JP4633064B2 - 基板を研磨するための方法及び組成物 - Google Patents
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Description
図2は、基板を電気化学的に処理するための装置を有する平坦化システム100の一態様の平面図である。例示のシステム100は通常、ファクトリインタフェース102、ローディングロボット104、及び平坦化モジュール106を含む。ファクトリインタフェース102と平坦化モジュール106間での基板122の移送を円滑にするために、ローディングロボット104はファクトリインタフェース102と平坦化モジュール106に近接して設置されている。
一態様において、タングステン等の金属を平坦化することが可能な研磨組成物を提供される。通常、研磨組成物は1つ以上の酸ベースの電解液系、有機塩を含む第1キレート剤、pHを約2〜約10にするためのpH調整剤、溶媒とを含む。研磨組成物はさらに、アミン基、アミド基及びその組み合わせから成る群から選択された1つ以上の官能基を有する第2キレート剤を含んでいてもよい。1つ以上の酸ベースの電解液系は好ましくは2つの酸ベース電解液系を含んでおり、例として硫酸ベース電解液系及びリン酸ベース電解液系が挙げられる。研磨組成物の態様は、バルク及び/又は残留材料を研磨するために使用してもよい。研磨組成物は1つ以上の腐食防止剤又は砥粒等の研磨性強化材を任意で含んでいてもよい。ここで記載の組成物は酸化剤非含有組成物であるが、さらに砥材と併用する研磨性強化材料としての酸化剤の使用を本発明は視野に入れている。ここで記載の研磨組成物は、タングステン等の材料をECMP中に基板表面から効果的に除去する速度を向上し、かつ平坦化に伴う欠陥を低減し、より滑らかな基板表面を形成するものと考えられる。本発明の組成物の態様は、一段階もしくは二段階研磨処理において使用できる。
E(2−ヘプタデセニル−4−エチル−2 オキサゾリン 4−メタノール)、Aliquat 336(塩化トリカプリルメチルアンモニウム)、Nuospet 101(4,4ジメチルオキサゾリジン)、水酸化テトラブチルアンモニウム、ドデシルアミン、水酸化テトラメチルアンモニウム、その誘導体及び混合物が含まれる。
化学的活性、機械的作用、及び電気的活性の組み合わせを使用した、タングステン材料を除去し基板表面を平坦化するための電気化学的機械的研磨技術は以下のように行う。タングステン材料には中でもタングステン、窒化タングステン、窒化タングステンシリコン、窒化タングステンシリコンが含まれる。以下の処理はタングステンの除去に関するものではあるが、本発明はタングステンとともにその他の材料も除去することを視野にいれており、アルミニウム、プラチナ、銅、チタン、窒化チタン、タンタル、窒化タンタル、コバルト、金、銀、ルテニウム、及びその組み合わせが挙げられる。
バルクタングステン材料及び残留タングステン材料を研磨するための研磨組成物の実施例は以下のとおりである。バルクタングステン研磨組成物は:
実施例1:
約2容量%の硫酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8.4〜約8.9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例2:
約4容量%の硫酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例3:
約1.5容量%の硫酸
約2.5容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例4:
約1容量%の硫酸
約2容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例5:
約2容量%の硫酸
約2容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8.4〜約8.9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例6:
約2容量%の硫酸
約2容量%のサリチル酸
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例7:
約2容量%の硫酸
約2容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
pHを約8.7にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例8:
約2容量%の硫酸
約2容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8.7にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例9:
約2容量%の硫酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例10:
約2容量%の硫酸
約2容量%のリン酸
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例11:
約4容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例12:
約2容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8.4〜約8.9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例13:
約2容量%の硝酸
約2容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8.4〜約8.9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例14:
約2容量%の硝酸
約2容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8.5にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例15:
約4容量%の硝酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例16:
約1.5容量%の硫酸
約2.5容量%のリン酸
約2重量%のクエン酸アンモニウム
約2重量%のエチレンジアミン
pHを約8.5にするための水酸化カリウム
脱イオン水
を含む。
実施例1:
約1容量%の硫酸
約1重量%のクエン酸アンモニウム
pHを約6〜約7にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例2:
約1容量%の硫酸
約1.5容量%のリン酸
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム
pHを6より高く7より低くするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例3:
約4容量%のリン酸
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム
pHを約6〜約7にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例4:
約1容量%の硫酸
約1.5容量%のリン酸
約1重量%のサリチル酸
pHを約6〜約7にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例5:
約2容量%の硫酸
約2容量%のリン酸
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム
pHを6より高く7より低くするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例6:
約2容量%の硫酸
約2容量%のリン酸
pHを約6〜約7にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例7:
約1容量%の硫酸
約1.5容量%のリン酸
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム
pHを約6.4〜約6.8にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例8:
約1容量%の硝酸
約1.5容量%のリン酸
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム
pHを約6.4〜約6.8にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例9:
約2容量%の硝酸
約2容量%のリン酸
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム
pHを約6〜7未満にするための水酸化カリウム
脱イオン水
実施例10:
約1容量%の硫酸
約1.5容量%のリン酸
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム
pHを約6.5にするための水酸化カリウム
脱イオン水
を含む。
実施例1:
直径300mmのタングステンめっきをした基板を、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアル社から市販されているリフレキション(REFLEXION、商標名)システムの改変セル内に充填した以下の研磨組成物を使用して、研磨・平坦化した。厚さ約4000Åのタングステン層をその上に有する基板を、第1プラテンとその上に配置された第1研磨物品とを備えた装置内のキャリアヘッド上に位置させた。第1研磨組成物を約250mL/分でプラテンに供給した。第1研磨組成物は
約2容量%〜約3容量%の硫酸、
約2容量%〜約4容量%のリン酸、
約2重量%〜約2.8重量%のクエン酸アンモニウム、
約2重量%のエチレンジアミン、
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
約1容量%〜約2容量%の硫酸、
約1.5容量%〜約2.5容量%のリン酸、
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム、
pHを6より高く7より低くするための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
直径300mmのタングステンめっきをした基板を、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアル社から市販されているリフレキション(REFLEXION、商標名)システムの改変セル内に充填した以下の研磨組成物を使用して、研磨・平坦化した。厚さ約4000Åのタングステン層をその上に有する基板を、第1プラテンとその上に配置された第1研磨物品とを備えた装置内のキャリアヘッド上に位置させた。第1研磨組成物を約250mL/分でプラテンに供給した。第1研磨組成物は
約3容量%の硫酸、
約4容量%のリン酸、
約2.8重量%のクエン酸アンモニウム、
約2重量%のエチレンジアミン、
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
約2容量%の硫酸、
約2.5容量%のリン酸、
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム、
pHを6より高く7より低くするための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
基板を第2研磨物品と、第2接触圧力約0.3psi、第2プラテン回転速度約14rpm、第2キャリアヘッド回転速度約29rpmで接触させ、処理中、約2.4ボルトの第2バイアスを印加した。基板を研磨し、検査した。基板表面の余分なタングステン層は除去されて、バリア層とタングステン溝が残っていた。
直径300mmのタングステンめっきをした基板を、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアル社から市販されているリフレキション(REFLEXION、商標名)システムの改変セル内に充填した以下の研磨組成物を使用して、研磨・平坦化した。厚さ約4000Åのタングステン層を有する基板を、第1プラテンとその上に配置された第1研磨物品とを備えた装置内のキャリアヘッド上に位置させた。組成の第1研磨組成物を約250mL/分でプラテンに供給した。第1研磨組成物は
約2.5容量%の硫酸、
約3容量%のリン酸、
約2.4重量%のクエン酸アンモニウム、
約2重量%のエチレンジアミン、
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
約1.5容量%の硫酸、
約2容量%のリン酸、
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム、
pHを約6.4〜約6.8にするための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
基板を第2研磨物品と、第2接触圧力約0.3psi、第2プラテン回転速度約14rpm、第2キャリアヘッド回転速度約29rpmで接触させ、処理中、約2.4ボルトの第2バイアスを印加した。基板を研磨し、検査した。基板表面の余分なタングステン層は除去されて、バリア層とタングステン溝が残っていた。
直径300mmのタングステンめっきをした基板を、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアル社から市販されているリフレキション(REFLEXION、商標名)システムの改変セル内に充填した以下の研磨組成物を使用して、研磨・平坦化した。厚さ約4000Åのタングステン層をその上に有する基板を、第1プラテンとその上に配置された第1研磨物品とを備えた装置内のキャリアヘッド上に位置させた。第1研磨組成物を約250mL/分でプラテンに供給した。第1研磨組成物は
約3容量%の硫酸、
約3容量%のリン酸、
約2重量%のクエン酸アンモニウム、
約2重量%のエチレンジアミン、
pHを約8〜約9にするための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
約2容量%の硫酸、
約2容量%のリン酸、
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム、
pHを約6.4〜約6.8するための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
基板を第2研磨物品と、第2接触圧力約0.3psi、第2プラテン回転速度約14rpm、第2キャリアヘッド回転速度約29rpmで接触させ、処理中、約2.4ボルトの第2バイアスを印加した。基板を研磨し、検査した。基板表面の余分なタングステン層は除去されて、バリア層とタングステン溝が残っていた。
直径300mmのタングステンめっきをした基板を、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアル社から市販されているリフレキション(REFLEXION、商標名)システムの改変セル内に充填した以下の研磨組成物を使用して、研磨・平坦化した。厚さ約4000Åのタングステン層をその上に有する基板を、第1プラテンとその上に配置された第1研磨物品とを備えた装置内のキャリアヘッド上に位置させた。第1研磨組成物を約250mL/分でプラテンに供給した。第1研磨組成物は
約2容量%の硫酸、
約2容量%のリン酸、
約2重量%のクエン酸アンモニウム、
約2重量%のエチレンジアミン、
pHを約8.4〜約8.9にするための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
約1容量%の硫酸、
約1.5容量%のリン酸、
約0.5重量%のクエン酸アンモニウム、
pHを約6.4〜約6.8にするための水酸化カリウム、
脱イオン水
を含む。
基板を第2研磨物品と、第2接触圧力約0.3psi、第2プラテン回転速度約14rpm、第2キャリアヘッド回転速度約29rpmで接触させ、処理中、約2.4ボルトの第2バイアスを印加した。基板を研磨し、検査した。基板表面の余分なタングステン層は除去されて、バリア層とタングステン溝が残っていた。
Claims (43)
- 0.2容量%〜5容量%の硫酸又はその誘導体と、
0.2容量%〜5容量%のリン酸又はその誘導体と、
0.1重量%〜5重量%のクエン酸塩と、
pHを3〜8にするためのpH調整剤と、
溶媒を含む基板表面から少なくともタングステン材料を除去するための組成物。 - クエン酸塩がクエン酸アンモニウムを含み、pH調整剤が水酸化カリウムを含む請求項1に記載の組成物。
- 0.5容量%〜2容量%の硫酸と、
0.5容量%〜2容量%のリン酸と、
0.5重量%〜2重量%のクエン酸アンモニウムと、
pHを6〜7にするためのpH調整剤と、
溶媒を含む請求項1に記載の組成物。 - 0.2容量%〜5容量%の硫酸又はその誘導体と、
0.2容量%〜5容量%のリン酸又はその誘導体と、
0.1重量%〜5重量%のクエン酸塩と、
アミン基、アミド基、及びその組み合わせから成る群から選択された1つ以上の官能基を有する、0.5重量%〜5重量%のキレート剤と、
pHを6〜10にするためのpH調整剤と、
溶媒を含む基板表面から少なくともタングステン材料を除去するための組成物。 - キレート剤がエチレンジアミン、ジエチレントリアミン、その誘導体及びその組み合わせから成る群から選択される請求項4に記載の組成物。
- 1容量%〜5容量%の硫酸と、
1容量%〜5容量%のリン酸と、
1重量%〜5重量%のクエン酸アンモニウムと、
0.5重量%〜5重量%のエチレンジアミンと、
pHを6〜10にするための水酸化カリウムと、
脱イオン水を含む請求項4に記載の組成物。 - 1容量%〜3容量%の硫酸と、
1容量%〜3容量%のリン酸と、
1重量%〜3重量%のクエン酸アンモニウムと、
1重量%〜3重量%のエチレンジアミンと、
pHを7から9にするための水酸化カリウムと、
脱イオン水を含む請求項6記載の組成物。 - さらにエッチング阻害剤を含む請求項4記載の組成物。
- 第1電極と第2電極とを備えた処理装置内に、タングステン層をその上に有する基板を第2電極と電気的に接触させて配置させる工程と、
硫酸又はその誘導体と、
リン酸又はその誘導体と、
有機塩を含む第1キレート剤と、
pHを2〜10にするためのpH調整剤と、
溶媒を含む研磨組成物を第1電極と基板との間に供給する工程と、
基板と研磨物品とを接触させる工程と、
基板と研磨物品との間に相対運動を付与する工程と、
第1電極と第2電極との間にバイアスを印加する工程と、
タングステン材料層からタングステン材料を除去する工程を含む基板の処理方法。 - 基板を研磨物品に接触させる工程が、基板と研磨物品との間に1psi以下の圧力を印加することを含む請求項9記載の方法。
- 研磨組成物を1分あたり100ミリリットル〜400ミリリットルの流速で供給する請求項9記載の方法。
- 相対運動の付与工程が、研磨物品を7rpm〜50rpmで、基板を7rpm〜70rpmで回転させることを含む請求項9記載の方法。
- バイアスを印加する工程が、第1電極と第2電極との間に1.8ボルト〜4.5ボルトのバイアスを印加することを含む請求項9記載の方法。
- 有機塩がクエン酸アンモニウム、クエン酸カリウム、その誘導体及び組み合わせから成る群から選択され、pH調整剤が水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、その組み合わせから成る群から選択される請求項9記載の方法。
- 研磨組成物が
0.2容量%〜5容量%の硫酸又はその誘導体と、
0.2容量%〜5容量%のリン酸又はその誘導体と、
有機塩を含む0.1重量%〜5重量%の第1キレート剤と、
pHを2〜8にするためのpH調整剤と、
溶媒を含む請求項9記載の方法。 - 硫酸又はその誘導体を構成する硫酸と、
リン酸又はその誘導体を構成するリン酸と、
第1キレート剤を構成するクエン酸アンモニウムと、
pH調整剤を構成する水酸化カリウムと、
脱イオン水を含む請求項15記載の方法。 - 研磨組成物が
0.5容量%〜2容量%の硫酸と、
0.5容量%〜2容量%のリン酸と、
0.5重量%〜2重量%のクエン酸アンモニウムと、
pHを6〜7にするための水酸化カリウムと、
脱イオン水を含む請求項15記載の方法。 - アミン基、アミド基、及びその組み合わせから成る群から選択された1つ以上の官能基を有する第2キレート剤をさらに含む請求項9記載の方法。
- 第2キレート剤がエチレンジアミン、ジエチレントリアミン、その誘導体及び組み合わせから成る群から選択される請求項18記載の方法。
- 研磨組成物が
1容量%〜5容量%の硫酸又はその誘導体と、
1容量%〜5容量%のリン酸又はその誘導体と、
1重量%〜5重量%の第1キレート剤と、
0.5重量%〜5重量%の第2キレート剤と、
pHを6〜10にするためのpH調整剤と、
溶媒を含む請求項18記載の方法。 - 硫酸又はその誘導体を構成する硫酸と、
リン酸又はその誘導体を構成するリン酸と、
第1キレート剤を構成するクエン酸アンモニウムと、
第2キレート剤を構成するエチレンジアミンと、
pH調整剤を構成する水酸化カリウムと、
脱イオン水を含む請求項20記載の方法。 - 研磨組成物が
1容量%〜3容量%の硫酸と、
1容量%〜3容量%のリン酸と、
1重量%〜3重量%のクエン酸アンモニウムと、
1重量%〜3重量%のエチレンジアミンと、
pHを7〜9にするための水酸化カリウムと、
脱イオン水を含む請求項20記載の方法。 - 組成物がさらにエッチング阻害剤を含む請求項9記載の方法。
- 第1電極と第2電極とを備えた処理装置内に、その上にタングステン層を有する基板を第2電極と電気的に接触させて配置させる工程と、
硫酸又はその誘導体と、
リン酸又はその誘導体と、
有機塩を含む第1キレート剤と、
アミン基、アミド基、及びその組み合わせから成る群から選択された1つ以上の官能基を有する第2キレート剤と、
pHを6〜10にするためのpH調整剤と、
溶媒を含む第1研磨組成物を第1電極と第2電極との間に供給する工程と、
基板と研磨物品とを第1圧力で接触させる工程と、
基板と研磨物品との間に第1相対運動を付与する工程と、
第1電極と第2電極との間に第1バイアスを印加する工程を含む処理によって基板を研磨してタングステン層の第1部分を除去する工程と
硫酸及びその誘導体と、
リン酸及びその誘導体と、
有機塩を含む第1キレート剤と、
pHを2〜8にするためのpH調整剤と、
溶媒を含む第2研磨組成物を第1電極と基板との間に供給する工程と、
基板と研磨物品とを第2圧力で接触させる工程と、
基板と研磨物品との間に第2相対運動を付与する工程と、
第1電極と第2電極との間に第2バイアスを印加する工程を含む処理によって基板を研磨してタングステン層の第2部分を除去する工程を含む基板の処理方法。 - 第1及び第2圧力が1psi以下である請求項24記載の方法。
- 第1及び第2研磨組成物が1分あたり100〜400ミリリットルの流速で供給される請求項24記載の方法。
- 第1及び第2相対運動の付与工程が、研磨物品を7rpm〜50rpmで、基板を7rpm〜70rpmで回転させることを含む請求項24記載の方法。
- 第1及び第2電極間に印加する第1バイアスが2.5ボルト〜4.5ボルトであり、第1及び第2電極間に印加する第2バイアスが1.8ボルト〜2.5ボルトである請求項24記載の方法。
- 有機塩がクエン酸アンモニウム、クエン酸カリウム、その誘導体及び組み合わせから成る群から選択され、pH調整剤が水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、その組み合わせから成る群から選択される請求項24記載の方法。
- 第1組成物が
1容量%〜5容量%の硫酸と、
1容量%〜5容量%のリン酸と、
1重量%〜5重量%のクエン酸アンモニウムと、
0.5重量%〜5重量%のエチレンジアミンと、
pHを6〜10にするためのpH調整剤と、
脱イオン水を含む請求項24記載の方法。 - 第1組成物が
1容量%〜3容量%の硫酸と、
1容量%〜3容量%のリン酸と、
1重量%〜3重量%のクエン酸アンモニウムと、
1重量%〜3重量%のエチレンジアミンと、
pHを7〜9にするための水酸化カリウムと、
脱イオン水を含む請求項24記載の方法。 - 第2組成物が
0.2容量%〜5容量%の硫酸と、
0.2容量%〜5容量%のリン酸と、
0.1重量%〜5重量%のクエン酸アンモニウムと、
pHを2〜8にするためのpH調整剤と、
脱イオン水を含む請求項24記載の方法。 - 第2組成物が
0.5容量%〜2容量%の硫酸と、
0.5容量%〜2容量%のリン酸と、
0.5重量%〜2重量%のクエン酸アンモニウムと、
pHを6〜7にするための水酸化カリウムと、
脱イオン水を含む請求項24記載の方法。 - 第1組成物がさらにエッチング阻害剤を含む請求項24記載の方法。
- 第2組成物がさらにエッチング阻害剤を含む請求項24記載の方法。
- 第1電極と第2電極とを備えた処理装置内にタングステン材料層をその上に有する基板を第2電極と電気的に接触させて配置させる工程と、
硫酸又はその誘導体と、
リン酸又はその誘導体と、
有機塩を含む第1キレート剤と、
pHを3〜8にするためのpH調整剤と、
溶媒を含む研磨組成物を第1電極と基板との間に供給する工程と、
基板表面上にポリタングステン層を形成する工程と、
基板を研磨物品に接触圧力で接触させる工程と、
基板と研磨物品との間に相対運動を付与する工程と、
第1電極と第2電極との間にバイアスを印加する工程と、
ポリタングステン層をタングステン材料層よりも低速の層除去速度で除去する工程を含む基板の処理方法。 - 接触圧力が0.01psi〜1psiである請求項36記載の方法。
- 研磨組成物を1分あたり100ミリリットル〜400ミリリットルの流速で供給する請求項36記載の方法。
- 相対運動の付与工程が、研磨物品を7rpm〜50rpmで、基板を7rpm〜70rpmで回転させることを含む請求項36記載の方法。
- 第1及び第2電極間のバイアスが1.8〜2.5ボルトである請求項36記載の方法。
- 組成物が
0.2容量%〜5容量%の硫酸と、
0.2容量%〜5容量%のリン酸と、
0.1重量%〜5重量%のクエン酸アンモニウムと、
pHを3〜8にするためのpH調整剤と、
脱イオン水を含む請求項36記載の方法。 - 組成物が
0.5容量%〜2容量%の硫酸と、
0.5容量%〜2容量%のリン酸と、
0.5重量%〜2重量%のクエン酸アンモニウムと、
pHを6〜7にするための水酸化カリウムと、
脱イオン水を含む請求項36記載の方法。 - 組成物がさらにエッチング阻害剤を含む請求項36記載の方法。
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