JP2007159024A - Ccd型固体撮像素子の駆動方法及びccd型固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 CCD型固体撮像素子を構成する垂直転送路のスミア電荷高速掃出駆動時における電荷逆注入を阻止する。
【解決手段】 半導体基板上にアレイ状に配列形成され夫々が受光量に応じた信号電荷を蓄積する複数の光電変換素子と、各光電変換素子から読み出された前記信号電荷をn相駆動(n≧3)用の転送パルスに従って転送する電荷転送路とを備えるCCD型固体撮像素子の駆動方法において、前記電荷転送路に前記信号電荷を読み出し転送する前に該電荷転送路を掃出駆動用転送パルスで駆動するときの該掃出駆動用転送パルスの印加初期時に、前記電荷転送路を構成する連続する複数の転送電極のうち隣接する転送電極の夫々に印加する前記掃出駆動用転送パルスの変位位置をずらす(パターンA)。
【選択図】 図3
【解決手段】 半導体基板上にアレイ状に配列形成され夫々が受光量に応じた信号電荷を蓄積する複数の光電変換素子と、各光電変換素子から読み出された前記信号電荷をn相駆動(n≧3)用の転送パルスに従って転送する電荷転送路とを備えるCCD型固体撮像素子の駆動方法において、前記電荷転送路に前記信号電荷を読み出し転送する前に該電荷転送路を掃出駆動用転送パルスで駆動するときの該掃出駆動用転送パルスの印加初期時に、前記電荷転送路を構成する連続する複数の転送電極のうち隣接する転送電極の夫々に印加する前記掃出駆動用転送パルスの変位位置をずらす(パターンA)。
【選択図】 図3
Description
本発明はCCD(Charge Coupled Devices:電荷結合素子)型固体撮像素子の駆動方法等に係り、特に、信号電荷をフォトダイオードから読み出し垂直転送路によって転送する前に垂直転送路の高速掃出駆動を行うCCD型固体撮像素子の駆動方法及びCCD型固体撮像装置に関する。
CCD型固体撮像装置では、例えば下記特許文献1に記載されている様に、信号電荷をフォトダイオードから読み出し垂直転送路によって転送する前に垂直転送路を高速駆動し、垂直転送路上のスミア電荷等の不要電荷を予め掃き出した後に、信号電荷の垂直転送路への読み出しと垂直転送路による信号電荷の転送を行うものがある。
図4は、垂直転送路を8相駆動するCCD型固体撮像装置における従来の高速掃出駆動を示すタイミングチャートである。電子シャッタが「開」となってからメカニカルシャッタが「閉」となるまでが露光時間となり、CCD型固体撮像素子の各フォトダイオードに信号電荷が蓄積される。この露光時間中は、垂直転送路(VCCD)の動作は停止される(以下、垂直転送路の駆動を停止しながら行う露光を「ピニング露光」という。)。
露光時間終了後に、垂直転送路(VCCD)に高速掃出パルスを印加して垂直転送路上の不要電荷を掃き出し、その後に、タイミングジェネレータ(TG)から読み出しパルスが出力されると、フォトダイオードから信号電荷が垂直転送路に読み出され、垂直転送路に通常駆動の転送パルスが印加されることで、信号電荷の転送が行われる。
図4の下段は、高速掃出駆動で用いる駆動パルス(転送パルス)の詳細図である。垂直転送路の垂直方向に連続する8つの電極V1,V2,…,V8には、図示する様に、夫々位相が順にずれた駆動パルスが印加され、不要電荷の転送が行われる。
高速掃出駆動は、位相のずれた高速の転送パルスを各転送電極に印加することで行われるが、従来の場合、高速掃出駆動を開始する最初の瞬間には、図示の例では、電極V2,V3,V4,V5,V6,V7にハイレベル信号が印加され、V1,V8に低レベル信号が印加され、以後、順に位相がずれる様に、各電極V1,V2,…,V8に印加されるパルス幅(ハイレベル信号の幅)の制御が行われる。
これとは別に、CCD型固体撮像装置では、垂直転送路へのフォトダイオードからの信号電荷の読み出しを一斉に行うと、半導体基板表面部におけるPウェル層の接地電位が変動し、半導体基板側からフォトダイオードに光入射に起因しない電荷が逆注入してしまうという現象が起きることが知られている。この電荷逆注入の問題を解決するため、特許文献2記載の従来技術では、フォトダイオードからの信号電荷の読み出しを、一斉に行うのではなくライン毎に別々に行ない、しかも、あるラインの信号読出パルスの立ち下がりタイミングが別ラインの信号読出パルスの立ち上がりタイミングとなるようにし、Pウェル層の接地電位の変動が相殺される様にしている。
近年のCCD型固体撮像装置は多画素化が進展し、垂直転送路の転送電極とフォトダイオードとの距離も小さくなっている。このため、図4に示す従来の高速掃出駆動を行うと、信号読出パルスより低電圧な高速掃出用の駆動パルスを用いて垂直転送路を駆動しただけで、垂直転送路の埋め込みチャネルやフォトダイオードが形成される半導体基板表面部のPウェル層の接地電位が大きく揺れ、電荷の逆注入が発生する虞が生じてしまう。
本発明の目的は、高速掃出駆動を行うときでも電荷逆注入の発生を抑制することができるCCD型固体撮像素子の駆動方法及びCCD型固体撮像装置を提供することにある。
本発明のCCD型固体撮像素子の駆動方法は、半導体基板上にアレイ状に配列形成され夫々が受光量に応じた信号電荷を蓄積する複数の光電変換素子と、各光電変換素子から読み出された前記信号電荷をn相駆動(n≧3)用の転送パルスに従って転送する電荷転送路とを備えるCCD型固体撮像素子の駆動方法において、前記電荷転送路に前記信号電荷を読み出し転送する前に該電荷転送路を掃出駆動用転送パルスで駆動するときの該掃出駆動用転送パルスの印加初期時に、前記電荷転送路を構成する連続する複数の転送電極のうち隣接する転送電極の夫々に印加する前記掃出駆動用転送パルスの変位位置をずらすことを特徴とする。
本発明のCCD型固体撮像素子の駆動方法における前記変位位置は掃出駆動用転送パルスの立ち上がり位置であることを特徴とする。
本発明のCCD型固体撮像素子の駆動方法は、前記n数の連続する前記転送電極の各々に印加する前記掃出駆動用転送パルスの前記印加初期時における前記変位位置を順にずらすことを特徴とする。
本発明のCCD型固体撮像素子の駆動方法は、前記n数の連続する前記転送電極の各々に印加する前記掃出駆動用転送パルスの前記印加初期時における各転送電極の電位を、1転送電極毎に変位させることを特徴とする。
本発明のCCD型固体撮像素子の駆動方法は、前記掃出駆動用転送パルスの印加をピニング露光後に行うことを特徴とする。
本発明のCCD型固体撮像装置は、上述したCCD型固体撮像素子と、上述したいずれかに記載の掃出駆動用転送パルスを生成し前記CCD型固体撮像素子に供給する制御手段とを備えることを特徴とする。
本発明よれば、電荷転送路を構成する連続する転送電極の各々に、同時に変位する(例えば同時に立ち上がる)転送パルスが電荷転送路掃出駆動初期時に印加されることがないため、電荷転送路が形成される半導体基板のPウェル層の接地電位の揺れが抑制され、電荷逆注入が阻止される。
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係るデジタルカメラの機能ブロック構成図である。このデジタルカメラは、撮像部1と、撮像部1から出力されるアナログの画像データを自動利得調整(AGC)や相関二重サンプリング処理等のアナログ処理するアナログ信号処理部2と、アナログ信号処理部2から出力されるアナログ画像データをデジタル画像データに変換するアナログデジタル変換部(A/D)3と、後述のシステム制御部(CPU)9からの指示によってA/D3,アナログ信号処理部2,撮像部1の駆動制御を行う駆動部(タイミングジェネレータTGを含む)4と、CPU9からの指示によって発光するフラッシュ5とを備える。
撮像部1は、被写界からの光を集光する光学レンズ系1aと、該光学レンズ系1aを通った光を絞る絞りやメカニカルシャッタ1bと、光学レンズ系1aによって集光され絞りによって絞られた光を受光し撮像画像データ(アナログ画像データ)を出力するCCD型固体撮像素子100とを備える。
本実施形態のデジタルカメラは更に、A/D3から出力されるデジタル画像データを取り込み補間処理やホワイトバランス補正,RGB/YC変換処理等を行うデジタル信号処理部6と、画像データをJPEG形式などの画像データに圧縮したり逆に伸長したりする圧縮/伸長処理部7と、メニューなどを表示したりスルー画像や撮像画像を表示する表示部8と、デジタルカメラ全体を統括制御するシステム制御部(CPU)9と、フレームメモリ等の内部メモリ10と、JPEG画像データ等を格納する記録メディア12との間のインタフェース処理を行うメディアインタフェース(I/F)部11と、これらを相互に接続するバス20とを備え、また、システム制御部9には、ユーザからの指示入力を行う操作部13が接続されている。
図2は、図1に示すCCD型固体撮像素子100の表面模式図である。図示する例のCCD型固体撮像素子の半導体基板上には、多数のフォトダイオード101(PD1〜PD8)が二次元アレイ状(図示の例では正方格子状)に配列形成されており、フォトダイオード101の各列に沿って垂直転送路102が形成されている。
各垂直転送路12は、1つのフォトダイオード101に対して2枚の垂直転送電極を備え、図示する例では、垂直方向上側の垂直転送電極とフォトダイオード101とが読出ゲート103によって接続され、フォトダイオード101の受光電荷(信号電荷)が読出ゲート103を通して対応の垂直転送電極下に形成される電位パケット内に読み出される。
図2に例示するCCD型固体撮像素子は、8相駆動するため、各垂直転送電極内に、V1,V2,…,V8と記載してあり、各転送電極V1〜V8に垂直転送制御部108が転送パルスφV1〜φV8を供給することで、垂直転送制御(高速掃出駆動を含む)が行われる。この垂直転送路制御部108は、図1の駆動部4内に設けられる。
半導体基板の下辺部には水平転送路104が設けられ、各垂直転送路102によって垂直方向に転送されてきた信号電荷を受け取り、この信号電荷を次に水平方向に転送し、出力段のアンプ105を通して受光電荷量に応じた画像信号が出力される。
図3は、本発明の一実施形態に係る高速掃出駆動パルスを示すタイミングチャートである。V1,V2,…,V8は、夫々、図2の垂直転送路102中に記載した電極V1,V2,…,V8に印加する転送パルス(高速掃出駆動パルス)を示し、図2の垂直転送制御部108で発生される。
本実施形態のデジタルカメラでは、ユーザがシャッタボタンを半押ししたとき、露出計測や自動焦点合わせが行われ、絞り開口量やシャッタ速度がCPU9(図1参照)によって決定される。そして、シャッタボタンが全押しされたとき、電子シャッタが「開」になると共に前記シャッタ速度で決まる時間後にメカニカルシャッタ1bが「閉」となる。このとき、垂直転送路102の駆動は停止状態にあり、ピニング露光が行われる。
メカニカルシャッタ1bが「閉」になると、垂直転送路102が高速掃出駆動され、その後に、フォトダイオード101から垂直転送路102に信号電荷が読み出され、信号電荷が垂直転送路102に沿って水平転送路104まで転送される。
本実施形態の図3に示す高速掃出駆動では、図4で説明した従来例に比較して、パターンAの部分が、高速掃出駆動の初期時に挿入される構成となっている。即ち、本実施形態では、8相駆動であるため、連続する8個の電極V1,V2,…,V8のうち、連続する任意の複数の電極Vに、同時に転送パルスの変位位置(図示の例では、低レベル(例えば−8V)から高レベル(例えば0V)への立ち上がり位置)が来ないようにしている。
また、図示の例では、V2→V3→V4→V5→V6→V7→V8→V1→V2→…の順で、高速掃出駆動パルスが立ち上がる様にしている。上述した特許文献2では、フォトダイオードから垂直転送路に信号電荷を読み出す読出パルスが重ならないようにして、Pウェル層の接地電位の変動を抑制している。これは、読出パルスが高電位パルスであるため、多数の読出パルスが重なると、Pウェル層の接地電位が変動してしまうためである。
これに対し、高速掃出駆動パルスは、読出パルスに比較して低電位パルスであるため、高速掃出駆動パルスが複数重なっても(複数の高速掃出パルスの各ハイレベル位置が重なっても)、それほどPウェル層の接地電位は変動しない。しかし、隣接する転送電極の夫々に印加される高速掃出駆動パルスの変位位置が一致すると、Pウェル層の接地電位が変動する虞が高くなる。このため、本実施形態では、連続する転送電極の夫々に印加する高速掃出パルスの変位位置がずれる様に、1電極毎に変位させている。これにより、高速掃出駆動時における電荷逆注入が阻止される。
図3に示す実施形態では、高速掃出パルスの印加初期時において、高速掃出パルスのパルス立ち上がり位置をV2→V3→V4→…と順に変位させているが、1転送電極毎に変位させればPウェル層の接地電位の変動を抑制できるため、「順」に変位させる必要はない。つまり、高速掃出パルスの印加初期時におけるパルスでスミア電荷の転送が行われなくてもよい。スミア電荷の転送は、高速掃出パルスの印加初期時以後の高速掃出パルスによって転送される廃棄されるため問題はない。
尚、上述した実施形態では、8相駆動のCCD型固体撮像素子を例に説明したが、6相駆動や4相駆動など、少なくとも3相駆動以上のCCD型固体撮像素子であれば、本実施形態と同様の高速掃出駆動を行うことができる。また、フォトダイオードが半導体基板上に正方格子配列されたCCD型固体撮像素子を例に説明したが、二次元アレイ状に配列形成されたフォトダイオードの奇数行が偶数行に対して1/2ピッチづつずれた、所謂、ハニカム画素配列のCCD型固体撮像素子にも適用可能であることはいうまでもない。
本発明に係るCCD型固体撮像装置及びその駆動方法は、垂直転送路の高速掃出駆動時に電荷逆注入が発生しないため、デジタルカメラ等に用いるCCD型固体撮像装置やその駆動方法として有用である。
1 撮像部
1b メカニカルシャッタ
4 駆動部(タイミングジェネレータTGを含む)
100 CCD型固体撮像素子
101 フォトダイオード(光電変換素子)
102 垂直転送路
103 読出ゲート
104 水平転送路
105 出力アンプ
108 垂直転送制御部
V1,V2,…,V8 垂直転送路の転送電極(8相駆動用)
1b メカニカルシャッタ
4 駆動部(タイミングジェネレータTGを含む)
100 CCD型固体撮像素子
101 フォトダイオード(光電変換素子)
102 垂直転送路
103 読出ゲート
104 水平転送路
105 出力アンプ
108 垂直転送制御部
V1,V2,…,V8 垂直転送路の転送電極(8相駆動用)
Claims (6)
- 半導体基板上にアレイ状に配列形成され夫々が受光量に応じた信号電荷を蓄積する複数の光電変換素子と、各光電変換素子から読み出された前記信号電荷をn相駆動(n≧3)用の転送パルスに従って転送する電荷転送路とを備えるCCD型固体撮像素子の駆動方法において、前記電荷転送路に前記信号電荷を読み出し転送する前に該電荷転送路を掃出駆動用転送パルスで駆動するときの該掃出駆動用転送パルスの印加初期時に、前記電荷転送路を構成する連続する複数の転送電極のうち隣接する転送電極の夫々に印加する前記掃出駆動用転送パルスの変位位置をずらすことを特徴とするCCD型固体撮像素子の駆動方法。
- 前記変位位置は掃出駆動用転送パルスの立ち上がり位置であることを特徴とする請求項1に記載のCCD型固体撮像素子の駆動方法。
- 前記n数の連続する前記転送電極の各々に印加する前記掃出駆動用転送パルスの前記印加初期時における前記変位位置を順にずらすことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のCCD型固体撮像素子の駆動方法。
- 前記n数の連続する前記転送電極の各々に印加する前記掃出駆動用転送パルスの前記印加初期時における各転送電極の電位を、1転送電極毎に変位させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のCCD型固体撮像素子の駆動方法。
- 前記掃出駆動用転送パルスの印加をピニング露光後に行うことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のCCD型固体撮像素子の駆動方法。
- 請求項1に記載のCCD型固体撮像素子と、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の掃出駆動用転送パルスを生成し前記CCD型固体撮像素子に供給する制御手段とを備えることを特徴とするCCD型固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005355027A JP2007159024A (ja) | 2005-12-08 | 2005-12-08 | Ccd型固体撮像素子の駆動方法及びccd型固体撮像装置 |
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JP2005355027A JP2007159024A (ja) | 2005-12-08 | 2005-12-08 | Ccd型固体撮像素子の駆動方法及びccd型固体撮像装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010178030A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Fujifilm Corp | 複眼撮像装置及びその駆動方法 |
-
2005
- 2005-12-08 JP JP2005355027A patent/JP2007159024A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010178030A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Fujifilm Corp | 複眼撮像装置及びその駆動方法 |
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