JP4681896B2 - オゾン生成装置 - Google Patents

オゾン生成装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4681896B2
JP4681896B2 JP2005024903A JP2005024903A JP4681896B2 JP 4681896 B2 JP4681896 B2 JP 4681896B2 JP 2005024903 A JP2005024903 A JP 2005024903A JP 2005024903 A JP2005024903 A JP 2005024903A JP 4681896 B2 JP4681896 B2 JP 4681896B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lid
cylindrical portion
diameter cylindrical
ozone
discharge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005024903A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006213533A (ja
Inventor
久二男 稲場
Original Assignee
株式会社リガルジョイント
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社リガルジョイント filed Critical 株式会社リガルジョイント
Priority to JP2005024903A priority Critical patent/JP4681896B2/ja
Publication of JP2006213533A publication Critical patent/JP2006213533A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4681896B2 publication Critical patent/JP4681896B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Description

本発明は、例えば、オゾン水生成装置等のオゾンガス生成源に使用されるオゾン生成装置に関する。
従来から、殺菌装置、脱臭装置、漂白装置、浄水装置等にはオゾンガスが広く利用されている。
オゾンガスを生成するには、放電装置の放電電極を使用し、酸素ガスを、放電電極を備えた放電領域内の放電ビームの中を通過するように供給することにより、酸素をオゾン化させる方法がある(例えば、特許文献1参照)。このとき、適切な濃度の酸素ガスを放電ビーム中を一定時間かけて通過するように供給すると、酸素ガスを良好にオゾン化できる。
特開平8−283005号公報
ここで、従来のオゾン生成装置には、次のような解決すべき課題があった。
上記の装置で、酸素ガスの濃度や流速が過剰な場合には、十分にオゾン化しないガスが排出される。しかし、適切な濃度の酸素ガスを、放電ビーム中を一定時間かけて通過するように流量調整することは容易でない。
一方、本発明者は、セラミック製の絶縁基板の表面に編み目状に形成された平板電極に高電圧を印加すると、電極直上の広い領域に安定した放電ビームが形成され、その放電ビーム中を均一に酸素ガスが流れるよう制御すると、効率よくオゾンを生成できることを見い出した。
本発明は、上記の点に着目してなされたもので、均一で高濃度のオゾンを安定して生成することができるオゾン生成装置を提供することを目的とする。
本発明の実施例においては、それぞれ次のような構成により上記の課題を解決する。
〈構成1〉
導体プレートと、上記導体プレート上に、絶縁基板を介して配置された扁平な放電電極と、上記放電電極の周囲を取り囲むように上記導体プレート上に配置された枠体と、上記枠体上に配置され、上記放電電極の一面上に扁平な放電領域を形成する、透明板材からなる蓋体と、上記蓋体と上記導体プレートとの間の、上記枠体の内周側に配設され、かつ酸素発生部に接続されて酸素を上記放電領域内に送り込む給気ノズルと、上記蓋体と上記導体プレートとの間の、上記枠体の内周側に配設され、かつ上記放電領域内で生成されたオゾンを上記放電領域内から所定の外部領域に向けて排出する排気ノズルと、上記放電領域内の上記放電電極に接触するように配設された電極ピンと、上記導体プレート、上記枠体及び上記蓋体を密着固定する締付け部材とを備えたことを特徴とするオゾン生成装置。
使用時に、透明蓋体を通じて、放電ビームによる熱線が放電領域全体から外部に放射される。故に、不透明な蓋を設けた場合に比べて著しく冷却効果が高まるという効果がある。また、放電状態が外部から透視観測でき、健全性のチェックが容易である。また、枠体や蓋体を導体プレート上に重ね合わせるときに、透明板材からなる蓋体を透視して導体プレート上の放電電極を目視しながら組立て作業ができるので、絶縁基板や放電電極その他の部品の衝突による破損を防止できるという、作業性改善の効果もある。また、放電領域内で結露が生じると放電が不安定になるが、蓋体が透明なので、内部で結露が生じているかを確認できる。ガスの流入流出口がコンパクトに確実に取付けられるから、全体として、十分に小型化ができる。
〈構成2〉
構成1に記載のオゾン生成装置において、上記蓋体を、透明ガラス板により構成したことを特徴とするオゾン生成装置。
蓋体全体を透明ガラス板にすると、放電電極が広く開放されて、熱放射による冷却効果が最大になる。また、蓋体として透明ガラス板を使用すると、枠体との密着性がよいので、気密な放電領域が容易に得られる。
〈構成3〉
構成1又は2に記載のオゾン生成装置において、上記蓋体の上面の外縁部に保護板が配設され、上記保護板の上から上記締付け部材が取付けられていることを特徴とするオゾン生成装置。
保護板を配設することにより、透明板材からなる蓋体が締付け部材による締付け力で破損することを防止できる。
〈構成4〉
構成1ないし3のいずれかに記載のオゾン生成装置において、上記給気ノズル及び上記排気ノズルは、軸心に中心孔が設けられた小径円筒部と、この小径円筒部に連なり、かつ、外周面に、上記小径円筒部の中心孔に通じる複数の横孔が放射状に設けられた大径円筒部とから構成され、上記小径円筒部が上記蓋体を貫通して外部に露出するように取付けられていることを特徴とするオゾン生成装置。
給気ノズルの大径円筒部の複数の横孔から放射方向に噴出した酸素ガスが放電領域内を乱流状態で複雑に流れ攪拌される。従って扁平な放電領域内を万遍なく酸素ガスが流れて、均一で高濃度のオゾンを効率よく生成することができる。
吸気ノズルと排気ノズルの各小径円筒部は、蓋体を貫通して外部に引き出されていることから、放電領域のサイズにかかわりなくガスの流量に応じて太さを自由に調節できる。
〈構成5〉
構成4に記載のオゾン生成装置において、上記大径円筒部の上端面が上記蓋体に対して気密に当接していることを特徴とするオゾン生成装置。
前記大径円筒部の上端面が蓋体に対して気密に当接し放電領域内の気密性を保持できる。オゾン雰囲気では、接着剤を使用することができないが、絶縁基板が給気ノズル及び排気ノズルの大径円筒部によって気密に当接されるため、接着剤なしでも絶縁基板を導体プレートに固定できる。
〈構成6〉
構成1ないし5のいずれかに記載のオゾン生成装置において、上記電極ピンは、上記放電電極に導体コイルばねを介して当接され、耐オゾン性材料からなる保持体により保持され、上記保持体は、小径円筒部と、この小径円筒部に連なる大径円筒部とから構成され、かつ、上記大径円筒部の両端面が上記締付け部材の締付け力によって、それぞれ上記蓋体と上記絶縁基板に気密に当接したものであることを特徴とするオゾン生成装置。
電極ピンと導体コイルばねが保持体によってオゾンによる腐食から保護され、保持体の両端面がそれぞれ蓋体と絶縁基板に対して気密に当接していることから、放電領域内の気密性が保持される。
〈構成7〉
構成1ないし6のいずれかに記載のオゾン生成装置において、上記導体プレートの下面にヒートシンクを配設したことを特徴とするオゾン生成装置。
放熱効果が良好であり、全体構成を小型化できる。
〈構成8〉
構成1ないし7のいずれかに記載のオゾン生成装置において、上記蓋体はガラスにより構成され、上記導体プレートはステンレス鋼により構成され、上記絶縁基板はセラミックにより構成され、上記枠体、上記給気ノズル及び排気ノズルと上記保持体は、それぞれ耐オゾン性樹脂により構成されていることを特徴とするオゾン生成装置。
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1は実施例1のオゾン生成装置を示す斜視図である。図2は同装置を分解して示す展開図である。
図1及び図2において、実施例1のオゾン生成装置12は、導体プレート14と、導体プレート14上に絶縁基板16を介して配置された放電電極18と、導体プレート14上に、放電電極18の周囲を取り囲むように、配置された枠体20と、枠体20上に配置された、透明ガラス板からなる蓋体24と、蓋体24と導体プレート14との間の、枠体20の内周側に配設された給気ノズル28及び排気ノズル30と、放電領域22内の放電電極18に接触するように配設された電極ピン42と、導体プレート14、枠体20及び蓋体24を密着固定する締付ボルトのような締付け部材50とを備えている。
給気ノズル28には酸素発生部54が接続されている。排気ノズル30にはオゾン水生成部56が接続されている。導体プレート14の下部には、放熱効果を良好にするヒートシンク52が配設されている。ヒートシンク52、導体プレート14、枠体20、蓋体22及び保護板26の各周縁に、それぞれ締付ボルト50を通す多数の貫通孔27A、27B、27C、27D、27Eが設けられている。これらの貫通孔27A、27B、27C、27D、27Eは、各部品に上下に対応して設けられている。
導体プレート14は、耐オゾン性材料であるステンレス鋼により、肉厚が10mm程度の平板に形成されたものである。絶縁基板16は、肉厚が1mm程度のセラミック板からなる。枠体20は、耐オゾン性のPTFA(ポリテトラフルオロエチレン)により、高さが4mm程度で、放電電極18の周囲を取り囲む四辺形に形成されている。
蓋体24は、肉厚が5mm程度のガラス板あるいは耐オゾン性の透明樹脂板からなり、放電電極18全体を外部から透視できる面積を有している。また、蓋体24は、放電電極18の発生する放電ビームの、最大高さ以下の位置に配置されている。蓋体24の所定位置に、給気ノズル28、排気ノズル30を取付けるための貫通孔32A、32Bと電極ピン42を取付けるための貫通孔32Cが設けられている。放電電極18全体を外部から透視できる面積を有しているから、放電電極18面上で発生した熱線が、蓋体24で反射することなく外部へ放出される。放熱の効果を考慮すると、蓋体24の透明部分の面積は、少なくとも放電電極18面の面積以上であることが好ましい。
放電電極18は、エッチングやスパッタリングで形成された網状の電気良導体からなり、セラミック製の絶縁基板16に嵌め込んで形成されている。導体プレート14の上面に絶縁基板16を介して配置された放電電極18の上方には、約1〜2mmの高さの扁平空間をなす放電領域22が形成されている。放電領域22は、放電電極18を支持する絶縁基板16と、放電電極18の周囲を包囲する枠体20と、枠体20上面を閉塞する蓋体24とから形成されている。枠体20の高さは放電領域22の高さを形成することになる。保護板26は、肉厚1mm程度のステンレス板からなり、コ字型に形成されている。2枚のコ字型部片が対向配置されて使用される。
図3は、導体プレート14上における給気ノズル28、排気ノズル30及び電極ピン42の配置状況を示す斜視図である。
図3に示すように、絶縁基板16及び放電電極18は導体プレート14のほぼ中央部に配置されている。給気ノズル28と排気ノズル30は、絶縁基板16上の放電電極18の両側に配置され上方に突出している。電極ピン42は、放電電極18のコーナ部に配置され上方に突出している。
図4は給気ノズル28又は排気ノズル30を示す斜視図、図5は同ノズルの取付け状況を示す縦断面図である。
給気ノズル28と排気ノズル30とは、同一の構成をなしている。すなわち、給気ノズル28又は排気ノズル30は、図4に示すように、PTFAにより、小径円筒部36Aと、この小径円筒部36Aに連なる大径円筒部36Bとを形成したものである。小径円筒部36Aの軸心には、中心孔34が設けられている。大径円筒部36Bの外周面には、小径円筒部36Aの中心孔34に通じる複数の横孔40が放射状に設けられている。なお、この横穴は、必ずしも全周方向に等間隔で配置される必要は無い。放射状に、適当な数だけ設けられていればよい。
給気ノズル28及び排気ノズル30は、図5に示すようにして取付けられている。
すなわち、給気ノズル28は、その大径円筒部36Bが放電領域22内の絶縁基板16上に配置され、小径円筒部36Aが蓋体24の貫通孔32A(図2)に嵌入されている。排気ノズル30は、その大径円筒部36Bが放電領域22内の絶縁基板16上に配置され、小径円筒部36Aが蓋体24の貫通孔32B(図2)に嵌入されている。
給気ノズル28又は排気ノズル30の各大径円筒部36A又は36Bの上端面は、締付け部材50の締付け力によって蓋体24に対して気密に当接している。
オゾン雰囲気では、接着剤を使用することができないが、絶縁基板16が給気ノズル28又は排気ノズル30の各大径円筒部36A又は36Bによって気密に当接されるため、接着剤なしでも導体プレート14に固着されている。これにより、給気ノズル28や排気ノズル30周りを十分に気密に保持することができる。しかも、組み立て工程が非常に簡単になるという効果もある。
図6は電極ピン42を示す斜視図、図7は同電極ピン42の取付け状況を示す縦断面図である。
電極ピン42は、図6、図7に示すように、T型の導体棒43と導体コイルばね48を連結したものをPTFAからなる保持体44で包覆したものである。導体コイルばね48の一端は、放電電極18に接触し、他端は、導体棒43の下端部43Aを、保持体44に対して常時ばね力で押し当てている。保持体44は、小径円筒部44Aと、この小径円筒部に連なる大径円筒部44Bとから構成されている。
大径円筒部44Bの高さは、給気ノズル28の大径円筒部36Bの高さとほぼ同一とされ、放電領域22高さを構成する。また保持体44の大径円筒部44Bの両端面は、締付け部材50の締付け力によって、それぞれ蓋体24と放電電極18に対して気密に当接している。従って、放電領域内の気密性が保持されると共に、電極ピン42の導体棒43と導体コイルばね48が保持体44によってオゾンによる腐食から保護される。
ヒートシンク52、導体プレート14、絶縁基板16、放電電極18、枠体20、蓋体22及び保護板26は、各部の周縁にそれぞれ設けられた多数の貫通孔27A、27B、27C、27D、27Eに締付ボルト50を通して締付けることにより、一体的に固定されている。この締付け力によって、各部品の接触面がシールされて放電領域22内の気密も保持されている。蓋体24がガラス製の場合は、保護板26を介して締付けられることによってガラス破損を防止できる。
締付け部材50としては、締付ボルトを使用することが望ましいが、各部品を密着固定するものであれば、締付ボルトに限定されるものではない。
電極ピン42は、高圧電源の正極に接続されたターミナル(図示せず)の下端と電気的に接触する。導体プレート14は高圧電源の負極に接続する。こうして、放電電極18の上方の空間にコロナ放電を発生させる。導体プレート14の下面には取付けたヒートシンク52により放電による温度上昇を抑える。水冷でも空冷でもよい。
給気ノズル28から供給された酸素は、横孔40を通じて放電領域22に進入し、絶縁基板16の上を通過して排気ノズル30に達する。このとき、放電領域22のほぼ全体にわたって、絶縁基板16上の放電電極18によるコロナ放電が生じていると、放電領域22を通過する酸素は効率よくオゾン化される。
図8は既存のオゾン生成装置の放電領域内におけるガスの流れを示す説明図、図9は本発明による装置の放電領域内におけるガスの流れを示す説明図である。
図8に示すように、放電領域22に対して給気ノズル58と排気ノズル60とを直線的に対向させて配置した場合は、給気ノズル58から送出された酸素ガスの流れ62は、排気ノズル60に向って層流となる。この流れ62は十分な広がりがなく、放電領域22内の放電ビーム中を通過する時間が短くなる。このため、放電領域22内で、酸素ガスの濃い部分と薄い部分とができる。
これに対して本発明では図9に示すように、給気ノズル28の大径円筒部の複数の横孔から酸素ガスが放射方向に噴出することにより、扁平な放電領域22中で酸素ガスの流れ62に乱流が発生する。酸素ガスは、乱流発生により、放電領域22内部を複雑に流れ、全体として攪拌される。すなわち、酸素ガスは、吸気ノズル28から排気ノズル30に向って扁平空間を万遍なく流れる。従って扁平な放電領域22内を万遍なく酸素ガスが流れて、効率よくオゾンを生成できる。
また本発明の構成とすることによって、透明ガラスの蓋体24を通じて、放電領域22内の放電ビームによる熱線が外部に放射されて冷却効果が高まる。不透明な蓋体24を使用した場合に比べて効率が向上する。また、蓋体24が透明であれば、蓋体24を所定位置に配置するときに枠体20を目視しながらセラミック製の絶縁基板16の上に組立て作業ができるので、絶縁基板16等の破損を防止できるという作業性改善の効果がある。
実験によれば、不透明な蓋体24を使用し、かつ、図8に示すように酸素ガスを側壁から対向する側壁に向って供給する既存のオゾン生成装置に比べて、本発明によるオゾン生成装置ではオゾン収率が17ポイントアップしたことが判明した。
実施例1のオゾン生成装置を示す斜視図。 同装置の展開図。 同装置の給気ノズル、排気ノズル及び電極ピンの配置状況を示す斜視図。 同装置の給気ノズル又は排気ノズルを示す斜視図。 同ノズルの取付け状況を示す縦断面図。 同装置の電極ピンを示す斜視図。 同電極ピンの取付け状況を示す縦断面図。 既存のオゾン生成装置の放電領域内におけるガスの流れを示す説明図。 本発明による装置の放電領域内におけるガスの流れを示す説明図。
符号の説明
14 導体プレート
16 絶縁基板
18 放電電極
20 枠体
22 放電領域
24 蓋体
26 保護板
27Aないし27E 貫通孔
28 給気ノズル
30 排気ノズル
32Aないし32C 貫通孔
34 中心孔
36A 小径円筒部
36B 大径円筒部
40 横孔
42 電極ピン
50 締付け部材
52 ヒートシンク
54 酸素発生部
56 オゾン水生成部

Claims (7)

  1. 導体プレートと、
    前記導体プレート上に、絶縁基板を介して配置された扁平な放電電極と、
    前記放電電極の周囲を取り囲むように前記導体プレート上に配置された枠体と、
    前記枠体上に配置され、前記放電電極の一面上に扁平な放電領域を形成する、透明板材からなる蓋体と、
    前記蓋体と前記導体プレートとの間の、前記枠体の内周側に配設され、かつ酸素発生部に接続されて酸素を前記放電領域内に送り込む給気ノズルと、
    前記蓋体と前記導体プレートとの間の、前記枠体の内周側に配設され、かつ前記放電領域内で生成されたオゾンを前記放電領域内から所定の外部領域に向けて排出する排気ノズルと、
    前記放電領域内の前記放電電極に接触するように配設された電極ピンと、
    前記導体プレート、前記枠体及び前記蓋体を密着固定する締付け部材とを備え、
    前記給気ノズル及び前記排気ノズルは、軸心に中心孔が設けられた小径円筒部と、この小径円筒部に連なり、かつ、外周面に、前記小径円筒部の中心孔に通じる複数の横孔が放射状に設けられた大径円筒部とから構成され、前記小径円筒部が前記蓋体を貫通して外部に露出するように取付けられていることを特徴とするオゾン生成装置。
  2. 請求項1に記載のオゾン生成装置において、
    前記蓋体を、透明ガラス板により構成したことを特徴とするオゾン生成装置。
  3. 請求項1又は2に記載のオゾン生成装置において、
    前記蓋体の上面の外縁部に保護板が配設され、前記保護板の上から前記締付け部材が取付けられていることを特徴とするオゾン生成装置。
  4. 請求項1乃至3のいずれかに記載のオゾン生成装置において、
    前記大径円筒部の上端面が前記蓋体に対して気密に当接していることを特徴とするオゾン生成装置。
  5. 請求項1乃至4のいずれかに記載のオゾン生成装置において、
    前記電極ピンは、前記放電電極に導体コイルばねを介して当接され、耐オゾン性材料からなる保持体により保持され、
    前記保持体は、小径円筒部と、この小径円筒部に連なる大径円筒部とから構成され、かつ、前記大径円筒部の両端面が前記締付け部材の締付け力によって、それぞれ前記蓋体と前記絶縁基板に気密に当接したものであることを特徴とするオゾン生成装置。
  6. 請求項1乃至5のいずれかに記載のオゾン生成装置において、
    前記導体プレートの下面にヒートシンクを配設したことを特徴とするオゾン生成装置。
  7. 請求項1乃至6のいずれかに記載のオゾン生成装置において、
    前記蓋体はガラスにより構成され、
    前記導体プレートはステンレス鋼により構成され、
    前記絶縁基板はセラミックにより構成され、
    前記枠体、前記給気ノズル及び排気ノズルと前記保持体は、それぞれ耐オゾン性樹脂により構成されていることを特徴とするオゾン生成装置。
JP2005024903A 2005-02-01 2005-02-01 オゾン生成装置 Expired - Fee Related JP4681896B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005024903A JP4681896B2 (ja) 2005-02-01 2005-02-01 オゾン生成装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005024903A JP4681896B2 (ja) 2005-02-01 2005-02-01 オゾン生成装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006213533A JP2006213533A (ja) 2006-08-17
JP4681896B2 true JP4681896B2 (ja) 2011-05-11

Family

ID=36977072

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005024903A Expired - Fee Related JP4681896B2 (ja) 2005-02-01 2005-02-01 オゾン生成装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4681896B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012036025A (ja) * 2010-08-04 2012-02-23 Ecotex Kk オゾナイザー

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0624707A (ja) * 1992-07-08 1994-02-01 Yamanashi Hightech Kk 誘電体セル及びそのセルを用いたオゾナイザ
JPH111304A (ja) * 1997-06-12 1999-01-06 Ngk Spark Plug Co Ltd オゾナイザ及びオゾナイザを備えた水浄化装置
JPH11139810A (ja) * 1997-11-04 1999-05-25 Ngk Spark Plug Co Ltd オゾン発生装置、水浄化装置およびこれらのクリーニング方法
JP2000128508A (ja) * 1998-10-28 2000-05-09 Star Micronics Co Ltd オゾン発生用放電体ユニットおよびオゾン発生装置
JP2001133388A (ja) * 1999-11-01 2001-05-18 Suga Test Instr Co Ltd 沿面放電型オゾン発生装置を備えたオゾンウェザーメーター
JP2002160905A (ja) * 2000-11-24 2002-06-04 Takahiko Sato オゾン発生器およびオゾン発生装置
JP2004224695A (ja) * 1999-01-29 2004-08-12 Sumitomo Precision Prod Co Ltd オゾン発生装置用放電セル

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0624707A (ja) * 1992-07-08 1994-02-01 Yamanashi Hightech Kk 誘電体セル及びそのセルを用いたオゾナイザ
JPH111304A (ja) * 1997-06-12 1999-01-06 Ngk Spark Plug Co Ltd オゾナイザ及びオゾナイザを備えた水浄化装置
JPH11139810A (ja) * 1997-11-04 1999-05-25 Ngk Spark Plug Co Ltd オゾン発生装置、水浄化装置およびこれらのクリーニング方法
JP2000128508A (ja) * 1998-10-28 2000-05-09 Star Micronics Co Ltd オゾン発生用放電体ユニットおよびオゾン発生装置
JP2004224695A (ja) * 1999-01-29 2004-08-12 Sumitomo Precision Prod Co Ltd オゾン発生装置用放電セル
JP2001133388A (ja) * 1999-11-01 2001-05-18 Suga Test Instr Co Ltd 沿面放電型オゾン発生装置を備えたオゾンウェザーメーター
JP2002160905A (ja) * 2000-11-24 2002-06-04 Takahiko Sato オゾン発生器およびオゾン発生装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006213533A (ja) 2006-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7734015B2 (en) X-ray tube and X-ray source including same
JP2002352997A (ja) 防爆型無発塵イオナイザー
JPH0351193B2 (ja)
US11857686B2 (en) UV emitter module and use thereof
JP2007066655A (ja) X線源
US7664229B2 (en) X-ray tube and x-ray source including same
JP4681896B2 (ja) オゾン生成装置
EP1542238B1 (en) Aerosol particle charging equipment
US7700052B2 (en) Ozone generator
JP2019527671A (ja) オゾン発生器ユニットおよびオゾン発生器システム
JP4829535B2 (ja) X線発生装置及び照射ユニット
JP2007005319A (ja) X線発生装置及びそれを用いた除電装置
JP4839475B2 (ja) X線照射型イオナイザ
JP4860227B2 (ja) 半導体レーザ装置
JP2549598B2 (ja) オゾン発生装置
KR102585307B1 (ko) 세미 유연 전극 포함 플라즈마 장치 및 이를 포함하는 악취 제거 장치
JP4890946B2 (ja) プラズマ処理装置
JP5879530B2 (ja) 液体処理装置
CN215637470U (zh) 一种浴霸
CN219646355U (zh) 车载消毒机
JP2001225067A (ja) 紫外線照射装置
WO2023232082A1 (zh) 一种等离子体发生装置、净化装置及电子设备
KR102086356B1 (ko) 고효율 방전형 오존 살균 시스템
CN108932982B (zh) 一种用于直线强磁场装置的高束流等离子体阵列源
JPH11139809A (ja) 両面冷却オゾナイザ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070425

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090728

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100709

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100823

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110201

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110207

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees