JP4670097B2 - ターゲットおよび該ターゲットによる高屈折率膜の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明のターゲットは、たとえば次のようにして作製できる。酸化ニオブ質ターゲットの場合、五酸化ニオブ粉末をホットプレス(高温高圧プレス)して焼結することにより、本発明のターゲットが形成される。この場合、粉末の粒径は0.05μmから40μmである。なお、ホットプレスの雰囲気は非酸化雰囲気とすることが重要であり、ターゲット中の酸素含有量の調整が容易なことから、アルゴンや窒素が好ましい。また、水素を添加することもできる。
また、ホットプレスの条件は、温度としては、1100〜1400℃で、圧力としては50〜100kg/cm2である。
市販されている高純度のNb2O5粉末を準備し、カーボン製のホットプレス用型に充填し、アルゴン雰囲気中で、1100℃〜1400℃の範囲の各種温度にて、1時間保持し、ホットプレスを行った。このときのホットプレス圧力は50kg/cm2とした。得られた焼結体の密度、比抵抗を測定した。
実施例3の1200℃でホットプレスした焼結体を直径6インチ、厚さ5mmの寸法に機械加工し、ターゲットを作製した。ターゲットは銅製のバッキングプレートにメタルボンドで接着して用いた。
比較例1として、実施例8のターゲットに替えて、金属チタンターゲットを用いて同様のスパッタリング成膜を行った。スパッタリングガスの酸素ガスの割合は20体積%とした。チタンターゲットの場合、酸素が20体積%より低いと膜は吸収性の膜となり、透明な膜を得るには酸素が20体積%以上必要であった。したがって、透明膜が得られ、もっとも成膜速度の速い酸素割合である20体積%の場合について行った。
表2の結果から明らかなように、本発明のターゲットを用いることにより高屈折率を有する透明なNb2O5膜が高速度で成膜できた。
市販されているNb2O5粉末に各種酸化物を各種量添加して、Nb2O5粉末とポールミルで混合した。これら各種混合粉末をカーボン製のホットプレス用型に充填し、実施例1と同様の条件でホットプレスを行い焼結体を得た。得られた焼結体について、密度、比抵抗を実施例1と同様に測定した。これらの結果を表3に示す。
参考例12〜16により得られた焼結体を用いて、実施例8〜11と同様にして、各種酸素濃度条件にてマグネトロンDCスパッタリング装置で成膜を行った。スパッタリング中の放電はきわめて安定しておりDCスパッタリングでも安定して成膜ができた。実施例8と同様にして測定した成膜速度および膜の屈折率を表4に示す。なお、得られた膜はすべて透明で膜の光吸収は無かった。
Claims (3)
- 化学量論的組成より酸素が不足している、化学式Nb2Oxで表されるニオブ酸化物からなるスパッタリングターゲットにおいて、xの範囲が4.930≦x≦4.995であり、かつ、室温での比抵抗値が0.12〜0.30Ωcmであることを特徴とする直流スパッタリング法用スパッタリングターゲット。
- 平均粒径0.05〜40μmの五酸化ニオブ粉末を、非酸化雰囲気において、温度1100〜1400℃、圧力50〜100kg/cm2でホットプレスして焼結することにより、化学式Nb2Oxで表され、xの範囲が4.930≦x≦4.995であり、かつ、室温での比抵抗値が0.12〜0.30Ωcmであるスパッタリングターゲットを得ることを特徴とする直流スパッタリング法用スパッタリングターゲットの製造方法。
- 酸化物スパッタリングターゲットを用いて直流スパッタリング法により高屈折率膜を形成する方法において、該ターゲットが、請求項1記載のスパッタリングターゲットであることを特徴とする高屈折率膜の形成方法。
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