JP4606248B2 - 半導体レーザ - Google Patents
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(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における半導体レーザの構成を示す概観図である。図1を参照して、本実施の形態の半導体レーザでは、n型インジウム燐(InP)基板(第1導電型の半導体基板)1上にn型InPクラッド層(第1導電型クラッド層)2が形成されている。このn型InPクラッド層2にインジウムガリウム砒素燐(InGaAsP)光導波層3が形成されている。また、光導波層3上にp型InPクラッド層(第2導電型クラッド層)4が形成されている。このp型InPクラッド層4には回折格子5が埋め込まれるように設けられている。回折格子5の一部には位相シフト6が形成されている。p型InPクラッド層4上にはp型InGaAsPコンタクト層7が形成されている。光導波層3側面には電流を狭窄するための高抵抗InP電流閉じ込め層8が形成されている。エッチングによって形成された分離溝9a、9bによって各領域が電気的に分離されている。n型InP基板1の裏面側にはn型電極20が設けられている。p型InGaAsPコンタクト層7上にはp型電極21a、21b、21cのそれぞれが、分離溝9a、9bによって互いに隔てられかつ電気的に分離されるように設けられている。このように本実施の形態の半導体レーザは多電極構造のレーザである。
図6は、本発明の実施の形態2における半導体レーザの構成を示す断面図である。図6を参照して、本実施の形態の半導体レーザは、実施の形態1の半導体レーザと比較して、位相シフト6a(第1位相シフト)および位相シフト6b(第2位相シフト)の2つの位相シフトが設けられている点において異なっている。
Claims (3)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された第1導電型クラッド層と、
前記第1導電型クラッド層上に形成された光導波層と、
前記光導波層を一部に含みレーザ光出射方向に対して前方に位置し前記光導波層に近接した回折格子を具備する前方分布帰還型活性領域と、
前記光導波層を一部に含み前記レーザ光出射方向に対して後方に位置し前記光導波層に近接した回折格子を具備し、前記前方分布帰還型活性領域とは電気的に分離された後方分布帰還型活性領域と、
前記回折格子を埋め込むように形成された第2導電型クラッド層と、を備え、
前記前方分布帰還型活性領域または前記後方分布帰還型活性領域の回折格子はその一部に位相シフトを有し、
前記位相シフトを有する前記前方分布帰還型活性領域または後方分布帰還型活性領域において、ストップバンドの長波長端近傍でのレーザ発振が短波長端近傍のレーザ発振よりも選択的に生じるように、前記位相シフトを有する回折格子が調整されていることを特徴とする、半導体レーザ。 - 前記位相シフトを有する前記前方分布帰還型活性領域または後方分布帰還型活性領域の前記回折格子において、分布帰還型活性領域の領域長をL、素子端面に近い方の分布帰還型活性領域端から前記位相シフトまでの距離をΔL、分布帰還型活性領域でのブラッグ波長をλとした場合に、前記位相シフトは、0.06L≦ΔL≦0.2Lにある領域または0.8L≦ΔL≦0.94Lにある領域にλ/16以上λ/4以下の大きさで導入されていることを特徴とする、請求項1に記載の半導体レーザ。
- 前記位相シフトは第1位相シフトと第2位相シフトとにより構成されており、
前記位相シフトを有する前記前方分布帰還型活性領域または後方分布帰還型活性領域の前記回折格子において、分布帰還型活性領域の領域長をL、素子端面に近い方の分布帰還型活性領域端から前記第1位相シフトまでの距離をΔL1、素子端面に近い方の分布帰還型活性領域端から前記第2位相シフトまでの距離をΔL2、分布帰還型活性領域でのブラッグ波長をλとした場合に、前記第1位相シフトは、0.1L≦ΔL≦0.2Lにある領域にλ/16以上3λ/8以下の大きさで導入されているか、または0.06L≦ΔL≦0.1Lの距離にある領域にλ/16以上λ/4以下の大きさで導入されており、かつ前記第2位相シフトは、0.8L≦ΔL≦0.9Lにある領域にλ/16以上3λ/8以下の大きさで導入されているか、または0.9L≦ΔL≦0.94Lにある領域にλ/16以上λ/4以下の大きさで導入されていることを特徴とする、請求項1に記載の半導体レーザ。
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2005
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