JP4615040B2 - トラップ装置及び減圧乾燥装置 - Google Patents
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Description
46 減圧乾燥ユニット(VD)
80 チャンバ
94 真空ポンプ
100 トラップ装置
120 タンク
122 内部縦型筒体
126 ガス導入部
130 ノズル部
132(1)〜132(7) 邪魔板
134 中心支持軸
142 冷却水流路
152 ドレイン口
156 内部液捕集部
158 突条部
160 外部液捕集部
Claims (17)
- 縦型筒状のタンクと、
前記タンク内の中心部に設けられ、前記タンクの内径よりも小さな外径と、前記タンクの底面の近くに配置される入口と、前記タンクの下流側の外部排気路に接続される出口とを有する内部縦型筒体と、
前記内部縦型筒体の入口よりも高い位置で前記タンク内に所定の蒸気を含むガスを導入するガス導入部と
を有し、
前記ガス導入部より前記タンク内に導入された前記ガスが、前記タンクの内壁面に沿って螺旋状に旋回しながら天井まで上昇した後、前記内部縦型筒体の外壁面に沿って螺旋状に旋回しながら降下し、前記内部縦型筒体の中をその入口から出口まで通り抜けて前記下流側排気管に送られ、前記蒸気が前記タンク内で凝縮するように構成したトラップ装置。 - 前記ガス導入部が、前記タンクの内壁面に沿って前記ガスを噴出するノズル部を有する請求項1に記載のトラップ装置。
- 前記ノズル部が、前記タンクの軸方向と直交する面に対して5°〜45°斜め上方に傾けて前記ガスを噴出する請求項2に記載のトラップ装置。
- 前記ガス噴出方向の傾斜角度が10°〜20°である請求項3に記載のトラップ装置。
- 前記内部縦型筒体内に、前記ガスをその気流の進路を邪魔しながら通過させる邪魔板を軸方向に間隔を空けて複数枚配置する請求項1〜4のいずれか一項記載のトラップ装置。
- 前記内部縦型筒体の中に入ってくる前記ガスの旋回流を邪魔して非旋回流に矯正するように、前記内部縦型筒体の入口付近に最下段の第1の邪魔板と次段の第2の邪魔板とを近づけて配置する請求項5に記載のトラップ装置。
- 前記第1の邪魔板が、周回方向に並べて形成された複数の開口部を有する円板からなり、
前記第2の邪魔板が、前記内部縦型筒体の内径よりも小さく、かつ前記第1の邪魔板の開口部の外径よりも大きな口径を有する実質的に開口無しの円板からなる、
請求項6に記載のトラップ装置。 - 前記第1の邪魔板の開口部の全開口率が20%〜70%であり、
前記第1および第2の邪魔板の間に形成される流路の前記第2の邪魔板のエッジ位置における断面積(Sa)と前記第1の邪魔板の開口部の総面積(Sb)との比(Sa/Sb)が0.4〜0.9である、
請求項6または請求項7に記載のトラップ装置。 - 前記内部縦型筒体の周壁またはその近くに冷却媒体用の流路を設け、前記媒体流路に一定温度の冷却媒体を流す請求項1〜8のいずれか一項に記載のトラップ装置。
- 前記内部縦型筒体の出口付近または前記外部排気路内に、前記蒸気が凝縮して出来たミストを捕獲するためのミストフィルタを設ける請求項1〜9のいずれか一項に記載のトラップ装置。
- 前記タンクの内壁に沿って周回方向に移動する液滴を捕集して前記タンクの底へ落とすための第1の液捕集部を設ける請求項1〜10のいずれか一項に記載のトラップ装置。
- 前記第1の液捕集部は、前記タンクの内壁から半径方向内側に突出して縦方向に延びる突条部を有する請求項11に記載のトラップ装置。
- 前記タンクの底面で前記第1の液捕集部の近くに排液用の第2のドレイン口を設ける請求項11または請求項12に記載のトラップ装置。
- 前記外部排気路の内壁面に沿って下流側に移動する液滴を捕集して前記外部排気路の外へ取り出すための第2の液捕集部を設ける請求項1〜13のいずれか一項に記載のトラップ装置。
- 前記第2の液捕集部が、
前記外部排気路の内径よりも小さな外径を有する円筒部と、
前記円筒部の下流側端部で前記円筒部と前記外部排気路との隙間を閉塞する環状の底部と、
前記底部付近に設けられた排液用の第2のドレイン口と
を有する請求項14に記載のトラップ装置。 - 処理液の塗布膜を形成された直後の被処理基板を出し入れ可能に収容する密閉可能なチャンバと、
前記基板上の前記塗布膜を乾燥させるために前記チャンバ内を真空排気する真空ポンプと、
前記真空ポンプより吐き出される排ガスから蒸気を分離するための請求項1〜15のいずれか一項に記載のトラップ装置と、
を有する減圧乾燥装置。 - 前記処理液がレジスト液であり、前記蒸気が有機溶剤蒸気である請求項16に記載の減圧乾燥装置。
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