JP4723848B2 - 点火装置、電気的アーク蒸発器および工作物の加工方法 - Google Patents
点火装置、電気的アーク蒸発器および工作物の加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4723848B2 JP4723848B2 JP2004333491A JP2004333491A JP4723848B2 JP 4723848 B2 JP4723848 B2 JP 4723848B2 JP 2004333491 A JP2004333491 A JP 2004333491A JP 2004333491 A JP2004333491 A JP 2004333491A JP 4723848 B2 JP4723848 B2 JP 4723848B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ignition
- ignition device
- tip
- target
- finger
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32055—Arc discharge
- H01J37/32064—Circuits specially adapted for controlling the arc discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32055—Arc discharge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
さは何ら確認されなかった。
装置1は、複数の部品からなる点火用指状部1′と、これが固定される差込アーム15と、差込アーム15を受け、陽極に対し絶縁して固定された差込結合部16と、差込結合部16が接続されるリード線17とから構成されている。こうすることで、ターゲットの交換などの際に点火用指状部1′をアーク源から容易に外すことができる。
2雰囲気中および5x10-2mbarの圧力下で多数回点火した結果、問題は生じなかった。
Claims (18)
- 電気的アーク蒸発器用の点火装置であって、ターゲット表面(20)を有するターゲット(9)と、対向電極(6)と、前記ターゲット(9)および前記対向電極(6)間のアーク放電を維持するためのアーク供給部(4)とを備え、前記点火装置(1)が、前記ターゲット(9)に対して異なる点火電位に切換え可能であり先端(10)を有する点火用指状部(1′)と、前記先端(10)に対して電圧を印加するか否かを切り替えるための開閉器(2)とを含んでいる、点火装置であって、
前記点火用指状部(1′)が、前記先端(10)を前記ターゲット表面(20)に常に接触させるように構成される、点火装置。 - 前記点火用指状部(1′)の少なくとも前記先端(10)が、前記ターゲットの材料よりも明らかに高い融点を有する、請求項1に記載の点火装置。
- 前記点火用指状部の前記先端(10)が不反応性の金属である、請求項1または2に記載の点火装置。
- 前記不反応性の金属が、元素Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Ptまたは前記元素の合金または化合物のうち少なくとも1を含む、請求項3に記載の点火装置。
- 前記点火用指状部(1′)の少なくとも前記先端(10)が高炭素含有の材料からなる、請求項1に記載の点火装置。
- 前記点火用指状部(1′)の前記先端(10)が、高炭素含有の材料でラミネートされている、請求項5に記載の点火装置。
- 前記高炭素含有の材料が、10〜40Ωxμmの比電気抵抗を有する、請求項5または6に記載の点火装置。
- 前記開閉器(2)が点火期間tignの間だけ前記先端(10)を点火電位と接続可能にする、請求項1に記載の点火装置。
- 前記開閉器(2)が点火期間tign=0.05〜1秒の間だけ切換え可能である、請求項8に記載の点火装置。
- 前記点火電位が、ゼロ電位、前記アーク供給部(4)の正の出力信号、または点火発生器(3)により生じた信号である、請求項1から9のいずれかに記載の点火装置。
- 前記点火電位が、陰極に対し+20〜+250Vに調整可能である、請求項10に記載の点火装置。
- 前記先端(10)を少なくとも点火プロセスの間実質的に一定の力でもって前記ターゲット表面(20)に対して押付けるための付勢装置が前記点火用指状部(1′)に取付けられている、請求項1から11のいずれかに記載の点火装置。
- 前記付勢装置がばね(12)である、請求項12に記載の点火装置。
- 前記ばね(12)がCrNiばね鋼合金からなる、請求項13に記載の点火装置。
- 前記ばね(12)が0.2〜3N/mmのばね係数を有する、請求項13または14に記載の点火装置。
- 請求項1から15のいずれかに記載の点火装置(1)と、前記開閉器(2)に接続された点火発生器(3)と、前記ターゲット(9)および前記対向電極(6)を収容する真空室(7)とを備える、電気的アーク蒸発器。
- 請求項16に記載の電気的アーク蒸発器により工作物を加工する方法。
- 前記工作物の加工は、プラズマエッチングまたはコーティングによって行なう、請求項17に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH01971/03A CH696828A5 (de) | 2003-11-18 | 2003-11-18 | Zündvorrichtung. |
CH01971/03 | 2003-11-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005150118A JP2005150118A (ja) | 2005-06-09 |
JP4723848B2 true JP4723848B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=34529370
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004333491A Expired - Fee Related JP4723848B2 (ja) | 2003-11-18 | 2004-11-17 | 点火装置、電気的アーク蒸発器および工作物の加工方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050121321A1 (ja) |
JP (1) | JP4723848B2 (ja) |
CH (1) | CH696828A5 (ja) |
DE (1) | DE102004054092B4 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130220800A1 (en) * | 2010-05-04 | 2013-08-29 | Oerlikon Trading Ag, Trubbach | Method for spark deposition using ceramic targets |
KR101114518B1 (ko) * | 2010-08-05 | 2012-02-27 | 이엘케이 주식회사 | 투명 전도체의 식각 장치 |
US10704136B2 (en) * | 2013-03-05 | 2020-07-07 | Raytheon Technologies Corporation | Cathodic arc deposition stinger |
KR101440316B1 (ko) * | 2014-04-30 | 2014-09-18 | 주식회사 유니벡 | 박막 코팅을 위한 진공 챔버 내부 아크 스팟 생성장치 |
DE102015113104A1 (de) * | 2015-08-09 | 2017-02-09 | Isa Installations-, Steuerungs- U. Automatisierungssysteme Gmbh | Vorrichtung zum Zünden einer Vakuumbogenentladung und Verfahren zu deren Anwendung |
JP6350603B2 (ja) * | 2016-07-07 | 2018-07-04 | トヨタ自動車株式会社 | アーク放電発生装置及び成膜方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002008893A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-01-11 | Ito Kogaku Kogyo Kk | プラズマ加工法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3450922A (en) * | 1966-08-03 | 1969-06-17 | Gen Electric | Triggerable vacuum gap having offset trigger |
US3783231A (en) * | 1972-03-22 | 1974-01-01 | V Gorbunov | Apparatus for vacuum-evaporation of metals under the action of an electric arc |
US3867667A (en) * | 1974-03-04 | 1975-02-18 | Shigeru Suga | Carbon electrode for an arc lamp |
JPS53106680A (en) * | 1977-03-02 | 1978-09-16 | Hitachi Ltd | Vacuum depoistion apparatus |
DE2836334B1 (de) * | 1978-08-19 | 1980-05-08 | Mannesmann Demag Ag, 4100 Duisburg | Verfahren zum Schützen von metallenen, kraftschlüssig gepaarten, schwingend belasteten Maschinenteilen vor Reibkorrosion |
JPS6011103B2 (ja) * | 1981-02-23 | 1985-03-23 | レオニド パフロヴイツチ サブレフ | 電弧金属蒸発装置用の消耗性陰極 |
US4448799A (en) * | 1983-04-21 | 1984-05-15 | Multi-Arc Vacuum Systems Inc. | Arc-initiating trigger apparatus and method for electric arc vapor deposition coating systems |
US4622452A (en) * | 1983-07-21 | 1986-11-11 | Multi-Arc Vacuum Systems, Inc. | Electric arc vapor deposition electrode apparatus |
CA1266892A (en) * | 1985-04-27 | 1990-03-20 | Tadayuki Otani | Method of igniting arcs |
EP0211413A3 (en) * | 1985-08-09 | 1989-03-15 | The Perkin-Elmer Corporation | Arc ignition device |
JPH065378B2 (ja) * | 1986-07-17 | 1994-01-19 | 富士写真フイルム株式会社 | 画像記録装置 |
JPS6324257U (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-17 | ||
JPH0222461A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-01-25 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 成膜装置 |
US5876684A (en) * | 1992-08-14 | 1999-03-02 | Materials And Electrochemical Research (Mer) Corporation | Methods and apparati for producing fullerenes |
DE29505888U1 (de) * | 1995-04-05 | 1995-05-24 | Ardenne Anlagentech Gmbh | Vorrichtung zum Zünden eines Vakuumlichtbogens |
GB9722649D0 (en) * | 1997-10-24 | 1997-12-24 | Univ Nanyang | Cathode ARC source for metallic and dielectric coatings |
US6936145B2 (en) * | 2002-02-28 | 2005-08-30 | Ionedge Corporation | Coating method and apparatus |
-
2003
- 2003-11-18 CH CH01971/03A patent/CH696828A5/de not_active IP Right Cessation
-
2004
- 2004-11-09 DE DE102004054092A patent/DE102004054092B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-17 JP JP2004333491A patent/JP4723848B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-17 US US10/991,047 patent/US20050121321A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002008893A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-01-11 | Ito Kogaku Kogyo Kk | プラズマ加工法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005150118A (ja) | 2005-06-09 |
CH696828A5 (de) | 2007-12-14 |
DE102004054092B4 (de) | 2012-03-29 |
US20050121321A1 (en) | 2005-06-09 |
DE102004054092A1 (de) | 2005-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010192454A (ja) | 間接的に加熱されるカソードイオン源に使用されるカソード組立体 | |
TWI418771B (zh) | 用於嚴厲環境中維持熱陰極發射能力之方法及設備 | |
Ehrich | The anodic vacuum arc. I. Basic construction and phenomenology | |
JP4723848B2 (ja) | 点火装置、電気的アーク蒸発器および工作物の加工方法 | |
EP2215647B1 (en) | Ionisation vacuum gauges and gauge heads | |
DE4026494A1 (de) | Vorrichtung zur materialverdampfung mittels vakuumlichtbogenentladung und verfahren | |
EP0211413A2 (en) | Arc ignition device | |
US10675841B2 (en) | Thin diamond film bonding providing low vapor pressure at high temperature | |
JP6166565B2 (ja) | グロー放電質量分析装置及びそれを用いたグロー放電質量分析法 | |
US5089707A (en) | Ion beam generating apparatus with electronic switching between multiple cathodes | |
JP2019121422A (ja) | 表面処理装置 | |
JP2975543B2 (ja) | 熱陰極構造体 | |
JP2005272965A (ja) | 電極部材、及びこれを備えた成膜装置 | |
JP3140636B2 (ja) | プラズマ発生装置 | |
JPH09245589A (ja) | 真空バルブ | |
KR102592432B1 (ko) | 포집부를 포함하는 자장여과 아크 소스 장치 | |
JP2000340150A (ja) | 接地したシールドを有する電子ビーム銃 | |
JP5074902B2 (ja) | 電子放出源 | |
JP5329941B2 (ja) | イオン源 | |
EP3556901B1 (en) | Vacuum arc source | |
JPH0614391Y2 (ja) | 磁界フリ−型熱陰極構造体 | |
JP2747288B2 (ja) | 熱陰極構造体 | |
JPH10158823A (ja) | イオンプレーティング装置およびその装置による薄膜形成方法 | |
JPH027329A (ja) | ホローカソード | |
JP6917309B2 (ja) | 双極性アークコーティング法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070927 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20071012 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20071012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100511 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100824 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101122 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110303 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110405 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110408 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140415 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |