JP4668288B2 - 角度分解スキャトロメータ、リソグラフィ装置、リソグラフィセル、およびアラインメントセンサ - Google Patents
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Description
Claims (14)
- 基板にデバイス層を製造するために使用されるリソグラフィプロセスによって前記基板に印刷されるターゲットパターンのパラメータに関連する値を求めるように構成された角度分解スキャトロメータであって、
第一波長範囲を有する第一放射ビームを放出するように構成された広帯域放射源と、
前記第一放射ビームを受けるように構成された音響光学結晶、
前記音響光学結晶に結合し、自身内で音波を励起するように構成された変換器、および、
前記第一波長範囲より狭い第二波長範囲を有する第二放射ビームとして、前記第一ビームおよび前記音波に応答して前記音響光学結晶が出力する複数のビームのうち1つを出力ビームとして選択するように構成されたビーム選択装置を含む、
音響光学波長可変フィルタと、
前記第二放射ビームを前記ターゲットパターンに誘導し、前記ターゲットパターンによって反射または散乱された放射を検出器に投影して、スキャトロメータのスペクトルを取得するように構成された、高いNAの対物レンズを含む光学システムと、
前記変換器に電気的に結合して、その駆動信号を生成するように構成され、前記第二波長範囲を制御するように前記駆動信号の周波数を制御するドライバ回路と、
を備え、
前記ドライバ回路が、複数の異なる周波数成分を有する駆動信号を生成するように構成され、
前記音響光学波長可変フィルタが、個々に異なる波長範囲を有する複数の第二放射ビームを同時に出力するように構成され、
さらに複数の検出器と、それぞれが前記第二放射ビームのうち特定のビームの所定部分を個々の前記検出器に逸らすように構成された複数の2色ビームスプリッタとを備え、
前記検出器がそれぞれ、前記個々の第二ビームの前記逸れた部分の強度を検出して、個々の強度測定信号を生成するように構成され、
前記ドライバ回路が、前記強度測定信号に応答して前記駆動信号の前記個々の周波数成分の前記振幅を制御し、これにより前記個々の第二放射ビームの前記振幅を制御する、
角度分解スキャトロメータ。 - 前記第二放射ビームが約20nm未満の帯域幅を有する、請求項1に記載の角度分解スキャトロメータ。
- 前記第二放射ビームが約10nm未満の帯域幅を有する、請求項2に記載の角度分解スキャトロメータ。
- 前記第二放射ビームが約5nm未満の帯域幅を有する、請求項3に記載の角度分解スキャトロメータ。
- 前記広帯域放射源が超連続レーザである、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の角度分解スキャトロメータ。
- 前記広帯域放射源がキセノンランプである、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の角度分解スキャトロメータ。
- パターンを照明するように構成された照明光学システムと、
前記パターンの像を基板に投影するように構成された投影光学システムと、
角度分解スキャトロメータと、
を備えるリソグラフィ装置であって、
前記角度分解スキャトロメータが、
第一波長範囲を有する第一放射ビームを放出するように構成された広帯域放射源と、
前記第一放射ビームを受けるように構成された音響光学結晶、
前記音響光学結晶に結合して、自身内で音波を励起するように構成された変換器、および、
前記第一波長範囲より狭い第二波長範囲を有する第二放射ビームとして、前記第一ビームおよび前記音波に応答して前記音響光学結晶が出力する複数のビームのうち1つを出力ビームとして選択するように構成されたビーム選択装置を含む、
音響光学波長可変フィルタと、
前記第二放射ビームを前記ターゲットパターンに誘導し、前記ターゲットパターンによって反射または散乱された放射を検出器に投影して、スキャトロメータのスペクトルを取得するように構成された、高いNAの対物レンズを含む光学システムと、
前記変換器に電気的に結合して、その駆動信号を生成するように構成され、前記第二波長範囲を制御するように前記駆動信号の周波数を制御するドライバ回路と、
を含み、
前記ドライバ回路が、複数の異なる周波数成分を有する駆動信号を生成するように構成され、
前記音響光学波長可変フィルタが、個々に異なる波長範囲を有する複数の第二放射ビームを同時に出力するように構成され、
さらに複数の検出器と、それぞれが前記第二放射ビームのうち特定のビームの所定部分を個々の前記検出器に逸らすように構成された複数の2色ビームスプリッタとを備え、
前記検出器がそれぞれ、前記個々の第二ビームの前記逸れた部分の強度を検出して、個々の強度測定信号を生成するように構成され、
前記ドライバ回路が、前記強度測定信号に応答して前記駆動信号の前記個々の周波数成分の前記振幅を制御し、これにより前記個々の第二放射ビームの前記振幅を制御する、
リソグラフィ装置。 - 放射感応性層で基板をコーティングするように構成されたコータと、
前記コータによってコーティングされた前記基板の前記放射感応性層に像を露光するように構成されたリソグラフィ装置と、
前記リソグラフィ装置によって露光された像を現像するように構成された現像器と、
請求項1に記載の角度分解スキャトロメータと、
を備えるリソグラフィセル。 - 基板にデバイス層を製造するために使用されるリソグラフィプロセスによって基板に印刷されるターゲットパターンの位置を割り出すように構成されたアラインメントセンサであって、
第一波長範囲を有する第一放射ビームを放出するように構成された広帯域放射源と、
前記第一放射ビームを受けるように構成された音響光学結晶、
前記音響光学結晶に結合し、自身内で音波を励起するように構成された変換器、および、
前記第一波長範囲より狭い第二波長範囲を有する第二放射ビームとして、前記第一ビームおよび前記音波に応答して前記音響光学結晶が出力する複数のビームのうち1つを出力ビームとして選択するように構成されたビーム選択装置を含む、
音響光学波長可変フィルタと、
自己参照干渉計を含み、前記第二放射ビームを前記ターゲットパターンに誘導して、前記ターゲットパターンによって反射または散乱された放射を検出器に投影するように構成された光学システムと、
前記変換器に電気的に結合して、その駆動信号を生成するように構成され、前記第二波長範囲を制御するように前記駆動信号の周波数を制御するような構成であるドライバ回路と、
を備え、
前記ドライバ回路が、複数の異なる周波数成分を有する駆動信号を生成するように構成され、これにより、前記音響光学波長可変フィルタが、個々に異なる波長範囲を有する複数の第二放射ビームを同時に出力するように構成され、
さらに複数の検出器と、それぞれが前記第二放射ビームの個々のビームの所定部分を個々の前記検出器に逸らせて、個々の強度測定信号を生成するように構成された複数の2色ビームスプリッタとを備え、
前記ドライバ回路が、前記強度測定信号に応答して、前記駆動信号の前記個々の周波数成分の前記振幅を制御し、これにより、前記個々の第二放射ビームの前記振幅を制御する、
アラインメントセンサ。 - 前記第二放射ビームが約20nm未満の帯域幅を有する、請求項9に記載のアラインメントセンサ。
- 前記第二放射ビームが約10nm未満の帯域幅を有する、請求項10に記載のアラインメントセンサ。
- 前記第二放射ビームが約5nm未満の帯域幅を有する、請求項11に記載のアラインメントセンサ。
- 前記広帯域放射源が超連続レーザである、請求項9乃至12のいずれか1項に記載のアラインメントセンサ。
- 前記広帯域放射源がキセノンランプである、請求項9乃至12のいずれか1項に記載のアラインメントセンサ。
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