構造体に第二電磁波を照射する第二電磁波照射工程と、
照射された前記第二電磁波に対する前記空隙配置構造体による応答である第二応答電磁波を検出する第二電磁波検出工程と、
前記第一電磁波検出工程の検出結果および前記第二電磁波検出工程の検出結果に基づき、前記被測定物の特性を測定する特性測定工程と、
を備えた測定方法であって、
前記第一電磁波および前記第二電磁波の周波数がミリ波帯〜テラヘルツ帯であり、
前記一体型構造体は、
電磁波を照射することにより特性が測定される被測定物と、
所定の平面において導体で囲まれた空隙部が配置された空隙配置構造体と、
を備え、
前記空隙配置構造体は、前記導体が配置される基部を有する、
測定方法。 - 一体型構造体における前記空隙部に前記被測定物が配置されている配置部分に第一電磁波を照射する第一電磁波照射工程と、
照射された前記第一電磁波に対する前記配置部分による応答である第一応答電磁波を検出する第一電磁波検出工程と、
前記一体型構造体における前記空隙部に前記被測定物が配置されていない非配置部分に第二電磁波を照射する第二電磁波照射工程と、
照射された前記第二電磁波に対する前記非配置部分による応答である第二応答電磁波を検出する第二電磁波検出工程と、
前記第一電磁波検出工程の検出結果および前記第二電磁波検出工程の検出結果に基づき、前記被測定物の特性を測定する特性測定工程と、
を備えた測定方法であって、
前記第一電磁波および前記第二電磁波の周波数がミリ波帯〜テラヘルツ帯であり、
前記一体型構造体は、
電磁波を照射することにより特性が測定される被測定物と、
所定の平面において導体で囲まれた空隙部が配置された空隙配置構造体と、
を備え、
前記空隙配置構造体は、前記導体が配置される基部を有する、
測定方法。 - 一体型構造体であって、前記空隙部に配置された前記被測定物が二種類以上ある一体型構造体における各々の種類の前記被測定物に電磁波を照射する電磁波照射工程と、
照射された前記電磁波に対する前記一体型構造体による応答である応答電磁波を検出する電磁波検出工程と、
前記電磁波検出工程の検出結果に基づき、前記被測定物の特性を測定する特性測定工程と、
を備えた測定方法であって、
前記電磁波の周波数がミリ波帯〜テラヘルツ帯であり、
前記一体型構造体は、
電磁波を照射することにより特性が測定される被測定物と、
所定の平面において導体で囲まれた空隙部が配置された空隙配置構造体と、
を備え、
前記空隙配置構造体は、前記導体が配置される基部を有する、
測定方法。 - 一体型構造体に第一電磁波を照射する第一電磁波照射手段と、
照射された前記第一電磁波に対する前記一体型構造体による応答である第一応答電磁波を検出する第一電磁波検出手段と、
前記空隙部に前記被測定物が配置されていない前記空隙配置構造体に第二電磁波を照射する第二電磁波照射手段と、
照射された前記第二電磁波に対する前記空隙配置構造体による応答である第二応答電磁波を検出する第二電磁波検出手段と、
を備えた測定装置における測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記第一電磁波検出手段の検出結果および前記第二電磁波検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の特性を測定する特性測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
前記第一電磁波および前記第二電磁波の周波数がミリ波帯〜テラヘルツ帯であり、
前記一体型構造体は、
電磁波を照射することにより特性が測定される被測定物と、
所定の平面において導体で囲まれた空隙部が配置された空隙配置構造体と、
を備え、
前記空隙配置構造体は、前記導体が配置される基部を有する、
プログラム。 - 一体型構造体における前記空隙部に前記被測定物が配置されている配置部分に第一電磁波を照射する第一電磁波照射手段と、
照射された前記第一電磁波に対する前記配置部分による応答である第一応答電磁波を検出する第一電磁波検出手段と、
前記一体型構造体における前記空隙部に前記被測定物が配置されていない非配置部分に第二電磁波を照射する第二電磁波照射手段と、
照射された前記第二電磁波に対する前記非配置部分による応答である第二応答電磁波を検出する第二電磁波検出手段と、
を備えた測定装置における測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記第一電磁波検出手段の検出結果および前記第二電磁波検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の特性を測定する特性測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
前記第一電磁波および前記第二電磁波の周波数がミリ波帯〜テラヘルツ帯であり、
前記一体型構造体は、
電磁波を照射することにより特性が測定される被測定物と、
所定の平面において導体で囲まれた空隙部が配置された空隙配置構造体と、
を備え、
前記空隙配置構造体は、前記導体が配置される基部を有する、
プログラム。 - 一体型構造体であって、前記空隙部に配置された前記被測定物が二種類以上ある一体型構造体における各々の種類の前記被測定物に電磁波を照射する電磁波照射手段と、
照射された前記電磁波に対する前記一体型構造体による応答である応答電磁波を検出する電磁波検出手段と、
を備えた測定装置における測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記電磁波検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の特性を測定する特性測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
前記電磁波の周波数がミリ波帯〜テラヘルツ帯であり、
前記一体型構造体は、
電磁波を照射することにより特性が測定される被測定物と、
所定の平面において導体で囲まれた空隙部が配置された空隙配置構造体と、
を備え、
前記空隙配置構造体は、前記導体が配置される基部を有する、
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63171342A (ja) * | 1987-09-02 | 1988-07-15 | Japan Spectroscopic Co | 赤外スペクトル測定用試料保持具 |
JPH07167779A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-07-04 | Boehringer Mannheim Gmbh | サンプル液の定量分析方法 |
JPH10142142A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | S T Japan:Kk | 試料ホルダ |
JP2002277393A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Tochigi Nikon Corp | 測定方法及び装置、並びに、イメージ化方法及び装置 |
JP2003121355A (ja) * | 2001-10-10 | 2003-04-23 | Tochigi Nikon Corp | 試料情報取得方法及びテラヘルツ光装置 |
JP2003270132A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-09-25 | Canon Inc | 化学センサ装置・媒体およびそれを用いた検査方法 |
JP2004108905A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Inst Of Physical & Chemical Res | テラヘルツ波を用いた差分イメージング方法及び装置 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63171342A (ja) * | 1987-09-02 | 1988-07-15 | Japan Spectroscopic Co | 赤外スペクトル測定用試料保持具 |
JPH07167779A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-07-04 | Boehringer Mannheim Gmbh | サンプル液の定量分析方法 |
JPH10142142A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | S T Japan:Kk | 試料ホルダ |
JP2002277393A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Tochigi Nikon Corp | 測定方法及び装置、並びに、イメージ化方法及び装置 |
JP2003121355A (ja) * | 2001-10-10 | 2003-04-23 | Tochigi Nikon Corp | 試料情報取得方法及びテラヘルツ光装置 |
JP2003270132A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-09-25 | Canon Inc | 化学センサ装置・媒体およびそれを用いた検査方法 |
JP2004108905A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Inst Of Physical & Chemical Res | テラヘルツ波を用いた差分イメージング方法及び装置 |
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