JP4641259B2 - パワーmosfet - Google Patents
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Description
本発明は、概して、半導体デバイスおよびそれらを相互接続する方法の分野に関する。
本出願は、2003年6月19日に出願された米国特許出願第10/601,121号および2002年10月8日に出願された米国仮特許出願第60/416,942号の利益を主張し、それらは各々、全体として参照により本明細書に援用される。
現在、従来の横型パワー金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(「MOSFET」)が入手可能である。しかしながら、これら従来の横型パワーMOSFETには、金属相互接続の寄生抵抗によりオン抵抗が高いという問題がある。これは、通常、トランジスタセルを接続する際にかつデバイスの外部リードを接続する際に使用される長くかつ薄い相互接続によってもたらされる。この問題は、トランジスタのダイサイズが拡大し、より大きい電力負荷を扱うために多くのトランジスタセルが並列に接続される場合に悪化する。
本発明は、幅広の金属ランナまたは平面相互接続層と、チェッカー盤パターンで配置されるかまたは交互に配置される導電性パッド上の複数のはんだバンプと、を使用して、半導体基板上の領域を相互接続し、それにより寄生抵抗を低減するシステムを開示する。相互接続を、集積デバイスと同様に個別デバイスを接続するために使用してもよい。
本発明の好ましい実施形態は、従来のCMOS製作プロセスを使用して、本発明を具現化する半導体デバイスを作製することにより、生産のコストを削減する。しかしながら、本発明の一態様によれば、1つのタイプのMOSFETのみ(nチャネルMOSFETまたはpチャネルMOSFETのいずれか)がダイ上に作製される。本発明のデバイスは並列のnチャネルまたはpチャネルトランジスタのみから構成されるため、ラッチアップの問題が回避される。
Claims (8)
- 横型パワーMOSFET半導体デバイスであって、
a.半導体基板と、
b.該半導体基板における複数のソース要素を形成する複数の第1ドープ領域であって、前記ソース要素は、シリサイドの層によって定義される一つ以上の列に配列される、複数の第1ドープ領域と、
c.前記半導体基板における複数のドレイン要素を形成する複数の第2ドープ領域であって、前記ドレイン要素は、シリサイドの層によって定義され、前記複数のソース要素列と交互となる一つ以上の列に配列される、複数の第2ドープ領域と、
d.互いに平行な複数の第1ランナと複数の第2ランナとを有する第1接続層であって、前記複数の第1ランナと前記複数の第2ランナとは前記ソース要素および前記ドレイン要素の前記列に直交し、前記複数の第1ランナは、前記複数のソース要素列に接続され、前記複数の第2ランナは、前記複数のドレイン要素列に接続され、前記複数の第1ランナは前記複数の第2ランナと交互に配置される、第1接続層と、
e.複数の第3ランナと複数の第4ランナとを有する第2接続層であって、前記第3および第4ランナは前記第1ランナおよび第2ランナと直交し、前記複数の第3ランナは、前記複数の第1ランナに複数接続され、前記複数の第4ランナは、前記複数の第2ランナに複数接続され、前記複数の第3ランナは前記複数の第4ランナと交互に配置される、第2接続層と、
f.前記複数の第3ランナに複数接続された複数の第1パッドと、前記複数の第4ランナに複数接続された複数の第2パッドと、を有する第3接続層であって、前記第1のパッドおよび前記第2のパッドは、前記横型パワーMOSFET半導体デバイスを形成するためにチェッカー盤パターンに配置される、第3接続層と、
を具備し、
それにより、前記ソース要素および前記ドレイン要素への複数の電気的経路を有する、横型パワーMOSFET半導体デバイス。 - 前記複数の第1パッドは、少なくとも1つの第1のはんだバンプを有し、前記複数の第2パッドは、少なくとも1つの第2のはんだバンプを有する、請求項1に記載の横型パワーMOSFET半導体デバイス。
- 横型パワーMOSFET半導体デバイスであって、
a.半導体基板と、
b.該半導体基板における複数のソース要素を形成する複数の第1ドープ領域であって、前記ソース要素は、シリサイドの層によって定義される一つ以上の列に配列される、複数の第1ドープ領域と、
c.前記半導体基板における複数のドレイン要素を形成する複数の第2ドープ領域であって、前記ドレイン要素は、シリサイドの層によって定義され、前記複数のソース要素列と交互となる一つ以上の列に配列される、複数の第2ドープ領域と、
d.互いに平行な複数の第1ランナと複数の第2ランナとを有する第1接続層であって、前記複数の第1ランナと前記複数の第2ランナとは前記ソース要素および前記ドレイン要素の前記列に直交し、前記複数の第1ランナは、前記複数のソース要素列に接続され、前記複数の第2ランナは、前記複数のドレイン要素列に接続され、前記複数の第1ランナは前記複数の第2ランナと交互に配置される、第1接続層と、
e.前記複数の第1ランナに複数接続された複数の第1パッドと、前記複数の第2ランナに複数接続された複数の第2パッドと、を有する第2接続層であって、前記第1のパッドおよび前記第2のパッドは、前記横型パワーMOSFET半導体デバイスを形成するためにチェッカー盤パターンに配置される、第2接続層と、
を具備し、
それにより、前記ソース要素および前記ドレイン要素への複数の電気的経路を有する、横型パワーMOSFET半導体デバイス。 - 前記複数の第1パッドは、少なくとも1つの第1のはんだバンプを有し、前記複数の第2パッドは、少なくとも1つの第2のはんだバンプを有する、請求項3に記載の横型パワーMOSFET半導体デバイス。
- 横型パワーMOSFET半導体デバイスであって、
a.半導体基板と、
b.該半導体基板における複数のソース要素を形成する複数の第1ドープ領域であって、前記ソース要素は、シリサイドの層によって定義される一つ以上の列に配列される、複数の第1ドープ領域と、
c.前記半導体基板における複数のドレイン要素を形成する複数の第2ドープ領域であって、前記ドレイン要素は、シリサイドの層によって定義され、前記複数のソース要素列と交互となる一つ以上の列に配列される、複数の第2ドープ領域と、
d.互いに平行な複数の第1ランナと複数の第2ランナとを有する第1接続層であって、前記複数の第1ランナと前記複数の第2ランナとは前記ソース要素および前記ドレイン要素の前記列に直交し、前記複数の第1ランナは、前記複数のソース要素列に接続され、前記複数の第2ランナは、前記複数のドレイン要素列に接続され、前記複数の第1ランナは前記複数の第2ランナと交互に配置される、第1接続層と、
e.複数の第3ランナと複数の第4ランナとを有する第2接続層であって、前記第3および第4ランナは前記第1ランナおよび第2ランナと直交し、前記複数の第3ランナは、前記複数の第1ランナに複数接続され、前記複数の第4ランナは、前記複数の第2ランナに複数接続され、前記複数の第3ランナは前記複数の第4ランナと交互に配置される、第2接続層と、
f.前記複数の第3ランナに複数接続された複数の第1パッドと、前記複数の第4ランナに複数接続された複数の第2パッドと、を有する第3接続層であって、前記第1のパッドおよび前記第2のパッドは、前記横型パワーMOSFET半導体デバイスを形成するためにストライプパターンに配置される、第3接続層と、
を具備し、
それにより、前記ソース要素および前記ドレイン要素への複数の電気的経路を有する、横型パワーMOSFET半導体デバイス。 - 前記複数の第1パッドは、少なくとも1つの第1のはんだバンプを有し、前記複数の第2パッドは、少なくとも1つの第2のはんだバンプを有する、請求項5に記載の横型パワーMOSFET半導体デバイス。
- 横型パワーMOSFET半導体デバイスであって、
a.半導体基板と、
b.該半導体基板における複数のソース要素を形成する複数の第1ドープ領域であって、前記ソース要素は、シリサイドの層によって定義される一つ以上の列に配列される、複数の第1ドープ領域と、
c.前記半導体基板における複数のドレイン要素を形成する複数の第2ドープ領域であって、前記ドレイン要素は、シリサイドの層によって定義され、前記複数のソース要素列と交互となる一つ以上の列に配列される、複数の第2ドープ領域と、
d.互いに平行な複数の第1ランナと複数の第2ランナとを有する第1接続層であって、前記複数の第1ランナと前記複数の第2ランナとは前記ソース要素および前記ドレイン要素の前記列に直交し、前記複数の第1ランナは、前記複数のソース要素列に接続され、前記複数の第2ランナは、前記複数のドレイン要素列に接続され、前記複数の第1ランナは前記複数の第2ランナと交互に配置される、第1接続層と、
e.前記複数の第1ランナに複数接続された複数の第1パッドと、前記複数の第2ランナに複数接続された複数の第2パッドと、を有する第2接続層であって、前記第1のパッドおよび前記第2のパッドは、前記横型パワーMOSFET半導体デバイスを形成するためにストライプパターンに配置される、第2接続層と、
を具備し、
それにより、前記ソース要素および前記ドレイン要素への複数の電気的経路を有する、横型パワーMOSFET半導体デバイス。 - 前記複数の第1パッドは、少なくとも1つの第1のはんだバンプを有し、前記複数の第2パッドは、少なくとも1つの第2のはんだバンプを有する、請求項7に記載の横型パワーMOSFET半導体デバイス。
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