JP4687100B2 - 基板検査方法及び基板検査装置 - Google Patents
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Description
但し、(Xi、Yi)は個々の部品位置情報、Nは部品点数である。
202 レジスト面
203 シルク面
204 合成面
301 部品群重心
302 ランド群重心
303 ランド
304 部品
501 部品重心
502 ランド重心
503 ランド
504 部品
701 データ記憶部
702 画像作成部
703 ランド情報取得部
704 部品情報取得部
705 代表座標導出部
706 オフセット算出部
707 位置補正部
801 左上座標
802 右下座標
901 選択部品領域
902 ランド領域
903 画像走査方向
904 ランド領域探索方向
1001 選択部品
1002 ランド
1003 選択部品左上座標
1004 選択部品右下座標
1005 ランド左上座標
1006 ランド右下座標
1101 算出対象領域
1102 重心位置
1201 算出対象領域
1202 重心位置
Claims (5)
- 部品実装情報と基板設計情報に基づく位置合せを行うことで、部品検査に用いる検査データの自動作成を行い、当該検査データに基づき基板検査を行う基板検査方法において、
前記基板設計情報または部品実装情報より各々の部品の位置情報を取得し、全ての部品の位置情報に基づいて部品代表座標を算出し、
前記基板設計情報より各々のランド領域を抽出し、抽出された各々のランド領域より各々のランド領域の位置情報を算出し、全てのランド領域の位置情報に基づいてランドの代表座標を算出し、
前記部品代表座標と前記ランド代表座標との差であるオフセットを算出し、
当該オフセットに基づき前記部品代表座標と前記ランド代表座標を一致させて、部品とランドが位置合せされた検査データの作成を行うことを特徴とする基板検査方法。 - 部品実装情報と基板設計情報に基づく位置合せを行うことで、部品検査に用いる検査データの自動作成を行い、当該検査データに基づき基板検査を行う基板検査方法において、
前記基板設計情報または部品実装情報より部品位置情報を取得し、任意に選択した選択部品の位置情報に基づいて部品代表座標を算出し、
前記基板設計情報より当該選択部品に対応するランド領域を抽出し、抽出された各々のランド領域より各々のランド領域の位置情報を算出し、当該選択部品に対応するランド領域の位置情報に基づいてランド代表座標を算出し、
前記部品代表座標と前記ランド代表座標との差であるオフセットを算出し、
当該オフセットに基づき前記部品代表座標と前記ランド代表座標を一致させて、部品とランドが位置合せされた検査データの作成を行うことを特徴とする基板検査方法。 - 前記ランド代表座標は、ランド領域を構成する単位画素の座標値の総和を、当該ランド領域の構成画素数で除算して求めることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の基板検査方法。
- 部品実装情報と基板設計情報を記憶するデータ記憶部と、
前記データ記憶部より部品位置情報を取得する部品情報取得部と、
前記基板設計情報より基板設計画像を作成する画像作成部と、
前記画像作成部からランド領域を抽出してランド情報を取得するランド情報取得部と、
該ランド情報取得部より取得したランド情報と前記部品情報取得部にて取得した部品情報を用いてランド代表座標及び部品代表座標を導出する代表座標導出部と、
当該ランド代表座標と部品代表座標の差であるオフセットを算出するオフセット算出部と、
を備え、当該オフセットに基づき前記ランド代表座標と部品代表座標を一致させて、部品とランドが位置合せされた検査データの作成を行うことを特徴とする基板検査装置。 - 前記ランド代表座標は、ランド領域を構成する単位画素の座標値の総和を、当該ランド領域の構成画素数で除算して求めることを特徴とする請求項4に記載の基板検査装置。
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