JP4623344B2 - 保護膜及び保護膜形成方法、並びにインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、インクジェットヘッドの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、駆動電極の保護膜として、例えば特開2000−71451号公報では、ポリパラキシリレン又はその誘導体からなる複数の樹脂皮膜で構成することが提案され、第1の保護膜としてパリレンNが、第二層目以降の保護膜としてパリレンN、C、又はDが形成されてなる2層構成である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、保護膜のピンホール密度が十分低くなく、絶縁膜を通して電流が流れるため、電極が腐食する場合が多い。特に、インクジェットヘッドにおいては1箇所でもピンホールがあると電極が断線し、インクジェットヘッドとして機能しなくなるため、歩留まりを落とす大きな要困となっていた。
【0004】
特に、電極の保護膜としては、パリレンが以前より知られており、パリレンNは浸透性が高く複雑な構造中への浸透性がすぐれている。
【0005】
また、電極のアルミニウムは真空蒸着によって形成されているが、真空蒸着、特に斜めから蒸着された場合、形成された膜は柱状の構造が集まった構造となっており、あまり緻密ではなく、微視的には孔だらけといえる。また、電極の下地のPZTは数ミクロンのグレインからできており、このグレインが脱落した場合、孔があくため、その上に形成されたアルミニウムはでこぼことなる。このような電極に保護膜を設けると、保護膜は柱状構造のアルミニウムへの保護性能が優れるという利点はあるが、耐熱性が低いため、保護膜形成後にインクジェットヘッドが経験する加熱工程での劣化が大きく、歩留まりが低かった。
【0006】
一方、パリレンCは耐熱性が高いが、浸透性においてパリレンNより劣るためピンホール等の欠陥が生じやすい。
【0007】
これらの欠点を解消するため、パリレンNを形成した後にパリレンCを形成していたが、この方法では一旦製膜装置より取り出しプラズマ処理を行う必要があるため、コスト高になり、また取り出したときのゴミの付着によりピンホールが発生した。
【0008】
この発明は、かかる実情に鑑みてなされたもので、低コストで、ゴミの付着等によるピンホールをなくし、吐出性能及び耐久性に優れるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。
【0010】
請求項1に記載の発明は、『圧電性基体上に電極を有する可動部を少なくとも1つの壁とするインクチャンバーを、少なくとも前記可動部を有する部材と、他の壁を形成する部材の2部材以上から構成し、前記電極に電圧を印加してインクチャンバーからインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、
個々に温度制御可能なパリレンN成膜用とパリレンC成膜用の昇華領域をもった製膜装置を用いて、
始めに主として前記パリレンN成膜用の昇華領域を加熱し、昇華させ、主としてパリレンNの膜を形成し、途中より前記パリレンC成膜用の昇華領域を加熱することにより昇華させ、パリレンCの成膜を開始すると共に、パリレンNの昇華を徐々に停止させ、パリレンNの成膜を徐々に停止することにより、
前記電極に設けられる少なくともパリレンNとパリレンCを含む保護膜であり、パリレンNに対するパリレンCの組成比(C/N)が、前記電極の界面側よりも表面側の方が高い 前記保護膜で前記電極を被覆したことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。』である。
【0011】
この請求項1に記載の発明によれば、保護膜のパリレンNに対するパリレンCの組成比(C/N)が、基体の界面側よりも表面側の方が高いことで、ピンホールがなく、かつ耐熱性にすぐれた保護膜が低コストで得られ、電極を保護膜で被覆することで、低コストで、ゴミの付着等によるピンホールをなくし、吐出性能及び耐久性に優れるインクジェットヘッドを製造することができる。また、始めに主としてパリレンNの領域を加熱し、昇華させ、次にパリレンCの領城を主として加熱することで、低コストで、ゴミの付着等によるピンホールをなくし、耐久性に優れる保護膜を形成することができる。
【0012】
請求項2に記載の発明は、『前記パリレンNの成分が全体の50%以下であることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。
【0013】
この請求項2に記載の発明によれば、パリレンNの成分が全体の50%以下であることで、より耐熱性にすぐれた保護膜が低コストで得られる。
【0014】
請求項3に記載の発明は、『前記圧電性基体の界面側から0.5ミクロンまでの層における前記パリレンNの成分が70%以上であり、かつ表面側から層内部に向かっての1ミクロンまでの層における前記パリレンCの成分が70%以上あることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。
【0015】
この請求項3に記載の発明によれば、圧電性基体の界面側から0.5ミクロンまでの層におけるパリレンNの成分が70%以上であり、かつ表面側から層内部に向かっての1ミクロンまでの層におけるパリレンCの成分が70%以上あることで、よりピンホールがなく、かつ耐熱性にすぐれ、充分に耐久性を有する保護膜が低コストで得られる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、この発明のインクジェットヘッドの製造方法を図面に基づいて説明するが、この発明は、この実施の形態に限定されない。
【0023】
図1はインクジェットヘッドのインクチャンバーの模式断面図である。
【0024】
この実施の形態のインクジェットヘッド1は、圧電性基体2と、他の壁を形成する部材(代表的には、ガラス、セラミック、金属或いはプラスチック製の平板を接着して形成するインクチャンバーの蓋)3とでインク流路であるインクチャンバー4が形成されている。圧電性セラミック基体2の内壁には、電極5が設けられ、この電極5と他の壁を形成する部材3の内壁は保護膜6で被覆されている。
【0025】
圧電性基体2は、圧電性セラミックで構成され、この圧電性セラミックとしては、従来公知の任意のものを採用できるが、例えばチタン酸ジルコン酸鉛等の充填密度が大きいものが圧電性能の点で好ましい。
【0026】
図2は圧電性基体2の一例を示すもので、厚さ1mmの圧電性基体2の一面に微少な溝部(L:30mm、H:360μm、B:70μm)が加工されている。この圧電性基体2の加工面に蓋部材3を接合することにより、インク流路となるインクチャンバー4(L:30mm、H:360μm、B:70μm)が溝部に構成される。インクチャンバー4の一端はインク供給部に連結され、他端はインク吐出部と連結される。
【0027】
また、電極5は微細な部材に薄膜で形成する(通常、0.5〜5.0μm程度)ため、スパッタリング等により形成するが、電気的特性、耐食性及び加工性の点からアルミニウム、タンタル又はチタニウムからなることが好ましい。また、電極膜の耐食性及び安定性を向上するのに陽極酸化処理を施すのが有効である。
陽極酸化処理の具体例を次に示す。
【0028】
電解液として、300mlのエチレングリコール及び30mlの3%酒石酸からなるpH7.0±0.5(アンモニア水で調整)の液を用い、厚さ2.0μmのアルミニウム電極膜を形成した圧電性基体を浸漬し、電極膜をプラスにして電流密度1mA/cm2で電極が100Vに達するまでは定電流で、電圧100Vに達した後は100Vの定電圧で陽極酸化を行い、電流密度が0.1A/cm2以下となったとき処理を終了させる。
【0029】
この発明においては、電極膜の陽極酸化処理後、保護膜形成工程前に他の壁を形成する部材3を圧電性基体2に接着する。この接着工程では、接着剤を塗布する前に、圧電性基体2の溝部が設けられた加工面及び前記溝部を覆う蓋部材3の接合面はその状態に応じて洗浄、研磨等の前処理が行われ、接着面がそれぞれ形成される。
【0030】
圧電性基体2の接着面と蓋部材3の接着面とがエポキシ系接着剤で接着されて、圧電性基体2と蓋部材3は一体に組み立てられる。組立後、接着面は加圧状態で、約120℃まで加熱され、さらにこの加圧・加熱状態が約2時間保持されて、接着剤が硬化される。この接着行程により厚さ1.0〜2.0μmの接着剤層が接着面に形成され、また一体化された圧電性基体2と蓋部材3間にインク流路となるインクチャンバー4が構成される。
【0031】
接着終了後一体化された圧電性基体2と蓋部材3に対し、保護膜6を形成する。保護膜6を形成する化学蒸着を行うための製膜装置の一例を図3に示す。
[実施例1]
この実施の形態の製膜装置10は、蒸着室11に、昇華室12,13と熱分解室14,15の2系統を連結して構成される。蒸着室11の内部にインクジェットヘッド1を載置し、インクジェットヘッド1の保護膜を設けない部分はマスキングしておく。
【0032】
昇華室12にパリレンNを入れ、昇華室13にパリレンCを入れ、始めにはパリレンNを主として昇華・分解して膜を形成し、途中よりパリレンCの昇華・分解を開始すると共に、パリレンNの昇華を徐々に停止させた。
【0033】
パリレンN及びパリレンCの構造式を示す。
【0034】
パリレンNの構造式
パリレンCの構造式
その結果、図4に示すような成分を有する保護膜が得られた。
【0035】
耐久性の評価を行ったところ不良率は100個中0個であった。
【0036】
評価項目は、120℃で2時間、熱処理後の耐久性を調べた。
【0037】
耐久性評価方法としては、塩酸(35%)の10%水溶液の中にインクジェットヘッドを入れ、電極と塩酸中にいれた対向電極の間にプラスマイナス2OV、4OkHzの交流を1時間、加えて行った。その後、直流の2OVを加えて、リーク電流を測定し、1マイクロA以上のものを不合格とした。
【0038】
基体に設けられる少なくともパリレンNとパリレンCを含む保護膜6は、パリレンNに対するパリレンCの組成比(C/N)が、基体の界面側よりも表面側の方が高いことで、ピンホールがなく、かつ耐熱性にすぐれた保護膜6が低コストで得られる。また、パリレンNの成分が全体の50%以下であることで、より耐熱性にすぐれた保護膜6が低コストで得られる。
[実施例2]実施例1でパリレンNとパリレンCの昇華温度を制御し、保護膜6と基板との界面から0.5ミクロンまでの層におけるパリレンNの成分と、保護膜表面から内部に向かっての1ミクロンまでの層におけるパリレンCの成分を図5のように制御した。保護膜6の層の全膜厚は6ミクロンとした。そして、各10個のサンプルの耐久性の評価を行った。
【0039】
図5より、保護膜と基板との界画から0.5ミクロンまでの層におけるパリレンNの成分が70%以上であり、かつ、保護膜表面から内部に向かっての1ミクロンまでの層におけるパリレンCの成分が70%以上あれば十分な耐久性を持つことがわかった。
[従来例1]
パリレンNを1ミクロン、パリレンCを5ミクロン形成した。このパリレンNの形成とパリレンCの形成の間でプラズマ処理を行った。実施例1,2と同じ耐久性評価を行ったところ、不良率は10%であった。
【0040】
【発明の効果】
前記したように、請求項1に記載の発明では、保護膜のパリレンNに対するパリレンCの組成比(C/N)が、基体の界面側よりも表面側の方が高いことで、ピンホールがなく、かつ耐熱性にすぐれた保護膜が低コストで得られ、電極を保護膜で被覆することで、低コストで、ゴミの付着等によるピンホールをなくし、吐出性能及び耐久性に優れるインクジェットヘッドを製造することができる。また、始めに主としてパリレンNの領域を加熱し、昇華させ、次にパリレンCの領城を主として加熱することで、低コストで、ゴミの付着等によるピンホールをなくし、耐久性に優れる保護膜を形成することができる。
【0041】
請求項2に記載の発明では、パリレンNの成分が全体の50%以下であることで、より耐熱性にすぐれた保護膜が低コストで得られる。
【0042】
請求項3に記載の発明では、圧電性基体の界面側から0.5ミクロンまでの層におけるパリレンNの成分が70%以上であり、かつ表面側から層内部に向かっての1ミクロンまでの層におけるパリレンCの成分が70%以上あることで、よりピンホールがなく、かつ耐熱性にすぐれ、充分に耐久性を有する保護膜が低コストで得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】インクジェットヘッドのインクチャンバーの模式断面図である。
【図2】圧電性基体の一例を示す斜視図である。
【図3】製膜装置の一例を示す図である。
【図4】保護膜のパリレンNの分布を示す図である。
【図5】パリレンNとパリレンCの分布と耐久性を示す図である。
【符号の説明】
1 インクジェットヘッド
2 圧電性基体
3 他の壁を形成する部材(蓋部材)
4 インクチャンバー
5 電極
6 保護膜
10 製膜装置
11 蒸着室
12,13 昇華室
14,15 熱分解室
Claims (3)
- 圧電性基体上に電極を有する可動部を少なくとも1つの壁とするインクチャンバーを、少なくとも前記可動部を有する部材と、他の壁を形成する部材の2部材以上から構成し、前記電極に電圧を印加してインクチャンバーからインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、
個々に温度制御可能なパリレンN成膜用とパリレンC成膜用の昇華領域をもった製膜装置を用いて、
始めに主として前記パリレンN成膜用の昇華領域を加熱し、昇華させ、主としてパリレンNの膜を形成し、途中より前記パリレンC成膜用の昇華領域を加熱することにより昇華させ、パリレンCの成膜を開始すると共に、パリレンNの昇華を徐々に停止させ、パリレンNの成膜を徐々に停止することにより、
前記電極に設けられる少なくともパリレンNとパリレンCを含む保護膜であり、パリレンNに対するパリレンCの組成比(C/N)が、前記電極の界面側よりも表面側の方が高い前記保護膜で前記電極を被覆したことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記パリレンNの成分が全体の50%以下であることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記圧電性基体の界面側から0.5ミクロンまでの層における前記パリレンNの成分が70%以上であり、かつ表面側から層内部に向かっての1ミクロンまでの層における前記パリレンCの成分が70%以上あることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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