JP4592386B2 - 樹脂製中空パッケージの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は従来技術のパッケージとインターポーザの断面図である。図2は本発明の一例である樹脂製中空パッケージの断面図であり、図3は上面図、図4は下面図、図5はリード配線の透過図である。
リードフレームは一般的に銅、鉄、アルミニウム、あるいはこれらの合金が用いられるが、特に銅合金または42アロイが好ましく用いられる。
成形樹脂には、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂が通常用いられるが、寸法精度からエポキシ樹脂が好ましく用いられる。また成形樹脂には、シリカ粉末、アルミナ粉末、窒化珪素粉末等の無機充填剤が通常添加されている。
今回の配線パターンでは、配線幅(3008)を500μm、パッド(3009)と呼ばれる他の基板との接続取り出し用のアウターリード端部の長さを1000μm、幅を750μm、スルーホールを形成するピンを立てるためのランド部(3010)は直径を1000μmとなるようにした。また配線部の厚みが20μmとなるようにフォトレジストの塗布厚みを調整した。
またスタンパの厚みが0.3mmとなるまでNiメッキを行った。
種々のレーザを用いることが出来るが、0.2Wのフェムト秒レーザを用いて穿孔することが可能である。図11に断面を示すようにスタンパ表側より直径200μmに穿孔し、裏側より直径500μmのすり鉢状に加工する。
(1002)金属製リードフレームのインナーリード部
(1003)金属製リードフレームのアウターリード部
(1004)インターポーザの絶縁基板
(1005)封止樹脂
(1006)導通部
(1007)リード
(1008)導通用ハンダボール
(1009)インターポーザ
(1010)半導体素子
(1011)Au線
(1012)封止板
(2001)本発明の樹脂製中空パッケージ
(2010)上下の金型間のキャビティ
(2020)下側成形金型
(2021)イジェクターピン貫通孔
(2022)金属製リードフレーム
(2023)スタンパホルダ
(2024)スタンパ
(2025)スタンパ押さえ
(2026)上蓋
(2027)上側成形金型
(3001)ピンを有さないスタンパ
(3002)ピン挿入孔を穿孔するためのレーザ
(3003)ピン
(3004)ポリ塩化ビニル樹脂
(3005)ピンを固定するためのNiメッキ
(3006)不要なNiメッキを除去した状態
(3007)電解銅メッキ
(3008)配線幅
(3009)パッド
(3010)ランド部
(4001)防湿板形状を有する凸部
Claims (4)
- 搭載される半導体素子と電気的に接続される金属製インナーリードと、
パッケージ底面に配線パターン状に刻印されたアウターリード形成用溝に導電体が埋め込まれることで形成された、外部基板と電気的に接続されるアウターリードと、を備え、
前記金属製インナーリードと、前記アウターリード形成用溝とを連通するように穿孔されたスルーホールに導電体が埋め込まれて、前記金属製インナーリードと前記アウターリードとが電気的に接続された樹脂製中空パッケージの製造方法であって、
1)前記金属製インナーリードと、スルーホール形状を有するピンとアウターリード配線パターンの雄型形状とを有するスタンパと、を成形金型に挿入し、成形樹脂を注入してパッケージ前駆体を形成するステップと、
2)前記パッケージ前駆体裏面のスルーホールと配線パターンを有する溝とに導電体を埋め込むことで、前記金属製インナーリードとの電気的接続をとりながらアウターリードを形成するステップとを有する、樹脂製中空パッケージの製造方法。 - 搭載される半導体素子と電気的に接続される金属製インナーリードと、
パッケージ底面に配線パターン状に刻印されたアウターリード形成用溝に導電体が埋め込まれることで形成された、外部基板と電気的に接続されるアウターリードと、
前記アウターリード以外のパッケージ底面に配置された防湿板と、を備え、
前記金属製インナーリードと、前記アウターリード形成用溝とを連通するように穿孔されたスルーホールに導電体が埋め込まれて、前記金属製インナーリードと前記アウターリードとが電気的に接続された樹脂製中空パッケージの製造方法であって、
1)前記金属製インナーリードと、スルーホール形状を有するピンとアウターリード配線パターンおよび防湿板の雄型形状とを有するスタンパと、を成形金型に挿入し、成形樹脂を注入してパッケージ前駆体を形成するステップと、
2)前記パッケージ前駆体裏面の、スルーホール、配線パターンを有する溝および防湿板形状を有する溝に導電体を埋め込むことで、インナーリードとの電気的接続をとりながらアウターリードを形成し、同時に防湿板を形成するステップとを有する、樹脂製中空パッケージの製造方法。 - 前記2)のステップでは、
前記パッケージ前駆体裏面に金属メッキを施し、次いでエッチングでアウターリード部以外の金属メッキを除去することでアウターリードを形成する、請求項1に記載の樹脂製中空パッケージの製造方法。 - 前記2)のステップでは、
前記パッケージ前駆体裏面に金属メッキを施し、次いでエッチングでアウターリード部および防湿板部以外の金属メッキを除去することでアウターリードおよび防湿板を形成する、請求項2に記載の樹脂製中空パッケージの製造方法。
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