JP2020111651A5 - - Google Patents

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次に、実施例1の塗布剤を使ってディスペンスコントローラーと卓上ロボットに搭載した縦500μm×横500μmの矩形の吐出口径を1000μmピッチで7本形成したラインコーターヘッドから、誘電エラストマーフィルム(実施例1の基材)上へフィルム面から0.3mm吐出口を離した状態で、吐出圧360kPa、ヘッドスピード10mm/秒で6mm長のストライプパターンを吐出した。上記誘電エラストマーフィルム上への塗布剤のライン吐出には、高粘度液体制御可能なディスペンスコントローラー(武蔵エンジニアリング社製)とXYZ軸制御可能な卓上ロボットであるモーノ式のディスペンサー武蔵エンジニアリング社製を用いた。
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