JPS63218276A - 塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は被処理物の表面に溶液を一度に滴下する時、全
面に薄く均一の厚みで塗布するとともに溶液が複数管の
間に溜ることを防止し得るようにした塗布装置に関する
。

従来の技術 従来塗布装置による被処理物への溶液の塗布は、例えば
第３図のような構造のノズルだけで行っていた。すなわ
ち塗布装置により押し出された溶液はノズル本体８を通
り、複数の管９の先端より流出し被処理物ｅの表面に滴
下して塗布されていた。

又、表面張力の影響などによって溶液が管の先端周縁部
９ａに残留するのを防ぐ手段としては、例えば特開昭５
９−３９３６３号公報に示されるように小径管を設けて
洗浄用溶剤を流すものがある。

発明が解決しようとする問題点 しかし、このようなノズルだけで被処理物６の表面全面
に溶液を塗布するには複数の管９の、ある一つの管より
滴下した溶液が隣の管から滴下した溶液とつながるだけ
の量を必要とし、そして更に塗布する厚みを薄くするに
は溶液が全面に広・がる迄の時間を必要とする。又、洗
浄用溶剤を用いる方法では溶剤が蒸発して完全になくな
る迄の時間を必要とする、等の問題がある。

そこで、本発明は被処理物上の全面に薄く均一な厚みの
塗布膜を連続して行える様にするものである。

問題点を解決するための手段 断る目的を達成すべく本発明は、ノズル本体に取り付け
て用いる装置で、溶液を滴下する複数の管の先端より上
方に気体を噴出する複数の孔をもつものである。

作用 上記手段による作用としては、溶液を滴下する時流体を
噴出することにより被処理物上の全面に溶液を薄く均一
の厚みに短時間で塗布することができ、又滴下後被処理
物が連続に送るだめの台により送られた後更に強く流体
を噴出することにより管の先端周縁部に残留した溶液を
瞬時に取り除くことができる。

実施例 以下に本発明の実施例を添付図面に従って説明する。第
１図は噴射装置を取り付けたノズルによる塗布装置の縦
断面図、第２図は同ノズルの下面図であり、複数の管の
先端部２亀上方に複数の孔３をもつ噴射装置４を／ズル
本体１に取り付け、複数の管２から溶液が流出し、複数
の孔３には流体を噴出する様にしている。

以上において、ノズル本体１の中心と、所定間隔を保持
し連続で送られてきた被処理物６の中心が合った時、送
り台７を停止し複数の管２より小量の溶液が滴下すると
同時に、ホース６を通して送られてきた流体が複数の孔
３より噴出することにより、被処理物ｅの表面全面に溶
液が薄く均一な厚みで塗布される。そして被処理物６は
送り台７により送られ次の被処理物６１Ｌとの中間で、
塗布液を滴下した時表面張力などによって複数の管の先
端周縁部２ａに残留した若干の溶液を、複数の孔３より
噴出した流体により瞬時に除去する。

複数の管を有する塗布装置について以上の説明をしたが
、一本の管を有する塗布装置にも適用できるものである
。

発明の効果 本発明によれば、被処理物上に管より溶液を滴下すると
同時に孔より流体を噴出するので、被処理物上に少量の
溶液で薄く均一の厚みで塗布することができる。従って
、たとえば半導体装においては薄型化による高密度実装
が図れる。又、管先端に残留した溶液を瞬時に取り除く
ことができるので高速自動化を企画でき、更に簡単な構
造で且つ製作が容易である等多大の利点を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における塗布装置の縦断面図
、第２図は同ノズルの下面図、第３図は従来例における
ノズルによる塗布装置の縦断面図である。 １・・・・・ノズル本体、２・・・・・・複数の管、２
ト・・・・・複数の管の先端周縁部、３・・・・・・複
数の孔、４・・・・・・噴射装置、６・・・・・・ホー
ス、６・・・・・・被処理物、６ａ・・・・・・次の被
処理物、７・・・・・・送り台。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 溶液を滴下する管を設け、この管を流体を噴出する孔に
   貫通させ、この孔の縁部と前記管の外壁間より前記流体
   が噴出するよう構成し、前記孔を前記管の先端部より上
   方に位置するようにしたことを特徴とする塗布装置。