JP4576101B2 - 両面粘着シート - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、両面粘着シートおよび研磨布積層体に関し、詳しくは研磨布を研磨装置に貼着するために使用される両面粘着シートおよび研磨布積層体に関し、さらに詳しくは半導体装置の層間絶縁膜の平坦化や金属配線の形成工程に適応される研磨布の固定かつ緩衝材として使用される両面粘着シートおよび研磨布と両面粘着シートとの積層体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体デバイスの回路パターンを半導体ウェーハ上に反映させるため、フォトレジスト樹脂を半導体ウェーハに塗布し、フォトマスクを用いて該レジスト樹脂を焼き付け、エッチング処理工程を経て回路パターンを形成させる方法が主流となってきている。また、デバイスの高速化、低容積化を図るための集積化技術が進歩し、これにつれて回路配線パターンも０．１８μｍもしくは０．１３μｍ以下の微細なパターンを安定して描画できることが望まれてきている。
【０００３】
ところが、半導体ウェーハ全面には“うねり”と称される緩やかな厚さバラツキつまり標高差が存在し、２〜４μｍ以上になる場合もある。このうねりは少ないことが望ましいが、工業レベルでは生産性とコストとの兼ね合いで、うねりの解消は満足できるものではないことが現状である。また、回路パターンの都合上、局所的に１μｍ以下程度であるが厚さが異なる段差を生じる可能性がある。これらのうねりや段差部分が存在するとフォトマスクによる回路パターン形成時に焦点ボケやにじみを生じて、回路パターンが正確に反映されず、半導体デバイス回路の断線や短絡等の信頼性を著しく劣らせてしまう。
【０００４】
この問題の解決策として化学機械研磨法（Chemical Mechanical polishing ＣＭＰ）が提案されている。ＣＭＰ技術では、膜厚分布を一定に保ち、膜表面の微小な凹凸を除去するために、下層は半導体ウェーハ自体のそりやうねりによる研磨代の不均一性を解消するためにゴム弾性体とし、表層は半導体デバイス工程で生じた表面の凹凸を除去して平坦化するために硬質クロスとした二層構成の研磨布が提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。
【非特許文献１】
渡邊純二他、表面基準ポリシングにおけるパッド構成、精密工学会春季学術講演会論文集，１９９７年，Ｐ．１８３
【０００５】
提案されているような二層構成の研磨パッドに使用されている下層のゴム弾性体には一般的に、ポリウレタン含浸不織布が使用されている。
しかし、当該材料は、通気性があるため、研磨に用いられるスラリー水分を吸収・膨潤し、部分的もしくは全体的にヘタリが生じたり、ゴム弾性が変化したりする。（以下、まとめて膨潤変形ともいう）。研磨中に膨潤変形が進行すると、均一研磨、精密研磨の要求には応えられない。
そこで、研磨前に予め研磨スラリーに二層構成の研磨パッドを長時間浸漬し、ポリウレタン含浸不織布にスラリー水分を十分吸収させて、研磨中に膨潤変形が生じないようにしておく等のわずらわしさがあった。
【０００６】
この膨潤変形の解決策として、表層硬質材料と下層ポリウレタン含浸不織布との間に防水性材料層を施すことを提案しているが、研磨布積層体の側面からのスラリー侵入は防ぐことができず、不完全なものであった（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】
特開平１１−１５６７０１号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、うねりを持った半導体ウェーハや回路形成過程で局所の段差が生じたウェーハでも、そのうねりや段差に沿ってウェーハ全面を均一に高低差を緩和するように研磨できる研磨布固定粘着テープに関する。
より具体的には、本発明は研磨前に長時間研磨パッド（研磨布積層体）を研磨スラリーに浸漬する必要もなく、研磨中に研磨スラリーによる膨潤変形を生じることのない研磨パッド（研磨布積層体）を形成し得る研磨布固定粘着テープに関する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意研究した結果、官能基を有するシリコーンを整泡剤に用いることで水蒸気透過率を低くし、かつ、厚さバラツキが小さい（軟質ウレタン）発泡体シートの両面に粘着剤を積層し、これを研磨布研磨面の反対側に配置することで、研磨前に特別な浸漬処理を経ることなく研磨に供しても、うねりを持った半導体ウェーハでも、そのうねりに沿ってウェーハ表面の凹凸を均一に研磨できることを見出し、本発明に至った。
【０００９】
即ち、本発明は以下の記載事項に関する。
＜１＞ 軟質ウレタン発泡体シートと、第１及び第２の粘着剤層とを備える両面粘着シートであって、前記軟質ウレタン発泡体シートは、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が０μｍ以上１００μｍ以内であり、水蒸気透過率が０ｇ／ｍ2・２４ｈ以上１０００ｇ／ｍ2・２４ｈ以下である両面粘着シート。
＜２＞ （１）前記発泡体シート中の金属イオン含有率、並びに（２）前記第１及び第２粘着剤層中の総金属イオン含有率の少なくともいずれか一方が０．１ｐｐｍ以上５０００ｐｐｍ以下である前記＜１＞に記載の両面粘着シート。
＜３＞ さらに補強シートを有する両面接着シートであって、
前記補強シートは破断強度が４０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であり、前記第１及び第２の粘着剤層のいずれか一方と発泡体シートとの間に設けられている前記＜１＞又は＜２＞に記載の両面粘着シートに関する。
＜４＞ 前記補強シート中の金属イオン含有率が、０．１ｐｐｍ以上５０００ｐｐｍ以下である前記＜３＞に記載の両面粘着シートに関する。
＜５＞ 前記＜１＞から＜４＞のいずれかに記載の両面粘着シートと研磨布とが積層されてなる研磨布積層体。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の詳細についていくつかの好ましい実施の形態を挙げて説明する。但し、本発明が以下の実施の形態に限定されないことはいうまでもない。
第１の実施の形態としての本発明の両面粘着シートは、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が０以上１００μｍ以内、水蒸気透過率が０以上１０００ｇ／ｍ2・２４ｈ以下である軟質ウレタン発泡体シート（１）の両面側に粘着剤層（２）、（２’）が設けられてなる両面粘着シートである。ここで、両面粘着シートとは、両面粘着テープ、両面粘着フィルムとも呼ばれるものである。
また、破断強度が４０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下の補強シート（３）を、発泡体シート（１）と一方の粘着剤層（２’）との間に設ける構成としてもよい。
【００１１】
用いられる発泡体シート（１）は、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が０以上１００μｍ以内である。発泡体シート（１）の１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差は、０が最も望ましいが現実的には許容範囲があり、１００μｍよりも大きいと、被研磨体を一定の均一な厚みに研磨することが難しくなりやすい。つまり、圧力を掛けて研磨する際に厚みの厚い部分と薄い部分で圧力差が生じるからである。このため、研磨精度を必要とする場合は、発泡体シート（１）の１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差は、０以上１００μｍ以内であるものが好ましく、８０μｍ以内であるものがより好ましく、６０μｍ以内であるものがさらに好ましい。
【００１２】
また、発泡体シート（１）の１ｍ2内の平均厚さは、研磨する際に圧力を掛けたときに研磨特性を劣化させる両面粘着シートに対する水平方向の剪断力によって引き起こされるずり変形に抗するため１５０μｍ〜２．４ｍｍ以内であることが好ましい。
発泡体シートの厚さの測定は、プローブ直径１０ｍｍ、印加荷重５０ｇ／ｃｍ2において、１μｍ桁表示が可能なデジタル計測器により行われ得る。
【００１３】
また、発泡体シート（１）は、２５％圧縮硬さが０．１〜１．０ＭＰａであることが好ましく、０．２〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。
本発明でいう「発泡体シートの２５％圧縮硬さ」とは、発泡体シートをＪＩＳＫ ６４００に記載される試験の一般的条件、即ち温度２３℃、相対湿度５０％の環境に２４時間以上静置した後、該発泡体シートを３０ｍｍ×３０ｍｍに打ち抜き、約１０ｍｍの厚さとなるようにシートを重ね合わせ、同温湿度環境下にて前記重ね合わせたシート全面を５０ｍｍ／分の速度で平行に圧縮し、元の厚みから２５％圧縮させた際の応力をいう。
発泡体シート（１）の２５％圧縮硬さが、０．１ＭＰａ未満だと両面粘着シートが柔軟になり剪断変形を起こしやすいので、被研磨体全面の表面膜厚を均一に研磨することが難しくなる傾向にある。一方、発泡体シート（１）の２５％圧縮硬さが、１．０ＭＰａを越えると両面粘着シートが硬くなる傾向にあるので、被研磨体表面の「凹凸」および「うねり」に追随しないで標高の高い部分を優先的に研磨するので、被研磨体全面の表面膜厚を均一に研磨することが難しくなる傾向にある。
【００１４】
また、研磨工程中に両面粘着シートから金属イオンが溶出すると、被研磨体の研磨表面を汚染して、金属や半導体の固有の電気特性を変化させたり、配線回路形成を阻害したりするので、本発明の両面粘着シートから金属イオンが溶出しないか、又は本発明の両面粘着シートが、実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。
つまり、両面粘着シートを構成する発泡体シート（１）や後述する粘着剤層（２）（２’）から金属イオンが溶出しないか、又は発泡体シート（１）や粘着剤層（２）（２’）が、実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。
【００１５】
本発明でいう「金属イオン」とは、リチウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、ニッケル、銅、亜鉛、タングステンの１３種の金属のイオンである。上記金属イオンの総量は、試料（両面粘着シートや発泡体シート（１））を硝酸と硫酸による酸分解法によって分解した後、高周波誘導結合プラズマ発光分析装置にて検出できる。
【００１６】
両面粘着シートに含まれる上記金属イオンの総量は、１５０００ｐｐｍ以下であることが好ましく、３０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
また、発泡体シート（１）に含まれる上記金属イオンの総量は５０００ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
ここで、発泡体シート（１）に含まれる金属イオン量の下限値は、低いことが好ましく０ｐｐｍであることが最も好ましいが、通常０．１ｐｐｍ程度である。尚、後に説明する粘着剤層や補強シートについても同様である。
【００１７】
また、両面粘着シートに含まれる金属イオンの総量が前記総量であれば特に制限されることはないが、以下の（１）〜（３）のいずれか１つの態様であることが好ましい。
（１）前記発泡体シート中の金属イオン含有率が５０００ｐｐｍ以下、
（２）前記第１及び第２粘着剤層中の総金属イオン含有率が５０００ｐｐｍ以下、並びに
（３）前記発泡体シート中の金属イオン含有率が５０００ｐｐｍ以下、かつ前記第１及び第２粘着剤層中の総金属イオン含有率が５０００ｐｐｍ以下である。
なかでも前記（３）が好ましく、（３ａ）前記発泡体シート中の金属イオン含有率が５００ｐｐｍ以下、かつ前記第１及び第２粘着剤層中の総金属イオン含有率が５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
【００１８】
本発明において使用される発泡体シート（１）としては、ポリウレタン、ポリエチレン、シリコーンゴム等が挙げられ、これらは種々の方法で得ることができる。これらの中でも目的とする硬さ、厚み精度が得やすいので、ポリウレタンが好ましい。
【００１９】
本発明において使用される発泡体シート（１）のうち、ポリウレタン発泡体シートについて説明する。ポリウレタン発泡体はポリオールとポリイソシアネートとの反応によりウレタン骨格が形成され、その反応生成物内の泡を均一に分散安定化させるために発泡剤と整泡剤とを添加することで発泡体が形成される。
【００２０】
本発明で用いるポリオールとしては一般にウレタン工業で使用されるポリエステルポリオール又はポリエーテルポリオール等のいずれでもよく、特に限定されない。
前記のポリエステルポリオールとしては、例えば、公知の脂肪族ポリエステルポリオールを用いることができる。酸成分として、例えば、アジピン酸、コハク酸、アゼライン酸、セバチン酸、ドデカン二酸等が挙げられ、グリコール成分としてエチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ブチレングリコール、１，６−ヘキサングリコール、２−メチル−１，３−プロパンジオール、１−メチル−１，３−プロパンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、２−メチル−１，６−ヘキサンジオール、３−メチル−１，６−ヘキサンジオール、１−メチル−１，６−ヘキサンジオール、４−メチル−１，７−ヘプタンジオール、４−メチル−１，９−ノナンジオール、２−メチル−１，９−ノナンジオール、３−メチル−１，９−ノナンジオール、３，３’−ジメチロールヘプタン、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、ブチルエチルペンタンジオール、ポリオール成分として、例えば、グリセリン、トリメチロールプロパン、ポリオキシプロピレントリオール、ペンタエリスリトール等を挙げることができる。その他、ポリカプロラクトン、ポリ（β−メチル−γ−バレロラクトン）、ポリバレロラクトン等のラクトン類を開環重合して得られる脂肪族ポリエステルポリオール等も挙げられる。脂肪族ポリエステルポリオールの分子量は低分子量から高分子量まで使用可能であるが、好ましくは分子量が１，０００〜５，０００で２官能以上の脂肪族ポリエステルポリオール、更に好ましくは分子量１，５００〜３，５００の２官能以上の脂肪族ポリエステルポリオールを用いる。
【００２１】
前記のポリエーテルポリオールとしては、公知のポリエーテルポリオールを用いることができる。例えば、水、プロピレングリコール、エチレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン等の低分子量ポリオールを開始剤として用いて、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、ブチレンオキシド、テトラヒドロフラン等のオキシラン化合物を重合させることにより得られるポリエーテルポリオール、具体的にはポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリテトラメチレングリコール等の官能基数が２以上のものを用いることができる。ポリエーテルポリオールの分子量は低分子量から高分子量まで使用可能であるが、好ましくは分子量が１，０００〜５，０００で２官能以上のポリエーテルポリオール、更に好ましくは分子量が１，５００〜４，０００の２官能以上のポリエーテルポリオールを用いる。
【００２２】
本発明で用いるポリイソシアネートとしては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート、芳香脂肪族ポリイソシアネート、又は脂環族ポリイソシアネート等が挙げられる。
【００２３】
芳香族ポリイソシアネートとしては、例えば、１，３−フェニレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルジイソシアネート、１，４−フェニレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、４，４’−トルイジンジイソシアネート、２，４，６−トリイソシアネートトルエン、１，３，５−トリイソシアネートベンゼン、ジアニシジンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルエーテルジイソシアネート、又は４，４’，４”−トリフェニルメタントリイソシアネート等を挙げることができる。
【００２４】
脂肪族ポリイソシアネートとしては、例えば、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、１，２−プロピレンジイソシアネート、２，３−ブチレンジイソシアネート、１，３−ブチレンジイソシアネート、ドデカメチレンジイソシアネート、２，４，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リシンジイソシアネート、又はリシントリイソシアネート等を挙げることができる。
【００２５】
芳香脂肪族ポリイソシアネートとしては、例えば、ω，ω’−ジイソシアネート−１，３−ジメチルベンゼン、ω，ω’−ジイソシアネート−１，４−ジメチルベンゼン、ω，ω’−ジイソシアネート−１，４−ジエチルベンゼン、１，４−テトラメチルキシリレンジイソシアネート、又は１，３−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等を挙げることができる。
【００２６】
脂環族ポリイソシアネートとしては、例えば、３−イソシアネートメチル−３，５，５−トリメチルシクロヘキシルイソシアネート、１，３−シクロペンタンジイソシアネート、１，３−シクロヘキサンジイソシアネート、１，４−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−２，４−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−２，６−シクロヘキサンジイソシアネート、４，４’−メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、１，４−ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン、又は１，４−ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン等を挙げることができる。また、一部に、上記ポリイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体、水と反応したビュウレット体、イソシアヌレート環を有する３量体等も併用することができる。前述の多価アルコールポリエーテル付加物とジイソシアネートの反応物もポリイソシアネートとして使用することができる。
【００２７】
本発明で用いる発泡剤としては、水、塩化メチレン、窒素、空気、又はフロン等を挙げることができる。
【００２８】
前記の整泡剤としては、各種のシリコーンオイルを用いることができるが、ブリードアウトするようなオイル状物は被研磨体の汚染に繋がるので、上記ポリオール、ポリイソシアネート及び発泡剤等と反応する反応基を有する整泡剤が好ましい。このような反応基としては、ＯＨ基、Ｎ（Ｒ）Ｈ基（ここで、Ｒは炭素原子数１〜４のアルキル基である）、ＮＨ2基、ＳＨ基、ＣＯＯＨ基、Ｓｉ−ＯＣＨ3基（メトキシ基）などがある。代表的なシリコーン整泡剤は、下記一般式（Ｉ）で表されるポリジメチルシロキサン−ポリアルキレンエーテルブロック共重合体である。
【００２９】
【化１】
【００３０】
前記一般式（Ｉ）中で、ｍ、ｎ、及びｐは１以上の整数であり、Ｒ1及びＢは２価の有機基であり、Ｒ2は水素原子又は炭素原子数１〜４のアルキル基であり、Ａは反応性基、例えば、ＯＨ基、Ｎ（Ｒ）Ｈ基（ここで、Ｒは炭素原子数１〜４のアルキル基である）、ＮＨ2基、ＳＨ基、ＣＯＯＨ基、又はＳｉ−ＯＣＨ3基（メトキシ基）である。反応型シリコーン整泡剤を用いることで本発明による粘着シートの発泡体層の通気性が低くなり、その結果、通常の添加型（非反応型）シリコーン整泡剤を使用する場合と比べて吸水性が大幅に低くなり、安定的な研磨が可能となる。また、その他の助剤としては、ポリウレタン製造時に使用する慣用の助剤を用いることができる。
【００３１】
上記のポリオール、ポリイソシアネート、発泡剤及び反応型シリコーン整泡剤、並びにその他の助剤を使用して、ポリウレタン発泡体を製造する方法としては、通常行なわれている水発泡方法、揮発性溶剤による発泡方法や、空気などを泡立てる方法などのいずれの方法を用いることができるが、マイクロセルとすることで、熱伝導率が下がるため、前者の２つの方法は、後者の気体泡立て方法よりもキュア−時間が短くなるので好ましい。得られるマイクロセルウレタンのセル径の調整方法としては、例えば、シリコーン整泡剤や触媒量の添加部数を増やしたり、あるいはポリオ−ルの官能基を２官能より３官能とし架橋剤の官能基数を多くしたり、発泡時の圧力を高くする等の手段によりセル径を細かくすることができる。
【００３２】
アミン触媒よりスズ触媒の方を多くすることでもセル径を細かくすることができるが、本発明においては好ましくない。ただし、被研磨物内に含有される金属や研磨のために用いる活性剤に代表される添加剤もしくは酸、塩基を含有する水溶液、又は、潤滑油に含まれる金属は含有していても差し支えない場合がある。
【００３３】
ポリウレタン発泡体は、従来公知の一般的な方法でシート状に成形することができる。例えば、特開昭５１−６７３９６号公報、特開昭５３−６３６５号公報には、押し出しダイから工程フィルム上に、反応することによってポリウレタンを形成し得る未発泡の組成物を展開し、発泡させつつオーブン内を通過させて硬化させる方法が提案されている。
工程フィルムに剥離処理を施した場合には、シート形成後に工程フィルムを剥離してウレタンのみの発泡体シートを得ることができる。また、工程フィルムに剥離処理を施さない場合には、ポリウレタンの発泡、硬化の過程で、ポリウレタンと工程フィルムとが強固に結合するので、この工程フィルムを後述する補強シート（３）として利用することができ、発泡体シート（１）と補強シート（３）との間には格別接着剤層もしくは粘着剤層（６）を設けなくても両シートを積層することができる。
また、剥離処理してなる工程フィルムを使用する場合、１枚の工程フィルムの剥離処理面に、上記組成物を展開して発泡、硬化させたり、２枚の工程フィルムの剥離処理面間に上記組成物を挟み込んでから発泡、硬化させたりする方法があるが、後者の方が好ましい。即ち２枚の工程フィルムを用いてポリウレタン発泡体シートを形成し、両工程フィルムを剥がすと、シート両面に滑らかなスキン層を有する発泡体シートが形成される。このスキン層は、接着剤層もしくは粘着剤層（６）を積層した場合、層間の密着性向上に効果を奏し、さらに厚み精度が制御し易いため、２枚の工程フィルムを用いることが好ましい。
【００３４】
ウレタン発泡体シートの成形に使用する工程フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の平滑性と１００℃程度の熱を数分間かけても溶融切断しないような耐熱性とを有するフィルムが用いられる。
【００３５】
上記した発泡体シート（１）の破断強度は一般に比較的小さいので（例えば、５ＭＰａ以下）、破断強度が４０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下の補強シート（３）を、発泡体シート（１）と一方の粘着剤層（２’）との間に設けることによって、両面粘着シートの強度を大きくすることができる。両面粘着シートの破断強度を大きくできると、例えば研磨後、研磨布ごと両面粘着シートを研磨装置から剥がしたり、又は研磨後、両面粘着シートから研磨布を剥がす際に、両面粘着シートを破損することなく剥がし易くなる。
補強シート（３）は、種々のプラスチックシートであることが好ましく、厚さバラツキ精度の観点から好ましくはポリエチレンテレフタレートがより好ましい。
厚さは１２〜２５０μｍであることが好ましく、さらに２５〜１００μｍであることがより好ましい。
また、補強シート（３）の金属イオン含有率は、発泡体シート（１）等の場合と同様の理由で、５０００ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
【００３６】
尚、補強シート（３）を有する場合、図１〜６に示すように、両面粘着シートの積層断面構成は非対称となるが、少なくとも一方の面の２５％圧縮硬さが０．１〜１．３ＭＰａの範囲にあれば良く、補強シート（３）から遠い方の粘着剤層（２）面の２５％圧縮硬さが上記範囲にあることがより好ましい。
【００３７】
次に本発明における水蒸気透過率について説明する。
本発明における水蒸気透過率は、軟質ウレタン発泡体シート（１）を含む両面粘着シートの片面から他方面へ水分が透過する速度であり、この水蒸気透過率値が大きいと水分を多量に透過させ、水蒸気透過率値が小さいと水分をあまり透過しない。
本発明の両面粘着シートは、軟質ウレタン発泡体シート（１）の両面に粘着剤層（２）（２’）を設けたものであるが、水蒸気透過率値は軟質ウレタン発泡体シート（１）に依存している。軟質ウレタン発泡体シート（１）はある程度低い水蒸気透過率値を示すが、粘着剤層は水蒸気の透過を阻害するものではなく、測定できないくらい水蒸気透過率値が極めて高い。つまり、水蒸気の透過性という観点からはその値の低い部分（本発明においては軟質ウレタン発泡体シート（１））に大きく依存することは技術常識である。故に軟質ウレタン発泡体シート（１）の水蒸気透過率が、ほぼ両面粘着シートの水蒸気透過率である。
本発明における水蒸気透過率は、一般にカップ法といわれるＪＩＳ Ｚ ０２０８に準拠し、４０℃、９０％ＲＨの条件で測定した。
【００３８】
水蒸気透過率は、０であることが最も望ましく、大きくとも１０００ｇ／ｍ2・２４ｈである。即ち、水蒸気透過率が１０００ｇ／ｍ2・２４ｈよりも大きいと、研磨の際に使用されるスラリーが両面粘着シート（軟質ウレタン発泡体シート（１））にしみ込んでしまう。その結果、研磨中に両面粘着シート（軟質ウレタン発泡体シート（１））がヘタり、物性が変化してしまい、迅速かつ均一な研磨ができなくなる。
【００３９】
水蒸気透過率が１０００ｇ／ｍ2・２４ｈ以下の軟質ウレタン発泡体シート（１）は、発泡状態と硬化状態を制御することによって得ることができる。
即ち、水蒸気透過率を直に制御する因子は、膜厚と発泡密度及びその硬化度である。
膜厚が厚ければ水蒸気透過率が低くなることは技術常識である。
また、発泡密度も同様であり、発泡密度が低いものは膜厚が厚いことと同じことを意味するので、単位厚み当たりであれば、発泡密度の低い方が水蒸気透過率は低くなる。また、水蒸気透過率の観点からは、泡のうち閉じた泡、つまり独立発泡が好ましい。
さらに、硬化度は高い方が低い水蒸気透過率を示す。つまり、硬化度が高いということは、硬化に伴い架橋ポイントが多く存在することとなり、この架橋ポイントの多さが分子構造上ポリマーネットワークを密にすることとなり、結果として水蒸気透過率を低下させ得る。
【００４０】
次に本発明において用いる粘着剤層（２）、（２’）について説明する。
本発明の両面粘着シートは、研磨布と研磨装置との間に位置し、両者を貼着するために用いられるものである。補強シート（３）がある場合には、図１〜６に示すように、積層断面構成が非対称となる。この場合は、以下の（Ａ）、（Ｂ）等の形態が考えられる。
（Ａ）補強シート（３）から遠い方の粘着剤層（２）に研磨布を貼着し、補強シート（３）に近い方の粘着剤層（２’）を研磨装置に貼着する。即ち、両面粘着シートを研磨布に付着する際に、補強シート３と研磨布の間に発泡体シート１と粘着剤層２を挟むようにして付着する。
（Ｂ）補強シート（３）から遠い方の粘着剤層（２）を研磨装置に貼着し、補強シート（３）に近い方の粘着剤層（２’）に研磨布を貼着する。
即ち、両面粘着シートを研磨装置に付着する際に、補強シート３と研磨装置の間に発泡体シート１と粘着剤層２を挟むようにして付着する。
前記（Ａ）（Ｂ）の形態の内、研磨布積層体を研磨装置から除去する作業の観点からは(Ａ)の形態が好ましい。
(Ａ)、(Ｂ)いずれの形態で使用するかによって、粘着剤層（２）、（２’）は適宜選択することができる。
例えば、(Ａ)の形態で使用する場合には、粘着剤層（２）は、研磨布および発泡体シート（１）に貼着し得ることが必要であり、一方粘着剤層（２’）は、補強シート（３）および研磨装置に貼着し得ることが必要である。これらの貼着特性は、発泡体シート（１）の素材や表面状態、補強シート（３）の素材や表面状態等を考慮して選択すればよい。
【００４１】
研磨布表面がスエード調の場合や、研磨布表面に不陸部が多く十分な接着面積を確保し難い場合には、両面粘着シートに研磨布を強固に接着させ難くなる。両面粘着シートに研磨布を強固に接着させる必要があるので、上記のような研磨布を用いる場合には、研磨布を貼着する側の粘着剤層の厚みを２０〜１５０μｍとして粘着力を向上させた両面粘着シートを用いることが好ましい。
また、研磨装置に貼着する側の粘着剤層は、剥がす際に粘着剤が残り難くなるようにするためには薄膜である方が有利であるので、厚みを５〜５０μｍとして再剥離性能を向上させることが好ましい。
また、粘着剤層（２）、（２’）は、貼着時および研磨に使用する時の温度範囲において、ゴム状領域にあることが重要であり、ＪＩＳ Ｚ０２３７に規定する粘着テープ・粘着シート試験方法による１８０度引き剥がしの粘着力が５０ｍＮ／２５ｍｍ以上、室温における落下までの保持時間が６０分以上であることが好ましい。
さらに研磨後に、研磨布を両面粘着シートから、又は研磨布ごと両面粘着シートを研磨装置から剥がす場合には、剥離し易いことが好ましい。即ち、研磨の最中は強固に研磨布や研磨装置に付着し、その後は容易に剥離し得ることが好ましい。
【００４２】
さらに発泡体シート（１）や補強シート（３）の場合と同様に粘着剤層（２）、（２’）の場合も、金属イオンが溶出しないか、又は実質的に金属イオンを含有しないこと、具体的には含有率が多くとも５０００ｐｐｍであることが好ましく、１０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
このような粘着剤層（２）、（２’）の形成に用いられる粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等が挙げられ、中でも金属イオンが混入し難いという点からウレタン系粘着剤、アクリル系粘着剤が好ましく、粘着性能のバランスを確保し易いという点から、アクリル系粘着剤がさらに好ましい。
【００４３】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明してきたが、本発明の両面粘着シートは、所望により粘着剤層もしくは接着剤層（６）を設ける構成としていてもよい。
本発明において用い得る粘着剤層もしくは接着剤層（６）は、発泡体シート（１）と補強シート（３）との間に位置し、両層を相互に固定するための層であり、その厚みは５〜１５０μｍであることが好ましい。
ところで粘着剤は感圧性接着剤とも呼ばれ、広義の概念では接着剤に含まれるものであるが、本発明でいう「接着剤」はいわゆる感圧性接着剤（粘着剤）以外の接着剤という意味である。粘着剤としては（２）、（２’）と同様のものを使用することができ、また接着剤としては水系、溶剤系を問わず、溶媒乾燥による一般タイプからドライラミタイプまで、３００ｍｍ／分による１８０度引き剥がし強度が５０ｍＮ／２５ｍｍ以上のものを使用することができる。
両面粘着シートを研磨布および研磨装置に貼着するためには上記したように粘着剤層（２）、（２’）を用い得るのに対し、発泡体シート（１）と補強シート（３）とを相互に固定するための層としては、粘着剤層の他、接着剤層も用いることができる。発泡体シート（１）と補強シート（３）とは、一旦相互に固定してしまえば剥離するという特別な要求はないので、接着剤層を介して固定することができるのに対し、研磨装置側、研磨布側に位置する層には貼着後剥離するという要求もあるので、接着剤ではなく粘着剤で形成することが重要である。
さらに発泡体シート（１）の場合と同様に粘着剤もしくは接着剤層（６）も、金属イオンを溶出しないことが好ましく、実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。
【００４４】
また、本発明の両面粘着シートは、その粘着剤層面に剥離シートを積層した状態で供することができる。用いられ得る剥離シートには、両面剥離処理してなるもの（４）と片面剥離してなるもの（５）、（５’）とがある。いずれの剥離シートも粘着剤層（２）、（２’）を被覆した後、粘着剤層（２）、（２’）と接する界面において容易に剥離シートを剥離し得ることが必要であり、かつ剥離シート上に粘着剤の残留がないことが要求される。ここでいう容易に剥離することが可能なレベルとは、一般的に１８０度引き剥がし粘着力が１Ｎ／２５ｍｍ未満のものをいう。
剥離シートとして具体的には、ポリエチレンテレフタレートや配向したポリプロピレン等の各種プラスチックフィルム、または紙の上にシリコーン系あるいは非シリコーン系の剥離剤を塗工したものを用いることができる。粘着剤層の厚み精度を確保するために、プラスチックフィルムをベースとした剥離シートを用いることが望ましい。
前記剥離シートは、両面粘着シートと剥離シートの機能が損なわなければどのように配置しても構わない。従って、例えば、図７，８に示されるように、発泡体シート（１）、粘着剤層（２）（２’）からなる両面粘着シートに剥離シートを設ける場合、両面剥離シート（４）もしくは片面剥離シート（５）（５’）を両面粘着シートの片面もしくは両面に配置する構成としてもよい。また、図１〜３に示されるように、発泡体シート（１）、粘着剤層（２）（２’）、補強シート（３）からなる両面粘着シートに剥離シートを設ける場合、両面剥離シート（４）もしくは片面剥離シート（５）（５’）を両面粘着シートの片面もしくは両面に配置する構成としてもよい。さらに、図４〜６に示されるように、発泡体シート（１）、粘着剤層（２）（２’）、補強シート（３）、粘着剤層（２）（２’）、および粘着剤層もしくは接着剤層（６）からなる両面粘着シートに剥離シートを設ける場合、両面剥離シート（４）もしくは片面剥離シート（５）（５’）を両面粘着シートの片面もしくは両面に配置する構成としてもよい。
【００４５】
発泡体シート（１）の両面側に粘着剤層（２）（２’）が設けられてなる本発明の両面粘着シートでのうち、補強シート（３）を有しない両面粘着シートは、例えば以下に示す（イ）〜（ハ）のような方法で得ることができる。
〔方法（イ）〕
発泡体シート（１）の一方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に両面剥離シート（４）を積層する。次いで、前記粘着剤層（２’）が接していない方の発泡体シート（１）の面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面と両面剥離シート（４）の他方の面（粘着剤層（２’）が接していない方の面）とが接するようにロール状に巻き取る。
【００４６】
〔方法（ロ）〕
発泡体シート（１）の両面にそれぞれ粘着剤層（２）、（２’）を同時に形成し、一方の粘着剤層（２’）側に両面剥離シート（４）を積層しつつ、該粘着剤層（２’）が接していない方の両面剥離シート（４）と他の粘着剤層（２）とが接するように巻き取る。
【００４７】
〔方法（ハ）〕
片面剥離シート（５）の剥離処理面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面に発泡体シート（１）を積層し、発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に片面剥離シート（５’）の剥離処理面を積層する。
【００４８】
前記した補強シート（３）を有する両面粘着シートは、例えば以下に示す（ニ）〜（ヘ）のような方法で得ることができる。
〔方法（ニ）〕
補強シート（３）の一方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に両面剥離シート（４）を積層する。次いで、前記粘着剤層（２’）が接していない方の補強シート（３）の面に粘着剤層（６）を形成し、該粘着剤層（６）の他方の面に発泡体シート（１）を積層する。次いで、該発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面と両面剥離シート（４）の他方の面（粘着剤層（２’）が接していない方の面）とが接するようにロール状に巻き取る。
〔方法（ホ）〕
補強シート（３）の一方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に片面剥離シート（５’）の剥離処理面を積層する。次いで、前記粘着剤層（２’）が接していない方の補強シート（３）の面に粘着剤層（６）を形成し、該粘着剤層（６）の他方の面に発泡体シート（１）を積層する。次いで、該発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面に片面剥離シート（５）の剥離処理面を積層する。
〔方法（ヘ）〕
片面剥離シート（５）の剥離処理面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面に発泡体シート（１）を積層し、発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（６）を積層し、次いで該粘着剤層（６）の他方の面に補強シート（３）を積層し、該補強シート（３）の他方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に片面剥
離シート（５’）の剥離処理面を積層する。
【００４９】
剥離シート（４）、（５）、（５’）、発泡体シート（１）もしくは補強シート（３）上に各粘着剤を塗工する方法としては、例えばコンマコーター、ダイコーター、リップコーター、キスコーター、グラビアコーター等を使用して行う。
コンマコーターを用いる場合、粘着剤の粘度は０．１〜１００Ｐａ・ｓ程度が良好である。
【００５０】
以上、両面粘着シートについて説明してきたが、本発明の別の態様として前記の両面粘着シートに研磨布が積層された研磨布積層体が提供される。研磨布としては、特に限定されることなく従来公知の研磨布を用いることができる。好ましくは前記研磨布としては、合成皮革スエード又はベロア、硬質ウレタン発泡体等を用いることができる。
この場合、前記研磨布は両面粘着シートに予め設けるように構成しても使用時に両面粘着シートに設ける構成としても構わない。
【００５１】
また本発明の両面粘着シートは、両面粘着シートとしても、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が０以上１００μｍ以内、水蒸気透過率が０以上１０００ｇ／ｍ2・２４ｈ以下であることが好ましい。
【００５２】
両面粘着シートの１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が１００μｍよりも大きいと、被研磨体を一定の均一な厚みに研磨することが困難となる。つまり、圧力を掛けて研磨する際に厚みの厚い部分と薄い部分で圧力差が生じるからである。このため、研磨精度を必要とする場合は、両面粘着シートの１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差は、８０μｍ以内であることが好ましく、６０μｍ以内であることがより好ましい。
また、両面粘着シートの１ｍ2内の平均厚さは、研磨する際に圧力を掛けたときに所望する２５％圧縮硬さを得ることと、両面粘着シートに対する水平方向の剪断力によって引き起こされるずり変形に抗するため４００μｍ〜２．５ｍｍであることが好ましい。尚、上記ずり変形は研磨特性を劣化させる。
両面粘着シートの厚さの測定は、プローブ直径１０ｍｍ、印加荷重５０ｇ／ｃｍ2において、１μｍ桁表示が可能なデジタル計測器により行われ得る。
【００５３】
両面粘着シートの２５％圧縮硬さは、０．１〜１．３ＭＰａであることが重要であり、０．１５〜０．７ＭＰａであることが好ましい。
ここでいう「両面粘着シートの２５％圧縮硬さ」は、「発泡体シートの２５％圧縮硬さ」と同様、両面粘着シートをＪＩＳ Ｋ ６４００に記載される試験の一般的条件、即ち温度２３℃、相対湿度５０％の環境に２４時間以上静置した後、該両面粘着シートを３０ｍｍ×３０ｍｍに打ち抜き、約１０ｍｍの厚さとなるようにシートを重ね合わせ、同温湿度環境下にて前記重ね合わせたシート全面を５０ｍｍ／分の速度で平行に圧縮し、元の厚みから２５％圧縮させた際の応力をいう。
【００５４】
両面粘着シートの２５％圧縮硬さが、０．１ＭＰａ未満だと両面粘着シートが柔軟になり剪断変形を起こしやすいので、被研磨体全面の表面膜厚を均一に研磨することが難しくなる傾向にある。一方、２５％圧縮硬さが、１．３ＭＰａを越えると両面粘着シートが硬くなる傾向にあるので、被研磨体表面の「凹凸」および「うねり」に追随しないで標高の高い部分を優先的に研磨するので、被研磨体全面の表面膜厚を均一に研磨することが難しくなる傾向にある。
【００５５】
【実施例】
実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが本発明が以下の実施例に限定されないことはいうまでもない。
【００５６】
【作成例１】
分子量３０００のポリオキシプロピレントリオール１００部、１，４−ブタンジオール６部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．５部、シリコーン整泡剤としての末端ＯＨ基の反応型シリコーン整泡剤（ＫＦ６００１；信越化学工業社製）２．５部、発泡剤としての水０．１部、及びイソシアネートとしてのＭＤＩ４０部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃にて１５分間加熱を行い、１ｍ2内の平均厚さが１５０２μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３０μｍ、水蒸気透過率が６３ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率が１２ｐｐｍ、破断強度１．７ＭＰａの軟質ポリウレタン発泡体シート（１−１）を得た。
【００５７】
【作成例２】
実施例１と同様にシリコーン整泡剤としてＮＨ基含有の反応型シリコン整泡剤（ＫＦ８０１０；信越化学工業社製）を２．５部使用し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃にて１５分間加熱を行い、１ｍ2内の平均厚さが１５６８μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が７４μｍ、水蒸気透過率が６１ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率１４ｐｐｍ、破断強度１．７ＭＰａの軟質ポリウレタン発泡体シート（１−２）を得た。
【００５８】
【作成例３】
分子量３０００のポリオキシプロピレントリオール１００部、１，４−ブタンジオール６部、触媒としての錫触媒（ＤＢＴＤＬ）０．２部、シリコーン整泡剤としての非反応型シリコーン（Ｆ−３０４；信越化学工業社製）１．５部、及び発泡剤としての水０．１部と、セル径が大のウレタンの製造のために、窒素量を少なくして、ＭＤＩ４０部とを混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃にて１５分間加熱を行い、１ｍ2内の平均厚さが１６９８μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が２５０μｍ、水蒸気透過率が１９８９ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率１２０００ｐｐｍ、破断強度１．３ＭＰａの軟質ポリウレタン発泡体シート（１−３）を得た。
【００５９】
【実施例１】
粘着性アクリル樹脂を含む粘着剤（東洋インキ製造（株）製、金属イオン含有率１１ｐｐｍ）１００部とイソシアネート誘導体系硬化剤（東洋インキ製造（株）製）３部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液をコンマコーターで乾燥膜厚３０μｍとなるように補強シート（３）となる厚さ７５μｍ、破断強度２３０ＭＰａのポリエチレンテレフタレートフィルム（金属イオン含有率１２ｐｐｍ）全面に塗布し、粘着剤層（２’）を形成しつつ、巻き取り時に両面剥離処理してなるポリエチレンテレフタレート剥離シート（４）を該粘着剤層（２’）に０．３ＭＰａの圧力でラミネートして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート層（３）からなる粘着シート（Ｃ）を得た。
【００６０】
次に、粘着シート（Ｃ）の補強シート（３）側に前記と同様の粘着剤組成物塗液を同様の方法で同様の乾燥膜厚となるように全面塗布し、粘着剤層（６）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（６）に作成例１で製造した軟質ポリウレタン発泡体シート（１−１）を０．３ＭＰａの圧力でラミネートして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート層／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−１）からなる粘着シート（Ｂ）を得た。
【００６１】
最後に、ポリエチレンテレフタレート剥離シートを工程フィルムとして前記と同様の粘着剤組成物塗液を同様の方法で同様の乾燥膜厚となるように全面塗布し、粘着剤層（２）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（２）に前記粘着シート（Ｂ）の発泡体シート（１−１）側を０．３ＭＰａの圧力でラミネートした後、工程フィルムをはがし取り、図４に示すような剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−１）／粘着剤層（２）からなる、１ｍ2内の平均厚さが１６６７μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３２μｍ、破断強度１０ＭＰａの粘着シート（Ａ−１）を得た。
【００６２】
【実施例２】
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、作成例２で製造した軟質ポリウレタン発泡体シート（１−２）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−２）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１７３３μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が７５μｍ、破断強度１０ＭＰａとなる粘着シート（Ａ−２）を得た。
【００６３】
【比較例１】
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、作成例３で製造した軟質ポリウレタン発泡体シート（１−３）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−３）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１８６３μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が２５３μｍ、破断強度９ＭＰａの粘着シート（Ａ−３）を得た。
【００６４】
【比較例２】
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ2内の平均厚さが１２８９μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３１０μｍ、水蒸気透過率が４３７１ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率１８１ｐｐｍ、破断強度３０ＭＰａの不織布含浸型ポリウレタン発泡体シート（１−４）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−４）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１４５４μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が１３２μｍ、破断強度２８ＭＰａの粘着シート（Ａ−４）を得た。
【００６５】
【実施例３】
粘着性アクリル樹脂を含む粘着剤（東洋インキ製造（株）製、金属イオン含有率１１ｐｐｍ）１００部とイソシアネート誘導体系硬化剤（東洋インキ製造（株）製）３部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液を、コンマコーターで乾燥膜厚３０μｍとなるように、両面剥離処理してなるポリエチレンテレフタレート剥離シート（４）全面に塗布し、粘着剤層（２’）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（２’）に作成例１で製造した軟質ポリウレタン発泡体シート（１−１）を０．３ＭＰａの圧力でラミネートして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−１）からなる粘着シート（Ｄ）を得た。
【００６６】
次に、ポリエチレンテレフタレート剥離シートを工程フィルムとして前記と同様の粘着剤組成物塗液を同様の方法で同様の乾燥膜厚となるように全面塗布し、粘着剤層（２）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（２）に前記粘着シート（Ｄ）の発泡体シート（１−１）側を０．３ＭＰａの圧力でラミネートした後、工程フィルムをはがし取り、図７に示すような剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−１）／粘着剤層（２）からなる、１ｍ2内の平均厚さが１５６５μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３３μｍ、破断強度１．６ＭＰａの粘着シート（Ｅ−１）を得た。
【００６７】
【実施例４】
実施例３で用いた軟質発泡体シート（１−１）の代わりに、作成例２で製造した軟質ウレタン樹脂発泡体シート（１−２）を用いた以外は実施例３と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−６）／粘着剤層（２）からなる、図７に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１６２９μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が７５μｍ、破断強度１．６ＭＰａとなる粘着シート（Ｅ−２）を得た。
【００６８】
【比較例３】
実施例３で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、作成例３で製造したウレタン樹脂発泡体シート（１−３）を用いた以外は実施例２と同様にして剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−３）／粘着剤層（２）からなる、図７に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１８６３μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が２５２μｍ、破断強度１．６ＭＰａの粘着シート（Ｅ−３）を得た。
【００６９】
【比較例４】
実施例３で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ2内の平均厚さが１２８９μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３１０μｍ、水蒸気透過率が４３７１ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率１８１ｐｐｍ、破断強度３０ＭＰａの不織布含浸型ポリウレタン発泡体シート（１−４）を用いた以外は実施例２と同様にして剥離シート（３）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−４）／粘着剤層（２）からなる、図７に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１３４９μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が１８９μｍ、破断強度２８ＭＰａの粘着シート（Ｅ−４）を得た。
【００７０】
［研磨試験］
実施例および比較例で得られた粘着シート（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の粘着剤層（２）側にＪＩＳ Ｒ６２５３に規定する１０００番の耐水研摩紙を貼りあわせ、粘着剤層（２’）側を、テスター産業社製研磨装置の定盤側に貼着した。
他方、前記研磨装置に、下記凸状被研磨試料の凸状面が前記耐水研磨紙と並行な位置に対向するように凸状被研磨試料を装着し、前記耐水研磨紙と下記凸状被研磨試料とを接触せしめ、荷重２００ｇｒ／ｃｍ2の圧力が掛かるようにし、２０ｍｌ／分の流量で純水を供給しながら、２０ｍ／分の速度で、１０分間研磨作業を行った。この研磨作業を１００回（都合約２０時間）行った。
【００７１】
＜被研磨試料＞
６０ｍｍ×３００ｍｍ、平均厚さ２．０２ｍｍのステンレス板（ＳＵＳ３０４）に、０．０３０ｍｍ厚さの粘着剤層を介して、６０ｍｍ×３００ｍｍ、平均厚さ０．１３０ｍｍ、一方の面の６０度反射光沢度が１４．７のポリカーボネートのシート（ａ）の他の面を積層し、該ポリカーボネートのシート（ａ）のほぼ中央に、０．０３０ｍｍ厚さの粘着剤層を介して、１５ｍｍ×２５０ｍｍ、平均厚さ０．１３０ｍｍ、一方の面の６０度反射光沢度が１４．７であるポリカーボネートのシート（ｂ）の他の面を積層し、低部が（ａ）、高部が（ｂ）からなる凸状の被研磨試料とした。
【００７２】
＜評価方法＞
被研磨試料のポリカーボネートシート（ａ）および（ｂ）の平均厚さ、および６０度反射光沢度を研磨の前後でそれぞれ測定し、（ｂ）の平均厚さ減量（ｂ１）／（ａ）の平均厚さ減量（ａ１）、および（ｂ）の６０度反射光沢度（ｂ２）／（ａ）の６０度反射光沢度（ａ２）を求め、（ｂ１）／（ａ１）、（ｂ２）／（ａ２）の値から以下のように評価した。
両面粘着シートの最大最小厚みの差が１００μｍより大きいと、ポリカーボネートシートに均一に圧力が伝わらず、均一な研磨が進行しない。さらに、水蒸気透過率が１０００ｇ／ｍ2・２４ｈを超えると、経時により膨潤変形が進行し、シート厚さバラツキを発生させ、均一な研磨が進行しない。
【００７３】
【表１】
【００７４】
【発明の効果】
本発明の両面粘着シートを用いて研磨布を研磨装置に貼着し、被研磨体を研磨することによって、被研磨体の「凹凸」と「うねり」とを一連の工程で又は同時に、かつ短時間で消去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合）
【図２】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合）
【図３】本発明の両面粘着シートに片面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合）
【図４】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合であって、該補強シート（３）と発泡体シート（１）との間に粘着剤層又は接着剤層（６）があるもの）
【図５】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合であって、該補強シート（３）と発泡体シート（１）との間に粘着剤層又は接着剤層（６）があるもの）
【図６】本発明の両面粘着シートに片面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合であって、該補強シート（３）と発泡体シート（１）との間に粘着剤層又は接着剤層（６）があるもの）
【図７】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シートのない場合）
【図８】本発明の両面粘着シートに片面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シートのない場合）
【図９】被研磨体の断面図
【符号の説明】
（１）…………発泡体シート
（２）（２’）…粘着剤層
（３）…………補強シート
（４）…………両面剥離シート
（５）（５’）…片面剥離シート
（６）…………粘着剤層又は接着剤層
【発明の属する技術分野】
本発明は、両面粘着シートおよび研磨布積層体に関し、詳しくは研磨布を研磨装置に貼着するために使用される両面粘着シートおよび研磨布積層体に関し、さらに詳しくは半導体装置の層間絶縁膜の平坦化や金属配線の形成工程に適応される研磨布の固定かつ緩衝材として使用される両面粘着シートおよび研磨布と両面粘着シートとの積層体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体デバイスの回路パターンを半導体ウェーハ上に反映させるため、フォトレジスト樹脂を半導体ウェーハに塗布し、フォトマスクを用いて該レジスト樹脂を焼き付け、エッチング処理工程を経て回路パターンを形成させる方法が主流となってきている。また、デバイスの高速化、低容積化を図るための集積化技術が進歩し、これにつれて回路配線パターンも０．１８μｍもしくは０．１３μｍ以下の微細なパターンを安定して描画できることが望まれてきている。
【０００３】
ところが、半導体ウェーハ全面には“うねり”と称される緩やかな厚さバラツキつまり標高差が存在し、２〜４μｍ以上になる場合もある。このうねりは少ないことが望ましいが、工業レベルでは生産性とコストとの兼ね合いで、うねりの解消は満足できるものではないことが現状である。また、回路パターンの都合上、局所的に１μｍ以下程度であるが厚さが異なる段差を生じる可能性がある。これらのうねりや段差部分が存在するとフォトマスクによる回路パターン形成時に焦点ボケやにじみを生じて、回路パターンが正確に反映されず、半導体デバイス回路の断線や短絡等の信頼性を著しく劣らせてしまう。
【０００４】
この問題の解決策として化学機械研磨法（Chemical Mechanical polishing ＣＭＰ）が提案されている。ＣＭＰ技術では、膜厚分布を一定に保ち、膜表面の微小な凹凸を除去するために、下層は半導体ウェーハ自体のそりやうねりによる研磨代の不均一性を解消するためにゴム弾性体とし、表層は半導体デバイス工程で生じた表面の凹凸を除去して平坦化するために硬質クロスとした二層構成の研磨布が提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。
【非特許文献１】
渡邊純二他、表面基準ポリシングにおけるパッド構成、精密工学会春季学術講演会論文集，１９９７年，Ｐ．１８３
【０００５】
提案されているような二層構成の研磨パッドに使用されている下層のゴム弾性体には一般的に、ポリウレタン含浸不織布が使用されている。
しかし、当該材料は、通気性があるため、研磨に用いられるスラリー水分を吸収・膨潤し、部分的もしくは全体的にヘタリが生じたり、ゴム弾性が変化したりする。（以下、まとめて膨潤変形ともいう）。研磨中に膨潤変形が進行すると、均一研磨、精密研磨の要求には応えられない。
そこで、研磨前に予め研磨スラリーに二層構成の研磨パッドを長時間浸漬し、ポリウレタン含浸不織布にスラリー水分を十分吸収させて、研磨中に膨潤変形が生じないようにしておく等のわずらわしさがあった。
【０００６】
この膨潤変形の解決策として、表層硬質材料と下層ポリウレタン含浸不織布との間に防水性材料層を施すことを提案しているが、研磨布積層体の側面からのスラリー侵入は防ぐことができず、不完全なものであった（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】
特開平１１−１５６７０１号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、うねりを持った半導体ウェーハや回路形成過程で局所の段差が生じたウェーハでも、そのうねりや段差に沿ってウェーハ全面を均一に高低差を緩和するように研磨できる研磨布固定粘着テープに関する。
より具体的には、本発明は研磨前に長時間研磨パッド（研磨布積層体）を研磨スラリーに浸漬する必要もなく、研磨中に研磨スラリーによる膨潤変形を生じることのない研磨パッド（研磨布積層体）を形成し得る研磨布固定粘着テープに関する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意研究した結果、官能基を有するシリコーンを整泡剤に用いることで水蒸気透過率を低くし、かつ、厚さバラツキが小さい（軟質ウレタン）発泡体シートの両面に粘着剤を積層し、これを研磨布研磨面の反対側に配置することで、研磨前に特別な浸漬処理を経ることなく研磨に供しても、うねりを持った半導体ウェーハでも、そのうねりに沿ってウェーハ表面の凹凸を均一に研磨できることを見出し、本発明に至った。
【０００９】
即ち、本発明は以下の記載事項に関する。
＜１＞ 軟質ウレタン発泡体シートと、第１及び第２の粘着剤層とを備える両面粘着シートであって、前記軟質ウレタン発泡体シートは、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が０μｍ以上１００μｍ以内であり、水蒸気透過率が０ｇ／ｍ2・２４ｈ以上１０００ｇ／ｍ2・２４ｈ以下である両面粘着シート。
＜２＞ （１）前記発泡体シート中の金属イオン含有率、並びに（２）前記第１及び第２粘着剤層中の総金属イオン含有率の少なくともいずれか一方が０．１ｐｐｍ以上５０００ｐｐｍ以下である前記＜１＞に記載の両面粘着シート。
＜３＞ さらに補強シートを有する両面接着シートであって、
前記補強シートは破断強度が４０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であり、前記第１及び第２の粘着剤層のいずれか一方と発泡体シートとの間に設けられている前記＜１＞又は＜２＞に記載の両面粘着シートに関する。
＜４＞ 前記補強シート中の金属イオン含有率が、０．１ｐｐｍ以上５０００ｐｐｍ以下である前記＜３＞に記載の両面粘着シートに関する。
＜５＞ 前記＜１＞から＜４＞のいずれかに記載の両面粘着シートと研磨布とが積層されてなる研磨布積層体。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の詳細についていくつかの好ましい実施の形態を挙げて説明する。但し、本発明が以下の実施の形態に限定されないことはいうまでもない。
第１の実施の形態としての本発明の両面粘着シートは、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が０以上１００μｍ以内、水蒸気透過率が０以上１０００ｇ／ｍ2・２４ｈ以下である軟質ウレタン発泡体シート（１）の両面側に粘着剤層（２）、（２’）が設けられてなる両面粘着シートである。ここで、両面粘着シートとは、両面粘着テープ、両面粘着フィルムとも呼ばれるものである。
また、破断強度が４０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下の補強シート（３）を、発泡体シート（１）と一方の粘着剤層（２’）との間に設ける構成としてもよい。
【００１１】
用いられる発泡体シート（１）は、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が０以上１００μｍ以内である。発泡体シート（１）の１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差は、０が最も望ましいが現実的には許容範囲があり、１００μｍよりも大きいと、被研磨体を一定の均一な厚みに研磨することが難しくなりやすい。つまり、圧力を掛けて研磨する際に厚みの厚い部分と薄い部分で圧力差が生じるからである。このため、研磨精度を必要とする場合は、発泡体シート（１）の１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差は、０以上１００μｍ以内であるものが好ましく、８０μｍ以内であるものがより好ましく、６０μｍ以内であるものがさらに好ましい。
【００１２】
また、発泡体シート（１）の１ｍ2内の平均厚さは、研磨する際に圧力を掛けたときに研磨特性を劣化させる両面粘着シートに対する水平方向の剪断力によって引き起こされるずり変形に抗するため１５０μｍ〜２．４ｍｍ以内であることが好ましい。
発泡体シートの厚さの測定は、プローブ直径１０ｍｍ、印加荷重５０ｇ／ｃｍ2において、１μｍ桁表示が可能なデジタル計測器により行われ得る。
【００１３】
また、発泡体シート（１）は、２５％圧縮硬さが０．１〜１．０ＭＰａであることが好ましく、０．２〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。
本発明でいう「発泡体シートの２５％圧縮硬さ」とは、発泡体シートをＪＩＳＫ ６４００に記載される試験の一般的条件、即ち温度２３℃、相対湿度５０％の環境に２４時間以上静置した後、該発泡体シートを３０ｍｍ×３０ｍｍに打ち抜き、約１０ｍｍの厚さとなるようにシートを重ね合わせ、同温湿度環境下にて前記重ね合わせたシート全面を５０ｍｍ／分の速度で平行に圧縮し、元の厚みから２５％圧縮させた際の応力をいう。
発泡体シート（１）の２５％圧縮硬さが、０．１ＭＰａ未満だと両面粘着シートが柔軟になり剪断変形を起こしやすいので、被研磨体全面の表面膜厚を均一に研磨することが難しくなる傾向にある。一方、発泡体シート（１）の２５％圧縮硬さが、１．０ＭＰａを越えると両面粘着シートが硬くなる傾向にあるので、被研磨体表面の「凹凸」および「うねり」に追随しないで標高の高い部分を優先的に研磨するので、被研磨体全面の表面膜厚を均一に研磨することが難しくなる傾向にある。
【００１４】
また、研磨工程中に両面粘着シートから金属イオンが溶出すると、被研磨体の研磨表面を汚染して、金属や半導体の固有の電気特性を変化させたり、配線回路形成を阻害したりするので、本発明の両面粘着シートから金属イオンが溶出しないか、又は本発明の両面粘着シートが、実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。
つまり、両面粘着シートを構成する発泡体シート（１）や後述する粘着剤層（２）（２’）から金属イオンが溶出しないか、又は発泡体シート（１）や粘着剤層（２）（２’）が、実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。
【００１５】
本発明でいう「金属イオン」とは、リチウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、ニッケル、銅、亜鉛、タングステンの１３種の金属のイオンである。上記金属イオンの総量は、試料（両面粘着シートや発泡体シート（１））を硝酸と硫酸による酸分解法によって分解した後、高周波誘導結合プラズマ発光分析装置にて検出できる。
【００１６】
両面粘着シートに含まれる上記金属イオンの総量は、１５０００ｐｐｍ以下であることが好ましく、３０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
また、発泡体シート（１）に含まれる上記金属イオンの総量は５０００ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
ここで、発泡体シート（１）に含まれる金属イオン量の下限値は、低いことが好ましく０ｐｐｍであることが最も好ましいが、通常０．１ｐｐｍ程度である。尚、後に説明する粘着剤層や補強シートについても同様である。
【００１７】
また、両面粘着シートに含まれる金属イオンの総量が前記総量であれば特に制限されることはないが、以下の（１）〜（３）のいずれか１つの態様であることが好ましい。
（１）前記発泡体シート中の金属イオン含有率が５０００ｐｐｍ以下、
（２）前記第１及び第２粘着剤層中の総金属イオン含有率が５０００ｐｐｍ以下、並びに
（３）前記発泡体シート中の金属イオン含有率が５０００ｐｐｍ以下、かつ前記第１及び第２粘着剤層中の総金属イオン含有率が５０００ｐｐｍ以下である。
なかでも前記（３）が好ましく、（３ａ）前記発泡体シート中の金属イオン含有率が５００ｐｐｍ以下、かつ前記第１及び第２粘着剤層中の総金属イオン含有率が５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
【００１８】
本発明において使用される発泡体シート（１）としては、ポリウレタン、ポリエチレン、シリコーンゴム等が挙げられ、これらは種々の方法で得ることができる。これらの中でも目的とする硬さ、厚み精度が得やすいので、ポリウレタンが好ましい。
【００１９】
本発明において使用される発泡体シート（１）のうち、ポリウレタン発泡体シートについて説明する。ポリウレタン発泡体はポリオールとポリイソシアネートとの反応によりウレタン骨格が形成され、その反応生成物内の泡を均一に分散安定化させるために発泡剤と整泡剤とを添加することで発泡体が形成される。
【００２０】
本発明で用いるポリオールとしては一般にウレタン工業で使用されるポリエステルポリオール又はポリエーテルポリオール等のいずれでもよく、特に限定されない。
前記のポリエステルポリオールとしては、例えば、公知の脂肪族ポリエステルポリオールを用いることができる。酸成分として、例えば、アジピン酸、コハク酸、アゼライン酸、セバチン酸、ドデカン二酸等が挙げられ、グリコール成分としてエチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ブチレングリコール、１，６−ヘキサングリコール、２−メチル−１，３−プロパンジオール、１−メチル−１，３−プロパンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、２−メチル−１，６−ヘキサンジオール、３−メチル−１，６−ヘキサンジオール、１−メチル−１，６−ヘキサンジオール、４−メチル−１，７−ヘプタンジオール、４−メチル−１，９−ノナンジオール、２−メチル−１，９−ノナンジオール、３−メチル−１，９−ノナンジオール、３，３’−ジメチロールヘプタン、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、ブチルエチルペンタンジオール、ポリオール成分として、例えば、グリセリン、トリメチロールプロパン、ポリオキシプロピレントリオール、ペンタエリスリトール等を挙げることができる。その他、ポリカプロラクトン、ポリ（β−メチル−γ−バレロラクトン）、ポリバレロラクトン等のラクトン類を開環重合して得られる脂肪族ポリエステルポリオール等も挙げられる。脂肪族ポリエステルポリオールの分子量は低分子量から高分子量まで使用可能であるが、好ましくは分子量が１，０００〜５，０００で２官能以上の脂肪族ポリエステルポリオール、更に好ましくは分子量１，５００〜３，５００の２官能以上の脂肪族ポリエステルポリオールを用いる。
【００２１】
前記のポリエーテルポリオールとしては、公知のポリエーテルポリオールを用いることができる。例えば、水、プロピレングリコール、エチレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン等の低分子量ポリオールを開始剤として用いて、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、ブチレンオキシド、テトラヒドロフラン等のオキシラン化合物を重合させることにより得られるポリエーテルポリオール、具体的にはポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリテトラメチレングリコール等の官能基数が２以上のものを用いることができる。ポリエーテルポリオールの分子量は低分子量から高分子量まで使用可能であるが、好ましくは分子量が１，０００〜５，０００で２官能以上のポリエーテルポリオール、更に好ましくは分子量が１，５００〜４，０００の２官能以上のポリエーテルポリオールを用いる。
【００２２】
本発明で用いるポリイソシアネートとしては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート、芳香脂肪族ポリイソシアネート、又は脂環族ポリイソシアネート等が挙げられる。
【００２３】
芳香族ポリイソシアネートとしては、例えば、１，３−フェニレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルジイソシアネート、１，４−フェニレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、４，４’−トルイジンジイソシアネート、２，４，６−トリイソシアネートトルエン、１，３，５−トリイソシアネートベンゼン、ジアニシジンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルエーテルジイソシアネート、又は４，４’，４”−トリフェニルメタントリイソシアネート等を挙げることができる。
【００２４】
脂肪族ポリイソシアネートとしては、例えば、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、１，２−プロピレンジイソシアネート、２，３−ブチレンジイソシアネート、１，３−ブチレンジイソシアネート、ドデカメチレンジイソシアネート、２，４，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リシンジイソシアネート、又はリシントリイソシアネート等を挙げることができる。
【００２５】
芳香脂肪族ポリイソシアネートとしては、例えば、ω，ω’−ジイソシアネート−１，３−ジメチルベンゼン、ω，ω’−ジイソシアネート−１，４−ジメチルベンゼン、ω，ω’−ジイソシアネート−１，４−ジエチルベンゼン、１，４−テトラメチルキシリレンジイソシアネート、又は１，３−テトラメチルキシリレンジイソシアネート等を挙げることができる。
【００２６】
脂環族ポリイソシアネートとしては、例えば、３−イソシアネートメチル−３，５，５−トリメチルシクロヘキシルイソシアネート、１，３−シクロペンタンジイソシアネート、１，３−シクロヘキサンジイソシアネート、１，４−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−２，４−シクロヘキサンジイソシアネート、メチル−２，６−シクロヘキサンジイソシアネート、４，４’−メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、１，４−ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン、又は１，４−ビス（イソシアネートメチル）シクロヘキサン等を挙げることができる。また、一部に、上記ポリイソシアネートのトリメチロールプロパンアダクト体、水と反応したビュウレット体、イソシアヌレート環を有する３量体等も併用することができる。前述の多価アルコールポリエーテル付加物とジイソシアネートの反応物もポリイソシアネートとして使用することができる。
【００２７】
本発明で用いる発泡剤としては、水、塩化メチレン、窒素、空気、又はフロン等を挙げることができる。
【００２８】
前記の整泡剤としては、各種のシリコーンオイルを用いることができるが、ブリードアウトするようなオイル状物は被研磨体の汚染に繋がるので、上記ポリオール、ポリイソシアネート及び発泡剤等と反応する反応基を有する整泡剤が好ましい。このような反応基としては、ＯＨ基、Ｎ（Ｒ）Ｈ基（ここで、Ｒは炭素原子数１〜４のアルキル基である）、ＮＨ2基、ＳＨ基、ＣＯＯＨ基、Ｓｉ−ＯＣＨ3基（メトキシ基）などがある。代表的なシリコーン整泡剤は、下記一般式（Ｉ）で表されるポリジメチルシロキサン−ポリアルキレンエーテルブロック共重合体である。
【００２９】
【化１】
前記一般式（Ｉ）中で、ｍ、ｎ、及びｐは１以上の整数であり、Ｒ1及びＢは２価の有機基であり、Ｒ2は水素原子又は炭素原子数１〜４のアルキル基であり、Ａは反応性基、例えば、ＯＨ基、Ｎ（Ｒ）Ｈ基（ここで、Ｒは炭素原子数１〜４のアルキル基である）、ＮＨ2基、ＳＨ基、ＣＯＯＨ基、又はＳｉ−ＯＣＨ3基（メトキシ基）である。反応型シリコーン整泡剤を用いることで本発明による粘着シートの発泡体層の通気性が低くなり、その結果、通常の添加型（非反応型）シリコーン整泡剤を使用する場合と比べて吸水性が大幅に低くなり、安定的な研磨が可能となる。また、その他の助剤としては、ポリウレタン製造時に使用する慣用の助剤を用いることができる。
【００３１】
上記のポリオール、ポリイソシアネート、発泡剤及び反応型シリコーン整泡剤、並びにその他の助剤を使用して、ポリウレタン発泡体を製造する方法としては、通常行なわれている水発泡方法、揮発性溶剤による発泡方法や、空気などを泡立てる方法などのいずれの方法を用いることができるが、マイクロセルとすることで、熱伝導率が下がるため、前者の２つの方法は、後者の気体泡立て方法よりもキュア−時間が短くなるので好ましい。得られるマイクロセルウレタンのセル径の調整方法としては、例えば、シリコーン整泡剤や触媒量の添加部数を増やしたり、あるいはポリオ−ルの官能基を２官能より３官能とし架橋剤の官能基数を多くしたり、発泡時の圧力を高くする等の手段によりセル径を細かくすることができる。
【００３２】
アミン触媒よりスズ触媒の方を多くすることでもセル径を細かくすることができるが、本発明においては好ましくない。ただし、被研磨物内に含有される金属や研磨のために用いる活性剤に代表される添加剤もしくは酸、塩基を含有する水溶液、又は、潤滑油に含まれる金属は含有していても差し支えない場合がある。
【００３３】
ポリウレタン発泡体は、従来公知の一般的な方法でシート状に成形することができる。例えば、特開昭５１−６７３９６号公報、特開昭５３−６３６５号公報には、押し出しダイから工程フィルム上に、反応することによってポリウレタンを形成し得る未発泡の組成物を展開し、発泡させつつオーブン内を通過させて硬化させる方法が提案されている。
工程フィルムに剥離処理を施した場合には、シート形成後に工程フィルムを剥離してウレタンのみの発泡体シートを得ることができる。また、工程フィルムに剥離処理を施さない場合には、ポリウレタンの発泡、硬化の過程で、ポリウレタンと工程フィルムとが強固に結合するので、この工程フィルムを後述する補強シート（３）として利用することができ、発泡体シート（１）と補強シート（３）との間には格別接着剤層もしくは粘着剤層（６）を設けなくても両シートを積層することができる。
また、剥離処理してなる工程フィルムを使用する場合、１枚の工程フィルムの剥離処理面に、上記組成物を展開して発泡、硬化させたり、２枚の工程フィルムの剥離処理面間に上記組成物を挟み込んでから発泡、硬化させたりする方法があるが、後者の方が好ましい。即ち２枚の工程フィルムを用いてポリウレタン発泡体シートを形成し、両工程フィルムを剥がすと、シート両面に滑らかなスキン層を有する発泡体シートが形成される。このスキン層は、接着剤層もしくは粘着剤層（６）を積層した場合、層間の密着性向上に効果を奏し、さらに厚み精度が制御し易いため、２枚の工程フィルムを用いることが好ましい。
【００３４】
ウレタン発泡体シートの成形に使用する工程フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の平滑性と１００℃程度の熱を数分間かけても溶融切断しないような耐熱性とを有するフィルムが用いられる。
【００３５】
上記した発泡体シート（１）の破断強度は一般に比較的小さいので（例えば、５ＭＰａ以下）、破断強度が４０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下の補強シート（３）を、発泡体シート（１）と一方の粘着剤層（２’）との間に設けることによって、両面粘着シートの強度を大きくすることができる。両面粘着シートの破断強度を大きくできると、例えば研磨後、研磨布ごと両面粘着シートを研磨装置から剥がしたり、又は研磨後、両面粘着シートから研磨布を剥がす際に、両面粘着シートを破損することなく剥がし易くなる。
補強シート（３）は、種々のプラスチックシートであることが好ましく、厚さバラツキ精度の観点から好ましくはポリエチレンテレフタレートがより好ましい。
厚さは１２〜２５０μｍであることが好ましく、さらに２５〜１００μｍであることがより好ましい。
また、補強シート（３）の金属イオン含有率は、発泡体シート（１）等の場合と同様の理由で、５０００ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
【００３６】
尚、補強シート（３）を有する場合、図１〜６に示すように、両面粘着シートの積層断面構成は非対称となるが、少なくとも一方の面の２５％圧縮硬さが０．１〜１．３ＭＰａの範囲にあれば良く、補強シート（３）から遠い方の粘着剤層（２）面の２５％圧縮硬さが上記範囲にあることがより好ましい。
【００３７】
次に本発明における水蒸気透過率について説明する。
本発明における水蒸気透過率は、軟質ウレタン発泡体シート（１）を含む両面粘着シートの片面から他方面へ水分が透過する速度であり、この水蒸気透過率値が大きいと水分を多量に透過させ、水蒸気透過率値が小さいと水分をあまり透過しない。
本発明の両面粘着シートは、軟質ウレタン発泡体シート（１）の両面に粘着剤層（２）（２’）を設けたものであるが、水蒸気透過率値は軟質ウレタン発泡体シート（１）に依存している。軟質ウレタン発泡体シート（１）はある程度低い水蒸気透過率値を示すが、粘着剤層は水蒸気の透過を阻害するものではなく、測定できないくらい水蒸気透過率値が極めて高い。つまり、水蒸気の透過性という観点からはその値の低い部分（本発明においては軟質ウレタン発泡体シート（１））に大きく依存することは技術常識である。故に軟質ウレタン発泡体シート（１）の水蒸気透過率が、ほぼ両面粘着シートの水蒸気透過率である。
本発明における水蒸気透過率は、一般にカップ法といわれるＪＩＳ Ｚ ０２０８に準拠し、４０℃、９０％ＲＨの条件で測定した。
【００３８】
水蒸気透過率は、０であることが最も望ましく、大きくとも１０００ｇ／ｍ2・２４ｈである。即ち、水蒸気透過率が１０００ｇ／ｍ2・２４ｈよりも大きいと、研磨の際に使用されるスラリーが両面粘着シート（軟質ウレタン発泡体シート（１））にしみ込んでしまう。その結果、研磨中に両面粘着シート（軟質ウレタン発泡体シート（１））がヘタり、物性が変化してしまい、迅速かつ均一な研磨ができなくなる。
【００３９】
水蒸気透過率が１０００ｇ／ｍ2・２４ｈ以下の軟質ウレタン発泡体シート（１）は、発泡状態と硬化状態を制御することによって得ることができる。
即ち、水蒸気透過率を直に制御する因子は、膜厚と発泡密度及びその硬化度である。
膜厚が厚ければ水蒸気透過率が低くなることは技術常識である。
また、発泡密度も同様であり、発泡密度が低いものは膜厚が厚いことと同じことを意味するので、単位厚み当たりであれば、発泡密度の低い方が水蒸気透過率は低くなる。また、水蒸気透過率の観点からは、泡のうち閉じた泡、つまり独立発泡が好ましい。
さらに、硬化度は高い方が低い水蒸気透過率を示す。つまり、硬化度が高いということは、硬化に伴い架橋ポイントが多く存在することとなり、この架橋ポイントの多さが分子構造上ポリマーネットワークを密にすることとなり、結果として水蒸気透過率を低下させ得る。
【００４０】
次に本発明において用いる粘着剤層（２）、（２’）について説明する。
本発明の両面粘着シートは、研磨布と研磨装置との間に位置し、両者を貼着するために用いられるものである。補強シート（３）がある場合には、図１〜６に示すように、積層断面構成が非対称となる。この場合は、以下の（Ａ）、（Ｂ）等の形態が考えられる。
（Ａ）補強シート（３）から遠い方の粘着剤層（２）に研磨布を貼着し、補強シート（３）に近い方の粘着剤層（２’）を研磨装置に貼着する。即ち、両面粘着シートを研磨布に付着する際に、補強シート３と研磨布の間に発泡体シート１と粘着剤層２を挟むようにして付着する。
（Ｂ）補強シート（３）から遠い方の粘着剤層（２）を研磨装置に貼着し、補強シート（３）に近い方の粘着剤層（２’）に研磨布を貼着する。
即ち、両面粘着シートを研磨装置に付着する際に、補強シート３と研磨装置の間に発泡体シート１と粘着剤層２を挟むようにして付着する。
前記（Ａ）（Ｂ）の形態の内、研磨布積層体を研磨装置から除去する作業の観点からは(Ａ)の形態が好ましい。
(Ａ)、(Ｂ)いずれの形態で使用するかによって、粘着剤層（２）、（２’）は適宜選択することができる。
例えば、(Ａ)の形態で使用する場合には、粘着剤層（２）は、研磨布および発泡体シート（１）に貼着し得ることが必要であり、一方粘着剤層（２’）は、補強シート（３）および研磨装置に貼着し得ることが必要である。これらの貼着特性は、発泡体シート（１）の素材や表面状態、補強シート（３）の素材や表面状態等を考慮して選択すればよい。
【００４１】
研磨布表面がスエード調の場合や、研磨布表面に不陸部が多く十分な接着面積を確保し難い場合には、両面粘着シートに研磨布を強固に接着させ難くなる。両面粘着シートに研磨布を強固に接着させる必要があるので、上記のような研磨布を用いる場合には、研磨布を貼着する側の粘着剤層の厚みを２０〜１５０μｍとして粘着力を向上させた両面粘着シートを用いることが好ましい。
また、研磨装置に貼着する側の粘着剤層は、剥がす際に粘着剤が残り難くなるようにするためには薄膜である方が有利であるので、厚みを５〜５０μｍとして再剥離性能を向上させることが好ましい。
また、粘着剤層（２）、（２’）は、貼着時および研磨に使用する時の温度範囲において、ゴム状領域にあることが重要であり、ＪＩＳ Ｚ０２３７に規定する粘着テープ・粘着シート試験方法による１８０度引き剥がしの粘着力が５０ｍＮ／２５ｍｍ以上、室温における落下までの保持時間が６０分以上であることが好ましい。
さらに研磨後に、研磨布を両面粘着シートから、又は研磨布ごと両面粘着シートを研磨装置から剥がす場合には、剥離し易いことが好ましい。即ち、研磨の最中は強固に研磨布や研磨装置に付着し、その後は容易に剥離し得ることが好ましい。
【００４２】
さらに発泡体シート（１）や補強シート（３）の場合と同様に粘着剤層（２）、（２’）の場合も、金属イオンが溶出しないか、又は実質的に金属イオンを含有しないこと、具体的には含有率が多くとも５０００ｐｐｍであることが好ましく、１０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、５００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。
このような粘着剤層（２）、（２’）の形成に用いられる粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等が挙げられ、中でも金属イオンが混入し難いという点からウレタン系粘着剤、アクリル系粘着剤が好ましく、粘着性能のバランスを確保し易いという点から、アクリル系粘着剤がさらに好ましい。
【００４３】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明してきたが、本発明の両面粘着シートは、所望により粘着剤層もしくは接着剤層（６）を設ける構成としていてもよい。
本発明において用い得る粘着剤層もしくは接着剤層（６）は、発泡体シート（１）と補強シート（３）との間に位置し、両層を相互に固定するための層であり、その厚みは５〜１５０μｍであることが好ましい。
ところで粘着剤は感圧性接着剤とも呼ばれ、広義の概念では接着剤に含まれるものであるが、本発明でいう「接着剤」はいわゆる感圧性接着剤（粘着剤）以外の接着剤という意味である。粘着剤としては（２）、（２’）と同様のものを使用することができ、また接着剤としては水系、溶剤系を問わず、溶媒乾燥による一般タイプからドライラミタイプまで、３００ｍｍ／分による１８０度引き剥がし強度が５０ｍＮ／２５ｍｍ以上のものを使用することができる。
両面粘着シートを研磨布および研磨装置に貼着するためには上記したように粘着剤層（２）、（２’）を用い得るのに対し、発泡体シート（１）と補強シート（３）とを相互に固定するための層としては、粘着剤層の他、接着剤層も用いることができる。発泡体シート（１）と補強シート（３）とは、一旦相互に固定してしまえば剥離するという特別な要求はないので、接着剤層を介して固定することができるのに対し、研磨装置側、研磨布側に位置する層には貼着後剥離するという要求もあるので、接着剤ではなく粘着剤で形成することが重要である。
さらに発泡体シート（１）の場合と同様に粘着剤もしくは接着剤層（６）も、金属イオンを溶出しないことが好ましく、実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。
【００４４】
また、本発明の両面粘着シートは、その粘着剤層面に剥離シートを積層した状態で供することができる。用いられ得る剥離シートには、両面剥離処理してなるもの（４）と片面剥離してなるもの（５）、（５’）とがある。いずれの剥離シートも粘着剤層（２）、（２’）を被覆した後、粘着剤層（２）、（２’）と接する界面において容易に剥離シートを剥離し得ることが必要であり、かつ剥離シート上に粘着剤の残留がないことが要求される。ここでいう容易に剥離することが可能なレベルとは、一般的に１８０度引き剥がし粘着力が１Ｎ／２５ｍｍ未満のものをいう。
剥離シートとして具体的には、ポリエチレンテレフタレートや配向したポリプロピレン等の各種プラスチックフィルム、または紙の上にシリコーン系あるいは非シリコーン系の剥離剤を塗工したものを用いることができる。粘着剤層の厚み精度を確保するために、プラスチックフィルムをベースとした剥離シートを用いることが望ましい。
前記剥離シートは、両面粘着シートと剥離シートの機能が損なわなければどのように配置しても構わない。従って、例えば、図７，８に示されるように、発泡体シート（１）、粘着剤層（２）（２’）からなる両面粘着シートに剥離シートを設ける場合、両面剥離シート（４）もしくは片面剥離シート（５）（５’）を両面粘着シートの片面もしくは両面に配置する構成としてもよい。また、図１〜３に示されるように、発泡体シート（１）、粘着剤層（２）（２’）、補強シート（３）からなる両面粘着シートに剥離シートを設ける場合、両面剥離シート（４）もしくは片面剥離シート（５）（５’）を両面粘着シートの片面もしくは両面に配置する構成としてもよい。さらに、図４〜６に示されるように、発泡体シート（１）、粘着剤層（２）（２’）、補強シート（３）、粘着剤層（２）（２’）、および粘着剤層もしくは接着剤層（６）からなる両面粘着シートに剥離シートを設ける場合、両面剥離シート（４）もしくは片面剥離シート（５）（５’）を両面粘着シートの片面もしくは両面に配置する構成としてもよい。
【００４５】
発泡体シート（１）の両面側に粘着剤層（２）（２’）が設けられてなる本発明の両面粘着シートでのうち、補強シート（３）を有しない両面粘着シートは、例えば以下に示す（イ）〜（ハ）のような方法で得ることができる。
〔方法（イ）〕
発泡体シート（１）の一方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に両面剥離シート（４）を積層する。次いで、前記粘着剤層（２’）が接していない方の発泡体シート（１）の面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面と両面剥離シート（４）の他方の面（粘着剤層（２’）が接していない方の面）とが接するようにロール状に巻き取る。
【００４６】
〔方法（ロ）〕
発泡体シート（１）の両面にそれぞれ粘着剤層（２）、（２’）を同時に形成し、一方の粘着剤層（２’）側に両面剥離シート（４）を積層しつつ、該粘着剤層（２’）が接していない方の両面剥離シート（４）と他の粘着剤層（２）とが接するように巻き取る。
【００４７】
〔方法（ハ）〕
片面剥離シート（５）の剥離処理面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面に発泡体シート（１）を積層し、発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に片面剥離シート（５’）の剥離処理面を積層する。
【００４８】
前記した補強シート（３）を有する両面粘着シートは、例えば以下に示す（ニ）〜（ヘ）のような方法で得ることができる。
〔方法（ニ）〕
補強シート（３）の一方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に両面剥離シート（４）を積層する。次いで、前記粘着剤層（２’）が接していない方の補強シート（３）の面に粘着剤層（６）を形成し、該粘着剤層（６）の他方の面に発泡体シート（１）を積層する。次いで、該発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面と両面剥離シート（４）の他方の面（粘着剤層（２’）が接していない方の面）とが接するようにロール状に巻き取る。
〔方法（ホ）〕
補強シート（３）の一方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に片面剥離シート（５’）の剥離処理面を積層する。次いで、前記粘着剤層（２’）が接していない方の補強シート（３）の面に粘着剤層（６）を形成し、該粘着剤層（６）の他方の面に発泡体シート（１）を積層する。次いで、該発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面に片面剥離シート（５）の剥離処理面を積層する。
〔方法（ヘ）〕
片面剥離シート（５）の剥離処理面に粘着剤層（２）を形成し、該粘着剤層（２）の他方の面に発泡体シート（１）を積層し、発泡体シート（１）の他方の面に粘着剤層（６）を積層し、次いで該粘着剤層（６）の他方の面に補強シート（３）を積層し、該補強シート（３）の他方の面に粘着剤層（２’）を形成し、該粘着剤層（２’）の他方の面に片面剥
離シート（５’）の剥離処理面を積層する。
【００４９】
剥離シート（４）、（５）、（５’）、発泡体シート（１）もしくは補強シート（３）上に各粘着剤を塗工する方法としては、例えばコンマコーター、ダイコーター、リップコーター、キスコーター、グラビアコーター等を使用して行う。
コンマコーターを用いる場合、粘着剤の粘度は０．１〜１００Ｐａ・ｓ程度が良好である。
【００５０】
以上、両面粘着シートについて説明してきたが、本発明の別の態様として前記の両面粘着シートに研磨布が積層された研磨布積層体が提供される。研磨布としては、特に限定されることなく従来公知の研磨布を用いることができる。好ましくは前記研磨布としては、合成皮革スエード又はベロア、硬質ウレタン発泡体等を用いることができる。
この場合、前記研磨布は両面粘着シートに予め設けるように構成しても使用時に両面粘着シートに設ける構成としても構わない。
【００５１】
また本発明の両面粘着シートは、両面粘着シートとしても、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が０以上１００μｍ以内、水蒸気透過率が０以上１０００ｇ／ｍ2・２４ｈ以下であることが好ましい。
【００５２】
両面粘着シートの１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が１００μｍよりも大きいと、被研磨体を一定の均一な厚みに研磨することが困難となる。つまり、圧力を掛けて研磨する際に厚みの厚い部分と薄い部分で圧力差が生じるからである。このため、研磨精度を必要とする場合は、両面粘着シートの１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差は、８０μｍ以内であることが好ましく、６０μｍ以内であることがより好ましい。
また、両面粘着シートの１ｍ2内の平均厚さは、研磨する際に圧力を掛けたときに所望する２５％圧縮硬さを得ることと、両面粘着シートに対する水平方向の剪断力によって引き起こされるずり変形に抗するため４００μｍ〜２．５ｍｍであることが好ましい。尚、上記ずり変形は研磨特性を劣化させる。
両面粘着シートの厚さの測定は、プローブ直径１０ｍｍ、印加荷重５０ｇ／ｃｍ2において、１μｍ桁表示が可能なデジタル計測器により行われ得る。
【００５３】
両面粘着シートの２５％圧縮硬さは、０．１〜１．３ＭＰａであることが重要であり、０．１５〜０．７ＭＰａであることが好ましい。
ここでいう「両面粘着シートの２５％圧縮硬さ」は、「発泡体シートの２５％圧縮硬さ」と同様、両面粘着シートをＪＩＳ Ｋ ６４００に記載される試験の一般的条件、即ち温度２３℃、相対湿度５０％の環境に２４時間以上静置した後、該両面粘着シートを３０ｍｍ×３０ｍｍに打ち抜き、約１０ｍｍの厚さとなるようにシートを重ね合わせ、同温湿度環境下にて前記重ね合わせたシート全面を５０ｍｍ／分の速度で平行に圧縮し、元の厚みから２５％圧縮させた際の応力をいう。
【００５４】
両面粘着シートの２５％圧縮硬さが、０．１ＭＰａ未満だと両面粘着シートが柔軟になり剪断変形を起こしやすいので、被研磨体全面の表面膜厚を均一に研磨することが難しくなる傾向にある。一方、２５％圧縮硬さが、１．３ＭＰａを越えると両面粘着シートが硬くなる傾向にあるので、被研磨体表面の「凹凸」および「うねり」に追随しないで標高の高い部分を優先的に研磨するので、被研磨体全面の表面膜厚を均一に研磨することが難しくなる傾向にある。
【００５５】
【実施例】
実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが本発明が以下の実施例に限定されないことはいうまでもない。
【００５６】
【作成例１】
分子量３０００のポリオキシプロピレントリオール１００部、１，４−ブタンジオール６部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．５部、シリコーン整泡剤としての末端ＯＨ基の反応型シリコーン整泡剤（ＫＦ６００１；信越化学工業社製）２．５部、発泡剤としての水０．１部、及びイソシアネートとしてのＭＤＩ４０部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃にて１５分間加熱を行い、１ｍ2内の平均厚さが１５０２μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３０μｍ、水蒸気透過率が６３ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率が１２ｐｐｍ、破断強度１．７ＭＰａの軟質ポリウレタン発泡体シート（１−１）を得た。
【００５７】
【作成例２】
実施例１と同様にシリコーン整泡剤としてＮＨ基含有の反応型シリコン整泡剤（ＫＦ８０１０；信越化学工業社製）を２．５部使用し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃にて１５分間加熱を行い、１ｍ2内の平均厚さが１５６８μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が７４μｍ、水蒸気透過率が６１ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率１４ｐｐｍ、破断強度１．７ＭＰａの軟質ポリウレタン発泡体シート（１−２）を得た。
【００５８】
【作成例３】
分子量３０００のポリオキシプロピレントリオール１００部、１，４−ブタンジオール６部、触媒としての錫触媒（ＤＢＴＤＬ）０．２部、シリコーン整泡剤としての非反応型シリコーン（Ｆ−３０４；信越化学工業社製）１．５部、及び発泡剤としての水０．１部と、セル径が大のウレタンの製造のために、窒素量を少なくして、ＭＤＩ４０部とを混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃にて１５分間加熱を行い、１ｍ2内の平均厚さが１６９８μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が２５０μｍ、水蒸気透過率が１９８９ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率１２０００ｐｐｍ、破断強度１．３ＭＰａの軟質ポリウレタン発泡体シート（１−３）を得た。
【００５９】
【実施例１】
粘着性アクリル樹脂を含む粘着剤（東洋インキ製造（株）製、金属イオン含有率１１ｐｐｍ）１００部とイソシアネート誘導体系硬化剤（東洋インキ製造（株）製）３部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液をコンマコーターで乾燥膜厚３０μｍとなるように補強シート（３）となる厚さ７５μｍ、破断強度２３０ＭＰａのポリエチレンテレフタレートフィルム（金属イオン含有率１２ｐｐｍ）全面に塗布し、粘着剤層（２’）を形成しつつ、巻き取り時に両面剥離処理してなるポリエチレンテレフタレート剥離シート（４）を該粘着剤層（２’）に０．３ＭＰａの圧力でラミネートして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート層（３）からなる粘着シート（Ｃ）を得た。
【００６０】
次に、粘着シート（Ｃ）の補強シート（３）側に前記と同様の粘着剤組成物塗液を同様の方法で同様の乾燥膜厚となるように全面塗布し、粘着剤層（６）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（６）に作成例１で製造した軟質ポリウレタン発泡体シート（１−１）を０．３ＭＰａの圧力でラミネートして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート層／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−１）からなる粘着シート（Ｂ）を得た。
【００６１】
最後に、ポリエチレンテレフタレート剥離シートを工程フィルムとして前記と同様の粘着剤組成物塗液を同様の方法で同様の乾燥膜厚となるように全面塗布し、粘着剤層（２）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（２）に前記粘着シート（Ｂ）の発泡体シート（１−１）側を０．３ＭＰａの圧力でラミネートした後、工程フィルムをはがし取り、図４に示すような剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−１）／粘着剤層（２）からなる、１ｍ2内の平均厚さが１６６７μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３２μｍ、破断強度１０ＭＰａの粘着シート（Ａ−１）を得た。
【００６２】
【実施例２】
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、作成例２で製造した軟質ポリウレタン発泡体シート（１−２）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−２）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１７３３μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が７５μｍ、破断強度１０ＭＰａとなる粘着シート（Ａ−２）を得た。
【００６３】
【比較例１】
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、作成例３で製造した軟質ポリウレタン発泡体シート（１−３）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−３）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１８６３μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が２５３μｍ、破断強度９ＭＰａの粘着シート（Ａ−３）を得た。
【００６４】
【比較例２】
実施例１で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ2内の平均厚さが１２８９μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３１０μｍ、水蒸気透過率が４３７１ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率１８１ｐｐｍ、破断強度３０ＭＰａの不織布含浸型ポリウレタン発泡体シート（１−４）を用いた以外は実施例１と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／補強シート（３）／粘着剤層（６）／発泡体シート（１−４）／粘着剤層（２）からなる、図４に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１４５４μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が１３２μｍ、破断強度２８ＭＰａの粘着シート（Ａ−４）を得た。
【００６５】
【実施例３】
粘着性アクリル樹脂を含む粘着剤（東洋インキ製造（株）製、金属イオン含有率１１ｐｐｍ）１００部とイソシアネート誘導体系硬化剤（東洋インキ製造（株）製）３部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液を、コンマコーターで乾燥膜厚３０μｍとなるように、両面剥離処理してなるポリエチレンテレフタレート剥離シート（４）全面に塗布し、粘着剤層（２’）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（２’）に作成例１で製造した軟質ポリウレタン発泡体シート（１−１）を０．３ＭＰａの圧力でラミネートして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−１）からなる粘着シート（Ｄ）を得た。
【００６６】
次に、ポリエチレンテレフタレート剥離シートを工程フィルムとして前記と同様の粘着剤組成物塗液を同様の方法で同様の乾燥膜厚となるように全面塗布し、粘着剤層（２）を形成しつつ、巻き取り時に該粘着剤層（２）に前記粘着シート（Ｄ）の発泡体シート（１−１）側を０．３ＭＰａの圧力でラミネートした後、工程フィルムをはがし取り、図７に示すような剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−１）／粘着剤層（２）からなる、１ｍ2内の平均厚さが１５６５μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３３μｍ、破断強度１．６ＭＰａの粘着シート（Ｅ−１）を得た。
【００６７】
【実施例４】
実施例３で用いた軟質発泡体シート（１−１）の代わりに、作成例２で製造した軟質ウレタン樹脂発泡体シート（１−２）を用いた以外は実施例３と同様にして、剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−６）／粘着剤層（２）からなる、図７に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１６２９μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が７５μｍ、破断強度１．６ＭＰａとなる粘着シート（Ｅ−２）を得た。
【００６８】
【比較例３】
実施例３で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、作成例３で製造したウレタン樹脂発泡体シート（１−３）を用いた以外は実施例２と同様にして剥離シート（４）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−３）／粘着剤層（２）からなる、図７に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１８６３μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が２５２μｍ、破断強度１．６ＭＰａの粘着シート（Ｅ−３）を得た。
【００６９】
【比較例４】
実施例３で用いた発泡体シート（１−１）の代わりに、１ｍ2内の平均厚さが１２８９μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が３１０μｍ、水蒸気透過率が４３７１ｇ／ｍ2・２４ｈ、金属イオン含有率１８１ｐｐｍ、破断強度３０ＭＰａの不織布含浸型ポリウレタン発泡体シート（１−４）を用いた以外は実施例２と同様にして剥離シート（３）／粘着剤層（２’）／発泡体シート（１−４）／粘着剤層（２）からなる、図７に示す構成と同様な構成であって、１ｍ2内の平均厚さが１３４９μｍ、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が１８９μｍ、破断強度２８ＭＰａの粘着シート（Ｅ−４）を得た。
【００７０】
［研磨試験］
実施例および比較例で得られた粘着シート（５０ｍｍ×５０ｍｍ）の粘着剤層（２）側にＪＩＳ Ｒ６２５３に規定する１０００番の耐水研摩紙を貼りあわせ、粘着剤層（２’）側を、テスター産業社製研磨装置の定盤側に貼着した。
他方、前記研磨装置に、下記凸状被研磨試料の凸状面が前記耐水研磨紙と並行な位置に対向するように凸状被研磨試料を装着し、前記耐水研磨紙と下記凸状被研磨試料とを接触せしめ、荷重２００ｇｒ／ｃｍ2の圧力が掛かるようにし、２０ｍｌ／分の流量で純水を供給しながら、２０ｍ／分の速度で、１０分間研磨作業を行った。この研磨作業を１００回（都合約２０時間）行った。
【００７１】
＜被研磨試料＞
６０ｍｍ×３００ｍｍ、平均厚さ２．０２ｍｍのステンレス板（ＳＵＳ３０４）に、０．０３０ｍｍ厚さの粘着剤層を介して、６０ｍｍ×３００ｍｍ、平均厚さ０．１３０ｍｍ、一方の面の６０度反射光沢度が１４．７のポリカーボネートのシート（ａ）の他の面を積層し、該ポリカーボネートのシート（ａ）のほぼ中央に、０．０３０ｍｍ厚さの粘着剤層を介して、１５ｍｍ×２５０ｍｍ、平均厚さ０．１３０ｍｍ、一方の面の６０度反射光沢度が１４．７であるポリカーボネートのシート（ｂ）の他の面を積層し、低部が（ａ）、高部が（ｂ）からなる凸状の被研磨試料とした。
【００７２】
＜評価方法＞
被研磨試料のポリカーボネートシート（ａ）および（ｂ）の平均厚さ、および６０度反射光沢度を研磨の前後でそれぞれ測定し、（ｂ）の平均厚さ減量（ｂ１）／（ａ）の平均厚さ減量（ａ１）、および（ｂ）の６０度反射光沢度（ｂ２）／（ａ）の６０度反射光沢度（ａ２）を求め、（ｂ１）／（ａ１）、（ｂ２）／（ａ２）の値から以下のように評価した。
【００７３】
【表１】
【発明の効果】
本発明の両面粘着シートを用いて研磨布を研磨装置に貼着し、被研磨体を研磨することによって、被研磨体の「凹凸」と「うねり」とを一連の工程で又は同時に、かつ短時間で消去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合）
【図２】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合）
【図３】本発明の両面粘着シートに片面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合）
【図４】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合であって、該補強シート（３）と発泡体シート（１）との間に粘着剤層又は接着剤層（６）があるもの）
【図５】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合であって、該補強シート（３）と発泡体シート（１）との間に粘着剤層又は接着剤層（６）があるもの）
【図６】本発明の両面粘着シートに片面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シート（３）のある場合であって、該補強シート（３）と発泡体シート（１）との間に粘着剤層又は接着剤層（６）があるもの）
【図７】本発明の両面粘着シートに両面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シートのない場合）
【図８】本発明の両面粘着シートに片面剥離シートを積層した状態の断面図（補強シートのない場合）
【図９】被研磨体の断面図
【符号の説明】
（１）…………発泡体シート
（２）（２’）…粘着剤層
（３）…………補強シート
（４）…………両面剥離シート
（５）（５’）…片面剥離シート
（６）…………粘着剤層又は接着剤層
Claims (5)
- 軟質ウレタン発泡体シートと、第１及び第２の粘着剤層とを備える、研磨布積層体用両面粘着シートであって、
前記軟質ウレタン発泡体シートは、１ｍ2内の最大厚みと最小厚みとの差が０μｍ以上１００μｍ以内であり、水蒸気透過率が０ｇ／ｍ2・２４ｈ以上１０００ｇ／ｍ2・２４ｈ以下である、研磨布積層体用両面粘着シート。 - （１）前記発泡体シート中の金属イオン含有率、並びに（２）前記第１及び第２粘着剤層中の総金属イオン含有率の少なくともいずれか一方が０．１ｐｐｍ以上５０００ｐｐｍ以下である、請求項１に記載の研磨布積層体用両面粘着シート。
- さらに補強シートを有する研磨布積層体用両面接着シートであって、
前記補強シートは破断強度が４０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下であり、前記第１及び第２の粘着剤層のいずれか一方と発泡体シートとの間に設けられている、請求項１又は２記載の研磨布積層体用両面粘着シート。 - 前記補強シート中の金属イオン含有率が、０．１ｐｐｍ以上５０００ｐｐｍ以下である、請求項３記載の研磨布積層体用両面粘着シート。
- 請求項１から請求項４のいずれかに記載の研磨布積層体用両面粘着シートと研磨布とが積層されてなる研磨布積層体。
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