JP4643389B2 - 汚染拭き取り装置、汚染除去方法および汚染検査方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明に係る汚染拭き取り装置の実施形態1を、図1〜5を参照して説明する。
ここで、Fdは目標とする押し付け力を、Fは真の押し付け力を、Kfは力制御積分ゲインを表す。Faは軌道の修正方向、すなわち、拭き取り面の法線方向の単位ベクトルである。
次に、特に放射線の影響を考慮した実施形態2を、図6を用いて説明する。ここで、実施形態1と同一または類似の部分には共通の符号を付して、重複説明は省略する。
Claims (15)
- 拭き取り対象物の表面を拭き取る汚染拭き取り装置において、
拭き取り部材を取り付けるスミヤヘッドと、
前記拭き取り対象物の表面に前記拭き取り部材を押し付けながら、前記拭き取り対象物の表面に沿う押し付け位置を変える移動手段と、
前記スミヤヘッドに作用する、前記拭き取り部材の押し付け方向の力と前記押し付け位置の変化方向の力を求めるために必要な少なくとも2方向の力を検出する力センサと、
前記力センサからの信号に基づき、前記押し付け方向の力と前記押し付け位置の変化方向の力を所定の範囲内に保つように前記移動手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする汚染拭き取り装置。 - 前記移動手段は、前記拭き取り対象物を移動させる手段を有することを特徴とする請求項1記載の汚染拭き取り装置。
- 前記移動手段は、前記拭き取り部材を移動させる手段を有することを特徴とする請求項1または請求項2記載の汚染拭き取り装置。
- 作用する力に応じて変形し復元する弾性機構を介して前記スミヤヘッドが前記力センサに取り付けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか記載の汚染拭き取り装置。
- 前記押し付け方向の力と前記押し付け位置の変化方向の力が所定の設定値を越えたときに、前記移動手段を停止させる手段と前記スミヤヘッドを前記拭き取り対象物に接触しない位置に退避させる手段の少なくとも一つの手段を有することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか記載の汚染拭き取り装置。
- 前記スミヤヘッドは、前記拭き取り部材を取り付けるスミヤバーと、前記力センサに取り付けられたスミヤバー受けを有し、前記スミヤバーはスミヤバー受けと着脱可能なように組み立てられていることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか記載の汚染拭き取り装置。
- 前記スミヤバーの着脱時の前記スミヤヘッドに作用する力が所定の範囲内になるように制御する手段を有することを特徴とする請求項6記載の汚染拭き取り装置。
- 前記移動手段は、
前記スミヤヘッドを互いに平行でない水平2方向および高さ方向に移動させる手段と、
前記拭き取り部材を前記拭き取り対象物に押し付ける方向を鉛直下方向から鉛直上方向まで連続的に変化させる姿勢変更手段と、
を有していることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか記載の汚染拭き取り装置。 - 前記拭き取り対象物は表面から放射線を放出するものであって、前記力センサは無機材質で構成される複数の歪ゲージを組み合わせたものであることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか記載の汚染拭き取り装置。
- 前記拭き取り対象物は表面から放射線を放出するものであって、前記移動手段は、アクチュエータを有し、そのアクチュエータが前記拭き取り対象物から発生する熱および放射線の影響が所定の制限値以下になる位置に配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか記載の汚染拭き取り装置。
- 前記アクチュエータと拭き取り対象物の間に、熱および放射線の少なくとも一方を遮蔽する壁を有することを特徴とする請求項10記載の汚染拭き取り装置。
- スミヤヘッドに取り付けられた拭き取り部材で拭き取り対象物の表面を拭き取る汚染除去方法において、
前記拭き取り部材に作用する前記拭き取り対象物への押し付け方向の力と押し付け位置の変化方向の力を求めるために必要な少なくとも2方向の力を力センサにより検出し、前記力センサからの信号に基づき前記スミヤヘッドに作用する前記拭き取り部材の押し付け方向の力と前記押し付け位置の変化方向の力が所定の範囲内になるように制御しながら、前記拭き取り対象物の表面を前記拭き取り部材で拭き取る、拭き取り工程、
を有することを特徴とする汚染除去方法。 - 前記拭き取り工程より前に、前記拭き取り部材を前記力センサに取り付ける、取り付け工程と、
前記拭き取り工程の後に、前記拭き取り部材を前記力センサから取り外す、取り外し工程と、
を有することを特徴とする請求項12記載の汚染除去方法。 - スミヤヘッドに取り付けられた拭き取り部材で被検査体の表面を拭き取り、その被検査体の表面の汚染の程度を測定する汚染検査方法において、
前記拭き取り部材に作用する前記被検査体への押し付け方向の力と押し付け位置の変化方向の力を求めるために必要な少なくとも2方向の力を力センサにより検出し、前記力センサからの信号に基づき前記スミヤヘッドに作用する前記拭き取り部材の押し付け方向の力と前記押し付け位置の変化方向の力が所定の範囲内になるように制御しながら、前記被検査体の表面を前記拭き取り部材で拭き取る、拭き取り工程と、
前記拭き取り工程の後に、前記拭き取り部材の汚染の程度を測定する測定工程と、
を有することを特徴とする汚染検査方法。 - 前記拭き取り工程より前に、前記拭き取り部材を前記力センサに取り付ける、取り付け工程と、
前記拭き取り工程の後で前記測定工程より前に、前記拭き取り部材を前記力センサから取り外す、取り外し工程と、
を有することを特徴とする請求項14記載の汚染検査方法。
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