JP4604403B2 - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種電子機器に利用される固体電解コンデンサの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来における固体電解コンデンサとしては、アルミニウムやタンタルなどの多孔質化された弁金属シート体の厚み方向の片面あるいは中間の芯部を電極部とし、この弁金属シート体の多孔質部の表面に誘電体酸化被膜を形成し、その表面に集電体層、この集電体層上に金属による電極層を設けてコンデンサ素子を構成しこのコンデンサ素子を積層した後、各コンデンサ素子の電極部または電極層をまとめて外部端子に接続し、この外部端子を表出するように外装を形成して構成されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の固体電解コンデンサにおいては、大容量化と等価直列抵抗(以下ESRと称す)を下げることはできるが、一般的な固体電解コンデンサと同様に、外部端子を介して回路基板上に実装しなければならない。
【0004】
このように半導体部品と同じように回路基板に表面実装される固体電解コンデンサでは、実際の回路を構成した状態でのESRや等価直列インダクタンス(以下ESLと称す)特性が端子長や配線長が存在するために大きくなり、高周波応答性に劣るといった課題を有するものであった。
【0005】
こうした課題を解決するため、固体電解コンデンサの表面に陽陰極両方を配置し、部品をこの上に直接実装することでESRやESLを下げることができる固体電解コンデンサが提案されている。
【0006】
本発明は以上のように半導体部品と直接接続でき、高周波応答性に優れた大容量の固体電解コンデンサを実現できる固体電解コンデンサの製造方法を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明の請求項1に記載の発明は、片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、続いてスルホール孔内にスルホール電極を形成した後固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記アルミニウム箔の絶縁膜の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法であり、半導体部品と直接接続でき、高周波特性に優れたコンデンサを容易に生産することができる。
【0008】
請求項2に記載の発明は、片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔、続いてレジスト部を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、続いてスルホール孔内にスルホール電極を形成した後固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記レジスト部を剥離してアルミニウム箔の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法であり、請求項1の作用に加えて開口部の形成プロセスが容易で、一度にたくさんの開口部を形成することができる。
【0009】
請求項3に記載の発明は、片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、この絶縁膜を形成した上の全面にレジスト膜を形成した後上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、続いてスルホール孔内にスルホール電極を形成した後、上記レジスト膜を除去し固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記アルミニウム箔の絶縁膜の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法であり、請求項1の作用に加えてアルミニウム箔の多孔質化されていない他面に固体電解質が形成されるのを防止し、陽陰極分離を確実に行うことができる。
【0010】
請求項4に記載の発明は、片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔、続いてレジスト部を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、この絶縁膜を形成した上の全面にレジスト膜を形成した後上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、続いてスルホール孔内にスルホール電極を形成した後上記レジスト膜を除去し固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記レジスト部を剥離してアルミニウム箔の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法であり、請求項1の作用に加えてアルミニウム箔の多孔質化されていない他面に固体電解質が形成されるのを防止し、陽陰極分離を確実に行うことができ、一度にたくさんの開口部を形成することができる。
【0011】
請求項5に記載の発明は、片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、このスルホール孔内にスルホール電極を形成した後上記誘電体被膜上に固体電解質層および固体電解質層上に集電体層を形成し、上記アルミニウム箔の絶縁膜の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法であり、請求項1の作用に加えて固体電解質塗布前のレジスト膜塗布工程を省略でき、かつアルミニウム箔の多孔質化されていない他面に固体電解質が形成されるのを防止し、陽陰極分離を確実に行うことができる。
【0012】
請求項6に記載の発明は、片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置に第1のスルホール孔を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面および第1のスルホール孔内に絶縁部を形成し、上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、絶縁部内に第2のスルホール孔を形成し、続いて第2のスルホール孔内にスルホール電極を形成した後固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記アルミニウム箔の絶縁膜の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法であり、請求項1の作用に加えてスルホール電極とアルミニウム箔間の絶縁信頼性を高め、かつアルミニウム箔の多孔質化されていない他面に固体電解質が形成されるのを防止し、陽陰極分離を確実に行うことができる。
【0013】
請求項7に記載の発明は、レジスト膜として感光性樹脂、接着性を有する有機フィルムのいずれかを用いた請求項3または請求項4に記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、パターニングによりスルホール孔に一致したところへの孔形成ができるもしくは、スルホール孔内に確実にレジストが浸入しない構成にすることができ、誘電体被膜上およびスルホール孔内に固体電解質層を形成することができる。
【0014】
請求項8に記載の発明は、レジスト膜の形成方法として浸漬、スピンコータ、スクリーン印刷、フィルム接着法のいずれかを用いた請求項3または請求項4に記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、使用するレジストに最適な形成方法を選択することにより、確実にレジスト膜を絶縁層上に形成することができる。
【0015】
請求項9に記載の発明は、両面にフォトレジストを塗布してパターニングし、ウェットエッチング法にてスルホール孔を形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサであり、形成プロセスが容易で一度にたくさんのスルホール孔を形成することができる。
【0016】
請求項10に記載の発明は、スルホール孔を形成する方法としてレーザー加工法、パンチング加工法、ドリル加工法、放電加工法のいずれかを用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、スルホール径、孔数によって最適な孔加工を選択することにより安価にスルホール孔形成を行うことができる。
【0017】
請求項11に記載の発明は、誘電体被膜を形成する面のスルホール孔のエッジを面取り加工する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、絶縁不良を低減することができる。
【0018】
請求項12に記載の発明は、絶縁膜を形成する方法として電着法を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサであり、形成プロセスが容易で膜厚の薄い絶縁膜を形成することができる。
【0019】
請求項13に記載の発明は、絶縁膜を形成する方法として電着法により絶縁性の樹脂を第1層目として形成し、その後マイクロジェルとカーボン微粒子と酸化チタン微粒子を混合した絶縁性樹脂を第2層目として形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサであり、1層目に抵抗率の高い樹脂を薄く形成した後エッジカバーリング性が高い絶縁樹脂を2層目につけることにより、膜厚が均一に形成されるので絶縁不良率の少ないスルホール孔内壁の絶縁膜を形成することができる。
【0020】
請求項14に記載の発明は、スルホール電極を形成するのに導電性接着剤を充填した後硬化させる方法を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、製造プロセスが容易で、生産性に優れたコンデンサとすることができる。
【0021】
請求項15に記載の発明は、開口部を形成する方法としてレーザー加工法、研削法のいずれかを用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、レーザーの出力を最適化することにより、容易に形成することができる。
【0022】
請求項16に記載の発明は、開口部を形成する方法として、絶縁膜形成前にアルミニウム箔の多孔質化されていない面上の所定の位置にレジスト部を形成し、集電体を形成した後レジスト部を剥離する請求項5または請求項6に記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、形成プロセスが容易で、一度にたくさんの開口部を形成することができる。
【0023】
請求項17に記載の発明は、接続端子を形成する方法として導電性接着剤を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサであり、生産性に優れたコンデンサとすることができる。
【0024】
請求項18に記載の発明は、接続端子を形成する方法として電気めっき、無電解めっきのいずれかを用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、形成プロセスが容易で、一度にたくさんの接続端子を形成することができる。
【0025】
請求項19に記載の発明は、固体電解質層を形成する材料としてパイ電子共役高分子およびまたはこれ以外の導電性高分子を含む組成物を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサであり、耐熱性に優れ、より低ESRのコンデンサとすることができる。
【0026】
請求項20に記載の発明は、固体電解質を形成する方法として、導電性高分子を化学重合、電解重合して形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、形成プロセスが容易で、より生産性に優れたコンデンサとすることができる。
【0027】
請求項21に記載の発明は、固体電解質を形成する方法として、導電性高分子の粉末の懸濁液を塗布・乾燥した後、導電性高分子を電解重合して形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、誘電体被膜へのストレスをより低くすることができる。
【0028】
請求項22に記載の発明は、固体電解質を形成する方法として、硝酸マンガンを熱分解して二酸化マンガンを形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサであり、確立された技術で確実に生産することができる。
【0029】
請求項23に記載の発明は、固体電解質を形成する方法として、硝酸マンガンを熱分解して二酸化マンガンを形成した後導電性高分子を電解重合して形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサであり、確立された技術で低ESRのコンデンサを確実に生産することができる。
【0030】
請求項24に記載の発明は、集電体を形成する方法として、カーボン微粒子の懸濁液及び導電性接着剤を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法であり、固体電解質に直接導電性接着剤を塗布した場合に比べて低ESRのコンデンサとすることができる。
【0031】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の固体電解コンデンサおよびその製造方法について実施の形態および図面を用いて説明する。
【0032】
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1および図1〜図12により請求項1、2、9〜13、15、16、18〜24に記載の発明を説明する。
【0033】
図1は本発明の実施の形態1における固体電解コンデンサの斜視図であり、図2は同断面図および図3は同要部の拡大断面図である。
【0034】
図1〜3において、1はシート状のコンデンサ素子であり、片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜2を形成したアルミニウム箔3の所定の位置にスルホール孔4を形成する。このアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面およびスルホール孔4の内壁に絶縁膜5を形成し、上記誘電体被膜2の上に固体電解質層6を設け、続いてスルホール孔4内にスルホール電極7を形成した後、固体電解質層6上に集電体層8を設ける。その後上記アルミニウム箔3の絶縁膜5の所定の位置に開口部9を形成し、この絶縁膜5の開口部9の表出面に接続端子10を形成することにより製造されている。このように構成されたコンデンサ素子1の側面および集電体層8面上に外装11を形成し、さらに外装11上にアルミニウム箔3と電気的に接続された第1の外部端子12および集電体層8と電気的に接続された第2の外部端子13を形成し、スルホール電極7上ならびに接続端子10上に接続バンプ14を形成し固体電解コンデンサとしている。
【0035】
次に図4から図12を用いて本発明の固体電解コンデンサの製造方法について説明する。上記誘電体被膜2を形成したアルミニウム箔3としては、アルミニウム箔3の片面をエッチング処理して多孔質化した後、化成液中で陽極酸化することにより片面に誘電体酸化被膜を形成して構成することができる。
【0036】
その後、図4に示すようにアルミニウム箔3の所定の位置にスルホール孔4を形成する。一括でスルホール孔を形成することができる手法としてはウェットエッチング法を用いることができ、また加工寸法がより高精度で100μm以下の微細なスルホール孔形成が可能であり、スルホール孔形成部分の材質を問わない形成法としてはレーザー加工法、パンチング加工法、ドリル加工法、放電加工法が効果的である。ウェットエッチング法ではアルミニウム箔3両面にスルホール孔形成部位に開口部を設けたレジスト膜を形成した後ウェットエッチング法を用いてスルホール孔4を形成し、レジスト膜を除去することによりスルホール孔4を形成することができる。さらに、誘電体被膜2を形成する面のスルホール孔のエッジをウェットエッチング等により面取り加工部を形成することにより、後工程にて形成する絶縁膜の信頼性をより向上させることができる。
【0037】
続いて、図5に示すように絶縁性の塗料を電着法にて形成することにより、アルミニウム箔3の多孔質化されていない他面および形成したスルホール孔4の内壁に絶縁膜5を形成することができる。電着法による絶縁膜形成プロセスでは均一に緻密な絶縁膜を形成することができるが、誘電体被膜2を形成する面のスルホール孔4のエッジ部において若干絶縁膜が薄く形成される可能性がある。この問題を完全に解決し、より高い絶縁信頼性を実現する手段としてエッジ部の面取り加工が効果的であり、加えてエッジカバーリング性が高いマイクロジェル、カーボン微粒子および酸化チタン微粒子を混合した絶縁性樹脂を電着することにより解決することができる。ここでマイクロジェルとは10μm以下の粒径を有する高分子材料をポリマーに添加することによってポリマーの粘度を高くし、流動性を下げてエッジカバーリング性を上げる効果を有するものである。ただし、100μm以下の微細なスルホール孔内壁に電着する場合にはエッジカバーリング性の高い混合樹脂だけでは電着層の厚みが厚くなってしまいスルホール孔が電着樹脂により埋まる可能性が高い。そこで電着による絶縁膜形成プロセスを2回に分け、1層目に抵抗率の高い樹脂を薄くつけ、次にエッジカバーリング性が高いマイクロジェル、カーボン微粒子および酸化チタン微粒子を混合した絶縁性樹脂を2層目につけることにより絶縁不良率の少ないスルホール孔内壁の絶縁膜5を形成することができる。
【0038】
次に図6に示すように固体電解質層6を誘電体被膜2上に形成する。形成方法は、ポリピロールやポリチオフェンなどのパイ電子共役高分子およびまたはこれ以外の導電性高分子を含む組成物を化学重合や電解重合によってスルホール電極高分子層を形成している。固体電解質層6は導電性高分子を化学重合でプレコートした後、電解重合にて形成してもよいし化学重合のみで形成してもよい。また導電性高分子の粉末の懸濁液を塗布・乾燥した後導電性高分子を電解重合にて形成してもよいし、硝酸マンガンを含浸させてから熱分解して二酸化マンガンを形成した後導電性高分子を電解重合によって形成してもよい。さらに完全に確立された固体電解質層の形成技術としては硝酸マンガンを熱分解して二酸化マンガンを形成する方法があり、緻密なしかも厚みのコントロールも自由に行える方法とすることにより生産性、信頼性の向上を図ることが可能となる。
【0039】
次に、図7に示すようにスルホール孔4内にスルホール電極7を形成する工程について説明する。スルホール電極7を形成する電極材料としてAgペースト、Cuペースト等導電性の粒子を混合した導電性接着剤を充填した後硬化させる方法を用いることができる。
【0040】
さらに図8に示すように固体電解質層6上に集電体層8を形成する。集電体層8は、カーボン微粒子の懸濁液、及び銀ペーストを主成分とする導電性接着剤を用いて、カーボン層と銀ペースト層の積層構造とすることにより効率的に電荷を引き出すことが可能である。
【0041】
次に図9に示すようにアルミニウム箔3の他面に形成された絶縁膜5の所定の位置にYAGレーザーあるいは研削等の加工法により開口部9を形成する。また他の開口部を形成する方法として、絶縁膜5形成前にアルミニウム箔3の多孔質化されていない面上の所定の位置にレジスト部を形成し集電体層8を形成した後レジスト部を剥離する方法によっても開口部9を形成することが可能である。
【0042】
その後、図10に示すように導電性接着剤もしくは電気めっき、無電解めっきのいずれかを用いて、絶縁膜5の開口部9の表出面に接続端子10を形成する。
【0043】
さらに図11に示すようにコンデンサ素子1の周囲に電気的絶縁と耐湿性や外部応力からコンデンサ素子1を保護して信頼性を向上するためエポキシ樹脂によって外装11を形成する。続いて、図12に示すように外装11上にアルミニウム箔3と電気的に接続された第1の外部端子12および集電体層8と電気的に接続された第2の外部端子13を形成することにより、コンデンサ素子1の完成品とする。上記構成であっても本発明の固体電解コンデンサとして機能するが、コンデンサ部に接続する半導体部品もしくは電子部品との接続の信頼性と電気的性能を向上させたい場合には、接続端子10およびスルホール電極7上に接続バンプ14を形成することが望ましい。
【0044】
このような方法により固体電解コンデンサを製造することで、半導体部品と直接接続でき、高周波特性に優れたコンデンサを容易に生産することができる。
【0045】
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2および図13〜図14により請求項3、4、7、8に記載の発明を説明する。
【0046】
図13〜14は本発明の実施の形態2における固体電解コンデンサの製造工程を説明するための主要工程図である。
【0047】
片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜2を形成したアルミニウム箔3の所定の位置にスルホール孔4を形成する。このアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面およびスルホール孔4の内壁に絶縁膜5を形成する。ここまでは実施の形態1と同様に作製する。続いて上記誘電体被膜2の上に固体電解質層6を設ける時、スルホール孔径が80μm以上より大きい場合、固体電解質層6がアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面に形成される可能性がある。
【0048】
この問題を解決するため、まず図13に示すように感光性樹脂を浸漬法、スピンコータ法、スクリーン印刷法により絶縁膜5上に塗布した後硬化させ、レジスト膜15を得る。また接着性を有する有機フィルムをレジスト膜15として使用することも可能であり、その場合は絶縁膜5面上にフィルム接着法にて形成する。その後図14に示すようにフォトプロセスあるいは機械加工法などによりスルホール孔4に一致したところへ所定の寸法で孔を形成しレジスト膜とする。
【0049】
次に、実施の形態1と同様の方法で固体電解質層6、スルホール電極7を形成した後、レジスト層15を除去することにより固体電解質層6はアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面には形成されないので陽陰極分離を確実に実施することができる。
【0050】
その後実施の形態1と同様に固体電解質層6上に集電体層8を設け、上記アルミニウム箔3の他面に形成した絶縁膜5の所定の位置に開口部9を形成し、この絶縁膜5の開口部9およびスルホール電極7の表出面に接続端子10を形成する。
【0051】
このように実施の形態2の固体電解コンデンサの製造方法により、後に形成するアルミニウム箔3の開口部9への固体電解質層の回り込みを防止し陽陰極分離を確実に行うことができる。
【0052】
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3および図15〜図16により請求項5、17に記載の発明を説明する。
【0053】
図15〜16は本発明の実施の形態3における固体電解コンデンサの製造工程を説明するための主要工程図である。
【0054】
片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜2を形成したアルミニウム箔3の所定の位置にスルホール孔4を形成する。このアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面およびスルホール孔4の内壁に絶縁膜5を形成する。ここまでは実施の形態1と同様に作製する。続いて、上記誘電体被膜2の上に固体電解質層6を設ける時、スルホール孔径が80μm以上より大きい場合、固体電解質層6がアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面に形成される可能性がある。
【0055】
この問題を解決するための製造方法としてまず図15に示すようにスルホール孔4内にスルホール電極7を形成する。スルホール電極7を形成する方法としてはAgペースト、Cuペースト等導電性の粒子を混合した導電性接着剤を用いて充填した後、硬化させる方法を用いることができる。その後、図16に示すように上記誘電体被膜2上に固体電解質層6を形成することにより、固体電解質層6はアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面には形成されない。
【0056】
続いて実施の形態1と同様に固体電解質層6上に集電体層8を形成し、上記アルミニウム箔3の絶縁膜5の所定の位置にYAGレーザー等の加工により開口部9を形成する。また、絶縁膜5形成前にアルミニウム箔3の多孔質化されていない面上の所定の位置に光硬化性樹脂などを用いてあらかじめレジスト部を形成しておき、集電体8を形成した後レジスト部を剥離する方法によっても開口部9を形成することが可能である。そしてこの絶縁膜5の開口部9の表出面およびスルホール電極7に接続端子10を形成する。
【0057】
このように実施の形態3の固体電解コンデンサの製造方法により、後に形成するアルミニウム箔3の開口部9への固体電解質の回り込みを防止し、陽陰極分離を確実に行うことができる。
【0058】
(実施の形態4)
本発明の実施の形態4および図17〜図19により請求項6、14に記載の発明を説明する。
【0059】
図17〜18は本発明の実施の形態2における固体電解コンデンサの製造工程を説明するための主要部分の工程図である。
【0060】
片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜2を形成したアルミニウム箔3の所定の位置に第1のスルホール孔4を形成する。ここまでは、実施の形態1と同様に作製する。続いて、このアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面およびスルホール孔4の内壁に絶縁膜5を形成した後、上記誘電体被膜2の上に固体電解質層6を設ける時、スルホール径が80μm以上より大きい場合、固体電解質層6がアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面に形成される可能性がある。
【0061】
この問題を解決するため、まず図17に示すようにアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面に絶縁膜5および第1のスルホール孔内に絶縁部16を形成する。絶縁膜5の形成は、実施の形態1と同様に作成する。絶縁部16はスルホール孔が埋まりやすい絶縁性樹脂を数回電着する方法や、絶縁樹脂のスクリーン印刷、ポッティング法等を用いることによって形成することができる。続いて、図18に示すように上記誘電体被膜の上に固体電解質層6を設け、次に図19に示すように絶縁部16内に第2のスルホール孔17を形成する。これにより固体電解質層6はアルミニウム箔3の多孔質化されていない他面には形成されない。
【0062】
続いて実施の形態1と同様に、第2のスルホール孔17内にスルホール電極7を形成した後、固体電解質層6上に集電体層8を設け、その後上記アルミニウム箔3の絶縁膜5の所定の位置に開口部9を形成し、この絶縁膜5の開口部9およびスルホール電極7の表出面に接続端子10を形成する。
【0063】
このように実施の形態4の固体電解コンデンサの製造方法により、スルホール電極7とアルミニウム箔3間の絶縁信頼性を高め、かつアルミニウム箔3の開口部9への固体電解質の回り込みを防止し、陽陰極分離を確実に行うことができる。
【0064】
【発明の効果】
以上のように本発明の固体電解コンデンサの製造方法により、半導体部品と直接接続でき、高周波特性に優れた大容量のコンデンサを容易に生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における固体電解コンデンサの斜視図
【図2】同断面図
【図3】同要部の拡大断面図
【図4】同アルミニウム箔に面取り加工部を形成した状態の断面図
【図5】同アルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成した状態の断面図
【図6】同アルミニウム箔の誘電体被膜上に固体電解質層を形成した状態の断面図
【図7】同スルホール孔内にスルホール電極を形成した状態の断面図
【図8】同固体電解質層上に集電体層を形成した状態の断面図
【図9】同絶縁膜に開口部を形成した状態の断面図
【図10】同開口部上に接続端子を形成した状態の断面図
【図11】同コンデンサ素子に外装を形成した状態の断面図
【図12】同外装上に外部端子ならびに接続バンプを形成した状態の断面図
【図13】本発明の実施の形態2における絶縁膜上にレジスト膜を形成した状態の断面図
【図14】同レジスト膜をパターニングした状態の断面図
【図15】本発明の実施の形態3におけるスルホール孔内にスルホール電極を形成した状態の断面図
【図16】同アルミニウム箔の誘電体被膜上に固体電解質層を形成した状態の断面図
【図17】本発明の実施の形態4におけるアルミニウム箔の多孔質化されていない他面に絶縁膜、スルホール孔内に絶縁部を形成した状態の断面図
【図18】同アルミニウム箔の誘電体被膜上に固体電解質を形成した状態の断面図
【図19】同絶縁部内にスルホール孔を形成した状態の断面図
【符号の説明】
1 コンデンサ素子
2 誘電体被膜
3 アルミニウム箔
4 スルホール孔
5 絶縁膜
6 固体電解質層
7 スルホール電極
8 集電体層
9 開口部
10 接続端子
11 外装
12 第1の外部端子
13 第2の外部端子
14 接続バンプ
15 レジスト膜
16 絶縁部
17 第2のスルホール孔
Claims (24)
- 片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、続いてスルホール孔内にスルホール電極を形成した後固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記アルミニウム箔の絶縁膜の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法。
- 片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔、続いてレジスト部を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、続いてスルホール孔内にスルホール電極を形成した後固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記レジスト部を剥離してアルミニウム箔の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法。
- 片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、この絶縁膜を形成した上の全面にレジスト膜を形成した後上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、続いてスルホール孔内にスルホール電極を形成した後、上記レジスト膜を除去し固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記アルミニウム箔の絶縁膜の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法。
- 片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔、続いてレジスト部を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、この絶縁膜を形成した上の全面にレジスト膜を形成した後上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、続いてスルホール孔内にスルホール電極を形成した後上記レジスト膜を除去し固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記レジスト部を剥離してアルミニウム箔の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法。
- 片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置にスルホール孔を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面およびスルホール孔の内壁に絶縁膜を形成し、このスルホール孔内にスルホール電極を形成した後上記誘電体被膜上に固体電解質層および固体電解質層上に集電体層を形成し、上記アルミニウム箔の絶縁膜の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法。
- 片面をエッチングにより多孔質化し、この多孔質化した部分に誘電体被膜を形成したアルミニウム箔の所定の位置に第1のスルホール孔を形成し、このアルミニウム箔の多孔質化されていない他面および第1のスルホール孔内に絶縁部を形成し、上記誘電体被膜の上に固体電解質層を設け、絶縁部内に第2のスルホール孔を形成し、続いて第2のスルホール孔内にスルホール電極を形成した後、固体電解質層上に集電体層を設け、その後上記アルミニウム箔の絶縁膜の所定の位置に開口部を形成し、この絶縁膜の開口部およびスルホール電極の表出面に接続端子を形成する固体電解コンデンサの製造方法。
- レジスト膜として感光性樹脂、接着性を有する有機フィルムのいずれかを用いた請求項3または請求項4に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- レジスト膜の形成方法として浸漬、スピンコータ、スクリーン印刷、フィルム接着法のいずれかを用いた請求項3または請求項4に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 両面にフォトレジストを塗布してパターニングし、ウェットエッチング法にてスルホール孔を形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- スルホール孔を形成する方法としてレーザー加工法、パンチング加工法、ドリル加工法、放電加工法のいずれかを用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 誘電体被膜を形成する面のスルホール孔のエッジを面取り加工する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 絶縁膜を形成する方法として電着法を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 絶縁膜を形成する方法として電着法により絶縁性の樹脂を第1層目として形成し、その後マイクロジェルとカーボン微粒子と酸化チタン微粒子を混合した絶縁性樹脂を第2層目として形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- スルホール電極を形成するのに導電性接着剤を充填した後硬化させる方法を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 開口部を形成する方法としてレーザー加工法、研削法のいずれかを用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 開口部を形成する方法として、絶縁膜形成前にアルミニウム箔の多孔質化されていない面上の所定の位置にレジスト部を形成し、集電体を形成した後レジスト部を剥離する請求項5または請求項6に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 接続端子を形成する方法として導電性接着剤を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 接続端子を形成する方法として電気めっき、無電解めっきのいずれかを用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 固体電解質層を形成する材料としてパイ電子共役高分子およびまたはこれ以外の導電性高分子を含む組成物を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 固体電解質を形成する方法として、導電性高分子を化学重合、電解重合して形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 固体電解質を形成する方法として、導電性高分子の粉末の懸濁液を塗布・乾燥した後、導電性高分子を電解重合して形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 固体電解質を形成する方法として、硝酸マンガンを熱分解して二酸化マンガンを形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 固体電解質を形成する方法として、硝酸マンガンを熱分解して二酸化マンガンを形成した後導電性高分子を電解重合して形成する請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
- 集電体を形成する方法として、カーボン微粒子の懸濁液及び導電性接着剤を用いる請求項1〜6のいずれか一つに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
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