JP3035613B1 - 単一モ―ドレ―ザ光のパルス化増幅装置および方法 - Google Patents

単一モ―ドレ―ザ光のパルス化増幅装置および方法

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JP3035613B1 JP11007354A JP735499A JP3035613B1 JP 3035613 B1 JP3035613 B1 JP 3035613B1 JP 11007354 A JP11007354 A JP 11007354A JP 735499 A JP735499 A JP 735499A JP 3035613 B1 JP3035613 B1 JP 3035613B1
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Abstract

【要約】 【課題】 単一モードレーザ光から単色性の良い高出力
化したレーザパルス光を得る装置および方法を提供す
る。 【解決手段】 単一モードレーザ1から出射したレーザ
光4を導入される光共振器2の共振器長(鏡M1 および
鏡M2 間の距離)Lを、共振器長制御器3によって信号
発生器3aからの制御用波形信号に基づいて変化させる
間、光共振器2の共振器長Lが導入されたレーザ光4の
半波長であるλ/2の整数倍に等しくなったときに限り
光波の共振現象が発生して、光共振器2から光強度を増
幅した単一モードのレーザパルス光5が出力される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、単一モードレーザ
が発生した連続発振レーザ光を、単色性を損なうことな
くパルス化および高出力化して出力する装置および方法
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、パルス発振レーザの開発および発
展はめざましく、種々の極短時間発振のパルスレーザが
提案されている。このようなパルスレーザにあっては、
不確定性原理がエネルギーと時間との問に成立するの
で、極短時間発振になるにつれてレーザ光の線幅は広く
なり、単色性は悪くなる。この点を考慮して、連続発振
の単色性の良い単一周波数レーザからのレーザ光をパル
ス化するようにすれば、発振時間の短時間化には一定の
限界があるものの、単色性の良さを保持しつつ、パルス
化する(短時間の光出力を行う)ことが可能になる。
【0003】連続発振のレーザ光をパルス化する従来技
術としては、(1)穴の空いた円盤を回転させて穴を通
過するとき以外は光を遮断するようにしたメカニカルチ
ョッバを用いる方法や、(2)電気光学(Electro Opti
c:EO)素子や音響光学(Acusto Optical:AO)素子で光
の偏光方向を変化させることにより、その後方に設置し
た偏光素子を光が通過しなくなる現象を利用した光学チ
ョッバが用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようにメカニカルチョッバや光学チョッバを用いて連
続発振レーザ光をパルス化した場合、光の振幅(光の強
度)はパルス化前後で変化しないため、得られるレーザ
パルス光のパワー(出力)が低くなってしまい、光の振
幅(光の強度)の増幅作用は実現できない。
【0005】本発明は、単一モードレーザ光から単色性
の良い高出力化したレーザパルス光を得る装置および方
法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的のため、請求項
1に記載の第1発明は、単一モードのレーザ光を発生す
る単一モードレーザと、該単一モードレーザから出射し
たレーザ光が導入される光共振器と、該光共振器の共振
器長を制御用波形信号である非対称三角形状繰り返し波
形信号に基づいて変化させる共振器長制御器とを具え、
前記共振器長を変化させることにより、光共振器から光
強度を増幅した単一モードのレーザパルス光を出力する
ようにしたことを特徴とする。
【0007】上記目的のため、請求項2に記載の第2発
明は、単一モードのレーザ光を発生する単一モードレー
ザと、該単一モードレーザから出射したレーザ光が導入
される光共振器と、前記単一モードレーザおよび光共振
器間の光路を遮断する光路遮断手段と、前記光共振器の
共振器長を制御用波形信号に基づいて変化させる共振器
長制御器と、前記光共振器から出力されるレーザパルス
光の立ち上がり時から所定遅延時間経過後に前記光路遮
断手段を一定時間作動させる駆動手段とを具え、前記共
振器長を変化させることにより、光共振器から光強度を
増幅するとともに立ち下がり時間を短縮した単一モード
のレーザパルス光を出力するようにしたことを特徴とす
る。
【0008】請求項3に記載の第3発明は、前記第2発
明における制御用波形信号は、非対称三角形状繰り返し
波形信号であることを特徴とする。
【0009】請求項4に記載の第4発明は、前記第1〜
第3発明における光共振器内に倍波発生用素子を設け、
前記光共振器から出力されるレーザパルス光を倍波化す
るようにしたことを特徴とする。
【0010】上記目的のため、請求項5に記載の第5発
明は、単一モードレーザから出射したレーザ光を光共振
器に導入し、該光共振器の共振器長を制御用波形信号で
ある非対称三角形状繰り返し波形信号に基づいて変化さ
せることにより、光共振器から光強度を増幅した単一モ
ードのレーザパルス光を出力することを特徴とする。
【0011】上記目的のため、請求項6に記載の第6発
明は、単一モードレーザから出射したレーザ光を光共振
器に導入し、該光共振器の共振器長を制御用波形信号に
基づいて変化させることにより光共振器からレーザパル
ス光を出力し、該レーザパルス光の立ち上がり時から所
定遅延時間経過後に前記単一モードレーザおよび光共振
器間の光路を一定時間遮断することにより、光共振器か
ら光強度を増幅するとともに立ち下がり時間を短縮した
単一モードのレーザパルス光を出力することを特徴とす
る。
【0012】請求項7に記載の第7発明は、前記第6発
明における前記制御用波形信号は、非対称三角形状繰り
返し波形信号であることを特徴とする。
【0013】請求項8に記載の第8発明は、前記第5〜
第7発明における光共振器内に倍波発生用素子を設け、
前記光共振器から出力されるレーザパルス光を倍波化す
ることを特徴とする。
【0014】
【発明の効果】第1発明によれば、単一モードレーザか
ら出射したレーザ光が導入される光共振器の共振器長
は、共振器長制御器により制御用波形信号である非対称
三角形状繰り返し波形信号に基づいて変化する。この光
共振器の共振器長の変化の間、共振器長が入射レーザ光
の半波長の整数倍になったときに光強度の増幅が起こ
り、それ以外のときには光強度は0になる。したがっ
て、光共振器の出力として、高出力化した単一モードの
レーザパルス光を得ることができる。
【0015】第2発明によれば、単一モードレーザから
出射したレーザ光が導入される光共振器の共振器長は、
共振器長制御器により制御用波形信号に基づいて変化す
る。この光共振器の共振器長の変化の間、共振器長が入
射レーザ光の半波長の整数倍になったときに光強度の増
幅が起こり、それ以外のときには光強度は0になるた
め、光共振器からレーザパルス光が出力される。そし
て、このレーザパルス光の立ち上がり時から所定遅延時
間経過後に、前記単一モードレーザおよび光共振器間の
光路を遮断する光路遮断手段を駆動手段が一定時間作動
させるから、光共振器の出力として、高出力化するとと
もに立ち下がり時間を短縮した単一モードのレーザパル
ス光を得ることができる。
【0016】第3発明によれば、前記制御用波形信号と
して非対称三角形状繰り返し波形信号を用いるから、前
記光共振器の共振器長の変化の過程において1つの非対
称三角形状波形につき2個所で共振器長が入射レーザ光
の半波長の整数倍になるように設定することにより、共
振器長の変化速度が速い場合よりも遅い場合の方が光強
度の強いレーザパルス光が得られ、2つのレーザパルス
光間の光強度差が大きくなる。
【0017】第4発明によれば、前記光共振器内に倍波
発生用素子を設けるから、この倍波発生用素子によっ
て、光共振器から出力されるレーザパルス光を倍波化す
ることができる。
【0018】第5発明によれば、単一モードレーザから
出射したレーザ光が導入される光共振器の共振器長は、
制御用波形信号である非対称三角形状繰り返し波形信号
に基づいて変化し、この光共振器の共振器長の変化の
間、共振器長が入射レーザ光の半波長の整数倍になった
ときに光強度の増幅が起こり、それ以外のときには光強
度は0になる。したがって、光共振器の出力として、高
出力化した単一モードのレーザパルス光を得ることがで
きる。
【0019】第6発明によれば、単一モードレーザから
出射したレーザ光が導入される光共振器の共振器長は、
制御用波形信号に基づいて変化し、この光共振器の共振
器長の変化の間、共振器長が入射レーザ光の半波長の整
数倍になったときに光強度の増幅が起こり、それ以外の
ときには光強度は0になるため、光共振器からレーザパ
ルス光が出力される。そして、このレーザパルス光の立
ち上がり時から所定遅延時間経過後に、前記単一モード
レーザおよび光共振器間の光路を一定時間遮断するか
ら、光共振器の出力として、高出力化するとともに立ち
下がり時間を短縮した単一モードのレーザパルス光を得
ることができる。
【0020】第7発明によれば、前記制御用波形信号と
して非対称三角形状繰り返し波形信号を用いるから、前
記光共振器の共振器長の変化の過程において1つの非対
称三角形状波形につき2個所で共振器長が入射レーザ光
の半波長の整数倍になるように設定することにより、共
振器長の変化速度が速い場合よりも遅い場合の方が光強
度の強いレーザパルス光が得られ、2つのレーザパルス
光間の光強度差が大きくなる。したがって、出力される
レーザパルス光において増幅度を大きくする上で有利に
なる。
【0021】第8発明によれば、前記光共振器内に倍波
発生用素子を設けるから、この倍波発生用素子によっ
て、前記光共振器から出力されるレーザパルス光を倍波
化することができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき詳細に説明する。図1は本発明の第1実施形態
の単一モードレーザ光のパルス化増幅装置の構成を示す
図である。本実施形態の単一モードレーザ光のパルス化
増幅装置は、単一モードレーザ1と、光共振器2と、共
振器長制御器3とを具備して成る。
【0023】上記単一モードレーザ1としては、連続発
振の単色性の良い単一周波数レーザを用いており、本実
施形態ではレーザ出力=1〜1000mW、レーザ波長λ
=400〜2000nmのチタンサファイアレーザを用い
るものとするが、代わりに半導体レーザ、色素レーザ、
固体レーザ、気体レーザ等を用いてもよい。
【0024】上記光共振器2は、ハウジング2aと、ハ
ウジング2aの長手方向に対向配置される1対の鏡
1 ,M2 と、鏡M1 に対し鏡M2 を所定微少距離だけ
相対移動させる移動機構2bとを具備して成り、上記移
動機構2bとしては例えばピエゾ素子を用いる。この光
共振器2の共振器長L(図1に示す鏡M1 および鏡M2
間の距離)は、図2(a)に示すように最小値Lmin か
ら最大値Lmax まで連続的に変化し、それに伴い光共振
器の形状も連続的に変化するようになっている。
【0025】上記共振器長制御器3は、制御用波形信号
を発生する信号発生器3aを内蔵しており、この制御用
波形信号に基づいて光共振器2の移動機構2bを駆動す
ることにより共振器長Lが連続的(周期的)に変化す
る。本実施形態では、上記信号発生器3aとしてファン
クションジェネレータを用い、上記制御用波形信号とし
て図2(a)に例示するような非対称三角形状繰り返し
波形信号を用いている。この非対称三角形状繰り返し波
形信号においては、非対称三角形の立ち上がり部分の方
が立ち下がり部分よりも共振器長Lを変化させる速度が
速くなるように設定されている。
【0026】次に、本実施形態の作用を説明する。単一
モードレーザ1からの出射したレーザ光(連続発振光)
4を光共振器2に導入し、共振器長制御器3によって共
振器長Lを連続的に変化させる。具体的には、信号発生
器3aによって図2(a)に例示するような非対称三角
形状繰り返し波形信号を発生させ、この信号を用いて共
振器長Lを最小値Lmin から最大値Lmax まで周期的に
変化させる。この間、光共振器2の共振器長Lが導入さ
れたレーザ光4の半波長であるλ/2の整数倍に等しく
なったとき(図2(a)の例ではL=L0 =nλ/2の
とき、ただしnは整数)に限り、光波の共振現象が発生
して光強度の増大が起こる。この光強度の増大に伴い、
光共振器2からレーザパルス光5が出力される。このレ
ーザパルス光5においては、図2(b)に例示するよう
に、共振器長Lを変化させる速度が速い場合(図2
(a)の非対称三角形状の左斜辺に対応するレーザパル
スである場合)よりも遅い場合(右斜辺に対応するレー
ザパルスである場合)の方が、より強い光強度のパルス
光となるので、光強度差を大きくして光強度が大きい方
のパルス光のみを抽出する等の利用方法を取ることがで
きる。
【0027】上記において、L0 を約20cmとし、繰り
返し周波数を400Hzとして上記非対称三角形状繰り
返し波形信号を発生させた場合、λ=約638nmのレー
ザ光に対し光共振器2の出力として図3に例示するよう
な波形のレーザパルス出力が得られる(なお、図3に
は、図2(b)に示す2つのレーザパルス出力の内の大
きい方のみを表わしている)。この場合、光の強度は約
50倍に増幅され、レーザパルス出力の立ち上がりから
立ち下がりまでの時間幅は約60μsであり、立ち下が
り時間は約30μsである。
【0028】本実施形態の単一モードレーザ光のパルス
化増幅装置は、従来技術に対し以下のような利点を有し
ている。すなわち、上述したような従来のメカニカルチ
ョッバや光学チョッバを用いて図4(c)に示すような
連続発振レーザ光をパルス化することにより図4(d)
に示すようなレーザパルス光を得る場合には、光の振幅
(光の強度)はパルス化前後で同一となるが、本実施形
態の単一モードレーザ光のパルス化増幅装置を用いて図
4(a)に示すような連続発振レーザ光をパルス化した
場合、単一モードレーザの単色性の良さを損なうことな
く、図4(b)に示すような光の強度(光の振幅)を高
増幅度で増幅したレーザパルス光が得られる(なお、図
4(b)は図2(b)に示す2つのレーザパルス出力の
内の大きい方のみを抽出した場合の波形を表わしてい
る)。また、本実施形態の単一モードレーザ光のパルス
化増幅装置は、レーザ変調器、経時変化測定装置、各種
光学機器等に適用することができる。さらに、本実施形
態の単一モードレーザ光のパルス化増幅装置は、上記非
対称三角形状繰り返し波形信号の形状を適宜調整するこ
とにより、光共振器2から出力されるレーザパルス光の
パルス幅および発生時間間隔を変更することができる。
【0029】図5は本発明の第2実施形態の単一モード
レーザ光のパルス化増幅装置の構成を示す図である。本
実施形態の単一モードレーザ光のパルス化増幅装置は、
上記第1実施形態に対し、単一モードレーザ1および光
共振器2間の光路を遮断する光路遮断素子6と、光共振
器2から出力されるレーザパルス光5の立ち上がり時か
ら所定遅延時間経過後に光路遮断素子6を一定時間作動
させる駆動器7とを追加したものであり、それ以外の部
分は上記第1実施形態と同様に構成する。なお、本実施
形態では上記光路遮断素子6として電気光学(EO)素子
を用いるものとするが、代わりに音響光学(AO)素子を
用いてもよい。
【0030】本実施形態は、光励起後の経時変化を測定
する経時変化測定装置として構成する場合には立ち下が
り時間が短いほうが望ましいことを考慮したものであ
る。このような立ち下がり時間の短縮を実現するため、
光共振器2から出力されるレーザパルス光5の立ち上が
り時から所定遅延時間経過後に駆動器7が光路遮断素子
6を一定時間作動させるようにしている。
【0031】具体的には、レーザパルス光5の立ち上が
り時を検出することは困難であるため、レーザパルス光
5の立ち上がり時以後の光強度がしきい値P1 を超えた
時点を基準として20μsの遅延時間を置いた後、光路
遮断素子としての電気光学素子により光共振器2への入
射レーザ光4をカットするようにしている。この場合、
電気光学素子の立ち下り時間は短いので、図6に示すよ
うな立ち下がり時間の短いレーザパルス光を得ることが
できる。なお、図示例では、レーザパルス光の立ち下り
時間(光強度がピーク値からほぼ0に低下するまでの時
間)は約0.01μsである。
【0032】本実施形態の単一モードレーザ光のパルス
化増幅装置によれば、上記第1実施形態の作用効果が得
られる上に、第1実施形態よりも立ち下がり時間を短縮
したレーザパルス光が得られるため、本実施形態の単一
モードレーザ光のパルス化増幅装置を経時変化測定装置
に適用する際に特に有利になる。
【0033】図7は本発明の第3実施形態の単一モード
レーザ光のパルス化増幅装置の構成を示す図である。本
実施形態の単一モードレーザ光のパルス化増幅装置は、
上記第2実施形態に対し、光共振器2の鏡M1 および鏡
2 間に倍波発生用素子として倍波発生用結晶8を追加
したものであり、それ以外の部分は上記第2実施形態と
同様に構成する。なお、上記第1実施形態に対し、光共
振器2の鏡M1 および鏡M2 間に倍波発生用結晶8を追
加してもよい。
【0034】本実施形態の単一モードレーザ光のパルス
化増幅装置によれば、光共振器2内ではレーザパワーが
増幅されているので、光共振器2内に設けた倍波発生用
結晶8の作用により、倍波化したパルスレーザ光を効率
良く発生させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態の単一モードレーザ光
のパルス化増幅装置の構成を示す図である。
【図2】 (a)は第1実施形態において振器長制御器
が行う共振器長制御およびそれに用いる制御用波形信号
を説明するための図であり、(b)は第1実施形態にお
いて光共振器が出力するレーザパルス光を示す図であ
る。
【図3】 第1実施形態において光共振器から出力され
るレーザパルス光の波形を示す図である。
【図4】 (a)〜(d)は第1実施形態の単一モード
レーザ光のパルス化増幅装置の作用を従来例と比較しな
がら説明するための図である。
【図5】 本発明の第2実施形態の単一モードレーザ光
のパルス化増幅装置の構成を示す図である。
【図6】 第2実施形態において光共振器から出力され
るレーザパルス光の波形を示す図である。
【図7】 本発明の第3実施形態の単一モードレーザ光
のパルス化増幅装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
1 単一モードレーザ 2 光共振器 2a ハウジング 2b 移動機構 3 共振器長制御器 3a 信号発生器 4 レーザ光 5 レーザパルス光 6 光路遮断素子(電気光学素子) 7 駆動器 8 倍波発生用結晶 M1 ,M2
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 3/10 - 3/109

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 単一モードのレーザ光を発生する単一モ
    ードレーザと、該単一モードレーザから出射したレーザ
    光が導入される光共振器と、該光共振器の共振器長を制
    御用波形信号である非対称三角形状繰り返し波形信号に
    基づいて変化させる共振器長制御器とを具え、前記共振
    器長を変化させることにより、光共振器から光強度を増
    幅した単一モードのレーザパルス光を出力するようにし
    たことを特徴とする、単一モードレーザ光のパルス化増
    幅装置。
  2. 【請求項2】 単一モードのレーザ光を発生する単一モ
    ードレーザと、該単一モードレーザから出射したレーザ
    光が導入される光共振器と、前記単一モードレーザおよ
    び光共振器間の光路を遮断する光路遮断手段と、前記光
    共振器の共振器長を制御用波形信号に基づいて変化させ
    る共振器長制御器と、前記光共振器から出力されるレー
    ザパルス光の立ち上がり時から所定遅延時間経過後に前
    記光路遮断手段を一定時間作動させる駆動手段とを具
    え、前記共振器長を変化させることにより、光共振器か
    ら光強度を増幅するとともに立ち下がり時間を短縮した
    単一モードのレーザパルス光を出力するようにしたこと
    を特徴とする、単一モードレーザ光のパルス化増幅装
    置。
  3. 【請求項3】 前記制御用波形信号は、非対称三角形状
    繰り返し波形信号であることを特徴とする、請求項2記
    載の単一モードレーザ光のパルス化増幅装置。
  4. 【請求項4】 前記光共振器内に倍波発生用素子を設
    け、前記光共振器から出力されるレーザパルス光を倍波
    化するようにしたことを特徴とする、請求項1〜3の何
    れか1項記載の単一モードレーザ光のパルス化増幅装
    置。
  5. 【請求項5】 単一モードレーザから出射したレーザ光
    を光共振器に導入し、該光共振器の共振器長を制御用波
    形信号である非対称三角形状繰り返し波形信号に基づい
    て変化させることにより、光共振器から光強度を増幅し
    た単一モードのレーザパルス光を出力することを特徴と
    する、単一モードレーザ光のパルス化増幅方法。
  6. 【請求項6】 単一モードレーザから出射したレーザ光
    を光共振器に導入し、該光共振器の共振器長を制御用波
    形信号に基づいて変化させることにより光共振器からレ
    ーザパルス光を出力し、該レーザパルス光の立ち上がり
    時から所定遅延時間経過後に前記単一モードレーザおよ
    び光共振器間の光路を一定時間遮断することにより、光
    共振器から光強度を増幅するとともに立ち下がり時間を
    短縮した単一モードのレーザパルス光を出力することを
    特徴とする、単一モードレーザ光のパルス化増幅方法。
  7. 【請求項7】 前記制御用波形信号は、非対称三角形状
    繰り返し波形信号であることを特徴とする、請求項6記
    載の単一モードレーザ光のパルス化増幅方法。
  8. 【請求項8】 前記光共振器内に倍波発生用素子を設
    け、前記光共振器から出力されるレーザパルス光を倍波
    化することを特徴とする、請求項5〜7の何れか1項記
    載の単一モードレーザ光のパルス化増幅方法。
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