JP4593022B2 - 光デバイス組立方法 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は光デバイスの組立方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から様々な光デバイスが開発されており、その一つに図6に示す光デバイス(LDモジュール)がある。図6に示す光デバイスは、発光素子(レーザーダイオード:LD)Aと、光ファイバBが挿通固定されたフェルールCとがパッケージD内に収容され、フェルールCはそれに挿通固定されている光ファイバBと前記発光素子Aとが光結合可能な位置で固定部品Eにレーザー溶接されている。この種の光デバイスを組立てる場合は、図7に示すように、フェルールCと固定部品Eとの接点のうち、フェルールCに挿通固定されている光ファイバBを挟んで対向する2以上の接点(溶接点)Fにレーザー光を照射して両者をレーザー溶接する。この際、図8に示すように、前記溶接点Fとレーザー光の焦点とが一致するように、レーザー光を出射するレーザーヘッドGと溶接点Fとの間の距離を調整している。何故なら、レーザー光はその焦点においてエネルギー密度が最大となり、溶接点Fの溶け込みが良好になると目されていたからである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、実際には一方又は双方のレーザーヘッドGが所定位置からズレていたり、固定部品Eの寸法にバラツキがあったりするため、前記溶接点Fとレーザー光の焦点とが一致しない場合が多々ある。例えば図9に示すように、一方のレーザーヘッドGから出射されたレーザー光の焦点は溶接点Fに一致しているが、他方のレーザーヘッドGから出射されたレーザー光の焦点が溶接点FよりもレーザーヘッドG側(手前)にズレてしまうことがある。また、図10に示すように、他方のレーザーヘッドGから出射されたレーザー光の焦点が溶接点Fを挟んでレーザーヘッドGと反対側(先方)にズレてしまうこともある。ここで、レーザー光はその焦点においてエネルギー密度が最大となるので、前記のように一方のレーザー光の焦点が一方の溶接点Fに一致し、他方のレーザー光の焦点が溶接点Fからズレていると、両溶接点Fにおけるレーザー光のエネルギー密度の差が顕著になる。また、同様の理由から2つのレーザー光のバランスが悪い場合(夫々のレーザー光のエネルギー密度が異なる場合や焦点の形状が歪んでいる場合など)、その影響が溶接点Fにおいて顕著に現われる。さらに、2つの溶接点Fに照射されたレーザー光のエネルギー密度に差がある場合、フェルールCはよりエネルギー密度の高いレーザー光が照射された溶接点Fの側へ引っ張られる。この結果、フェルールCが位置決めされた位置から横ズレし、発光素子A(図6)と光ファイバBとの光結合が劣化してしまう。特に、フェルールCに挿通固定されている光ファイバBがレンズドファイバである場合は、許容されるフェルールCの位置ズレ量が極めて小さい。従って、許容される位置ズレ量の範囲内でフェルールCを固定することは非常に困難であった。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本件出願の光デバイス組立方法の一つは、光部品と、光ファイバが挿通固定された円筒状のフェルールとを備え、フェルールはそれに挿通固定されている光ファイバと前記光部品とが光結合可能な位置で固定部品にレーザー溶接されている光デバイスを組立てるための方法であって、前記フェルールと前記固定部品のレーザー溶接点である接点がフェルール周方向の側面部に2以上設けられるとともに、フェルールを挟んで対向する2個所の接点を1対とする接点の組み合わせが1又は2以上設けられるように、フェルールを固定部品に配置し、前記1対を構成する2個所の接点に、異なるレーザーヘッドから出射された2以上のレーザー光を同時に照射して、前記フェルールと前記固定部品を前記接点でレーザー溶接し、レーザー溶接する際に、各レーザー光の焦点を、前記1対を構成する2個所の接点間でレーザー光のエネルギー密度に大差が生じないように、各接点位置よりもレーザー光の照射方向手前側又はこれとは反対側のいずれかのうち、同じ側に位置させるものである。
【0005】
本件出願の光デバイス組立方法の他の一つは、接点に照射されたレーザー光の直径が焦点における該レーザー光の直径の1.3倍以上となるように、レーザーヘッドと接点との間の距離を設定するものである。
【0006】
本件出願の光デバイス組立方法の他の一つは、各接点にその真上又は斜め上からレーザー光を照射するものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
(実施形態1)
本発明の光デバイス組立方法は、例えば、図1に示す光デバイスを組立てる際に用いられる。図1に示す光デバイスは光通信用のレーザーダイオードモジュール(以下「LDモジュール」)であり、次のような構成を有する。
【0008】
図1に示すLDモジュールは、金属製のパッケージ1を有している。パッケージ1内にはベース2が配置固定され、そのベース2の固定部にヒートシンク3を介して発光素子4が配置固定されている。また、レンズドファイバ(先端面にレンズが形成された光ファイバ)5の先端側が前記パッケージ1の側壁に設けられた挿入部6からパッケージ1内に挿入され、レンズ加工された先端面7が前記発光素子4と調心状態で対向している。尚、発光素子4とレンズドファイバ5の先端面7とは、励振効率(光結合効率)が最大になる位置で対向している。パッケージ1は、例えば、その底板8がCuWにより形成され、その他の部分がFe−Ni−Co系合金により形成されている。底板8上には、発光素子4の温度制御を行うサーモモジュール9が配置されており、そのサーモモジュール9の上に前記ベース2が配置固定されている。
【0009】
前記ベース2には、単体の固定部品10及び別体の2つの固定部品11、12(図1には一方の固定部品11のみ図示)を介して第1フェルール13が固定されており、その第1フェルール13には前記レンズドファイバ5の先端側が挿通固定されている。第1フェルール13の後端側には該第1フェルール13と間隔をおいて第2フェルール14が配置されており、第2フェルール14にはレンズドファイバ5の途中部が挿通固定されている。第2フェルール14は前記パッケージ1の挿入部6に挿入されている。第2フェルール14は、パッケージ1に設けられたフェルール嵌合部15を介してパッケージ1の側壁に固定されている。尚、第1フェルール13と第2フェルール14との間のレンズドファイバ5には、その表面に金属メッキが施されている。この金属メッキ部16の一端側は半田17によって第2フェルール14に固定され、第2フェルール14は、半田18によってフェルール嵌合部15に固定されている。即ち、レンズドファイバ5の金属メッキ部16が第2フェルール14に半田固定され、かつ、第2フェルール14がフェルール嵌合部15に半田固定されることにより、パッケージ1内は気密状態を成している。
【0010】
以上の構成を有するLDモジュールを本発明の光デバイス組立方法によって組立てるには次のようにする。もっとも、本発明の光デバイス組立方法は、前記第1フェルール13を固定部品10、及び固定部品11、12に固定する工程に特徴を有するので、該工程についてのみ説明し、他の工程の説明は省略する。
(1)図2(a)(b)に示すように、前記第1フェルール13の接合端面寄りを固定部品10の対向する一対のアーム20、21の間にセットする。ここで、第1フェルール13は光軸方向(Z軸方向)を高さ方向とする円筒形をしている。また、固定部品10の一対のアーム20、21は、第1フェルール13の直径と略同一の間隔で対向しており、夫々のアーム20、21はX軸及びZ軸を含む平坦な上面20a、21aを備えている。従って、両アーム20、21の間に第1フェルール13をセットすると、該フェルール13が両アーム20、21の間に保持される。このとき、第1フェルール13の円筒側面部と夫々のアーム20、21の上面20a、21aとの間に接点22、23が形成される。尚、第1フェルールと各アーム20、21とは接点22、23において厳密に接触しておらず、両者の間には多少の隙間(数〜数十μm)が存在する。しかし、本明細書ではこのような場合も説明の便宜上接点と称する。
(2)第1フェルール13の位置を調整して、該フェルール13に挿通固定されているレンズドファイバ5と発光素子4(図1)とを調心する。具体的には、レンズドファイバ5と発光素子4との励振効率(光結合効率)が最大になるように両者を調心する。
(3)図2(a)(b)に示す各アーム20、21と第1フェルール13との接点(溶接点)22、23にレーザー光(例えばYAGレーザー)を斜め上から同時照射して、両者をレーザー溶接する。このとき、溶接点22、23に照射されるレーザー光の焦点が該溶接点22、23から外れるように、各レーザーヘッドと各溶接点22、23との間の距離を予め調整しておく。具体的には、図3に示すように、レーザー光の焦点が溶接点22、23よりもレーザーヘッド30、31側(手前側)に位置するように、該レーザーヘッド30、31と溶接点22、23との間の距離を調整しておく。または、図4に示すように、レーザー光の焦点が溶接点22、23を挟んでレーザーヘッド30、31とは反対側(先方)に位置するように、該レーザーヘッド30、31と溶接点22、23との間の距離を調整しておく。ここで、第1フェルールと各アーム20、21とは、溶接点22、23において厳密に接触してはいないが、該溶接点22、23にレーザー光を照射すると、第1フェルール13と各アーム20、21との間に架橋部が形成される。
(4)前記架橋部を支点として第1フェルール13の後部を振って、第1フェルール13と発光素子4とを再度調心する。
(5)図5(a)(b)に示すように、第1フェルールの後部寄りを2つの固定部品11、12で両外側から挟着保持する。ここで、夫々の固定部品11、12もX軸及びZ軸を含む平坦な上面11a、12aを備えている。従って、両固定部品11、12によって第1フェルール13を挟着保持すると、該フェルール13の円筒側面部と夫々の固定部品11、12の上面11a、12aの間に接点24、25が形成される。尚、各固定部品11、12は接点24、25において第1フェルール13を両側から強く押しており、両者の間に隙間は存在しない。
(6)前記接点24、25に2つのレーザーヘッドから出射された2つのレーザー光を斜め上から同時照射する。これにより、第1フェルール13と各固定部品11、12とは固定部品10側と同様に溶接固定される。このときも、前記図3又は図4に示すようにして、溶接点24、25に照射されるレーザー光の焦点が該溶接点24、25から外れるように、レーザーヘッド30、31と溶接点24、25との間の距離を予め調整しておく。
【0011】
以上のように、本発明の光デバイス組立方法では、溶接点22及び23、又は24及び25に同時照射される2つのレーザー光の焦点を共にそれら溶接点22〜25よりも照射方向手前側又はこれとは反対側のいずれかのうち、同じ側に外す。これによって、夫々のレーザーヘッド30、31から出射されたレーザー光のエネルギー密度が異なったり、焦点形状に歪みがあったりしても、各溶接点22〜25におけるそれらの影響が小さくなる。特に、レーザー光が同時照射される溶接点22と23の間、又は溶接点24と25の間における溶接による凝固収縮量のバラツキを小さく抑えることができる。さらに、固定部品10、11、12の寸法(特に図2、図5に示すY軸方向における寸法)に誤差があって、レーザーヘッド30、31と各溶接点22〜25との間の距離が多少変化したとしても、それら溶接点22〜25に照射されるレーザー光のエネルギー密度に大差が生じることがなくなる。また、各溶接点22〜25に照射されるレーザー光の形状を真円と仮定すると、その面積はπr(r:溶接点に照射されたレーザー光の半径)となり、単位面積当りの光エネルギー密度はE/πrとなる。従って、レーザー光の焦点を各溶接点22〜25から外すことによって、それら溶接点22〜25に照射されるレーザー光の半径を大きくすれば、レーザー光の光エネルギー量が多少異なっても、その密度はほぼ同一となる。以上のような観点からは、各溶接点22〜25に照射されるレーザー光の直径が焦点における直径の1.3倍以上となるように、レーザーヘッド30、31と各溶接点22〜25との間の距離を調整する(レーザーヘッド30、31を各溶接点22〜25に近付けるか、遠ざける)ことが望ましい。
【0012】
本実施形態では、レーザー溶接される2部品(フェルールと固定部品)の接点に、斜め上からレーザーを照射している。接点とそこに照射されるレーザー光の照射方向がかかる関係にある場合には、一方又は双方の部品の加工精度がレーザー溶接による固定精度に大きな影響を与える。特に、前記2つの固定部品11、12は別体であるため、両者の寸法が異なることが多々あり、この寸法誤差がレーザー溶接による固定精度を劣化させる虞がある。しかし、レーザー光の焦点を接点から外す本発明によれば、部品の加工精度に起因する固定精度の劣化を軽減することができる。
【0013】
本実施形態では、前記接点22、23において第1フェルール13と固定部品10との間に若干の隙間を設けることによって、該フェルール13の再調心を可能としている。この場合、前記隙間が原因となって第1フェルール13に横ズレ(図2のX軸方向への位置ズレ)が発生し易い。しかし、レーザー光の焦点を接点から外す本発明によれば前記横ズレを効果的に抑制することができる。また、前記接点24、25における第1フェルール13と固定部品11、12との間に隙間はないものの、前記と同様の横ズレが発生する可能はある。しかし、本発明によればこの横ズレも効果的に抑制することができる。
【0014】
図1に示す光デバイスを組立てるために必要な工程のうち、前記工程以外の工程は既存の工程であってもよく、新規な要素を含む新たな工程であってもよい。また、光ファイバと光結合可能な光部品は、前記発光素子以外の他の光部品であってもよい。もっとも、光部品が発光素子であり、光ファイバがフェルールに挿通固定されたレンズドファイバである場合は、両者に高い位置決め精度が要求されるので、本発明の光デバイス組立方法によってフェルールの位置ズレを防止することが望ましい。
【0015】
【発明の効果】
本件出願の光デバイス組立方法は、2以上のレーザーヘッドから出射された2つのレーザー光をフェルールと固定部品との間の異なる2以上の接点に夫々照射して両者をレーザー溶接する際に、各レーザー光の焦点を各接点から外すので、次のような効果を有する。即ち、レーザー光はその焦点において光エネルギー量が最大になる。従って、レーザー光の焦点をフェルールと固定部品との接点から外せば、夫々のレーザーヘッドの出力にバラツキがあっても、各接点に照射されるレーザー光のエネルギー密度に大差が生じない。また、固定部品の寸法誤差に起因して各レーザーヘッドと各接点との間の距離が多少変化してもその影響が小さくなる。さらに、レーザー光の焦点形状に歪みがあっても、接点においてその影響が顕著に現われることがない。以上の効果によって、夫々の接点に照射されるレーザー光のエネルギー密度がほぼ均一になる。従って、各接点に照射されたレーザー光のエネルギー密度差に起因してフェルールが横ズレすることがなく、フェルールは予め位置決めされた位置に固定される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の光デバイス組立方法によって組立られる光デバイスの一例を示す説明図。
【図2】 (a)はフェルールの先端側を固定部品にセットした状態を示す平面図、(b)は同側面図。
【図3】 フェルールと固定部品との溶接点にレーザー光を照射した状態を示す説明図であって、レーザー光の焦点を溶接点の手前に設定した場合の図。
【図4】 フェルールと固定部品との溶接点にレーザー光を照射した状態を示す説明図であって、レーザー光の焦点を溶接点の先方に設定した場合の図。
【図5】 (a)はフェルールの後端側を固定部品にセットした状態を示す平面図、(b)は同側面図。
【図6】 光デバイスの一例を示す説明図。
【図7】 図6に示す固定部品に同図に示すフェルールをセットした状態を示す平面図。
【図8】 固定部品とフェルールとの接点にレーザー光を照射した状態を示す説明図であって、レーザー光の焦点と前記接点とが一致している場合の図。
【図9】 固定部品とフェルールとの接点にレーザー光を照射した状態を示す説明図であって、レーザー光の焦点が前記接点より手前にズレている場合の図。
【図10】 固定部品とフェルールとの接点にレーザー光を照射した状態を示す説明図であって、レーザー光の焦点が前記接点より先方にズレている場合の図。
【符号の説明】
1 パッケージ
2 ベース
3 ヒートシンク
4 発光素子
5 光ファイバ(レンズドファイバ)
6 挿入部
7 光ファイバの先端面
8 底板
9 サーモモジュール
10 固定部品
11 固定部品
12 固定部品
13 第1フェルール
14 第2フェルール
15 フェルール嵌合部
16 金属メッキ部
17 半田
18 半田
20 アーム
21 アーム
22〜25 固定部品とフェルールとの溶接点
30 レーザーヘッド
31 レーザーヘッド

Claims (3)

  1. 光部品と、光ファイバが挿通固定された円筒状のフェルールとを備え、フェルールはそれに挿通固定されている光ファイバと前記光部品とが光結合可能な位置で固定部品にレーザー溶接されている光デバイス組立て方法であって、
    前記フェルールと前記固定部品のレーザー溶接点である接点がフェルール周方向の側面部に2以上設けられるとともに、フェルールを挟んで対向する2個所の接点を1対とする接点の組み合わせが1又は2以上設けられるように、フェルールを固定部品に配置し、
    前記1対を構成する2個所の接点に、異なるレーザーヘッドから出射されるレーザー光を同時に照射して、前記フェルールと前記固定部品を前記接点でレーザー溶接し、
    レーザー溶接する際に、各レーザー光の焦点を、前記1対を構成する2個所の接点間でレーザー光のエネルギー密度に大差が生じないように、各接点位置よりもレーザー光の照射方向手前側又はこれとは反対側のいずれかのうち、同じ側に位置させたことを特徴とする光デバイス組立方法。
  2. 接点に照射されたレーザー光の直径が焦点における該レーザー光の直径の1.3倍以上となるように、レーザーヘッドと接点との間の距離を設定することを特徴とする請求項1記載の光デバイス組立方法。
  3. 各接点にその真上又は斜め上からレーザー光を照射することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の光デバイス組立方法。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53105798A (en) * 1977-02-25 1978-09-14 Toshiba Corp Processing method making use of laser
JPS60152390A (ja) * 1984-01-20 1985-08-10 Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd レ−ザによる銅合金の溶接方法
JPH01118106A (ja) * 1987-10-30 1989-05-10 Japan Aviation Electron Ind Ltd 光ファイバ調芯固定方法
JPH01164405U (ja) * 1988-04-28 1989-11-16
JPH0922651A (ja) * 1995-07-04 1997-01-21 Toshiba Corp マグネトロンアノ−ドの製造方法
JP2000231039A (ja) * 1999-02-06 2000-08-22 Samsung Electronics Co Ltd 光源と光ファイバの整列装置及びこれを備える光源モジュール

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53105798A (en) * 1977-02-25 1978-09-14 Toshiba Corp Processing method making use of laser
JPS60152390A (ja) * 1984-01-20 1985-08-10 Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd レ−ザによる銅合金の溶接方法
JPH01118106A (ja) * 1987-10-30 1989-05-10 Japan Aviation Electron Ind Ltd 光ファイバ調芯固定方法
JPH01164405U (ja) * 1988-04-28 1989-11-16
JPH0922651A (ja) * 1995-07-04 1997-01-21 Toshiba Corp マグネトロンアノ−ドの製造方法
JP2000231039A (ja) * 1999-02-06 2000-08-22 Samsung Electronics Co Ltd 光源と光ファイバの整列装置及びこれを備える光源モジュール

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