JP4640336B2 - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4640336B2 JP4640336B2 JP2006520512A JP2006520512A JP4640336B2 JP 4640336 B2 JP4640336 B2 JP 4640336B2 JP 2006520512 A JP2006520512 A JP 2006520512A JP 2006520512 A JP2006520512 A JP 2006520512A JP 4640336 B2 JP4640336 B2 JP 4640336B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- switch
- laser
- gate
- time
- oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 104
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 104
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 86
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 101000795350 Homo sapiens Tripartite motif-containing protein 59 Proteins 0.000 description 5
- 102100029717 Tripartite motif-containing protein 59 Human genes 0.000 description 5
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- 101150039183 MYF6 gene Proteins 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
- H01S3/2316—Cascaded amplifiers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/117—Q-switching using intracavity acousto-optic devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/127—Plural Q-switches
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2301/00—Functional characteristics
- H01S2301/02—ASE (amplified spontaneous emission), noise; Reduction thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0057—Temporal shaping, e.g. pulse compression, frequency chirping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0085—Modulating the output, i.e. the laser beam is modulated outside the laser cavity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
図13において、発振段のQスイッチが開きこのQスイッチの損失が減少し始めることにより共振器損失が立下り始める時点をT1、増幅段のQスイッチが開きQスイッチ損失が立下り始める時点をT2、発振段のレーザ利得が発振段の共振器損失に到達しパルスレーザ光が成長を開始する時点をT3、発振段のQスイッチが開き切り共振器損失の立下りが完了した時点をT4、増幅段のQスイッチが開き切りQスイッチ損失の立下りが完了した時点をT5、パルスレーザ光の成長が顕著になり発振段からパルスレーザ光が出力され始める時点をT6とする。
低エネルギーの発振段は一般的に利得が低く、図13に示したように、レーザ利得の立ち上がりは緩やかとなり、発振段のQスイッチが開いた時点T1から共振器損失がレーザ利得に達する時点T3までに、ある程度の時間が必要となる。また、T3からパルスレーザ光の成長が始まるが、利得が低い場合には成長の速度も遅くビルドアップタイムτbも比較的長くなる。そのため、T2をT1よりも遅らせることにより、増幅段のQスイッチはパルスレーザ光が増幅段に到達するまで閉じておくことができるので、自然増幅光が他の増幅器に入射しパルスレーザ光到達前に増幅段の利得を減少させることを抑制することが可能となる。
発振段が高利得になった場合、図14に示したように、レーザ利得の立ち上がりが急峻なので、Qスイッチが開いてから共振器損失がレーザ利得に達するまでの時間、すなわち、T1−T3間が短くなる。また、T3からパルスレーザ光の成長が始まるが、利得が高い場合には成長の速度も早くビルドアップタイムτbも短時間となる。そのため、T4までにパルスレーザ光の成長が終わってしまう、すなわち発振段からのパルスレーザ光の出力が完了してしまう現象が発生する。この状態で、低利得の場合と同様にT2をT1よりも遅らせた場合、増幅段へのパルスレーザ光入射がT5以前となってしまい、すなわち増幅段のQスイッチが開き切っていない状態で増幅段にパルスレーザ光が到達する。このため、増幅段のQスイッチで損失が発生し、増幅段出口における出力が低下するという問題が発生する。
更に、より高利得の発振段の場合、T1−T6間の時間がより短くなり、増幅段へのパルスレーザ光入射がT2以前、すなわち増幅段のQスイッチが開く前にパルスレーザ光が増幅段に到達し、増幅段へパルスレーザ光が入射せず増幅段からレーザが出射されないという問題が発生する。
一方、高利得発振段の場合、T1〜T6間の時間は数十nsのレベルに達し、フォールタイムはパルスレーザ光が成長する時間(T1〜T6間)の数倍程度にしか短縮できないのである。すなわち、図14に示した状態が維持されてしまうこととなる。
図1は、この発明を実施するための実施の形態1におけるレーザ装置を示すものであり、1つの発振器を有した発振段と3つの増幅器を有した増幅段からなるMOPA構成となっている。図1において、16aは発振段のレーザ媒質、16b、16c、16dは増幅段のレーザ媒質であり、19a〜dはそれぞれレーザ媒質16a〜dを励起するための各励起源である。CO2等のレーザガスがレーザ媒質となるガスレーザの場合は、放電電極が励起源となり、YAG等の固体レーザ媒質がレーザ媒質となる固体レーザの場合は、ランプやレーザダイオードが励起源となる。
直進光を利用する場合、通常時、A/O素子の振動子には高調波変調信号発生器11より高調波変調信号Mrfが入力されており、振動子が振動することによりA/O素子内に超音波が伝送されA/O素子は回折格子として作用し、レーザ光は回折されQスイッチはゲートオフの状態になっている。
Qスイッチ13a、13bを所定時間ゲートオンするために、Qスイッチ制御部10よりQスイッチ制御信号C1、C2が同時に出力され、それぞれ高調波変調信号発生部11a、11bに入力される。高調波変調信号発生部11a、11bは、Qスイッチ制御信号C1、C2が入力されると、高調波変調信号Mrf1、Mrf2の出力を停止する。A/O素子への高調波変調信号の入力が停止されると、A/O素子の振動子の振動が停止するため、A/O素子は回折格子としての作用を失う。これによりレーザ光は直進し、Qスイッチ13a、13bはゲートオン状態となりレーザ発振が行われ、発振段よりパルスレーザ光が出力される。Qスイッチ制御部10の内部タイマーにより、所定のゲートオンタイムτg経過後、再度Qスイッチ制御部10よりQスイッチ制御信号C1、C2が出力され、高調波変調信号発生器11a、11bは再度高調波変調信号Mrf1、Mrf2を出力し、Qスイッチ13a、13bをゲートオフ状態とする。
基本的な動作は発振段のQスイッチと同様であり、Qスイッチ制御部10よりQスイッチ制御信号C3、C4、C5が同時に出力されると、高調波変調信号発生器11c、11d、11eは高調波変調信号Mrf3、Mrf4、Mrf5の出力を停止し、Qスイッチ13c、13d、13eはゲートオン状態となる。Qスイッチ制御部10の内部タイマーにより、所定のゲートオンタイムτg経過後、再度Qスイッチ制御部10よりQスイッチ制御信号C1、C2が出力され、高調波変調信号発生器11は高調波変調信号を再度出力し、Qスイッチはゲートオフ状態となる。ゲートオンタイムτgは、発振段のQスイッチと増幅段のQスイッチとで同じ値としてもよいし、個別に設定してもかまわない。加工条件により適宜設定すればよい。
そして、Qスイッチ制御部10の内部タイマーにより、図2に示したようにゲートオンしてからゲートオンタイムτg経過後に、Qスイッチ制御信号C1〜C5を出力することで高調波変調信号Mrf1〜Mrf5の出力が停止され各Qスイッチはゲートオフする。
理想的には、増幅段のQスイッチ損失の立下りが完了する時点T5と、発振段からレーザ光が出力され始める時点T6とが同時になるようにτlを設定すればよい。しかし実際には、フォールタイムτfやビルドアップタイムτbのばらつきを考慮し、Qスイッチでの損失防止を重視しT5がT6よりやや早くなるよう、例えば図3に示したタイミングになるようにτlを設定すればよい。
具体的には、増幅段のQスイッチのフォールタイムτf、すなわちT2〜T5の時間から、発振段のQスイッチがゲートオンしてからビルドアップタイムτbが完了するまで、すなわちT1〜T6の時間を差し引いた時間をτlとして設定すれば、T5とT6が一致する。実際には、T2〜T5の時間からT1〜T6の時間を差し引いた時間よりもやや長い時間をτlとして設定すれば、図3に示したタイミングとなる。
また、発振段と増幅段との間、および各増幅器の間全てに第2のQスイッチを配置する構成としたが、図1のように増幅器が3個と少ない場合や増幅器の利得が高くない場合は、発振段と増幅段との間もしくは増幅器の間の少なくとも1ヶ所に第2のQスイッチを配置すれば、自然増幅光の影響を抑制することができる。
増幅器が1つの場合は、レーザ装置の構成は図5のようになる。この場合、第2のQスイッチ13bは、増幅器から発生した自然増幅光がレーザ発振器の利得を減少させるのを防止するとともに、レーザ発振器から発生する自然増幅光が増幅器の利得を減少させるのを防止する効果を有する。第1のQスイッチ13aと第2のQスイッチ13cとの制御は、前述の制御と同様である。
実施の形態1においては、発振段のQスイッチのゲートオンタイミングよりも増幅段のQスイッチのゲートオンタイミングを早めるように制御する構成を説明したが、ここでは、ゲートオフのタイミングについて述べる。装置の構成としては図1と同様なので、適宜図1に記載の符号を用いて説明する。
実施の形態1では、Qスイッチ制御部より出力される制御信号のタイミングをτlずらすことにより、増幅段のQスイッチのゲートオンタイミングを、発振段のQスイッチのゲートオンタイミングよりもτl早める構成とした。本実施の形態におけるレーザ装置は、機械的に増幅段のQスイッチのゲートオンタイミングを、発振段のQスイッチのゲートオンタイミングよりもτl早めるように調整するものである。
しかし、このままでは増幅段のQスイッチと発振段のQスイッチのゲートオンタイミングが同じになってしまうので、Qスイッチの位置調整手段22により増幅段のQスイッチの位置と発振段のQスイッチの位置をずらすことで、ゲートオンのタイミングをずらすのである。図9により、Qスイッチの位置をずらすことによりゲートオンのタイミングをずらす方法を説明する。
図11は、この発明を実施するための実施の形態4におけるレーザ装置を示す構成図である。上述の実施の形態においてレーザ媒質は任意のものとしたが、本実施の形態は特にレーザ媒質としてロッド型の固体レーザ媒質(以下単にロッドとも呼ぶ)を用いたものである。図11に示したレーザ装置の基本的な構成は実施の形態1の図1と同等なので、同じ構成部分については同じ符号を用い詳細な説明を省略する。
よって、増幅段の上段のほうでは自然増幅光17はアパーチャ32bにより遮蔽される割合が多く、増幅器内に入射するものは少ない。しかし、増幅段の下段になってくると、各増幅器のロッドのレンズ効果により自然増幅光17は集光特性が高められ、例えば増幅段の最終段ではM2は50(mm・mrad)程度まで良化する。そのため、最終の増幅段ではアパーチャで遮蔽される自然増幅光17が減少し、増幅器内に入射する自然増幅光17が増加する。
実施の形態1において、増幅器が3個と少ない場合や増幅器の利得が高くない場合は、増幅段に少なくとも1つの第2のQスイッチを配置すればよいとしたが、増幅器が多い場合や増幅器の利得が高い場合でも、レーザ媒質がロッドであれば、本実施の形態のように増幅段に第2のQスイッチを1つ配置しても有効である。
Claims (13)
- 共振器内に第1のQスイッチを備え、このQスイッチをゲートオン・オフすることによりパルスレーザ光を出力するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力されたパルスレーザ光を増幅するために、このパルスレーザ光の光軸に沿って配置された単数もしくは複数の増幅器と、
前記発振器と前記増幅器との間もしくは前記増幅器の間の少なくとも1ヶ所に配置された第2のQスイッチと、
前記第1のQスイッチがゲートオンを開始するよりも所定時間早く前記第2のQスイッチがゲートオンを開始するように前記第1および第2のQスイッチのゲートオンタイミングを調整する調整手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ装置。 - 共振器内に第1のQスイッチを備え、このQスイッチをゲートオン・オフすることによりパルスレーザ光を出力するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力されたパルスレーザ光を増幅するために、このパルスレーザ光の光軸に沿って配置された単数もしくは複数の増幅器と、
前記発振器と前記増幅器との間もしくは前記増幅器の間の少なくとも1ヶ所に配置された第2のQスイッチと、
前記第1のQスイッチがゲートオンを開始してから前記レーザ発振器からパルスレーザ光が出力され始めるまでの時間が、前記第2のQスイッチのフォールタイムに比べて短い場合、前記第1のQスイッチがゲートオンを開始するよりも所定の時間早く前記第2のQスイッチがゲートオンを開始するように前記第1および第2のQスイッチのゲートオンタイミングを調整する調整手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ装置。 - 第2のQスイッチのフォールタイムをτfとし、第1のQスイッチがゲートオン開始してから前記レーザ発振器からパルスレーザ光が出力され始めるまでの時間をτzとしたときに、
前記所定の時間をτf−τz以上に設定したことを特徴とする請求項1または2いずれかに記載のレーザ装置。 - 前記第1および第2のQスイッチは、A/O素子から成るものであることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載のレーザ装置。
- 前記調整手段は、
前記第1のQスイッチのゲートオンを指示する制御信号よりも所定の時間早く第2のQスイッチのゲートオンを指示する制御信号を出力するQスイッチ制御部であることを特徴とする請求項1〜4いずれかに記載のレーザ装置。 - 前記調整手段は、
前記第1のQスイッチにおけるA/O素子の振動子とA/O素子内を透過するパルスレーザ光の光軸との距離を、第2のQスイッチにおけるA/O素子の振動子とA/O素子内を透過するパルスレーザ光の光軸との距離よりも所定の距離長くなるように各Qスイッチを配置するものであることを特徴とする請求項4に記載のレーザ装置。 - 第2のQスイッチのフォールタイムをτfとし、第1のQスイッチがゲートオン開始してから前記レーザ発振器からパルスレーザ光が出力され始めるまでの時間をτzとし、A/O素子内の音速をVとしたときに、
前記所定の距離を(τf−τz)・V以上に設定したことを特徴とする請求項6に記載のレーザ装置。 - 前記調整手段は、
A/O素子中の音波の伝送方向と略同一方向にA/O素子を平行移動する位置調整手段により各Qスイッチの配置を調整するものであることを特徴とする請求項6または7いずれかに記載のレーザ装置。 - 前記レーザ発振器は共振器1往復当たりの利得が2.8以上であり、A/O素子1個当りの回折効率が30%以上であることを特徴とする請求項4に記載のレーザ装置。
- 前記第2のQスイッチは、前記レーザ発振器からのパルスレーザ光の出力が完了した直後にゲートオフを開始するものであることを特徴とする請求項1〜9いずれかに記載のレーザ装置。
- 前記レーザ発振器はロッド型固体レーザ媒質を励起することにより発振するものであり、
前記増幅器を2つ以上備え、
前記第2のQスイッチは最終段の増幅器とその一つ手前の増幅器との間にのみ配置されたことを特徴とする請求項1〜11いずれかに記載のレーザ装置。 - レーザ発振器と単数もしくは複数の増幅器を備えたレーザ装置において、
レーザ発振器の共振器内に設けられた第1のQスイッチをゲートオンしパルスレーザ光を出力する工程と、
前記発振器と前記増幅器との間もしくは前記増幅器の間の少なくとも1ヶ所に配置された第2のQスイッチのフォールタイムが、前記第1のQスイッチがゲートオンを開始してから前記レーザ発振器からパルスレーザ光が出力され始めるまでの時間をよりも短い場合、前記第2のQスイッチを前記第1のQスイッチがゲートオンするよりも所定の時間早くゲートオンする工程と、
を備えたことを特徴とするレーザ装置の制御方法。 - 第2のQスイッチのフォールタイムをτfとし、第1のQスイッチがゲートオン開始してから前記レーザ発振器からパルスレーザ光が出力され始めるまでの時間をτzとしたときに、
前記所定の時間をτf−τz以上に設定したことを特徴とする請求項12に記載のレーザ装置の制御方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2005/006911 WO2006114842A1 (ja) | 2005-04-08 | 2005-04-08 | レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006114842A1 JPWO2006114842A1 (ja) | 2008-12-11 |
JP4640336B2 true JP4640336B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=37214481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006520512A Expired - Fee Related JP4640336B2 (ja) | 2005-04-08 | 2005-04-08 | レーザ装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7564879B2 (ja) |
JP (1) | JP4640336B2 (ja) |
DE (1) | DE112005001423B4 (ja) |
TW (1) | TWI269504B (ja) |
WO (1) | WO2006114842A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5165210B2 (ja) * | 2006-04-18 | 2013-03-21 | 三菱電機株式会社 | Qスイッチレーザ装置 |
US8462425B2 (en) * | 2010-10-18 | 2013-06-11 | Cymer, Inc. | Oscillator-amplifier drive laser with seed protection for an EUV light source |
JP2012199425A (ja) | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Gigaphoton Inc | マスタオシレータ、レーザシステム、およびレーザ生成方法 |
JP5844536B2 (ja) | 2011-03-28 | 2016-01-20 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステムおよびレーザ生成方法 |
JP5844535B2 (ja) | 2011-03-28 | 2016-01-20 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステムおよびレーザ生成方法 |
JP2014103287A (ja) * | 2012-11-21 | 2014-06-05 | Shimadzu Corp | 固体レーザ装置 |
US9570882B2 (en) * | 2013-03-27 | 2017-02-14 | Coherent Lasersystems Gmbh & Co. Kg | MOPA with externally triggered passively Q-switched laser |
WO2016141290A1 (en) * | 2015-03-05 | 2016-09-09 | Nufern | Method and apparatus for providing amplified radiation |
WO2018092281A1 (ja) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置および極端紫外光生成装置 |
JP6998127B2 (ja) * | 2017-04-25 | 2022-01-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体レーザ装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH055912A (ja) * | 1991-06-27 | 1993-01-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 多段光増幅装置 |
US5400350A (en) * | 1994-03-31 | 1995-03-21 | Imra America, Inc. | Method and apparatus for generating high energy ultrashort pulses |
JP2001308427A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-11-02 | Nippon Steel Corp | 高出力パルスレーザ装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6078606A (en) * | 1975-03-17 | 2000-06-20 | Lockheed Martin Corporation | Multi-color, multi-pulse laser |
US5181135A (en) * | 1990-12-21 | 1993-01-19 | Kaman Aerospace Corporation | Optical underwater communications systems employing tunable and fixed frequency laser transmitters |
US5247388A (en) * | 1992-05-27 | 1993-09-21 | Dynetics, Inc. | Continuously variable delay lines |
US5721749A (en) * | 1996-01-30 | 1998-02-24 | Trw Inc. | Laser pulse profile control by modulating relaxation oscillations |
US6181463B1 (en) | 1997-03-21 | 2001-01-30 | Imra America, Inc. | Quasi-phase-matched parametric chirped pulse amplification systems |
US5987042A (en) * | 1997-10-31 | 1999-11-16 | General Electric Company | Method and apparatus for shaping a laser pulse |
US6738396B2 (en) * | 2001-07-24 | 2004-05-18 | Gsi Lumonics Ltd. | Laser based material processing methods and scalable architecture for material processing |
-
2005
- 2005-04-08 DE DE112005001423.1T patent/DE112005001423B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2005-04-08 WO PCT/JP2005/006911 patent/WO2006114842A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2005-04-08 JP JP2006520512A patent/JP4640336B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-04-08 US US11/632,164 patent/US7564879B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-25 TW TW094117008A patent/TWI269504B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH055912A (ja) * | 1991-06-27 | 1993-01-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 多段光増幅装置 |
US5400350A (en) * | 1994-03-31 | 1995-03-21 | Imra America, Inc. | Method and apparatus for generating high energy ultrashort pulses |
JP2001308427A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-11-02 | Nippon Steel Corp | 高出力パルスレーザ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2006114842A1 (ja) | 2008-12-11 |
US20070263677A1 (en) | 2007-11-15 |
WO2006114842A1 (ja) | 2006-11-02 |
TW200637088A (en) | 2006-10-16 |
TWI269504B (en) | 2006-12-21 |
US7564879B2 (en) | 2009-07-21 |
DE112005001423B4 (de) | 2015-05-28 |
DE112005001423T5 (de) | 2008-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4640336B2 (ja) | レーザ装置 | |
JP4175544B2 (ja) | パルス列生成のためのqスイッチ方法 | |
JP2022010094A (ja) | パルスレーザ光の生成方法 | |
JP6309032B2 (ja) | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 | |
JP2019507501A (ja) | 光アイソレータを備えたドライバレーザ装置および該ドライバレーザ装置を備えたeuvビーム生成装置 | |
JP2021168423A (ja) | レーザシステム内の利得エレメントを隔離するためのシステム及び方法 | |
JPWO2015122374A1 (ja) | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 | |
JP5151018B2 (ja) | 光源装置 | |
KR100840057B1 (ko) | 레이저 장치 | |
JP3035613B1 (ja) | 単一モ―ドレ―ザ光のパルス化増幅装置および方法 | |
JP6931243B2 (ja) | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 | |
JP5165210B2 (ja) | Qスイッチレーザ装置 | |
JP6687999B2 (ja) | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 | |
WO2016125918A1 (ja) | レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 | |
US11381054B2 (en) | Avoiding mode instability in an optical amplifier fiber | |
JPH05327103A (ja) | 固体レーザ装置 | |
JP4137227B2 (ja) | レーザ発振器 | |
JPH11354876A (ja) | 超音波qスイッチ装置及びqスイッチレーザ出力装置 | |
JP2008147335A (ja) | 複合レーザ光出力装置 | |
RU2645780C2 (ru) | Способ возбуждения импульсов лазерной системы генератор-усилитель на самоограниченных переходах | |
RU22590U1 (ru) | Устройство для нелинейного преобразования частот лазерного импульсного излучения | |
Lazhintsev et al. | Formation of a narrow beam from an excimer laser pumped by gamma rays | |
JPH0449684A (ja) | レーザ装置 | |
JPH02209780A (ja) | Qスイッチレーザ出力装置 | |
JP2003209310A (ja) | 蓄積リング型自由電子レーザー用の光共振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101102 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101115 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4640336 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |