JP4632595B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被塗布材に微細なストライプ状の塗布面を形成する塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、微細なストライプ等のパターン塗布面を形成する代表的な方法としてフォトリソグラフィー法がある。この方法は、被塗布材上に感光性の材料をウェット方式（液状の感光剤を塗布して乾燥させる方式）又はドライ方式（膜状の感光性フィルムを貼り付ける方式）により面形成した後、露光工程とそれに続く現像工程によりパターニングしてから、乾燥工程を経て所望のパターン塗布面を形成するものである。また、フォトリソグラフィー法によらずに、直接パターンを形成する方法としては、印刷法やインクジェット法などが挙げられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で述べた方法のうち、フォトリソグラフィー法による方法は、微細なパターンを確実に形成することが可能ではあるが、工程数が多く、使用する各装置の価格も非常に高価である。また、この方法は、面形成を行った後に現像して必要な部分のみを残すため、材料に無駄が生じ、コストも嵩むといった欠点がある。
【０００４】
一方、フォトリソグラフィー法を用いずに直接形成する方法のうち、印刷法は版の製作が難しいことが問題点として挙げられる。また、インクジェット法は、細管のノズルから塗布材料を吐出するため、ノズル形状の選定、吐出法等の技術的な課題が多く、例えば塗布材料の物性（レオロジー特性）に左右されてしまうことが問題点として挙げられる。
【０００５】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡易で且つ所定の幅と厚みのストライプ状の塗布面を得ることができる塗布装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の塗布装置は、液入口からの塗布液を幅方向に広がらせるためのマニホールドと、そのマニホールドから塗布液が押し出されるスリットとを具備してなるダイヘッドを用いた塗布装置において、ダイヘッドにおけるスリットの先端にくし型状部を形成し、そのくし型状部の山部分に吐出口を設け、塗布時に上流側からくし型状部の谷部分に気体を供給することにより、被塗布材にストライプ状の塗布面を形成することを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【０００８】
図１は本発明の塗布装置におけるダイヘッドの一例を先端側から見た状態で示す部分斜視図である。このダイヘッド１０は、内部にマニホールドとスリットとを有しており、スリットの先端には、同図に示されるように、山部分１１と谷部分１２とが交互に繋がったくし型状部１３を形成してあり、そのくし型状部１３の山部分１１に塗布液の吐出口１４を設けた構成になっている。したがって、吐出口１４はダイヘッド１０のスリットと繋がっている。そして、くし型状部１３の山部分１１と谷部分１２の幅は、必要とされるストライプの幅及び間隔により決定する。また、両端の山部分１１には吐出口を設けていない。
【０００９】
図２は図１のダイヘッドを用いた塗工装置による塗布の様子を示す斜視図である。この塗布の際には、ダイヘッド１０を被塗布材Ｇとの間に所定の間隔を保った状態で相対的に移動させながら、定量ポンプから送られた塗布液Ｌをマニホールドからスリットを通して山部分１１の吐出口１４から吐出し、被塗布材Ｇの上に載せる。これと同時に、塗布液の吐出を行わない谷部分１２は、気体を給気するためのスリットとして利用する。すなわち、図３に拡大して示すように、谷部分１２に上流から気体を供給することにより、山部分１１から吐出される塗布液Ｌを左右からサポートして安定化させ、端面が整ったストライプ状の塗布面を形成する。また、上流から被塗布材Ｇに同伴するエアーのみを使用することでもストライプの塗布面を安定して形成することが可能である。
【００１０】
このように、ダイヘッド先端のくし型状部１３の山部分１１から吐出される塗布液Ｌを左右からエアーでサポートして安定化させるため、前述したように、両端の山部分１１には吐出口を設けていない。
【００１１】
気体を給気する手段としては、図４に示すように、ダイヘッド１０の上流側にチャンバー２０を設け、そのチャンバー２０に気体発生装置等からエアーを送る構成が挙げられる。この構成により、くし型状部の谷部分のみに給気可能とすることができる。
【００１２】
塗布液としては、水系又は溶剤系レジスト等の低粘度材料、ペースト等の高粘度材料のいずれもが使用可能であり、それらのレオロジー特性及び乾燥までの時間により塗布面の厚みが決定される。ストライプの幅及び間隔は、ダイヘッドの加工精度等に依存するが、供給する気体の圧力によっても幅を制御することが可能である。
【００１３】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による塗布装置は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは当然のことである。
【００１４】
【発明の効果】
本発明の塗布装置は、液入口からの塗布液を幅方向に広がらせるためのマニホールドと、そのマニホールドから塗布液が押し出されるスリットとを具備してなるダイヘッドを用いた塗布装置において、ダイヘッドにおけるスリットの先端にくし型状部を形成し、そのくし型状部の山部分に吐出口を設け、塗布時に上流側からくし型状部の谷部分に気体を供給することにより、被塗布材にストライプ状の塗布面を形成することを特徴としているので、くし型状部の山部分の吐出口から塗布液を被塗布材の上に吐出しつつ、谷部分に供給する気体の量を調整することで、簡易に且つ所定の幅と厚みのストライプ状の塗布面を安定して形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の塗布装置におけるダイヘッドの一例を先端側から見た状態で示す部分斜視図である。
【図２】図１のダイヘッドを用いた塗工装置による塗布の様子を示す斜視図である。
【図３】図２においてＡで示す部分の拡大図である。
【図４】気体を給気する手段の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
１０ ダイヘッド
１１ 山部分
１２ 谷部分
１３ くし型状部
１４ 吐出口
２０ チャンバー
Ｇ 被塗布材
Ｌ 塗布液
【発明の属する技術分野】
本発明は、被塗布材に微細なストライプ状の塗布面を形成する塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、微細なストライプ等のパターン塗布面を形成する代表的な方法としてフォトリソグラフィー法がある。この方法は、被塗布材上に感光性の材料をウェット方式（液状の感光剤を塗布して乾燥させる方式）又はドライ方式（膜状の感光性フィルムを貼り付ける方式）により面形成した後、露光工程とそれに続く現像工程によりパターニングしてから、乾燥工程を経て所望のパターン塗布面を形成するものである。また、フォトリソグラフィー法によらずに、直接パターンを形成する方法としては、印刷法やインクジェット法などが挙げられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で述べた方法のうち、フォトリソグラフィー法による方法は、微細なパターンを確実に形成することが可能ではあるが、工程数が多く、使用する各装置の価格も非常に高価である。また、この方法は、面形成を行った後に現像して必要な部分のみを残すため、材料に無駄が生じ、コストも嵩むといった欠点がある。
【０００４】
一方、フォトリソグラフィー法を用いずに直接形成する方法のうち、印刷法は版の製作が難しいことが問題点として挙げられる。また、インクジェット法は、細管のノズルから塗布材料を吐出するため、ノズル形状の選定、吐出法等の技術的な課題が多く、例えば塗布材料の物性（レオロジー特性）に左右されてしまうことが問題点として挙げられる。
【０００５】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡易で且つ所定の幅と厚みのストライプ状の塗布面を得ることができる塗布装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の塗布装置は、液入口からの塗布液を幅方向に広がらせるためのマニホールドと、そのマニホールドから塗布液が押し出されるスリットとを具備してなるダイヘッドを用いた塗布装置において、ダイヘッドにおけるスリットの先端にくし型状部を形成し、そのくし型状部の山部分に吐出口を設け、塗布時に上流側からくし型状部の谷部分に気体を供給することにより、被塗布材にストライプ状の塗布面を形成することを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【０００８】
図１は本発明の塗布装置におけるダイヘッドの一例を先端側から見た状態で示す部分斜視図である。このダイヘッド１０は、内部にマニホールドとスリットとを有しており、スリットの先端には、同図に示されるように、山部分１１と谷部分１２とが交互に繋がったくし型状部１３を形成してあり、そのくし型状部１３の山部分１１に塗布液の吐出口１４を設けた構成になっている。したがって、吐出口１４はダイヘッド１０のスリットと繋がっている。そして、くし型状部１３の山部分１１と谷部分１２の幅は、必要とされるストライプの幅及び間隔により決定する。また、両端の山部分１１には吐出口を設けていない。
【０００９】
図２は図１のダイヘッドを用いた塗工装置による塗布の様子を示す斜視図である。この塗布の際には、ダイヘッド１０を被塗布材Ｇとの間に所定の間隔を保った状態で相対的に移動させながら、定量ポンプから送られた塗布液Ｌをマニホールドからスリットを通して山部分１１の吐出口１４から吐出し、被塗布材Ｇの上に載せる。これと同時に、塗布液の吐出を行わない谷部分１２は、気体を給気するためのスリットとして利用する。すなわち、図３に拡大して示すように、谷部分１２に上流から気体を供給することにより、山部分１１から吐出される塗布液Ｌを左右からサポートして安定化させ、端面が整ったストライプ状の塗布面を形成する。また、上流から被塗布材Ｇに同伴するエアーのみを使用することでもストライプの塗布面を安定して形成することが可能である。
【００１０】
このように、ダイヘッド先端のくし型状部１３の山部分１１から吐出される塗布液Ｌを左右からエアーでサポートして安定化させるため、前述したように、両端の山部分１１には吐出口を設けていない。
【００１１】
気体を給気する手段としては、図４に示すように、ダイヘッド１０の上流側にチャンバー２０を設け、そのチャンバー２０に気体発生装置等からエアーを送る構成が挙げられる。この構成により、くし型状部の谷部分のみに給気可能とすることができる。
【００１２】
塗布液としては、水系又は溶剤系レジスト等の低粘度材料、ペースト等の高粘度材料のいずれもが使用可能であり、それらのレオロジー特性及び乾燥までの時間により塗布面の厚みが決定される。ストライプの幅及び間隔は、ダイヘッドの加工精度等に依存するが、供給する気体の圧力によっても幅を制御することが可能である。
【００１３】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による塗布装置は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは当然のことである。
【００１４】
【発明の効果】
本発明の塗布装置は、液入口からの塗布液を幅方向に広がらせるためのマニホールドと、そのマニホールドから塗布液が押し出されるスリットとを具備してなるダイヘッドを用いた塗布装置において、ダイヘッドにおけるスリットの先端にくし型状部を形成し、そのくし型状部の山部分に吐出口を設け、塗布時に上流側からくし型状部の谷部分に気体を供給することにより、被塗布材にストライプ状の塗布面を形成することを特徴としているので、くし型状部の山部分の吐出口から塗布液を被塗布材の上に吐出しつつ、谷部分に供給する気体の量を調整することで、簡易に且つ所定の幅と厚みのストライプ状の塗布面を安定して形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の塗布装置におけるダイヘッドの一例を先端側から見た状態で示す部分斜視図である。
【図２】図１のダイヘッドを用いた塗工装置による塗布の様子を示す斜視図である。
【図３】図２においてＡで示す部分の拡大図である。
【図４】気体を給気する手段の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
１０ ダイヘッド
１１ 山部分
１２ 谷部分
１３ くし型状部
１４ 吐出口
２０ チャンバー
Ｇ 被塗布材
Ｌ 塗布液
Claims (1)
- 液入口からの塗布液を幅方向に広がらせるためのマニホールドと、そのマニホールドから塗布液が押し出されるスリットとを具備してなるダイヘッドを用いた塗布装置において、ダイヘッドにおけるスリットの先端にくし型状部を形成し、そのくし型状部の山部分に吐出口を設け、塗布時に上流側からくし型状部の谷部分に気体を供給することにより、被塗布材にストライプ状の塗布面を形成することを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001271193A JP4632595B2 (ja) | 2001-09-07 | 2001-09-07 | 塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001271193A JP4632595B2 (ja) | 2001-09-07 | 2001-09-07 | 塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003080147A JP2003080147A (ja) | 2003-03-18 |
| JP4632595B2 true JP4632595B2 (ja) | 2011-02-16 |
Family
ID=19096732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001271193A Expired - Fee Related JP4632595B2 (ja) | 2001-09-07 | 2001-09-07 | 塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4632595B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP6937999B1 (ja) * | 2021-04-28 | 2021-09-22 | 株式会社タンガロイ | ダイヘッド |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63218276A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 塗布装置 |
| JPH02298380A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 塗布装置 |
| JPH0584459A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 塗布装置 |
| JPH10334805A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-12-18 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置 |
| JP2000340495A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置およびそれに用いる処理液供給ノズル |
-
2001
- 2001-09-07 JP JP2001271193A patent/JP4632595B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63218276A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 塗布装置 |
| JPH02298380A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 塗布装置 |
| JPH0584459A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 塗布装置 |
| JPH10334805A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-12-18 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置 |
| JP2000340495A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置およびそれに用いる処理液供給ノズル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003080147A (ja) | 2003-03-18 |
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