JP6917309B2 - 双極性アークコーティング法 - Google Patents
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- それぞれのアーク蒸発器上にそれぞれに位置決めされ且つコーティングプロセス中に交互にカソードとアノードとして使用される少なくとも2つのアクティブな消費ターゲットを用いて、表面をコーティングするためのアーク放電蒸発方法であって、
前記少なくとも2つのアクティブな消費ターゲットは互いにすぐ隣接して又は互いに積み重なって配置され、
前記コーティングプロセス中のカソードとアノードとしての前記ターゲットの交互の接続が、アノードとして作動される少なくとも2つの前記ターゲットのうちの1つにおける絶縁層の厚さを減少させ、
前記交互の接続が期間t off にわたる切り替えポーズとして行われ、カソードの点火プロセスが前記切り替えポーズ中に実施され得、
コーティング中に形成されるプラズマが消滅しないように前記交互の接続が素早く実行され、前記素早い交互の接続がその時点のカソードにアーク放電を形成させることができ、
カソードとして作動される少なくとも2つの前記ターゲットのうちの1つにおけるターゲット中毒を防止するために、カソードの電流供給が最小及び最大電流を有する単極性パルスのDC電流供給として又は様々な振幅を有する高電流パルスとして実行される、ことを特徴とする方法。 - 少なくとも1つの反応性ガスが用いられることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの反応性ガスが、ターゲット材料を備えた電気的に絶縁性の化合物を形成する少なくとも1つの構成要素を備えて成ることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 1つのガス又は複数のガスの混合物が用いられ、少なくとも1つのガスが非反応性の作動ガスであることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 少なくとも2つの異なる消費ターゲットが組成において異なり、コーティング中にナノ層の多層系の蓄積が生じることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 一方のターゲットがカソードとして作動する間に該ターゲットに形成するプラズマがその時点でアノードとして作動する他方のターゲットを横切って部分的に延びるように、前記少なくとも2つのアクティブな消費ターゲットが直接的に隣接して配設され得ることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 異なった長さの期間t1〜tnが、全コーティング時間tgesにわたって、カソード若しくはアノードとして接続された前記少なくとも2つの消費ターゲットのそれぞれの作動モードに対して用いられることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 異なった長さの期間t1〜tnが、全コーティング時間tgesにわたって周期的な順序でカソード若しくはアノードとして接続された前記少なくとも2つの消費ターゲットのそれぞれの作動モードに対して用いられることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 用いられる少なくとも2つの消費ターゲットが異なる形態を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- アーク放電がレーザーにより点火されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
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