JP4617660B2 - ターボ形回転機器 - Google Patents
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Description
また、ターボ形ガス圧縮機GCには後述するとおり、内部に回転体を保持する必要からその保持部を油潤滑する機構を有し、これによるオイルミストがレーザ発振器10へ流入しないように、回転駆動部側のモータ室Mを流路R4を介して真空ポンプ12にて排気している。
ターボ翼2がモータ6によって高速に回転駆動されると、ガスは流入口1Kから流入され、圧縮されて排出口1Hより排出される。この流入口1Kから排出口1Hまでがガス圧縮室Cを形成する。この排出口1Hからのガスは上記したようにガス循環回路(図6)を経てレーザ発振器(図6)に供給される。
この排気系ESが設置される理由をより詳しく説明すると、軸受に潤滑用オイルを使用するターボブロワをレーザ発振器に搭載して用いる場合には、ターボ形ガス圧縮機内部オイルがレーザ発振器のガス流路に流入しないよう、オイルが入っている軸受保持室とガス圧縮部の間にはラビリンスシール等のシール部8を有するとともにオイルが入っているモータ室Mを常にガス圧縮部より低圧とするため、モータ室Mは、外部の真空ポンプ12にて排気する。このモータ室Mの真空排気より、レーザ発振器内圧力が低下することを防ぐために発振器には、定常的にレーザガスを供給する。この真空排気量が多くなるとレーザガスの消費量が多くなり、ランニングコストが高くなる。これに対し、真空排気量が減少すると、ブロワ内のシール部の差圧が低下する。したがって、オイルがガス循環部に逆流する可能性がある。このため、ガス流量の制御は必要であるため、排気系ESに開閉弁V1等を備え、真空排気量を真空ポンプ12の下流(大気側)に備えた流量計(図示せず)等を用いて計測し開閉弁V1で調整する。開閉弁V1として具体的にはニードル弁が使用されていた。
本発明はこのような問題を解決するターボ形回転機器を提供することを目的とする。
この場合、ターボ形ガス圧縮機は、その機能性、経済性、そして操作性などの条件から、高速回転を保障する回転体、特に回転軸の軸受とその軸受潤滑を油で行わせる方式のものを前提としている。この前提条件においては、ガス圧縮室とモータ室との差圧がきわめて重要事項となり、これを解決すべくモータ室の排気系を改良したものである。すなわち、真空排気系に排気量の計測機構を設けた点に特徴がある。この最良の実施形態としては、外部へのガスの供給を適正し、かつ真空排気量を自動的に調整しながら計量できる較正とすることである。
以下実施例にしたがって本発明の構成を説明する。
本発明のターボ形回転機器の構成は図1に示すとおりである。本発明においては上述のとおり、排気系の改良に特徴があり、したがって機器主体をなすターボ形ガス圧縮機GCについては、従来(図5)とかわるところがなく、排気系を中心に説明する。なお、図1においては排気を行うための真空ポンプ(図5の12)は図示されていない。また図1において図5と同一の符号で示される部品は図5と同一の機能を有し作動するものであって、詳細な説明は省略する。
図1において16は排気路15に介設されたニードル弁である。そしてこのニードル弁16の前後の排気路15には、それぞれの配管の先端が接続されたU字管17が介設されている。このU字管17は透明の配管で構成されている。このU字管17はニードル弁16に対しバイパス路を形成することになっていて、しかも内方には液体Eが収容されている。この液体Eとしては油槽9のオイルLが使用されるのが好ましい。
1H 排出口
1K 流入口
1A 連通孔
2 ターボ翼
3 回転軸
6 モータ
9 油槽
12 真空ポンプ
15 排気路
16 ニードル弁
17 U字管
18 フロート
19 連通路
20 油面計
21 検出器
22 調整器
C ガス圧縮室
E 液体
ES 排気系
GC ターボ形ガス圧縮機
H 液位の差
L オイル
M モータ室
Claims (4)
- ガス圧縮を行なうターボ翼と、このターボ翼が内方に配設されるとともにガスを流入させる流入口と圧縮したガスを排出する排出口を有するガス圧縮室と、前記ターボ翼に回転軸を介して回転駆動するためのモータと回転軸およびこの回転軸を保持する軸受を収容するとともに軸受を油潤滑するための油槽ならびに油潤滑機構を収容したモータ室と、このガス圧縮室とモータとの隔壁における回転軸の貫通部をシールするシール部とからなるターボ形ガス圧縮機と、このターボ形ガス圧縮機におけるモータ室に連通する排気路から真空ポンプによってモータ室の排気を行う排気系とを備え、前記圧縮されたガスを排出口から外部の機器等に排出するようにしたターボ形回転機器において、前記排気系に排気量を調節するための弁と、この弁の前後における排気系にそれぞれの端部が接続され、内方にオイルが収容され、内方が前記油槽と連通したU字管を介設したことを特徴とするターボ形回転機器。
- U字管の一方の配管にフロートを内挿して液面に沿って上下動するようにし両配管の液位差をこのフロートにて測るようにしたことを特徴とする請求項1記載のターボ形回転機器。
- フロートには目盛が付されていることを特徴とする請求項2記載のターボ形回転機器。
- フロートの上下変位量を検出する検出手段と、この検出手段からの信号によって弁の開度を調節する調節手段とを設けたことを特徴とする請求項2記載のターボ形回転機器。
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