JP4701513B2 - 発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光素子及びその製造方法に関し、詳しくは、窒化ガリウム系化合物半導体を用いた発光素子及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
発光素子の発光機能層に、InxAlyGa1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)等の窒化ガリウム系化合物半導体を用いると、紫外から緑色までの波長帯の光を発光できることから、窒化ガリウム系化合物半導体を用いた発光素子が近年注目されている。このような発光素子は、一般に、サファイアまたはシリコンカーバイドから形成された基板上に、窒化ガリウム系化合物半導体からなる発光機能層を積層し、基板をダイシング、スクライビング、または劈開することにより形成されている。
【0003】
しかし、サファイアやシリコンカーバイドから形成された基板は硬質であるため、ダイシング等を容易に行うことができず、発光素子の生産性が悪くなってしまうという問題があった。また、サファイアやシリコンカーバイドから形成された基板は高価であり、材料コスト面からも問題があった。
【0004】
このため、発光素子の基板をサファイアやシリコンカーバイドではなく、シリコンによって構成し、シリコン基板上に窒化ガリウム系化合物半導体からなる発光機能層を積層して、発光素子を製造する試みがなされている。発光素子の基板にシリコン基板を用いる場合には、シリコン基板上に窒化アルミニウム(AlN)からなるバッファ層を介して発光機能層が形成されている。窒化アルミニウムからなるバッファ層を配したのは、バッファ層がシリコン基板の面方位を受け継ぎ、バッファ層の上面に結晶性の良好な窒化ガリウム系化合物半導体からなる発光機能層を形成できるためである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、窒化アルミニウムのバンドギャップは約6.2evであり、InxAlyGa1−x−yN系化合物半導体の中で最も広いバンドギャップを有している。このため、シリコン基板上に窒化アルミニウムからなるバッファ層を介して発光機能層を形成すると、AlNバッファ層がシリコン基板と発光機能層との間に電位障壁を形成し、発光素子の駆動電圧が高くなるという問題がある。例えば、サファイア等から形成された基板上にバッファ層を介して発光機能層を形成した発光素子の駆動電圧に比較して、順方向電圧が2.5倍以上大きくなってしまう。
【0006】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、シリコン基板上に結晶性の良好な発光機能層を形成でき、駆動電圧を低減することができる発光素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の第1の観点にかかる発光素子は、シリコン基板と、前記シリコン基板上に形成され、複数の孔を有する窒化アルミニウム層と、少なくとも前記孔内に形成され、ガリウムとインジウムとシリコンとを主成分とする複数の金属化合物領域と、前記窒化アルミニウム層及び前記金属化合物領域上に形成され、ガリウムとインジウムとを含む窒化物系化合物半導体層と、前記窒化物系化合物半導体層上に形成され、発光機能を有する窒化物系化合物半導体からなる発光機能層とを備え、前記金属化合物領域は、前記孔内と、前記シリコン基板及び前記窒化物系化合物半導体層の前記孔に対向する領域に形成され、前記窒化物系化合物半導体層の前記孔に対向しない位置にはシリコンが拡散していない、ことを特徴とする。
【0008】
この構成によれば、少なくとも窒化アルミニウム層の孔内にガリウムとインジウムとシリコンとを主成分とする金属化合物領域が形成されている。このため、シリコン基板と窒化アルミニウム層と窒化物系化合物半導体層とからなる経路(導電路)に比べて電位障壁が相対的に低い、シリコン基板と金属化合物領域と窒化物系化合物半導体層とからなる導電路が形成され、発光素子の駆動電圧が低減される。また、シリコン基板と窒化物系化合物半導体層との間に窒化アルミニウム層が形成されているので、シリコン基板上の窒化物系化合物半導体層及び発光機能層の結晶性が良好になる。
【0009】
前記窒化アルミニウム層は、その全面に前記複数の孔が点在するように形成されていることが好ましい。前記孔は、それぞれ0.03μm2〜300μm2の面積に形成されていることが好ましい。0.03μm2〜300μm2の面積に形成されていると、電位障壁が相対的に低い導電路が形成しやすくなる。
【0010】
前記各孔は、その間隔が10μm以内に形成されていることが好ましい。各孔が10μm以内の間隔に形成されていると、金属化合物領域上に窒化物系化合物半導体層が形成されやすくなる。
【0011】
前記孔は、その面積の合計が前記窒化アルミニウム層の面積の30%以上に形成されていることが好ましい。孔の面積の合計が窒化アルミニウム層の面積の30%以上に形成されていると、電位障壁が相対的に低い導電路が形成されやすくなる。
【0013】
前記窒化物系化合物半導体層は、1nm〜100nmの厚さに形成されていることが好ましい。1nm〜100nmの厚さに形成されていると、電位障壁が相対的に低い導電路が形成しやすくなる。また、窒化物系化合物半導体層にクラックが発生しなくなる。
【0014】
前記窒化物系化合物半導体層と前記発光機能層との間に、ガリウム及びインジウムの反応を抑制可能な窒化アルミニウムからなる反応抑制層を備えることが好ましい。反応抑制層を備えることにより、発光機能層の結晶性が劣化しにくくなる。
【0015】
前記反応抑制層と前記発光機能層との間に、該発光機能層よりバンドギャップの小さい窒化物系化合物半導体層を備えることが好ましい。バンドギャップの小さい窒化物系化合物半導体層を介在させることにより、発光機能層との間の電位障壁が小さくなり、バンド構造の変化が滑らかになる。
【0016】
この発明の第2の観点にかかる発光素子の製造方法は、シリコン基板上に、窒化アルミニウム層を形成する工程と、前記窒化アルミニウム層に複数の孔を形成する工程と、少なくとも前記孔内にガリウムとインジウムとシリコンとを主成分とする金属化合物領域をそれぞれ形成する工程と、前記窒化アルミニウム層上及び前記金属化合物領域上に、ガリウムとインジウムとを含む窒化物系化合物半導体層を形成する工程と、前記窒化物系化合物半導体層上に、発光機能を有する窒化物系化合物半導体からなる発光機能層を形成する工程とを備え、前記金属化合物領域をそれぞれ形成する工程では、前記孔内と、前記シリコン基板及び前記窒化物系化合物半導体層の前記孔に対向する領域に前記金属化合物領域を形成し、前記窒化物系化合物半導体層を形成する工程では、前記孔に対向しない位置にはシリコンが拡散していない、ことを特徴とする。
【0017】
この構成によれば、窒化アルミニウム層の孔内にガリウムとインジウムとシリコンとを主成分とする金属化合物領域が形成され、電位障壁が相対的に低い導電路が形成される。このため、発光素子の駆動電圧が低減される。また、シリコン基板と窒化物系化合物半導体層との間に窒化アルミニウム層が形成され、シリコン基板上に結晶性が良好な窒化物系化合物半導体層及び発光機能層が形成される。
【0018】
前記孔を前記窒化アルミニウム層の全面に点在するように形成することが好ましい。
【0019】
前記孔の面積を0.03μm2〜300μm2の範囲内に形成すると、電位障壁が相対的に低い導電路を形成しやすくなる。また、前記各孔の間隔を10μm以内に形成すると、金属化合物領域上に窒化物系化合物半導体層を形成しやすくなる。さらに、前記孔の面積の合計を前記窒化アルミニウム層の面積の30%以上に形成すると、電位障壁が相対的に低い導電路を形成しやすくなる。
【0020】
前記窒化物系化合物半導体層と前記発光機能層との間に、窒化アルミニウムからなる反応抑制層を形成する工程を備えると、発光機能層の結晶性が劣化しにくくなる。また、前記反応抑制層と前記発光機能層との間に、該発光機能層よりバンドギャップの小さい窒化物系化合物半導体層を形成する工程を備えると、発光機能層との間の電位障壁が小さくなり、バンド構造の変化が滑らかになる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の発光素子及びその製造方法について説明する。
図1に本実施の形態の発光素子の構造を示す。図1に示すように、発光素子1は、半導体基体2と、半導体基体2の上面に電気的に接続されたアノード電極3と、半導体基体2の下面に電気的に接続されたカソード電極4とを備えている。
【0022】
半導体基体2は、シリコン基板5と、シリコン基板5上に形成され、複数の孔6aを有する窒化アルミニウム層としての第1窒化アルミニウム層6と、少なくとも孔6a内に形成された金属化合物領域7と、第1窒化アルミニウム層6及び金属化合物領域7上に形成され、ガリウムとインジウムとを含む第1窒化物系化合物半導体層8と、第1窒化物系化合物半導体層8上に形成された反応抑制層としての第2窒化アルミニウム層9と、第2窒化アルミニウム層9上に形成された第2窒化物系化合物半導体層10と、第2窒化物系化合物半導体層10上に形成された発光機能層11とを備えている。
【0023】
シリコン基板5は、n形導電形の不純物、例えば、砒素(As)が5×1018cm−3〜5×1019cm−3程度の比較的高濃度にドープされたn+形のシリコン単結晶基板から構成されている。そして、その抵抗率は0.001Ω・cm〜0.01Ω・cm程度である。このため、シリコン基板5は、実質的に導電体であり、カソード電極4とともに電極として機能する。また、シリコン基板5は、発光機能層11等の支持部材として機能し、発光機能層11等を良好に支持できるように、例えば、350μm程度の厚みに形成されている。
【0024】
第1窒化アルミニウム層6は、シリコン基板5上に形成されている。図2に第1窒化アルミニウム層6の平面図を示す。図2に示すように、第1窒化アルミニウム層6は、その全面に第1窒化アルミニウム層6を貫通する複数の孔6aが点在するように形成されている。また、第1窒化アルミニウム層6は、第1窒化物系化合物半導体層8からのガリウム及びインジウムの拡散を抑制可能な厚さ、例えば、0.5nm〜300nmの厚さに形成されている。
【0025】
この第1窒化アルミニウム層6は、シリコン基板5上に窒化物系化合物半導体(例えば、第1窒化物系化合物半導体層8)を膜成長させるためのバッファ層として機能する。シリコン基板5の表面に、窒化物系化合物半導体を直接膜成長させることは困難であるが、バッファ層として機能する第1窒化アルミニウム層6を介して形成させることにより、シリコン基板5上に窒化物系化合物半導体を膜成長させることができる。これは、第1窒化アルミニウム層6はシリコン基板5の面方位を受け継ぐことができ、シリコン基板5上に第1窒化アルミニウム層6を介することで、シリコン基板5上に結晶性の良好な窒化ガリウム系化合物半導体層を形成することができるためである。
【0026】
第1窒化アルミニウム層6の孔6a内には、金属化合物領域7が形成されている。金属化合物領域7は、シリコン基板5と第1窒化物系化合物半導体層8との間に介在して、これらの間の電気的接続を良好にする。このため、シリコン基板5と金属化合物領域7と第1窒化物系化合物半導体層8とからなる経路には、シリコン基板5と第1窒化アルミニウム層6と第1窒化物系化合物半導体層8とからなる経路に比べて、電位障壁が相対的に低い導電路が形成される。従って、金属化合物領域7は、シリコン基板5と第1窒化物系化合物半導体層8との間の電位障壁を低減する機能を有する。
【0027】
金属化合物領域7は、後述するように、第1窒化アルミニウム層6上に第1窒化物系化合物半導体層8を形成する際に第1窒化アルミニウム層6の孔6a内に供給されたガリウム(Ga)及びインジウム(In)と、シリコン基板5のシリコン(Si)とが反応して形成されている。このため、金属化合物領域7は、ガリウム、インジウム及びシリコンを主成分とし、少なくとも孔6a内、すなわち孔6a内と、孔6aに対向するシリコン基板5及び第1窒化物系化合物半導体層8の所定の領域とに形成されている。また、孔6aが第1窒化アルミニウム層6内に点在するように形成されており、金属化合物領域7も第1窒化アルミニウム層6内に点在するように形成されている。
【0028】
第1窒化物系化合物半導体層8は、第1窒化アルミニウム層6及び金属化合物領域7上に形成されている。第1窒化物系化合物半導体層8は、InxAl1−x−yGayN(0<x≦1、0<y≦1、0<x+y≦1)から構成されている。すなわち、第1窒化物系化合物半導体層8は、インジウムとガリウムとを必須の構成元素とする窒化物系化合物半導体であり、本実施の形態ではn形Ga0.5In0.5Nから構成されている。
【0029】
第1窒化物系化合物半導体層8は、孔6aが形成されていない第1窒化アルミニウム層6の上面に、その上面に垂直な方向に結晶性の良好なn形Ga0.5In0.5N層が形成される。また、この形成時に、その上面に平行な方向(横方向)にもエピタキシャル成長する。そして、これらの層が合体することにより、金属化合物領域7の上面にも結晶性の良好なn形Ga0.5In0.5N層が形成され、第1窒化アルミニウム層6及び金属化合物領域7上に、連続して平坦なn形Ga0.5In0.5N層が形成される。なお、第1窒化アルミニウム層6の孔6aに対向する位置の第1窒化物系化合物半導体層8にはシリコンが拡散して金属化合物領域7が形成されるが、孔6aに対向しない位置の第1窒化物系化合物半導体層8にはシリコンが拡散されない。このシリコンが拡散されない結晶性の良好なn形Ga0.5In0.5N層が成長することにより、第1窒化物系化合物半導体層8が形成されるので、第1窒化物系化合物半導体層8には結晶性の良好なn形Ga0.5In0.5N層が形成される。
【0030】
第1窒化物系化合物半導体層8の厚さは、電位障壁の低減に有効な金属化合物領域7が良好に形成されるように1nm以上とすることが好ましい。ただし、第1窒化物系化合物半導体層8の厚さをあまり厚くしすぎると、第1窒化物系化合物半導体層8とシリコン基板5との線膨張係数差に起因するクラックが第1窒化物系化合物半導体層8に生じるおそれがある。第1窒化物系化合物半導体層8にクラックが発生すると、第1窒化物系化合物半導体層8上に形成される、例えば、発光機能層11の結晶性を損なう原因となるため、第1窒化物系化合物半導体層8の厚さを100nm以下にすることが好ましい。本実施の形態では、第1窒化物系化合物半導体層8の厚さを20nmに形成している。
【0031】
第2窒化アルミニウム層9は、第1窒化物系化合物半導体層8上に形成されている。第2窒化アルミニウム層9は、ガリウム、インジウム等の反応が上方に形成される発光機能層11に進行することを抑制する機能を有する。ガリウム、インジウム等の反応が発光機能層11まで進行すると、発光機能層11の結晶性が損なわれるおそれがあるためである。このため、第2窒化アルミニウム層9を形成することにより、発光機能層11の結晶性の劣化の問題が生じなくなる。
【0032】
発光機能層11の結晶性の劣化を防止するには、第2窒化アルミニウム層9の厚さを1nm以上に形成することが好ましい。ただし、第2窒化アルミニウム層9はキャリアに対してバリアとして働くため、第2窒化アルミニウム層9の厚さは4nm以下にすることが好ましい。第2窒化アルミニウム層9の厚さを4nmより厚くすると、駆動電圧を低減することができなくなってしまうためである。本実施の形態では、第2窒化アルミニウム層9の厚さを2nmに形成している。
【0033】
第2窒化物系化合物半導体層10は、第2窒化アルミニウム層9上に形成されている。第2窒化物系化合物半導体層10は、InxAl1−x−yGayN(0<x≦1、0<y≦1、0<x+y≦1)から構成されている。すなわち、第2窒化物系化合物半導体層10は、インジウムとガリウムとを必須の構成元素とする窒化物系化合物半導体であり、本実施の形態ではn形Ga0.9In0.1Nから構成されている。
【0034】
第2窒化物系化合物半導体層10は、その上に形成される発光機能層11(後述するn形クラッド層12)に対して、少しだけバンドギャップが小さい材料を用いることが好ましい。このような材料からなる第2窒化物系化合物半導体層10を介在させることにより、発光機能層11との間の電位障壁を小さくすることができ、バンド構造の変化を滑らかにすることができるためである。また、第1窒化物系化合物半導体層8のインジウムの組成比を第2窒化物系化合物半導体層10のインジウムの組成比よりも大きくすることが好ましい。インジウムの組成比を大きくすることにより、第1窒化物系化合物半導体層8と金属化合物領域7との電気的接続が良好になるためである。
【0035】
発光機能層11は、第2窒化物系化合物半導体層10上に形成されている。発光機能層11は、n形クラッド層12と、活性層13と、p形クラッド層14とが順次積層した構成に形成されている。
【0036】
n形クラッド層12は第2窒化物系化合物半導体層10上に形成され、その厚さが500nmのn形GaNからなるn形半導体領域である。活性層13はn形クラッド層12上に形成され、その厚さが3nmのGaInNから構成されている。p形クラッド層14は活性層13上に形成され、その厚さが500nmのp形GaNからなるp形半導体領域である。
【0037】
アノード電極3は、p形クラッド層14の上面に、例えば、低抵抗性接触して形成されている。アノード電極3は、例えば、ニッケルと金を真空蒸着して形成されている。また、カソード電極4は、シリコン基板5の下面に、例えば、低抵抗性接触して形成されている。カソード電極4は、例えば、チタンとアルミニウム・ゲルマニウム・ニッケル合金と金とを真空蒸着で順次積層して形成されている。アノード電極3及びカソード電極4は、他の金属材料により形成することも可能である。
【0038】
次に、以上のように構成された発光素子1の製造方法について、図3に示すタイムシーケンスを参照して説明する。
【0039】
まず、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)装置の反応室内に、洗浄等の前処理を施したシリコン基板5を配置する。そして、シリコン基板5に1120℃で10分程度の熱処理を施し、その表面をサーマルクリーニングして表面の酸化膜を完全に除去する(サーマルクリーニング工程)。
【0040】
次に、シリコン基板5の表面に水素終端処理を施す(水素終端処理工程)。水素終端処理とは、シリコン基板5の表面のダングリングボンド、すなわちシリコンの4つの結合手のうちで、結合に使用されていない結合手(ボンド)に水素を結合させる処理である。
【0041】
続いて、MOCVD装置の反応室内に、トリメチルアルミニウムガス(TMAガス)を所定量、例えば、63μmol/min、アンモニアガス(NH3)を所定量、例えば、0.14mol/min供給して、シリコン基板5の上面に所定厚の窒化アルミニウムからなる第1窒化アルミニウム層6を形成する(第1窒化アルミニウム層形成工程)。
【0042】
第1窒化アルミニウム層6は、第1窒化物系化合物半導体層8からのガリウム及びインジウムの拡散を抑制するように、0.5nm以上の厚さに形成することが好ましい。また、第1窒化物系化合物半導体層8の横方向への成長により孔6aが良好に被覆されるように、300nm以下の厚さに形成することが好ましい。このため、第1窒化アルミニウム層6は、0.5nm〜300nmの厚さに形成することが好ましい。本実施の形態では、第1窒化アルミニウム層6の厚さを10nmに形成している。
【0043】
次に、第1窒化アルミニウム層6の形成されたシリコン基板5をMOCVD装置の反応室内から取り出し、例えば、フォトリソグラフィーとドライエッチングを施すことにより、第1窒化アルミニウム層6に複数の孔6aを形成する(孔形成工程)。
【0044】
ここで、第1窒化アルミニウム層6の各孔6aの開口面積を0.03μm2〜300μm2の範囲内で形成することが好ましい。開口面積が0.03μm2より小さくなると、シリコン基板5と第1窒化物系化合物半導体層8との間の電位障壁を低減する機能が有効に発揮されなくなるおそれがあり、また開口面積が300μm2より大きくなると、第1窒化物系化合物半導体層8の横方向への成長により孔6a上を被覆することが困難となるおそれがあるためである。この孔6aは、その開口面積が上記開口面積の範囲内であれば任意の大きさに形成することが可能であり、必ずしも均一な大きさに形成しなくてもよい。また、各孔6aの間隔は、第1窒化物系化合物半導体層8の横方向への成長により孔6aが良好に被覆されるように、それぞれ10μm以内に形成することが好ましい。さらに、各孔6aの開口面積の合計は、電位障壁を低減するために、第1窒化アルミニウム層6の全面の30%以上であることが好ましい。
【0045】
続いて、孔6aの形成されたシリコン基板5を、再びMOCVD装置の反応室内に配置して、1120℃で10分程度の熱処理を施し、その表面をサーマルクリーニングして表面の酸化膜を除去する(サーマルクリーニング工程)。
【0046】
次に、シリコン基板5の温度を700℃まで下げる。シリコン基板5の温度が700℃にまで下がると、MOCVD装置の反応室内に、トリメチルインジウムガス(TMIガス)を所定量、例えば、59μmol/min、トリメチルガリウムガス(TMGガス)を所定量、例えば、6.2μmol/min、アンモニアガスを所定量、例えば、0.23mol/min、及びシランガスを所定量、例えば、21nmol/min供給する(第1GaInN層形成工程)。なお、シランガスを供給したのは、第1窒化物系化合物半導体層8中にn形不純物としてのシリコンを導入するためである。
【0047】
図4に第1GaInN層の形成過程の概略を示す。図4(a)に示すように、第1窒化アルミニウム層6の上面に上記ガスが供給されると、孔6a内に供給されたガリウム及びインジウムと、シリコン基板5のシリコンとが反応して、孔6a内及び孔6aに対向するシリコン基板5の所定領域に金属化合物領域7が形成される。一方、孔6aが形成されていない第1窒化アルミニウム層6の上面では、垂直な方向に結晶性の良好なn形Ga0.5In0.5N層が形成されるとともに、横方向にエピタキシャル成長する。そして、図4(b)に示すように、横方向に成長したn形Ga0.5In0.5N層が金属化合物領域7の上を覆うように合体することにより、第1窒化アルミニウム層6及び金属化合物領域7上に、厚さ約20nmの結晶性の良好なn形Ga0.5In0.5Nからなる第1窒化物系化合物半導体層8を形成する。結晶性の良好な第1窒化物系化合物半導体層8を形成できるのは、シリコン基板5上にバッファ層として機能する第1窒化アルミニウム層6が形成されているためである。
【0048】
ここで、図4(b)に示すように、第1窒化アルミニウム層6の孔6aに対向する位置の第1窒化物系化合物半導体層8にはシリコンが拡散して金属化合物領域7が形成される。しかし、孔6aに対向しない位置の第1窒化物系化合物半導体層8にはシリコンが拡散されない。このシリコンが拡散されない結晶性の良好なn形Ga0.5In0.5N層が成長することにより、第1窒化物系化合物半導体層8が形成されるので、第1窒化物系化合物半導体層8には結晶性の良好なn形Ga0.5In0.5N層が形成される。
【0049】
このように、金属化合物領域7及び第1窒化物系化合物半導体層8が形成され、金属化合物領域7は、シリコン基板5と第1窒化物系化合物半導体層8との間に介在して、これらの間の電気的接続を良好にする。すなわち、シリコン基板5と金属化合物領域7と第1窒化物系化合物半導体層8とからなる経路には、シリコン基板5と第1窒化アルミニウム層6と第1窒化物系化合物半導体層8とからなる経路に比べて、電位障壁が相対的に低い導電路が形成される。このため、シリコン基板5と第1窒化物系化合物半導体層8との間の電位障壁が低減される。
【0050】
次に、シリコン基板5の温度を1040℃まで上げる。シリコン基板5の温度が1040℃まで上がると、MOCVD装置の反応室内に、トリメチルアルミニウムガス(TMAガス)を所定量、例えば、63μmol/min、アンモニアガス(NH3)を所定量、例えば、0.14mol/min供給して、第1窒化物系化合物半導体層8の上面に、厚さ約2nmの窒化アルミニウムからなる第2窒化アルミニウム層9を形成する(第2窒化アルミニウム層形成工程)。
【0051】
続いて、シリコン基板5の温度を700℃まで下げる。シリコン基板5の温度が700℃にまで下がると、MOCVD装置の反応室内に、トリメチルインジウムガス(TMIガス)を所定量、例えば、9.8μmol/min、トリメチルガリウムガス(TMGガス)を所定量、例えば、6.2μmol/min、アンモニアガスを所定量、例えば、0.23mol/min、及びシランガスを所定量、例えば、21nmol/min供給し、厚さ約20nmのn形Ga0.9In0.1Nからなる第2窒化物系化合物半導体層10を形成する(第2GaInN層形成工程)。
【0052】
次に、第2窒化物系化合物半導体層10上に発光機能層11を形成する。
まず、シリコン基板5の温度を1040℃まで上げる。シリコン基板5の温度が1040℃まで上がると、MOCVD装置の反応室内に、トリメチルガリウムガス(TMGガス)を所定量、例えば、4.3μmol/min、アンモニアガスを所定量、例えば、53.6mmol/min、シランガスを所定量、例えば、1.5nmol/min供給し、第2窒化物系化合物半導体層10の上面にn形GaNからなる厚さ約500nmのn形クラッド層12を形成する(n形クラッド層形成工程)。なお、n形クラッド層12の不純物濃度は3×1018cm−3であり、シリコン基板5の不純物濃度よりも十分に低い。
【0053】
次に、シリコン基板5の温度を800℃まで下げる。シリコン基板5の温度が800℃まで下がると、MOCVD装置の反応室内に、トリメチルガリウムガス(TMGガス)を所定量、例えば、1.1μmol/min、アンモニアガスを所定量、例えば、67mmol/min、トリメチルインジウムガス(TMIガス)を所定量、例えば、4.5μmol/min、ビスシクロペンタジェニルマグネシウムガス(Cp2Mgガス)を所定量、例えば、12nmol/min供給し、n形クラッド層12上に厚さ約3nmのp形GaInNからなる活性層13を形成する(活性層形成工程)。なお、ビスシクロペンタジェニルマグネシウムガスを供給したのは、活性層13中にp形導電形の不純物としてのMgを導入するためである。また、活性層13の不純物濃度は3×1017cm−3である。
【0054】
続いて、シリコン基板5の温度を1040℃まで上げる。シリコン基板5の温度が1040℃まで上がると、MOCVD装置の反応室内に、トリメチルガリウムガス(TMGガス)を所定量、例えば、4.3μmol/min、アンモニアガスを所定量、例えば、53.6μmol/min、ビスシクロペンタジェニルマグネシウムガス(Cp2Mgガス)を所定量、例えば、0.12μmol/min供給し、活性層13上に厚さ約500nmのp形GaNからなるp形クラッド層14を形成する(p形クラッド層形成工程)。なお、p形クラッド層14の不純物濃度は3×1018cm−3である。
【0055】
以上のように形成された発光機能層11(n形クラッド層12、活性層13、p形クラッド層14)と、第1窒化物系化合物半導体層8との間には、第2窒化アルミニウム層9が形成されているので、ガリウム、インジウム等の反応が発光機能層11にまで進行しなくなる。このため、発光機能層11の結晶性が劣化しなくなる。
【0056】
その後、真空蒸着法によって形成されたアノード電極3を低抵抗性接触させて、p形クラッド層14の上面に設置する。また、真空蒸着法によって形成されたカソード電極4を低抵抗性接触させて、シリコン基板5の下面に設置する(電極形成工程)。
このような工程により、図1に示すような発光素子1が製造される。
【0057】
以上説明したように、本実施の形態によれば、第1窒化アルミニウム層6の孔6a内に金属化合物領域7が形成されているので、電位障壁が相対的に低い導電路が形成される。このため、シリコン基板5と第1窒化物系化合物半導体層8との間の電位障壁が低減され、発光素子1の駆動電圧を低減することができる。また、シリコン基板5上に第1窒化アルミニウム層6が形成されているので、シリコン基板5上に結晶性の良好な発光機能層11を形成することができる。
【0058】
本実施の形態によれば、第1窒化物系化合物半導体層8と発光機能層11との間に、第2窒化アルミニウム層9が形成されているので、発光機能層11の結晶性が劣化しなくなる。
【0059】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限られず、種々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能な他の実施の形態について説明する。
【0060】
上記実施の形態では、第1窒化物系化合物半導体層8と発光機能層11との間に第2窒化アルミニウム層9を形成した場合を例に本発明を説明したが、例えば、図5に示すように、第2窒化アルミニウム層9を多層に形成してもよい。この場合、ガリウム、インジウム等の反応が発光機能層11に進行することを確実に抑制することができる。また、1層当たりの第2窒化アルミニウム層9の厚さを、例えば、0.5nm程度にまで薄くすることができる。
【0061】
上記実施の形態では、第1窒化物系化合物半導体層8と発光機能層11との間に第2窒化アルミニウム層9を形成した場合を例に本発明を説明したが、図6に示すように、第2窒化アルミニウム層9及び第2窒化物系化合物半導体層10を形成しなくてもよい。この場合にも第1窒化アルミニウム層6の孔6a内に金属化合物領域7が形成されていれば発光素子1の駆動電圧を低減することができ、シリコン基板5上に結晶性の良好な発光機能層11を形成することができる。
【0062】
上記実施の形態では、第1窒化物系化合物半導体層8、第2窒化物系化合物半導体層10、n形クラッド層12がn形半導体領域等の場合を例に本発明を説明したが、シリコン基板5、第1窒化物系化合物半導体層8、第2窒化物系化合物半導体層10、n形クラッド層12、活性層13、p形クラッド層14の導電形を反転してもよい。この場合にも、シリコン基板5上に結晶性の良好な発光機能層11を形成でき、また、発光素子1の駆動電圧を低減することができる。
【0063】
上記実施の形態では、MOCVD装置の反応室内で発光素子を製造する場合を例に本発明を説明したが、例えば、MOCVD装置に反応室を複数設け、各製造工程ごとに別々の反応室を用いてもよい。
【0064】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の発光素子によれば、シリコン基板上に結晶性の良好な発光機能層を形成できる。また、その駆動電圧を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の発光素子の断面構造を示した概略図である。
【図2】本発明の実施の形態の第1窒化アルミニウム層の平面図である。
【図3】本発明の実施の形態の発光素子の製造手順を説明するためのタイムシーケンスを示した図である。
【図4】本発明の実施の形態の第1窒化物系化合物半導体層の形成過程を説明するための概略図である。
【図5】本発明の他の実施の形態の発光素子の断面構造を示した概略図である。
【図6】本発明の他の実施の形態の発光素子の断面構造を示した概略図である。
【符号の説明】
1 発光素子
5 シリコン基板
6 第1窒化アルミニウム層
6a 孔
7 金属化合物領域
8 第1窒化物系化合物半導体層
9 第2窒化アルミニウム層
10 第2窒化物系化合物半導体層
11 発光機能層
Claims (15)
- シリコン基板と、
前記シリコン基板上に形成され、複数の孔を有する窒化アルミニウム層と、
少なくとも前記孔内に形成され、ガリウムとインジウムとシリコンとを主成分とする複数の金属化合物領域と、
前記窒化アルミニウム層及び前記金属化合物領域上に形成され、ガリウムとインジウムとを含む窒化物系化合物半導体層と、
前記窒化物系化合物半導体層上に形成され、発光機能を有する窒化物系化合物半導体からなる発光機能層と、
を備え、
前記金属化合物領域は、前記孔内と、前記シリコン基板及び前記窒化物系化合物半導体層の前記孔に対向する領域に形成され、
前記窒化物系化合物半導体層の前記孔に対向しない位置にはシリコンが拡散していない、ことを特徴とする発光素子。 - 前記窒化アルミニウム層は、その全面に前記複数の孔が点在するように形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記孔は、それぞれ0.03μm2〜300μm2の面積に形成されている、ことを特徴とする請求項1または2に記載の発光素子。
- 前記各孔は、その間隔が10μm以内に形成されている、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記孔は、その面積の合計が前記窒化アルミニウム層の面積の30%以上に形成されている、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記窒化物系化合物半導体層は、1nm〜100nmの厚さに形成されている、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記窒化物系化合物半導体層と前記発光機能層との間に、ガリウム及びインジウムの反応を抑制可能な窒化アルミニウムからなる反応抑制層を備える、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の発光素子。
- 前記反応抑制層と前記発光機能層との間に、該発光機能層よりバンドギャップの小さい窒化物系化合物半導体層を備える、ことを特徴とする請求項7に記載の発光素子。
- シリコン基板上に、窒化アルミニウム層を形成する工程と、
前記窒化アルミニウム層に複数の孔を形成する工程と、
少なくとも前記孔内にガリウムとインジウムとシリコンとを主成分とする金属化合物領域をそれぞれ形成する工程と、
前記窒化アルミニウム層上及び前記金属化合物領域上に、ガリウムとインジウムとを含む窒化物系化合物半導体層を形成する工程と、
前記窒化物系化合物半導体層上に、発光機能を有する窒化物系化合物半導体からなる発光機能層を形成する工程と、
を備え、
前記金属化合物領域をそれぞれ形成する工程では、前記孔内と、前記シリコン基板及び前記窒化物系化合物半導体層の前記孔に対向する領域に前記金属化合物領域を形成し、
前記窒化物系化合物半導体層を形成する工程では、前記孔に対向しない位置にはシリコンが拡散していない、ことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記孔を前記窒化アルミニウム層の全面に点在するように形成する、ことを特徴とする請求項9に記載の発光素子の製造方法。
- 前記孔の面積を0.03μm2〜300μm2の範囲内に形成する、ことを特徴とする請求項9または10に記載の発光素子の製造方法。
- 前記各孔の間隔を10μm以内に形成する、ことを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記孔の面積の合計を前記窒化アルミニウム層の面積の30%以上に形成する、ことを特徴とする請求項9乃至12のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記窒化物系化合物半導体層と前記発光機能層との間に、窒化アルミニウムからなる反応抑制層を形成する工程を備える、ことを特徴とする請求項9乃至13のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記反応抑制層と前記発光機能層との間に、該発光機能層よりバンドギャップの小さい窒化物系化合物半導体層を形成する工程を備える、ことを特徴とする請求項14に記載の発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001039623A JP4701513B2 (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | 発光素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002246644A JP2002246644A (ja) | 2002-08-30 |
JP4701513B2 true JP4701513B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=18902370
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001039623A Expired - Fee Related JP4701513B2 (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | 発光素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4701513B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101773091B1 (ko) | 2011-05-20 | 2017-08-30 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 소자 및 그 제조 방법 |
KR101851206B1 (ko) * | 2011-08-10 | 2018-04-24 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 성장용 기판, 질화물 반도체 소자 및 그 제조방법 |
JP2015005534A (ja) * | 2013-06-18 | 2015-01-08 | 学校法人立命館 | 縦型発光ダイオードおよび結晶成長方法 |
KR102556549B1 (ko) * | 2022-07-29 | 2023-07-18 | 김남수 | GaN 시스템 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05343741A (ja) * | 1991-12-18 | 1993-12-24 | Hiroshi Amano | 窒化ガリウム系半導体素子及びその製造方法 |
JPH09129926A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-05-16 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | Iii族窒化物発光素子 |
JPH10321942A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-12-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子 |
JP2000277441A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Nagoya Kogyo Univ | 半導体構造とそれを備えた半導体素子及び結晶成長方法 |
-
2001
- 2001-02-16 JP JP2001039623A patent/JP4701513B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05343741A (ja) * | 1991-12-18 | 1993-12-24 | Hiroshi Amano | 窒化ガリウム系半導体素子及びその製造方法 |
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JP2000277441A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Nagoya Kogyo Univ | 半導体構造とそれを備えた半導体素子及び結晶成長方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002246644A (ja) | 2002-08-30 |
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