JP4709258B2 - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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図1は、本発明の第1の実施の形態に係る横方向電界型液晶表示装置におけるTFT基板の構成を概念的に示す平面図である。図1に示すように、TFT基板10の対向基板側面には、複数の走査線11と信号線12が直交して設けられ、また、隣接する走査線11の間に共通配線13が平行に設けられている。走査線11と信号線12の交差部分には、TFT14が形成され、これらがマトリクス状に配置されている。走査線11と信号線12の端部には、それぞれ走査線端子15、信号線端子16が設けられ、外部駆動回路からの駆動信号を入力するようになっている。
本発明の第2の実施の形態は、TFT上の層間絶縁膜を無機膜のみで形成する場合に係わる。TFT基板の構成は、図1の第1の実施の形態と同じである。
本発明の第3の実施の形態は、第2の実施の形態と同様に、TFT上の層間絶縁膜を無機膜のみで形成する場合に係わる。本実施形態では、層間絶縁膜の無機膜は単層で形成されていることが、第2の実施の形態と異なるだけで、他の構成は第2の実施の形態と全く同様である。
20、30、120 透明導電性基板
11、111 走査線
12、112 信号線
13、113 共通配線
14、114 TFT
15 走査線端子
16 信号線端子
17 共通配線結束線
18 共通配線端子
21、71、121 画素電極
22、72、122 共通電極
23、123 ゲート電極
24、124 ソース電極
25、125 ドレイン電極
26、27、44、96、97、126、127 コンタクトホール
31、131 ゲート絶縁膜
32 パッシベーション膜
33、133 有機絶縁膜
34、134 半導体層
35 蓄積容量電極
41、81 端子部金属膜
42、82 接続電極
43、83 端子部コンタクトホール
50 対向基板
51 配向膜
52 ブラックマトリクス
53R,53G,53B カラーフィルタ
54 オーバーコート膜
55 液晶
56 透明導電層
57 偏光板
61 第1のパッシベーション膜
62 第2のパッシベーション膜
64 耐圧向上用半導体層
66、67、86、87 開口
132 保護膜
164 アモルファスシリコン(a−Si)層
174 n+型アモルファスシリコン(n+型a−Si)層
Claims (2)
- 基板上に薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに接続され縦横に交差する複数の走査線及び信号線と、前記走査線と同層に形成される共通配線とを有し、前記薄膜トランジスタ上に形成される層間絶縁膜を介して、前記共通配線に接続され、前記信号線上の少なくとも一部を被覆するように形成された共通電極と、前記薄膜トランジスタに接続される画素電極との間に、前記基板と概ね平行な電界を発生する横電界型液晶表示装置において、前記層間絶縁膜が2層以上の無機絶縁膜を含んで形成され、前記共通配線と前記共通電極を接続する共通電極用コンタクトホールと、前記薄膜トランジスタと前記画素電極を接続する画素電極用コンタクトホールとが、前記層間絶縁膜の複数の無機絶縁膜のそれぞれのコンタクトホールが重畳するように形成され、かつ上層の無機絶縁膜のコンタクトホール用開口が下層の無機絶縁膜のコンタクトホール用開口の内側に設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
- 基板上に薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに接続され縦横に交差する複数の走査線及び信号線と、前記走査線と同層に形成される共通配線とを有し、前記薄膜トランジスタ上に形成される層間絶縁膜を介して、前記共通配線に接続され、前記信号線上の少なくとも一部を被覆するように形成された共通電極と、前記薄膜トランジスタに接続される画素電極との間に、前記基板と概ね平行な電界を発生する横電界型液晶表示装置の製造方法において、前記薄膜トランジスタ上に第1の無機絶縁膜を成膜し、前記共通配線と前記共通電極を接続するための第1のコンタクトホールと、前記薄膜トランジスタと前記画素電極を接続する第2のコンタクトホールを少なくともドライエッチングを使用して開口する工程と、前記第1の無機絶縁膜上に第2の無機絶縁膜を成膜し、前記第1のコンタクトホールに重畳し、かつ前記第1のコンタクトホールの内側に第3のコンタクトホールと、前記第2のコンタクトホールに重畳し、かつ前記第2のコンタクトホールの内側に第4のコンタクトホールを開口する工程と、前記第2の無機絶縁膜上に導電膜を成膜し、前記第1及び第3のコンタクトホールを介して前記共通配線に接続する前記共通電極と、前記第2及び第4のコンタクトホールを介して前記薄膜トランジスタに接続する画素電極を形成する工程を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008215420A JP4709258B2 (ja) | 2008-08-25 | 2008-08-25 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
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JP2002268952A Division JP4199501B2 (ja) | 2002-09-13 | 2002-09-13 | 液晶表示装置の製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008304939A JP2008304939A (ja) | 2008-12-18 |
JP4709258B2 true JP4709258B2 (ja) | 2011-06-22 |
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ID=40233657
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008215420A Expired - Lifetime JP4709258B2 (ja) | 2008-08-25 | 2008-08-25 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4709258B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4667587B2 (ja) * | 2000-12-01 | 2011-04-13 | 株式会社日立製作所 | 液晶表示装置 |
JP3750055B2 (ja) * | 2001-02-28 | 2006-03-01 | 株式会社日立製作所 | 液晶表示装置 |
JP3957277B2 (ja) * | 2002-04-15 | 2007-08-15 | 株式会社アドバンスト・ディスプレイ | 液晶表示装置及びその製造方法 |
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- 2008-08-25 JP JP2008215420A patent/JP4709258B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008304939A (ja) | 2008-12-18 |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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