JP4576144B2 - キャリアテープ原紙及びキャリアテープ - Google Patents

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Description

本発明は、キャリアテープ原紙及びキャリアテープに関するものである。例えば、電子回路を製造する際に使用するチップ状の表面実装部品を、表面実装機に搬送する際などに使用するキャリアテープ及びその原紙に関するものである。
回路基板表面に対して電子部品等の表面実装部品を直接実装する表面実装の技術分野においては、いわゆるキャリアテープが使用されている。このキャリアテープとしては、例えば、キャリアテープ原紙を幅8mmに断裁(スリット)した後、貫通孔状のマージナル部及びキャビティ部を形成して得る「パンチキャリアテープ」、貫通孔状のマージナル部を形成するとともに、エンボス状のキャビティ部を形成して得る「エンボスキャリアテープ」、あらかじめマージナル部やキャビティ部を形成しておかず、電子部品等の収納直前にマージナル部及びキャビティ部を形成して得る「アンパンチキャリアテープ」等がある。
キャリアテープを使用して電子部品等を表面実装するまでの工程は、例えば、パンチキャリアテープであれば、一般的に、以下のようになる。
すなわち、まず、カセットリールや紙管等に巻き取って保管してあるキャリアテープを引き出し、この引き出したキャリアテープの裏面に、熱で溶融するラミネート面を有する薄葉紙等からなるボトムテープをヒートシールする。これにより、キャビティ部底面が封じられる。次に、このキャビティ部底面の封じられたキャリアテープを、部品収納装置(いわゆるテーピングマシン)に送り、キャビティ部内に電子部品等を収納するとともに、キャリアテープの表面に、トップテープをヒートシールする。これにより、キャビティ部天面が封じられ、電子部品等がキャリアテープ内に封入された状態となる。この電子部品等が封入されたキャリアテープは、カセットリールや紙管等に巻き取り、搬送する。搬送先において、キャリアテープは、カセットリールや紙管等から引き出された後、トップテープが剥がされ、直ちに電子部品等が、吸引ノズルで吸引されて、キャビティ部内から取り出されて、そのまま基板の所定場所に表面実装される。
一方、キャリアテープ原紙は、プラスチック系の素材を原料とするものもあるが、緩衝作用を有するとの点や廃棄容易であるとの点などから、パルプ繊維を原料とするのが一般的である。しかしながら、パルプ繊維を原料とすると、紙紛が発生し、この紙紛によって、キャビティ部から電子部品等を取り出すための吸引ノズルが詰まるとの問題が生じる。特に、近年では、電子部品等の封入作業の高速化に伴い、キャリアテープの各種機器との擦れが激しくなっているため、紙紛の発生量が増え、吸引ノズルが詰まりやすくなっている。また、電子部品等の小型化に伴い、吸引ノズルの口径が小さくなっているため、よりいっそう吸引ノズルが詰まり易くなっている。
この点、紙紛が発生しにくいキャリアテープとして、例えば、キャビティ部(孔)に合成樹脂・金属からなる収納カップを嵌入したもの(例えば、特許文献1参照。)や、表面が樹脂フィルムでラミネートされたキャリアテープ原紙(基材)を用いたもの(例えば、特許文献2参照。)が提案されている。しかしながら、これらのキャリアテープは、紙紛を減らす目的が異なり、本課題のような吸引ノズルの詰まりを防止しようとするものではないため、効果的ではない。もちろん、これらのキャリアテープを創意工夫して、吸引ノズルの詰まり防止を図ることも考えられるが、これらのキャリアテープは、製造工程が複雑であり、また、合成樹脂やラミネート等の素材が必要になるため、創意工夫できたとしても製造コストが高くなるとの問題が残る。
特開2001−315846号公報 特開平9−221192号公報
本発明が解決しようとする主たる課題は、キャビティ部から電子部品等を取り出すための吸引ノズルが詰まるとの問題が生じにくく、しかも製造コストが高くならないキャリアテープ原紙及びキャリアテープとすることにある。
前記課題を解決した本発明は、次のとおりである。
〔請求項1記載の発明〕
パルプ繊維が原料として使用され、かつ貫通孔状のキャビティ部が形成されるキャリアテープ原紙であって、
表層、中層及び裏層を有する多層で、
発塵性抑制効果のある薬品が、前記表層及び前記裏層には内添され、かつ前記中層には前記表層及び前記裏層よりも低配合で内添され又は無添加とされ、
前記発塵性抑制効果のある薬品の内添は、内添量がパルプ繊維100質量部に対して1質量部以上5質量部未満となり、かつJIS P 8133に基づく冷水抽出がpH4.5〜7.5となるように行われ、
下記(a)式で定義される発塵係数K1が、0.15以下とされている、ことを特徴とするキャリアテープ原紙。
(a)K1=0.70(Rn/Ra)+0.10(Cn/Ca)+0.10(Mn/Ma)
ここに、Rnは、SEMI規格G67−0996の「手揉み試験」に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)と、SEMI規格G67−0996の「摩擦試験」に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)とを合計した値である。一方、Raは、試験片の総表面積(mm2)である。本試験において、試験片は、キャリアテープ原紙から8mm×210mmに断裁(スリット)したものとする。
また、Cnは、SEMI規格G67−0996の「引裂き及び手揉み試験」を修正した試験に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)である。修正点は、引き裂きにかえてはさみによる断裁とする点、及び、手揉みを行わないものとする点である。一方、Caは、試験片断裁面の総面積(mm2)である。本試験において、試験片は、キャリアテープ原紙から8mm×210mmに断裁(スリット)したものとする。
さらに、Mnは、SEMI規格G67−0996の「引裂き及び手揉み試験」を修正した試験に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)である。修正点は、引き裂きにかえてはさみによる断裁とする点、この断裁を5枚までではなく6枚までとする点、及び、手揉みにかえて、断裁した試験片を断裁面が同一面となるように3枚ずつ重ね合わせ、一方の重ね合わせた試験片の断裁面を、他方の重ね合わせた試験片の断裁面と当接させ、前記「摩擦試験」と同様の方法で擦り合わせる点である。一方、Maは、試験片当接面の総面積(mm2)である。本試験において、試験片は、キャリアテープ原紙から8mm×210mmに断裁(スリット)したものとする。また、この試験片3本を、各々の中央部をはさみにて断裁して6枚とした。
〔請求項2記載の発明〕
パルプ繊維が原料として使用され、かつエンボス状のキャビティ部が形成されるキャリアテープ原紙であって、
表層、中層及び裏層を有する多層で、
発塵性抑制効果のある薬品が、前記表層及び前記裏層には内添され、かつ前記中層には前記表層及び前記裏層よりも低配合で内添され又は無添加とされ、
前記発塵性抑制効果のある薬品の内添は、内添量がパルプ繊維100質量部に対して1質量部以上5質量部未満となり、かつJIS P 8133に基づく冷水抽出がpH4.5〜7.5となるように行われ、
下記(b)式で定義される発塵係数K2が、0.15以下とされている、ことを特徴とするキャリアテープ原紙。
(b)K2=0.72(Rn/Ra)+0.01(Cn/Ca)+0.10(Mn/Ma)
ここに、Rn、Ra、Cn、Ca、Mn及びMaは、請求項1と同様である。
〔請求項3記載の発明〕
前記発塵性抑制効果のある薬品が、ポリアクリルアミド系樹脂、澱粉系樹脂及び繊維状PVA系樹脂のうちの少なくとも一種類されている、請求項1又は請求項2記載のキャリアテープ原紙。
〔請求項記載の発明〕
請求項1〜のいずれかに記載のキャリアテープ原紙を原材料とする、ことを特徴とするキャリアテープ。
本発明によると、キャビティ部から電子部品等を取り出すための吸引ノズルが詰まるとの問題が生じにくく、しかも製造コストが高くならないキャリアテープ原紙及びキャリアテープとなる。
以下、本発明の実施の形態を説明する。
〔キャリアテープ原紙〕
本実施の形態のキャリアテープ原紙は、パルプ繊維が原料として使用され、かつ貫通孔状のキャビティ部が形成されるものであって、下記(a)式で定義される発塵係数K1が、0.15以下であり、又は、パルプ繊維が原料として使用され、かつエンボス状のキャビティ部が形成されるものであって、下記(b)式で定義される発塵係数K2が、0.15以下である、ことを特徴とする。
(a)K1=0.70(Rn/Ra)+0.10(Cn/Ca)+0.10(Mn/Ma)
(b)K2=0.72(Rn/Ra)+0.01(Cn/Ca)+0.10(Mn/Ma)
ここに、Rnは、SEMI規格G67−0996の「手揉み試験」に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)と、SEMI規格G67−0996の「摩擦試験」に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)とを合計した値である。一方、Raは、試験片の総表面積(mm2)である。本試験において、試験片は、キャリアテープ原紙から8mm×210mmに断裁(スリット)したものとする。
また、Cnは、SEMI規格G67−0996の「引裂き及び手揉み試験」を修正した試験に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)である。修正点は、引き裂きにかえてはさみによる断裁とする点、及び、手揉みを行わないものとする点である。一方、Caは、試験片断裁面の総面積(mm2)である。本試験においても、試験片は、キャリアテープ原紙から8mm×210mmに断裁(スリット)したものとする。
さらに、Mnは、SEMI規格G67−0996の「引裂き及び手揉み試験」を修正した試験に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)である。修正点は、引き裂きにかえてはさみによる断裁とする点、この断裁を5枚までではなく6枚までとする点、及び、手揉みにかえて、断裁した試験片を断裁面が同一面となるように3枚ずつ重ね合わせ、一方の重ね合わせた試験片の断裁面を、他方の重ね合わせた試験片の断裁面と当接させ、前記「摩擦試験」と同様の方法で擦り合わせる点である。一方、Maは、試験片当接面の総面積(mm2)である。本試験においても、試験片は、キャリアテープ原紙から8mm×210mmに断裁(スリット)したものとした。また、この試験片3本を、各々の中央部をはさみにて断裁して6枚とした。
前記したように、キャリアテープ原紙の原料としてパルプ繊維が使用されていると、紙紛が発生し、この紙紛を原因として吸引ノズルが詰まるとの問題が生じる。そこで、本発明者らは、まず、紙紛発生の原因を特定し、この原因は、キャリアテープ原紙がいかなる状態であると防ぐことができるのかを特定し、最後に、この状態とするには、具体的にキャリアテープ原紙がどのような素材(原料)であればよいのか、あるいは各種素材(原料)がどのように配合されていればよいのか、を特定することにした。
まず、本発明者らは、紙紛発生の原因は、(A)キャビティ部を形成する際に、パンチ加工すること、あるいは(B)リールや紙管等への巻き取り、引き出しの繰り返しにより揉まれた状態となること、あるいは(C)電子部品等の封入作業や搬送作業などに際して、金属・ゴムなどからなる各種のロールや機器と擦れること、あるいは(D)表面実装する際に、トップテープが引き剥がされること、にあると考えた。
そして、原因(A)は、パンチ加工という断裁に基づくものであり、また、搬送などに際して、キャビティ部は、トップテープやボトムテープで封じられており、その中の紙紛は変動しないため、原因(A)の生じ易さは、キャリアテープ原紙の「断裁試験」により明らかにすることができると考え、試験することとした。具体的には、SEMI規格G67−0996の「引裂き及び手揉み試験」を、引き裂きにかえてはさみによる断裁とし、かつ手揉みを行わないものと修正した試験に基づいて、直径50μm以上の粒子数(個/m3)を測定し、キャビティ部の大きさによる誤差をなくすために、試験片断裁面の総面積(mm2)で除することとした。測定対象の粒子を直径50μm以上のものに限ったのは、吸引ノズルの先端口径は、小型化した現在においても、なお直径約100μm以上はあり、直径50μm未満の粒子が詰まりの原因となる可能性は、極めて少ないためである。なお、以下の他の試験においても、測定対象の粒子を直径50μm以上のものに限ったのは、同様の理由からである。
また、原因(B)は、揉まれた状態となることに基づくものであるため、原因(B)の生じ易さは、キャリアテープ原紙の「揉み試験」により明らかにすることができると考えた。もっとも、キャリアテープ原紙は、揉まれた状態になるとともに、その表面各部位が、他の表面各部位と擦れ、あるいはロールや搬送機器と擦れる(原因(C))のであるから、「揉み試験」とともに、キャリアテープ原紙表面の「摩擦試験」を行った方がよいと考え、試験することとした。具体的には、SEMI規格G67−0996の「手揉み試験」に基づいて直径50μm以上の粒子数(個/m3)を測定するとともに、SEMI規格G67−0996の「摩擦試験」に基づいて直径50μm以上の粒子数(個/m3)を測定し、これらを合計した値を、試験片の大きさによる誤差をなくすために、試験片の表面積(mm2)で除することとした。
さらに、原因(C)は、スリット加工という断裁をなされた面についてもいえることであるため、以上のほかに、キャリアテープ原紙の「断裁試験」及びこの断裁面の「摩擦試験」を行った方がよいと考え、試験することとした。具体的には、SEMI規格G67−0996の「引裂き及び手揉み試験」を、引き裂きにかえてはさみによる断裁とし、この断裁を5枚までではなく6枚までとし(試験片3本を、各々の中央部をはさみにて断裁して6枚とする。)、かつ、手揉みにかえて、断裁した試験片を断裁面が同一面となるように3枚ずつ重ね合わせ、一方の重ね合わせた試験片の断裁面を、他方の重ね合わせた試験片の断裁面と当接させ、前記「摩擦試験」と同様の方法で擦り合わせるものと修正した試験に基づいて、直径50μm以上の粒子数(個/m3)を測定し、当接面の広さによる誤差をなくすために、試験片当接面の総面積(mm2)で除することとした。
なお、紙紛が発生する原因としては、以上のほかに、原因(D)も考えられたが、吸引ノズルによるキャビティ部からの電子部品等の取り出しは、トップテープが引き剥がされた後、直ちに行われており、引き剥がしを原因とする紙紛は空中を漂っている状態で、キャビティ部やその周辺部に存在することになるのはごくごく一部に限られるため、吸引ノズル詰まりの原因となる可能性は少ないと考え、ファクターとしないこととした。
以上の試験を行うに際して、試験片は、キャリアテープ原紙を8mm×210mmに断裁(スリット)したものとした。幅を8mmとしたのは、現実に使用されているキャリアテープの幅が8mmであることから、同一幅とするのがより正確な特定につながると考えたためである。また、長さを210mmとしたのは、あまり短いと各種試験、特に「手揉み試験」を正確に行うことができなくなるためである。
次に、本発明者らは、以上の方法で測定した値、すなわちRn/Ra、Cn/Ca及びMn/Maが、それぞれ吸引ノズルの詰まりにどれだけの影響をもつのかを明らかにするために、これらの値がそれぞれ違う多数のキャリアテープ原紙及び口径(直径)300μmの吸引ノズルを用意し、前述した各工程を経た後における、吸引ノズルから吸い込まれる粒径50μm以上の紙紛の量と前記各値(Rn/Ra、Cn/Ca及びMn/Ma)との相関関係を調べた。
得られた相関関係から、本発明者らは、前記Rn/Ra値が大きいと紙紛の吸引量も増えやすいこと、前記Cn/Ca値及びMn/Ma値が大きくなってもそれほど紙紛の吸引量は増えないことを発見した。特に、キャリアテープ原紙をエンボスキャリアテープとして使用する場合は、(当然ではあるが)前記Cn/Ca値による影響はほとんどなくなることが分かった。ただし、この場合は、Rn/Ra値の影響が若干大きくなった。これは、ボトムテープが貼られない分、キャリアテープの表面積が増え、揉みや擦れによって紙紛が発生し易くなることによると考えられる。以上を基に、本発明者らは、キャリアテープ原紙をパンチキャリアテープ(P)として使用する場合は、Rn/Ra値の係数を0.70に、Cn/Ca値の係数を0.10に、Mn/Ma値の係数を0.10に設定し、また、キャリアテープ原紙をエンボスキャリアテープ(E)として使用する場合は、Rn/Ra値の係数を0.72に、Cn/Ca値の係数を0.01に、Mn/Ma値の係数を0.10に設定した。
さらに、本発明者らは、種々のキャリアテープ及び口径(直径)100μmの吸引ノズルを用意し、以上で特定された式(a)又は式(b)から算出される発塵係数K1又はK2がいかなる値であると吸引ノズルが詰まり易くなるかを試験した。
試験結果から、本発明者らは、パンチキャリアテープ(P)用か、エンボスキャリアテープ(E)用かに関らず、キャリアテープ原紙の発塵係数K1及びK2が、0.15以下(の状態)であると、吸引ノズルが詰まりにくくなることを知見した。なお、この試験については、後述の実施例で説明する。
次に、以上で説明したキャリアテープ原紙の製造方法について説明し、もってキャリアテープ原紙がどのような素材(原料)、配合であれば前記状態となるのかを明らかにする。
まず、キャリアテープ原紙の原料としては、例えば、木材パルプ、非木材パルプ、合成パルプ、古紙パルプ、などから、より具体的には、砕木パルプ(GP)、ストーングランドパルプ(SGP)、リファイナーグランドパルプ(RGP)、加圧式砕木パルプ(PGW)、サーモメカニカルパルプ(TMP)、ケミサーモメカニカルパルプ(CTMP)、ブリーチケミサーモメカニカルパルプ(BCTMP)等の機械パルプ(MP)、化学的機械パルプ(CGP)、半化学的パルプ(SCP)、クラフトパルプ(KP)、ソーダパルプ(AP)、サルファイトパルプ(SP)、溶解パルプ(DP)等の化学的パルプ(CP)、脱墨パルプ(DIP)、ウエストパルプ(WP)等の古紙パルプ、かすパルプ(TP)、木綿、アマ、麻、黄麻、マニラ麻、ラミー等を原料とするぼろパルプ、わらパルプ、エスパルトパルプ、バガスパルプ、竹パルプ、ケナフパルプ等の茎稈パルプ、靭皮パルプ等の補助パルプなどから、一種又は数種を適宜選択して使用することができる。ただし、表面実装部品への影響という観点からは、填料が少ない方がよく、したがって、ディインキングパルプ(DIP)、ウエストパルプ(WP)などの古紙パルプよりもバージンパルプを使用する方が好ましい。
また、キャリアテープ原紙は、1層であっても、2層、3層、4層又はそれ以上の多層であってもよい。ただし、断面部の発塵性をコントロールするという観点からは、多層(抄き)であるのが好ましい。多層抄きであれば、発塵性抑制効果のある薬品を、表層及び裏層に内添しつつも、中層には表層及び裏層よりも低配合で内添し、あるいは無添加とするなどのコントロールが可能となる。
発塵性抑制効果のある製紙用薬品としては、例えば、ポリアクリルアミド系樹脂、酸化澱粉、カチオン化澱粉、ポリアミドポリアミン、エピクロロヒドリン、メラミン樹脂、繊維状PVAなどのパルプ繊維間結合を高める薬品から、1種又は2種以上を適宜選択して使用することができる。ただし、キャビティ部に収納される電子部品等の腐食を絶対に避けるという観点からは、比較的少量で効果の得られるポリアクリルアミド系樹脂、澱粉系樹脂又は繊維状PVA系樹脂から、1種又は2種以上を適宜選択して使用するのが好ましく、これらの薬品が抄紙段階で配合されているのがより好ましい。発塵性抑制効果のある製紙用薬品は、原料に内添することのほか、抄紙した後、塗布又は含浸(外添)することもできるが、内添する方が好ましい。キャリアテープ原紙は、スリットされて使用されるため、どの平面位置においても、発塵性が均一でなければならないところ、外添では薬品が均一に浸透しない場合に、平面位置によって発塵性が異なることになり、特に、断裁面からの発塵性に影響が及ぶためである。
発塵性抑制効果のある製紙用薬品の添加量は、パルプ繊維100質量部に対して、1質量部以上5質量部未満であるのが好ましく、3質量部以上4質量部未満であるのがより好ましい。添加量が増えれば発塵性抑制効果は高くなるが、5質量部以上にしても、発塵性抑制効果は頭打ちとなるため、経済性に劣ることになる。また、製紙系内の汚れの原因ともなる。
発塵性抑制効果のある製紙用薬品の添加は、キャリアテープ原紙のJIS P 8133に基づく冷水抽出が、pH4.5以上となるように行うのが好ましく、pH5以上となるように行うのがより好ましい。発塵性抑制薬品を添加すると、pHが下がる傾向にあるところ、薬品の添加量が多すぎてキャリアテープ原紙の冷水抽出がpH4.5未満の酸性になると、キャリアテープに封入される電子部品等が錆びるおそれがある。もっとも、キャリアテープ原紙のJIS P 8133に基づく冷水抽出を、pH7.5超とする必要はない。pH7.5超とするには、pH調節用薬品の添加が必要となり、コストアップとなるばかりか抄紙用具にダメージを与えるためである。
また、原料パルプとして、無塩素漂白化学パルプを使用すると、発塵性抑制効果のある製紙用薬品の添加量を減らすことができ、好ましいものとなる。
〔キャリアテープ〕
本実施の形態のキャリアテープは、以上で説明したキャリアテープ原紙に対して、幅8mmの帯状にスリットし、長手方向に所定の間隔をおいて複数の貫通孔状のキャビディ部及び貫通孔状のマージナル部を、又はエンボス状のキャビディ部及び貫通孔状のマージナル部を形成したものである。キャビティ部及びマージナル部の形状、間隔、形成方法などは、特に限定されず、公知の方法と同様とすることができる。
次に、試験例を説明することにより本発明の効果を明らかにする。なお、当然、本発明を以下の試験例のものに限定する趣旨ではない。また、以下の試験例においては、特に説明ない限り、「部」及び「%」とは、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味し、「kg/t」とは、パルプトンあたりの量(kg)を意味する。
〔試験例1〕
表面層及び裏面層については、針葉樹晒クラフトパルプ(NBKP)50%、広葉樹晒クラフトパルプ(LBKP)50%からなるスラリーを、それぞれカナディアンスタンダードフリーネス(CSF)450mlに調節したものに、PAM(ハリマ化成株式会社製、ハーマイドB−15)を内添したものを原料として使用した。一方、中間層としては、NBKP25%、LBKP25%、上物古紙パルプ50%からなるパルプスラリーを、それぞれCSF450ml、350ml、350mlに調節したものに、PAM(ハリマ化成株式会社製、ハーマイドB−15)を内添したものを原料として使用した。これらを円網多層抄紙機にて5層構造で抄き合わせ、PVA(日本合成化学株式会社製、ゴーセノールN300)を塗工量0.5g/m2で塗工してキャリアテープ原紙を得た。
このようにして得たキャリアテープ原紙から、8mm幅にスリットした試験片を200本得た。得られた試験片200本のうち5本について、Rn値、Cn値、Mn値、K1値(発塵係数)、K2値(発塵係数)の平均値を求めた。なお、K1値及びK2値は、紙厚みを一定として算出した。
一方、残りの195本については、更に貫通孔状のマージナル部(直径1.5mm)及び貫通孔状又はエンボス状のキャビティ部(0.65×1.15mm)を1万個形成し、また、キャビティ部を貫通孔状としたものについては、ボトムテープを貼付(200℃でヒートシール)して、キャリアテープを得た。
得られた各キャリアテープを、実際に使用して、吸引ノズル(口径(直径)100μm)詰まりの有無を調べた。評価基準は、詰まりを生じさせたキャリアテープが、1本以下であったら◎、1本超から5本以下であったら○、5本超であったら×とすることにした。結果は、表1のようになった。なお、表中の「P」とは、パンチキャリアテープを、「E」とは、エンボスキャリアテープを示している。
Figure 0004576144
〔試験例2〜
原料パルプ、内添薬品の有無・種類・量、表面塗工の有無を変化させて、試験例1と同様の試験を行った。なお、表中の「カ」は、カチオン澱粉(日本食品化工株式会社製、ネオタック40T)を示している。
表1から、発塵係数K1又はK2と、吸引ノズルの詰まりとは、相関関係を有し、発塵係数が、0.15以下であると、吸引ノズルの詰まりを防止しうることが分かる。もちろん、本試験例は、いずれも合成樹脂やラミネート等の素材を必要とするものではないので、製造コストが向上することもない。

Claims (4)

  1. パルプ繊維が原料として使用され、かつ貫通孔状のキャビティ部が形成されるキャリアテープ原紙であって、
    表層、中層及び裏層を有する多層で、
    発塵性抑制効果のある薬品が、前記表層及び前記裏層には内添され、かつ前記中層には前記表層及び前記裏層よりも低配合で内添され又は無添加とされ、
    前記発塵性抑制効果のある薬品の内添は、内添量がパルプ繊維100質量部に対して1質量部以上5質量部未満となり、かつJIS P 8133に基づく冷水抽出がpH4.5〜7.5となるように行われ、
    下記(a)式で定義される発塵係数K1が、0.15以下とされている、ことを特徴とするキャリアテープ原紙。
    (a)K1=0.70(Rn/Ra)+0.10(Cn/Ca)+0.10(Mn/Ma)
    ここに、Rnは、SEMI規格G67−0996の「手揉み試験」に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)と、SEMI規格G67−0996の「摩擦試験」に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)とを合計した値である。一方、Raは、試験片の総表面積(mm2)である。本試験において、試験片は、キャリアテープ原紙から8mm×210mmに断裁(スリット)したものとする。
    また、Cnは、SEMI規格G67−0996の「引裂き及び手揉み試験」を修正した試験に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)である。修正点は、引き裂きにかえてはさみによる断裁とする点、及び、手揉みを行わないものとする点である。一方、Caは、試験片断裁面の総面積(mm2)である。本試験において、試験片は、キャリアテープ原紙から8mm×210mmに断裁(スリット)したものとする。
    さらに、Mnは、SEMI規格G67−0996の「引裂き及び手揉み試験」を修正した試験に基づく直径50μm以上の粒子数(個/m3)である。修正点は、引き裂きにかえてはさみによる断裁とする点、この断裁を5枚までではなく6枚までとする点、及び、手揉みにかえて、断裁した試験片を断裁面が同一面となるように3枚ずつ重ね合わせ、一方の重ね合わせた試験片の断裁面を、他方の重ね合わせた試験片の断裁面と当接させ、前記「摩擦試験」と同様の方法で擦り合わせる点である。一方、Maは、試験片当接面の総面積(mm2)である。本試験において、試験片は、キャリアテープ原紙から8mm×210mmに断裁(スリット)したものとする。また、この試験片3本を、各々の中央部をはさみにて断裁して6枚とした。
  2. パルプ繊維が原料として使用され、かつエンボス状のキャビティ部が形成されるキャリアテープ原紙であって、
    表層、中層及び裏層を有する多層で、
    発塵性抑制効果のある薬品が、前記表層及び前記裏層には内添され、かつ前記中層には前記表層及び前記裏層よりも低配合で内添され又は無添加とされ、
    前記発塵性抑制効果のある薬品の内添は、内添量がパルプ繊維100質量部に対して1質量部以上5質量部未満となり、かつJIS P 8133に基づく冷水抽出がpH4.5〜7.5となるように行われ、
    下記(b)式で定義される発塵係数K2が、0.15以下とされている、ことを特徴とするキャリアテープ原紙。
    (b)K2=0.72(Rn/Ra)+0.01(Cn/Ca)+0.10(Mn/Ma)
    ここに、Rn、Ra、Cn、Ca、Mn及びMaは、請求項1と同様である。
  3. 前記発塵性抑制効果のある薬品が、ポリアクリルアミド系樹脂、澱粉系樹脂及び繊維状PVA系樹脂のうちの少なくとも一種類されている、請求項1又は請求項2記載のキャリアテープ原紙。
  4. 請求項1〜のいずれかに記載のキャリアテープ原紙を原材料とする、ことを特徴とするキャリアテープ。
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