JP4618335B2 - 電荷転送装置、固体撮像装置、およびカメラ、並びに固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents
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Description
図1(A)〜(D)に2相駆動の駆動信号例を示す。H1、H2が駆動パルスを示し、RGがリセットゲートパルスを示し、CCDoutがCCDの出力を示す。
そのため、電荷蓄積量は2相と同じ1ゲートのストレージ部分だけで、また駆動振幅も2相と変わらず、ダイナミックレンジの拡大や電力削減を図ることが困難である。
すなわち、特許文献1に開示された技術では、通常の多相駆動のような多ゲート蓄積になっておらず、取扱い電荷量の向上や振幅低下による電力削減などは困難であった。
図2(A)〜(G)に、3相駆動の駆動信号例を示す。H1、H2、H3が駆動パルスを示し、RGがリセットゲートパルスを示し、CCDoutがCCDの出力を示し、SHP、SHDがサンプルホールドパルスを示している。
図2に示すように、一般的な3相駆動方式においては、CDSサンプリング部分でのクロストークノイズの問題や、データ出力期間を取りにくいことなどの不利益がある。
すなわち、通常の多相駆動では、転送と蓄積という動作から、少なくとも1ゲートはロー(Low)レベルになっている状態で、もう1ゲートを転送のために遷移させることから、2ゲートがロー(Low)レベルになる期間が存在する。
このような多相逐次駆動では、遷移部分が多くなり、信号のサンプリングを行う水平CCDの駆動にはクロストークノイズの問題で採用されていなかった。
しかしながら、特許文献2に開示された技術では、狭いリセット期間だけで転送しなくてはならず、高速化に不向きであった。
本発明の第1の観点の電荷転送装置は、3相以上の転送パルスによって転送駆動されて信号電荷を転送する電荷転送部と、前記3相以上の転送パルスを供給して前記電荷転送部を駆動する駆動部と、を有し、前記3相以上の各転送パルスは、第1レベルと第2レベルをとり、前記電荷転送部は、前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加され、前記駆動部は、3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、前記最終段の転送ゲート電極に印加する前記最終転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移するエッジ部分で、転送段の前記転送ゲート電極に印加する前記第1相転送パルスが第2レベルから第1レベルに遷移し、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に印加する前記第3相転送パルスが第1レベルから第2レベルに遷移するように駆動する。
本発明の第2の観点の固体撮像装置は、複数の光電変換素子と、3相以上の転送パルスによって転送駆動されて前記光電変換素子で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、前記3相以上の転送パルスを供給して前記電荷転送部を駆動する駆動部と、を有し、前記3相以上の各転送パルスは、第1レベルと第2レベルをとり、前記電荷転送部は、前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加され、前記駆動部は、3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、前記最終段の転送ゲート電極に印加する前記最終転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移するエッジ部分で、転送段の前記転送ゲート電極に印加する前記第1相転送パルスが第2レベルから第1レベルに遷移し、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に印加する前記第3相転送パルスが第1レベルから第2レベルに遷移するように駆動する。
本発明の第3の観点のカメラは、固体撮像装置と、前記固体撮像装置の撮像エリアに対して入射光を導く光学系と、前記固体撮像装置による画像に所定の処理を施す信号処理回路と、を含み、前記固体撮像装置は、複数の光電変換素子と、3相以上の転送パルスによって転送駆動されて前記光電変換素子で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、前記3相以上の転送パルスを供給して前記電荷転送部を駆動する駆動部と、を有し、前記3相以上の各転送パルスは、第1レベルと第2レベルをとり、前記電荷転送部は、前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加され、前記駆動部は、3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、前記最終段の転送ゲート電極に印加する前記最終転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移するエッジ部分で、転送段の前記転送ゲート電極に印加する前記第1相転送パルスが第2レベルから第1レベルに遷移し、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に印加する前記第3相転送パルスが第1レベルから第2レベルに遷移するように駆動する。
本発明の第4の観点は、複数の光電変換素子と、第1レベルと第2レベルをとる3相以上の転送パルスによって転送駆動されて前記光電変換素子で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、を有し、前記電荷転送部は、前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加される固体撮像装置の駆動方法であって、3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、前記最終段の転送ゲート電極に印加する前記最終転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移するエッジ部分で、転送段の前記転送ゲート電極に印加する前記第1相転送パルスが第2レベルから第1レベルに遷移し、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に印加する前記第3相転送パルスが第1レベルから第2レベルに遷移するように駆動する。
垂直転送レジスタ112は、たとえば4相の垂直転送パルスVφ1〜Vφ4によって転送駆動され、各センサ部11から読み出された信号電荷を水平ブランキング期間の一部にて1走査線(1ライン)に相当する部分ずつ順に垂直方向に転送する。
水平転送パルス(駆動パルス)Hφ1,Hφ2,Hφ3、および最終転送パルスLHφ1は第1レベル(本実施形態ではローレベル)と第2レベル(本実施形態ではハイレベル)をとる駆動パルスである。
なお、ここでは一例として3相駆動方式を示すが、3相より多相(4相等)の駆動にも本発明は適用可能である。
この電荷検出部16は、水平転送レジスタ14から水平出力ゲート部17を介して供給される信号電荷を蓄積するフローティング・ディフュージョン(FD)18と、信号電荷を排出するリセットドレイン(RD)19と、フローティング・ディフュージョン18とリセットドレイン19の間に設けられたリセットゲート(RG)20とから構成されている。
そして、フローティング・ディフュージョン18に蓄積された信号電荷は信号電圧に変換され、出力回路21を介してCCD出力信号CCDoutとして、たとえば図示しないCDS(相関二重サンプリング)回路に導出される。
図5は、本実施形態に係る水平転送駆動系の等価回路を示す図である。
また、図6(A)〜(F)は、本実施形態に係る水平転送駆動系の各パルスのタイミング関係を示す図であって、図6(A)が水平転送パルスHφ1(第1相転送パルス)を、図6(B)が水平転送パルスHφ2(第2相転送パルス)を、図6(C)が水平転送パルスHφ3(第3相転送パルス)を、図6(D)が最終転送パルスLHφ1を、図6(E)がリセットパルスRGφ1を、図6(F)が出力信号CCDoutをそれぞれ示している。
そして、ゲート電極22に出力ゲートパルスOGの供給ライン31に接続され、転送電極23および24が最終転送パルスLHφ1の供給ライン(供給配線)32に共通に接続され、転送電極25が水平転送パルスHφ3の供給ライン(供給配線)33に接続され、転送電極26が水平転送パルスHφ2の供給ライン(供給配線)34に接続され、転送電極27が水平転送パルスHφ1の供給ライン(供給配線)35に接続されている。
本実施形態においては、図6(A)〜(C)に示すように、水平転送パルスHφ1がローレベルの期間では、水平転送パルスHφ2およびHφ3はハイレベルに保持される。同様に、水平転送パルスHφ2がローレベルの期間では、水平転送パルスHφ1およびHφ3はハイレベルに保持される。水平転送パルスHφ3がローレベルの期間では、水平転送パルスHφ1およびHφ2はハイレベルに保持される。
すなわち、3相駆動でローレベルに設定される水平転送パルスは一つのみである。このように構成したのは以下の理由による。
そこで、本実施形態においては、多相駆動において、水平転送パルスのロー(Low)レベル期間が各時間で1相しか存在しないようにし、遷移部分をオーバーラップさせている。
このように構成することで、遷移回数を減らし、信号サンプリング部分で、遷移しないような駆動タイミングとすることでクロストークノイズを回避するとともに、多ゲートがハイ(High)レベルにできることで、取扱い電荷も向上できる。
そのとき、ロー(Low)電圧になるゲートの出力は、転送方向順に出力することでCCD転送駆動ができる。
そこで、高速化を行う場合は、最終段ゲートのみを独立させ、そのゲートに印加する最終転送パルスを50:50のデューティーにすることで、フローティング・ディフュージョンFDへの転送時間を確保できる。
なお、この最終段ゲートは、ストレージ・トランスファ構造とすることで、その前段のゲートが早期にハイ(High)レベルになっても逆流しないようにする工夫も併用するとよい。
本実施形態において、転送段に印加する水平転送パルスHφ1〜Hφ3の駆動振幅が、最終段の最終転送パルスLHφ1の駆動振幅により小さく設定される。
たとえば、リセットパルスRGφ1と最終転送パルスLHφ1が3.3V程度に設定され、転送段に印加する水平転送パルスHφ1〜Hφ3が1.9V程度に設定される。
図6の<3>に示す例では、水平転送パルスHφ1の立ち上がりエッジtr1の立ち上がり遷移と水平転送パルスHφ2の立ち下がりエッジtf2の立ち上がり遷移が相補的(同時並列的)に行われている。
これにより、水平転送パルスHφ1の立ち上がりエッジtr1の立ち上がり遷移時に発生するノイズと、平転送パルスHφ2の立ち下がりエッジtf2の立ち上がり遷移時に発生するノイズが相殺されて、クロストークノイズが軽減される。
以下に、本実施形態に係る3相駆動方式を採用した水平転送駆動系の動作を図7に関連付けて説明する。
このとき、転送すべき信号電荷CRG1が転送電極25,26の形成位置に対応した領域に蓄積されている。
このとき、転送すべき信号電荷CRG1が転送電極25の形成位置に対応した領域のみに蓄積され、次に転送すべき信号電荷CRG2が転送電極27の形成位置に対応した領域に蓄積される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG1が転送電極25の形成位置に対応した領域から最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送されはじめる。また、次に転送すべき信号電荷CRG2が転送電極27の形成位置に対応した領域に蓄積されている。
このとき、転送すべき信号電荷CRG1が転送電極25の形成位置に対応した領域から最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送され蓄積される。また、次に転送すべき信号電荷CRG2が転送電極27の形成位置に対応した領域に蓄積されている。
このとき、転送すべき信号電荷CRG1が最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送され蓄積されている。また、次に転送すべき信号電荷CRG2が転送電極27および26の形成位置に対応した領域に蓄積される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG1が最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送され蓄積されている。また、次に転送すべき信号電荷CRG2が転送電極27および26の形成位置に対応した領域に蓄積されている。
このとき、転送すべき信号電荷CRG1が出力ゲートの電極22を越えた位置に対応した領域に転送され蓄積される。また、次に転送すべき信号電荷CRG2が転送電極26および25の形成位置に対応した領域に蓄積されている。
このとき、転送すべき信号電荷CRG1が出力ゲートの電極22を越えた位置に対応した領域に転送され蓄積されている。また、次に転送すべき信号電荷CRG2が転送電極25の形成位置に対応した領域に蓄積される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG2が転送電極25の形成位置に対応した領域から最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送されはじめる。また、次に先の信号電荷CRG1が次段のCDS回路に転送される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG2が転送電極25の形成位置に対応した領域から最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送され蓄積される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG2が最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送され蓄積されている。
このとき、転送すべき信号電荷CRG2が最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送され蓄積されている。
このとき、転送すべき信号電荷CRG2が出力ゲートの電極22を越えた位置に対応した領域に転送され蓄積される。
以下に、本実施形態に係る4相駆動方式を採用した水平転送駆動系の動作を図8に関連付けて説明する。
なお、4相駆動方式の転送段の水平転送パルスはHφ1〜Hφ3に加えて水平転送パルスHφ4が用いられ、転送電極24と転送電極25との間に水平転送パルスHφ4が印加される転送電極28が形成される。
この場合も、転送段の水平転送パルスはHφ1〜Hφ4のうち所定の期間中にローレベルに設定される水平転送パルスは一つのみである。
このとき、転送すべき信号電荷CRG11が転送電極25,26,27の形成位置に対応した領域に蓄積されている。
そして、時刻t4において、転送電極27に印加される水平転送パルスHφ1がローレベルに保持され、転送電極26に印加される水平転送パルスHφ2がハイレベルに保持され、転送電極25に印加される水平転送パルスHφ3がハイレベルに保持され、転送電極28に印加される水平転送パルスHφ4がハイレベルに保持され、最終段の電極23,24に印加される最終転送パルスLHφ1がローレベルに保持される。このとき、リセットパルスRGφはローレベルに保持される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG11が転送電極28,26,27の形成位置に対応した領域に蓄積されている。
そして、時刻t6において、転送電極27に印加される水平転送パルスHφ1がハイレベルに保持され、転送電極26に印加される水平転送パルスHφ2がローレベルに保持され、転送電極25に印加される水平転送パルスHφ3がハイレベルに保持され、転送電極28に印加される水平転送パルスHφ4がハイレベルに保持され、最終段の電極23,24に印加される最終転送パルスLHφ1がローレベルに保持される。このとき、リセットパルスRGφはローレベルに保持される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG11が転送電極28,25の形成位置に対応した領域に蓄積される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG11が転送電極28、25の形成位置に対応した領域から最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送されはじめる。
そして、時刻t9において、転送電極27に印加される水平転送パルスHφ1がハイレベルに保持され、転送電極26に印加される水平転送パルスHφ2がハイレベルに保持され、転送電極25に印加される水平転送パルスHφ3がローレベルに保持され、転送電極28に印加される水平転送パルスHφ4がハイレベルに保持され、最終段の電極23,24に印加される最終転送パルスLHφ1がハイレベルに保持される。このとき、リセットパルスRGφはハイレベルに保持され、出力CCDoutがP相のレベルより高いレベルに保持される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG11が転送電極28、25の形成位置に対応した領域から最終段の電極23の形成位置に対応した領域にさらに転送される。
そして、時刻t11において、転送電極27に印加される水平転送パルスHφ1がハイレベルに保持され、転送電極26に印加される水平転送パルスHφ2がハイレベルに保持され、転送電極25に印加される水平転送パルスHφ3がハイレベルに保持され、転送電極28に印加される水平転送パルスHφ4がローレベルに保持され、最終段の電極23,24に印加される最終転送パルスLHφ1がハイレベルに保持される。このとき、リセットパルスRGφはハイレベルからローレベルに保持され、出力CCDoutがP相のレベルに保持される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG11が最終段の電極23の形成位置に対応した領域に転送され蓄積される。
そして、時刻t13において、転送電極27に印加される水平転送パルスHφ1がローレベルに保持され、転送電極26に印加される水平転送パルスHφ2がハイレベルに保持され、転送電極25に印加される水平転送パルスHφ3がハイレベルに保持され、転送電極28に印加される水平転送パルスHφ4がハイレベルに保持され、最終段の電極23,24に印加される最終転送パルスLHφ1がローレベルに保持される。このとき、リセットパルスRGφはローレベルに保持され、出力CCDoutがD相レベルに保持される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG11が出力ゲートの電極22を越えた位置に対応した領域に転送され蓄積される。
さらに、時刻t15において、転送電極27に印加される水平転送パルスHφ1がハイレベルに保持され、転送電極26に印加される水平転送パルスHφ2がローレベルに保持され、転送電極25に印加される水平転送パルスHφ3がハイレベルに保持され、転送電極28に印加される水平転送パルスHφ4がハイレベルに保持され、最終段の電極23,24に印加される最終転送パルスLHφ1がローレベルに保持される。このとき、リセットパルスRGφはローレベルに保持され、出力CCDoutがD相レベルに保持される。
このとき、転送すべき信号電荷CRG11が出力ゲートの電極22を越えた位置に対応した領域に蓄積されている。
このとき、信号電荷CRG11が次段のCDS回路に転送される。
さらに、最終転送パルスLHφ1を独立させることで、フローティング・ディフュージョンに隣接するゲートへのパルスのクロストークを抑えると共に、小負荷容量で駆動波形を早くすることで、信号出力スピードを上げることができる。さらに、転送段の水平転送パルスHφ1〜Hφ3を低振幅で緩やかなトランジェント駆動にできることから、低消費電力化が容易に行えるようになるという利点がある。
これにより、たとえば、大型多画素のデジタル一眼レフカメラなどでも液晶モニタによるプレビューが可能になる。
この場合も、所定期間中にローレベルに設定される水平転送パルスは一つのみであり、このように、水平転送パルスφH1〜φHn(nは5以上の整数)のタイミング設定を行えば良い。
この場合、水平転送パルスHφ1,Hφ2の振幅は3.45Vとした。
この2相駆動方式においては、図9(E)に示すような等価回路を想定して、電流消費が156mWとなる。
この場合、水平転送パルスHφ1〜Hφ3の振幅は1.9Vとした。
この3相駆動方式においては、図10(E)に示すような等価回路を想定して、電流消費が33.3mWとなる。
すなわち、無効振幅が少なく、低振幅駆動にできることで2相駆動方式に比べて156mWから33.3mWに激減する。
この場合、水平転送パルスHφ1〜Hφ4の振幅は1.9Vとした。
この4相駆動方式においては、図11(E)に示すような等価回路を想定して、電流消費が35.3mWとなる。
すなわち、無効振幅が少なく、低振幅駆動にできることで2相駆動方式に比べて156mWから35.3mWに激減する。
したがって、電力消費の観点からは、3相駆動が最も効率的であることがわかった。
このCCD固体撮像装置53は、先述したタイミング発生回路15や駆動系などを含むCCD駆動回路54によって駆動される。
CCD固体撮像装置53の出力信号は、次段の信号処理回路55において、自動ホワイトバランス調整などの種々の信号処理が行われた後、撮像信号として外部に導出される。メカニカルシャッタ52の開閉制御、CCD駆動回路54の制御、信号処理回路55の制御などは、システムコントローラ56によって行われる。
これにより、たとえば、大型多画素のデジタル一眼レフカメラなどでも液晶モニタによるプレビューが可能になる。
Claims (14)
- 3相以上の転送パルスによって転送駆動されて信号電荷を転送する電荷転送部と、
前記3相以上の転送パルスを供給して前記電荷転送部を駆動する駆動部と、を有し、
前記3相以上の各転送パルスは、第1レベルと第2レベルをとり、
前記電荷転送部は、
リセットパルスが第2レベルのときにリセット動作を行うリセット部を有し、
前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、
最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、
前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加され、
前記駆動部は、
3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、
前記電荷転送部における最終段を除く転送段を少なくとも3相転送パルスで駆動し、
前記最終段の転送ゲート電極に印加する最終転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間を、前記3相の転送パルスのうち前記第1相転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間より遅くし、前記第3相転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移する期間に対向する前記第2相転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間が前記リセットパルスの第2レベルの期間にかかるように駆動する
電荷転送装置。 - 3相以上の転送パルスによって転送駆動されて信号電荷を転送する電荷転送部と、
前記3相以上の転送パルスを供給して前記電荷転送部を駆動する駆動部と、を有し、
前記3相以上の各転送パルスは、第1レベルと第2レベルをとり、
前記電荷転送部は、
前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、
最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、
前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加され、
前記駆動部は、
3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、
前記最終段の転送ゲート電極に印加する前記最終転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移するエッジ部分で、転送段の前記転送ゲート電極に印加する前記第1相転送パルスが第2レベルから第1レベルに遷移し、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に印加する前記第3相転送パルスが第1レベルから第2レベルに遷移するように駆動する
電荷転送装置。 - 前記駆動部は、
前記最終転送パルスのデューティー比を50%に設定して最終段を駆動する
請求項1または2記載の電荷転送装置。 - 前記駆動部は、
データ相のサンプリング点で遷移する3相転送パルスのうち、一の転送パルスと他の一の転送パルスの第1レベルと第2レベル間の遷移が相補的になるように駆動する
請求項1から3のいずれか一に記載の電荷転送装置。 - 前記駆動部は、
前記3相以上の転送パルスの振幅を、前記最終転送パルスの振幅より低く設定する
請求項1から4のいずれか一に記載の電荷転送装置。 - 複数の光電変換素子と、
3相以上の転送パルスによって転送駆動されて前記光電変換素子で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、
前記3相以上の転送パルスを供給して前記電荷転送部を駆動する駆動部と、を有し、
前記3相以上の各転送パルスは、第1レベルと第2レベルをとり、
前記電荷転送部は、
リセットパルスが第2レベルのときにリセット動作を行うリセット部を有し、
前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、
最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、
前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加され、
前記駆動部は、
3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、
前記電荷転送部における最終段を除く転送段を少なくとも3相転送パルスで駆動し、
前記最終段の転送ゲート電極に印加する最終転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間を、前記3相の転送パルスのうち前記第1相転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間より遅くし、前記第3相転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移する期間に対向する前記第2相転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間が前記リセットパルスの第2レベルの期間にかかるように駆動する
固体撮像装置。 - 複数の光電変換素子と、
3相以上の転送パルスによって転送駆動されて前記光電変換素子で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、
前記3相以上の転送パルスを供給して前記電荷転送部を駆動する駆動部と、を有し、
前記3相以上の各転送パルスは、第1レベルと第2レベルをとり、
前記電荷転送部は、
前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、
最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、
前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加され、
前記駆動部は、
3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、
前記最終段の転送ゲート電極に印加する前記最終転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移するエッジ部分で、転送段の前記転送ゲート電極に印加する前記第1相転送パルスが第2レベルから第1レベルに遷移し、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に印加する前記第3相転送パルスが第1レベルから第2レベルに遷移するように駆動する
固体撮像装置。 - 前記駆動部は、
前記最終転送パルスのデューティー比を50%に設定して最終段を駆動する
請求項6または7記載の固体撮像装置。 - 前記駆動部は、
データ相のサンプリング点で遷移する3相転送パルスのうち、一の転送パルスと他の一の転送パルスの第1レベルと第2レベル間の遷移が相補的になるように駆動する
請求項6から8のいずれか一に記載の固体撮像装置。 - 前記駆動部は、
前記3相以上の転送パルスの振幅を、前記最終転送パルスの振幅より低く設定する
請求項6から9のいずれか一に記載の固体撮像装置。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の撮像エリアに対して入射光を導く光学系と、
前記固体撮像装置による画像に所定の処理を施す信号処理回路と、を含み、
前記固体撮像装置は、
複数の光電変換素子と、
3相以上の転送パルスによって転送駆動されて前記光電変換素子で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、
前記3相以上の転送パルスを供給して前記電荷転送部を駆動する駆動部と、を有し、
前記3相以上の各転送パルスは、第1レベルと第2レベルをとり、
前記電荷転送部は、
リセットパルスが第2レベルのときにリセット動作を行うリセット部を有し、
前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、
最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、
前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加され、
前記駆動部は、
3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、
前記電荷転送部における最終段を除く転送段を少なくとも3相転送パルスで駆動し、
前記最終段の転送ゲート電極に印加する最終転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間を、前記3相の転送パルスのうち前記第1相転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間より遅くし、前記第3相転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移する期間に対向する前記第2相転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間が前記リセットパルスの第2レベルの期間にかかるように駆動する
カメラ。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の撮像エリアに対して入射光を導く光学系と、
前記固体撮像装置による画像に所定の処理を施す信号処理回路と、を含み、
前記固体撮像装置は、
複数の光電変換素子と、
3相以上の転送パルスによって転送駆動されて前記光電変換素子で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、
前記3相以上の転送パルスを供給して前記電荷転送部を駆動する駆動部と、を有し、
前記3相以上の各転送パルスは、第1レベルと第2レベルをとり、
前記電荷転送部は、
前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、
最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、
前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第相2転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加され、
前記駆動部は、
3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、
前記最終段の転送ゲート電極に印加する前記最終転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移するエッジ部分で、転送段の前記転送ゲート電極に印加する前記第1相転送パルスが第2レベルから第1レベルに遷移し、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に印加する前記第3相転送パルスが第1レベルから第2レベルに遷移するように駆動する
カメラ。 - 複数の光電変換素子と、
第1レベルと第2レベルをとる3相以上の転送パルスによって転送駆動されて前記光電変換素子で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、を有し、
前記電荷転送部は、前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加される固体撮像装置の駆動方法であって、
前記電荷転送部を、リセットパルスが第2レベルのときにリセットし、
3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、
前記電荷転送部における最終段を除く転送段を少なくとも3相転送パルスで駆動し、
前記最終段の転送ゲート電極に印加する最終転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間を、前記3相の転送パルスのうち前記第1相転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間より遅くし、前記第3相転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移する期間に対向する前記第2相転送パルスの第1レベルから第2レベルに遷移する期間が前記リセットパルスの第2レベルの期間にかかるように駆動する
固体撮像装置の駆動方法。 - 複数の光電変換素子と、
第1レベルと第2レベルをとる3相以上の転送パルスによって転送駆動されて前記光電変換素子で得られた信号電荷を転送する電荷転送部と、を有し、
前記電荷転送部は、前記各転送パルスとして少なくとも第1相転送パルス、第2相転送パルス、第3相転送パルスが当該順に印加される転送ゲート電極が転送方向に向かって並列に配列され、最終段の転送ゲート電極が前記各転送パルスと異なる最終転送パルスの供給配線に接続され、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に前記第3相転送パルスが印加され、当該第3相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第2相転送パルスが印加され、当該第2相転送パルスが印加される前記転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に第1相転送パルスが印加される固体撮像装置の駆動方法であって、
3相以上の多相駆動で、前記第1レベルの期間が各時間で1相のみ存在し、当該第1レベルの電圧が転送方向順に出力するように駆動し、
前記最終段の転送ゲート電極に印加する前記最終転送パルスの第2レベルから第1レベルに遷移するエッジ部分で、転送段の前記転送ゲート電極に印加する前記第1相転送パルスが第2レベルから第1レベルに遷移し、前記最終段の転送ゲート電極の一つ前段の前記転送ゲート電極に印加する前記第3相転送パルスが第1レベルから第2レベルに遷移するように駆動する
固体撮像装置の駆動方法。
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