JP4686262B2 - 内壁面の検査装置 - Google Patents
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Description
また、ファイバーセンサを回転させる方法がある。
また、後者のファイバーセンサを用いる内壁面の検査装置では、回転数が2000rpm程度で、高速化の点で問題があった。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
したがって、高速で内壁面の検査を行なうことができる。
このため、円筒2の内壁面2aに発光素子14からの光を照射しながら高速回転しながら反射光を受光素子17で受光し、解析装置25で解析する作業が円筒2の円周方向および軸心方向で行なうことができる。
しかも、その速度は動圧軸受けモータ12の高速回転で行なうことができる。
[発明を実施するための異なる形態]
測定する円筒2の内壁面2aの全周部を照明することができるように光を照射する複数個の照明ライト14aを備えた照明装置14Aと、ケース体3内にシャフト7の透孔6からの光を受光する高速の受光素子17とを備え、前記照明装置14Aで測定する円筒2の内壁面2aに照射された、該内壁面2aが鏡面でなく光が乱反射した乱反射光を集光レンズ19、反射ミラー16、シャフト7の透孔6を通過させて光は高速の受光素子17で受光されるようにした点で、このように構成した内壁面の検査装置1Aにしても、測定する円筒2の内壁面2aが鏡面でない部分での乱反射光を高速の受光素子17で受光でき、該部分の面状態が悪いという測定ができる。
さらに光が透過する材質にすることにより、シャフトやハブの透孔を不用とすることもできる。
この場合、バランサー15はいわゆる重量を有する接着剤などのバランスウェトが用いられるが、回転部材の外周部に設ければ、その分バランサーを小さくできる。
また、シャフトの上端面と、ハブ中央の透孔を塞ぐことにより、シャフト上端面とハブ中央底面とが対向する箇所が、スリーブ上方の内側面により、ほぼ密閉された空間となるため、回転部材のスラスト方向の位置が安定するという効果が得られる。
2:円筒、 3:ケース体、
4:スリーブ、 5:気体空間、
6:透孔、 7:シャフト、
8:永久磁石、 9:バックヨーク、
10:ハブ、 11:コイル、
12:動圧軸受モータ、 13:ビームスプリッター、
14:発光素子、 15:バランサー、
16:反射ミラー、 17:受光素子、
18:集光レンズ、 19:集光レンズ、
20:集光レンズ、 21:送り機構、
22、22A:カバー、 23:ケース、
24:支持台、 25:解析装置、
26:シャフト本体、 27:凹部、
28:ガラス栓、 29:軸、
30:出没移動させる装置。
Claims (3)
- ケース体と、このケース体の一面のほぼ中央部より突出するように端部が固定された光を軸心方向に通すことができるシャフト、このシャフト外周部に気体空間を介して回転可能に配置されたスリーブ、このスリーブに固定された回転部材とを備える動圧軸受けモータと、前記ケース体に取付けられた測定する内壁面へ光を照射する照明装置と、この照明装置で測定する内壁面へ照射された光の反射光を前記シャフトへ導くことができるように前記スリーブに固定された回転部材に取付けられた反射ミラーと、この反射ミラーからの光を受光する、前記ケース体内に設置した高速の受光素子とからなることを特徴とする内壁面の検査装置。
- ケース体は動圧軸受けモータのシャフトの軸心方向と同方向へ移動させる送り機構に取付けられていることを特徴とする請求項1記載の内壁面の検査装置。
- 動圧軸受けモータの回転部材の外周部は光透過性の材質で形成されたカバーで覆われていることを特徴とする請求項1、2いずれかに記載の内壁面の検査装置。
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JP2005162110A JP4686262B2 (ja) | 2005-06-02 | 2005-06-02 | 内壁面の検査装置 |
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