JP4605009B2 - パワーモジュールの製造方法 - Google Patents
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Description
また、この場合、一度の接合工程を経ることにより、液冷ヒートシンクとパワーモジュール用基板とを形成してパワーモジュールを形成することが可能になり、加熱によりフィン部材を嵌合凹部に接合したことによって、パワーモジュールの各構成要素が熱劣化したり、生産効率が低下するのを防ぐことができる。
このパワーモジュール10は、セラミックス基板12の表面に導体パターン12が設けられるとともに、裏面に金属層14が設けられたパワーモジュール用基板11と、このパワーモジュール用基板11の裏面に放熱体21を介して設けられた液冷ヒートシンク22と、導体パターン12の表面に設けられた半導体チップ(発熱体)23とを備えている。
本実施形態では、金属層14と放熱体21とは前記ろう材箔を加熱して溶融することによりろう付けされ、放熱体21と液冷ヒートシンク22とは図示されないねじ等の締結部材により締結されている。
例えば純アルミニウム若しくはアルミニウム合金(6063材、1050材)等からなる展伸材を押出し成形して、内部に仕切り壁15dにより前記幅方向で仕切られた複数の流路15eを有する流通孔15と、各流路15eにおける上面15bおよび下面15cにそれぞれ形成された前記一対の嵌合凹部15aとを有する本体部24を形成する(押出し工程)。なお、流通孔15および嵌合凹部15aがそれぞれ延在する方向は、押出し成形時の押出し方向と同じ方向とされている。
例えば、前記実施形態では、仕切り壁15dにより仕切られた各流路15eに嵌合凹部15aを形成し、これらの流路15eをフィン部材25で仕切る構成を示したが、これに代えて、例えば、図2に示されるように、本体部31の内部に形成された流通孔32にこの本体部31と一体的に形成された仕切り壁15dが設けられておらず、この流通孔32を画成する上面32aおよび下面32bのうち、図1における仕切り壁15dの配設位置と対応する位置にも嵌合凹部15aを形成し、これらの嵌合凹部15aにそれぞれ前記実施形態と同様にしてフィン部材25を嵌合して接合するようにしてもよい。すなわち、図1に示す実施形態に代えて、流通孔32が全てフィン部材25で仕切られた液冷ヒートシンク30を採用してもよい。
さらにまた、フィン部材25の表面を例えば波状にしたり、粗面化処理を施したり、あるいは凹部若しくは貫通孔を形成する等して表面積が大きくされたフィン部材25を採用してもよい。この場合、液冷ヒートシンク22、30、40の放熱効率をさらに向上させることができる。
さらに、前記実施形態では、本体部24、31、41の材質とフィン部材25の材質とを同じにしたが、これに代えて、例えばフィン部材25を本体部24、31、41の材質よりも高い熱伝導率を有する材質により形成してもよい。
11 パワーモジュール用基板
12 セラミックス基板
13 導体パターン
15、32、42 流通孔
15a 嵌合凹部
15b、32a、42a 上面
15c、32b、42b 下面
22、30、40 液冷ヒートシンク
23 半導体チップ(発熱体)
24、31、41 本体部
25 フィン部材
Claims (2)
- セラミックス基板の表面側に導体パターンが設けられたパワーモジュール用基板の裏面側に液冷ヒートシンクが設けられ、この液冷ヒートシンクの内部に冷却液が通過可能な流通孔が形成されたパワーモジュールの製造方法であって、
前記液冷ヒートシンクを製造するに際し、
前記流通孔と、この流通孔を画成する内面に当該流通孔の延びる方向に延在して形成された嵌合凹部とを備える本体部を展伸材の押出し成形により形成する押出し工程と、
表面にろう材箔が配置されたフィン部材を前記嵌合凹部に嵌合する嵌合工程と、
このフィン部材が嵌合凹部に嵌合された本体部を加熱して、フィン部材を嵌合凹部に接合する接合工程とを有し、
前記接合工程において、母材から打ち抜かれた導体パターン部材を前記セラミックス基板の表面にろう材箔を介して配置するとともに、このセラミックス基板を液冷ヒートシンクの本体部の表面側にろう材箔を介して配置し、その後、前記導体パターン部材の表面と前記本体部の裏面とを挟み込んだ状態で加熱することにより、パワーモジュール用基板を形成するのと同時に、フィン部材と嵌合凹部とを接合して液冷ヒートシンクを形成してパワーモジュールを形成することを特徴とするパワーモジュールの製造方法。 - 請求項1記載のパワーモジュールの製造方法において、
前記嵌合凹部は、前記流通孔を画成する内面のうち、前記パワーモジュール用基板が設けられる前記本体部の表面側に位置する上面に形成され、
前記接合工程は、前記フィン部材を、前記上面に対向する前記流通孔の下面と非接触にした状態で、前記上面に形成された前記嵌合凹部にのみ接合することを特徴とするパワーモジュールの製造方法。
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