JP4720217B2 - めっき液の分析方法と銅めっき装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明のCVS法によるめっき液分析装置の模式的な構成図、図2は抑制剤の濃度分布結果と補正の例、図3は対向電極と分析液との接触状態の模式図、図4は平滑剤の分析時における接触依存性の説明図、図5は平滑剤の校正曲線、図6は本願発明になるめっき装置の模式的な構成図である。
(実施例1)
有機添加物の平滑剤の分析手順を以下に示す。この手順は、平滑剤に限らず、抑制剤や光沢剤などの有機添加物に対しても適用することができる。
1.第一工程:平滑剤の校正
図1に示した分析装置を用い、図5に示したような平滑剤の校正曲線を求める。ここで、横軸は平滑剤の濃度:Cで、単位はml/lである。縦軸は、平滑剤の濃度0のときのストリッピング電荷量に対する比:Q/Qoを示す。
2.第二工程;標準液の分析(前段の分析)
・第二工程−1
平滑剤が入っておらず、その他の有機添加物、例えば、抑制剤や光沢剤の濃度が既知の試料50mlについて、ストリッピング電荷を測定する。
・第二工程−2
平滑剤を含めた全ての有機添加物の濃度が既知の標準液50mlを第二工程−1の試料に加えて100mlとし、この混合液についてストリッピング電荷を測定する。
・第二工程−3
第二工程−1と第二工程−2のストリッピング電荷の値を第一の工程で得た図5の校正曲線に当てはめて、平滑剤の濃度を算出する。
3.第三工程:未知濃度のめっき液の分析
・第三工程−1
平滑剤が入っておらず、その他の有機添加物、例えば、抑制剤や光沢剤の濃度が既知の試料50mlについて、ストリッピング電荷を測定する。
・第三工程−2
平滑剤の濃度のみが未知である試料50mlを第三工程−1の試料に加えて100mlとし、この混合液についてストリッピング電荷を測定する。
・第三工程−3
第三工程−1と第三工程−2のストリッピング電荷の値を第一の工程で得た図5の校正曲線に当てはめて、平滑剤の濃度を算出する。
4.第四工程:標準液の分析(後段の分析)
新しい標準液を用意し、第二工程と同じ手順で分析を行う。
(実施例2)
図6は、本発明になるCVS法によるめっき液の建浴法をめっき槽に組み込んだ銅めっき装置の模式図である。
1.第一工程
平滑剤の濃度0のときのストリッピング電荷に対する平滑剤の任意濃度の比をグラフ化して、校正曲線を求める。この校正曲線は、図5に例示している。
2.第二工程
平滑剤が入っておらず、その他の有機添加物、例えば、抑制剤と光沢剤の濃度が既知の試料100mlについて、ストリッピング電荷を測定する。
3.第三工程
第二工程の試料液を廃棄して、平滑剤の濃度のみが未知である試料液50mlと、第二工程の濃度と同等の試料50mlを足して100mlとし、この混合液についてストリッピング電荷を測定する。
4.第四工程
第二工程と第三工程のストリッピング電荷の値を第一工程で得た校正曲線に当てはめて平滑剤の濃度を算出する。
めっき液に加える複数の有機添加物のそれぞれの最適値を既知濃度として含む標準液を用い、未知濃度のめっき液の分析の前段と後段に該標準液の分析を行い、該前段の分析値から補正係数を算出して該後段の分析値を補正して未知濃度のめっき液に補充する該有機添加物の補充量を調整し、該補正係数は、〔該標準液の既知濃度/該前段に行った分析値〕である
ことを特徴とするめっき液の建浴方法。
ことを特徴とする付記1記載のめっき液の建浴方法。
ことを特徴とする付記1記載のめっき液の建浴方法。
該めっき槽は、有機添加物を含む銅のめっき液によって銅の電気めっきを行うものであって、該有機添加物は、サプレッサまたはレベラまたはブライトナの少なくとも一つであり、
該分析装置は、該めっき液と液橋を介して連通した分析液の中に作用電極と対向電極と参照電極とが浸漬されており、CVS法によって該めっき液の中の該有機添加物を、請求項1記載のめっき液の建浴方法によって定量する分析部と、該分析液に、複数の有機添加物のそれぞれの最適値を含むめっき液からなる標準液と該有機添加物のそれぞれとを供給する供給部とを有し、
該有機添加物補充装置は、該めっき槽に付設されており、該分析装置の分析結果に基づいて、該有機添加物のそれぞれを該めっき液に補充するものであり、
該制御装置は、該分析装置の分析結果を算出し、該有機添加物補充装置から該有機添加物のそれぞれを該めっき液に補充させるものである
ことを特徴とする銅めっき装置。
ことを特徴とする付記4記載の銅めっき装置。
ことを特徴とする付記4記載の銅めっき装置。
2 分析装置 21 分析液 22 作用電極 23 対向電極
24 参照電極 25 分析電源
3 有機添加物補充装置 31 標準液 32 抑制剤 33 平滑剤
34 光沢剤
4 処理装置 100 めっき装置
201 分析部 202 供給部
Claims (5)
- CVS(サイクリック・ボルタンメトリ・ストリッピング)法によってめっき液の中の未知濃度の有機添加物を分析するめっき液の分析方法において、
前記めっき液に加える複数の有機添加物のそれぞれの最適値を既知濃度として含む標準液を用い、めっき液中の未知の前記有機添加物濃度を分析する前記めっき液の分析工程と、
前記めっき液の分析工程の前に、前記標準液中の前記有機添加物濃度を測定する前段の分析工程と、
前記めっき液の分析工程の後に、前記標準液中の前記有機添加物濃度を測定する後段の分析工程と、
補正係数を、2×前記標準液の前記有機添加物濃度/(前記前段の分析工程で測定された分析値+前記後段の分析工程で測定された分析値)として算出する工程と、
前記めっき液の前記有機添加物濃度を、前記めっき液の分析工程で測定された分析値×前記補正係数として算出する工程と、
を有することを特徴とするめっき液の分析方法。 - 前記めっき液が、銅の電気めっき液である
ことを特徴とする請求項1記載のめっき液の分析方法。 - 前記有機添加物が、サプレッサ(抑制剤)またはレベラ(平滑剤)またはブライトナ(光沢剤)の少なくとも一つである
ことを特徴とする請求項1記載のめっき液の分析方法。 - めっき槽と、分析装置と、有機添加物補充装置と、制御装置とを有し、
前記めっき槽は、有機添加物を含む銅のめっき液によって銅の電気めっきを行うものであって、前記有機添加物は、サプレッサまたはレベラまたはブライトナの少なくとも一つであり、
前記分析装置は、前記めっき液と液橋を介して連通した分析液の中に作用電極と対向電極と参照電極とが浸漬されており、CVS法によって前記めっき液の中の前記有機添加物を、請求項1記載のめっき液の分析方法によって定量する分析部と、前記分析液に、複数の有機添加物のそれぞれの最適値を含むめっき液からなる標準液と前記有機添加物のそれぞれとを供給する供給部とを有し、
前記有機添加物補充装置は、前記めっき槽に付設されており、前記有機添加物のそれぞれを前記めっき液に補充するものであり、
前記制御装置は、前記分析装置の分析結果を算出し、前記分析装置の分析結果に基づいて、前記有機添加物補充装置から前記有機添加物のそれぞれを前記めっき液に補充させるものである
ことを特徴とする銅めっき装置。 - 前記分析液は、初期値を分析する際も、前記標準液および未知濃度の前記有機添加物を分析する際も、液量が等量である
ことを特徴とする請求項4記載の銅めっき装置。
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JP2002195983A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-07-10 | Shipley Co Llc | めっき浴分析方法 |
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