JP4560634B2 - 液体導入プラズマシステム - Google Patents
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Description
また、本発明は、プラズマ中の所望の位置に液体を導入できる液体導入プラズマシステムを提供することにある。
また、本発明は、微小なプラズマ中に液体を導入できる液体導入プラズマシステムを提供することにある。
また、本発明は、元素分析の際の分析感度を改善できる液体導入プラズマシステムを提供することにある。
また、本発明は、周囲を擾乱することなく液体を気化できる液体導入プラズマシステムを提供することにある。
また、本発明は、プラズマを発生する電力を低減できる液体導入プラズマシステムを提供することにある。
また、本発明は、液体をほぼ100%の導入効率でプラズマ中に導入できる液体導入プラズマシステムを提供することにある。
(2)また、本発明は、前記(1)の液体導入プラズマシステムにおいて、タイミング信号を作成する信号発生装置を備え、噴出装置は、信号発生装置で作成したタイミング信号を受信して、液体を粒状に噴出する、液体導入プラズマシステムにある。
本発明の実施の形態の液体導入プラズマシステムは、液体をプラズマ中に輸送するものである。この液体導入プラズマシステムは、液体試料をプラズマ中に輸送し、試料の微量元素分析、PCB、フロンなどの物質の分解処理、CVDなどのプラズマプロセッシング処理、新物質の作成などの種々の処理に使用することができる。この液体導入プラズマシステムは、液体を直線上に噴出してプラズマ中に導入するものであれば、どのようなものでも良い。直線上に噴出された液体は、一直線上に連続して形成された連続液体でもよく、又は、一直線上に液滴として間欠的に形成された粒状液体でもよい。なお、粒状液体、液滴と連続液体は、線状の液体としてみることができ、線の長さの程度の違いであり、粒状の短いものから、所定の長さを持ったものから、連続したものなどがあり、明確に区別されるものではない。粒径が小さいほど、微少量な液体の場合に有効である。
プラズマ生成装置40は、プラズマガスをプラズマ状態にするものである。プラズマ生成装置40は、例えば図1のように、プラズマ室34の筒体36の周囲に巻かれたロードコイル42と、ロードコイル42に高周波電力を供給する電力装置を備え、プラズマ室34にプラズマ32を生成する。プラズマ生成装置40は、ロードコイル42への出力を変調することができる。この出力の変調によりプラズマ32の状態を変えることができる。出力を変調するとは、ここでは、出力をパルス状にする、出力を増減する、出力を発生する、出力の周波数を変えるなど、何らかの形で出力を変化させてプラズマ状態に変化を与えることをいう。
図2は、マイクロプラズマ装置300を備えた液体導入プラズマシステムを示している。図2(A)は、液体を直線上に間欠的に放出して、液滴280としてプラズマ室34中に導入する構成を示している。図2(B)は、液体を直線上に連続的に放出して、直線状の連続液体282としてプラズマ室34中に導入する構成を示している。マイクロプラズマ装置300は、極めて小さなマイクロプラズマを発生する装置である。マイクロプラズマの大きさは、概略、直径3mm以下のものを呼ぶ。マイクロプラズマ装置300は、コイルを使用するもの、電極板を使用するもの、尖端電極を使用するものなど種々の方式があり、例えば、絶縁体58を挟んだ第1電極54と第2電極56と、第1電極54と第2電極56に高電圧を付与する電圧発生装置60とを備えている。第1電極54と絶縁体58と第2電極56とは、これらを貫通する穴を有する。第1電極54と第2電極56に高電圧を印加すると、穴の内部にプラズマが生成され、プラズマ室34が形成される。プラズマ室34は、入口開口部342と出口開口部340を有する。入口開口部342は、例えば、直径1mm以下の円形の開口部を有する。マイクロプラズマ装置300を利用すると、極微少量の試料について、分析感度を実現することができる。マイクロプラズマは、極めて小さいために、従来の霧吹き方式では液体が広がり、プラズマ中に液体を直接導入できなかったが、この液体導入プラズマシステムにより、プラズマ室34よりも小さい径の液体を直線上に導入する事により、マイクロプラズマ中にも液体を直接導入できることになった。
噴出装置22は、液体を直線上に噴出するものであり、液体を直線上に液滴280として間欠的に噴出したり、又は、液体を直線上に連続液体282として連続的に噴出することができる。噴出装置22は、例えばアクチュエータ(圧力室)を備えている。アクチュエータは、圧電材料で形成され、液体注入口24から注入された液体の試料を保持し、ノズル26から液体を噴出する。アクチュエータは、例えば、電圧が印加されると、形状が変形して、液体28をノズル26から直線上に噴射する。ノズル26内の減少した液体は、例えば毛管力により補給することができる。液的の径、噴霧装置22のノズル26の噴出口径で制御できるため、プラズマを乱す要因となる大きい径の液滴は発生しないし、また、霧吹き装置のように液滴がプラズマ中に広がってプラズマを乱すこともない。このため、液体をプラズマに安定に導入でき、かつ導入効率は100%とすることができる。従来のように試料を噴霧状に広がりをもって供給する構造と比較すると、極めて導入効率が高まり、微少量な試料を有効に利用することができる。なお、噴出装置22は、信号発生装置により外部からの噴出タイミング信号により、間欠的に又は連続的に操作することができる。
信号発生装置44は、噴出タイミング信号46を作成する。噴出タイミング信号46は、基準タイミング信号に基づいて作成することができる。基準タイミング信号は、タイミングを取るための信号であり、パルス発生装置などタイミング信号を発生する装置で作成される。タイミング信号を発生する装置は、どこに配置されていても良く、信号発生装置44の外でも良く、また、同期が取れれば複数個所に複数配置しても良い。噴出装置22は、噴出タイミング信号46を受信して、液体を直線上に噴出する。噴出タイミング信号46は、液滴280の間隙とともに、液滴の長さ(連続と粒子の間のもの)も制御できる。噴出タイミング信号46は、パルス信号とすることができる。測定の種類に応じて、適宜噴出タイミング信号46の周波数を変えて、液滴280の間欠の間隔や連続液体の長さを調整することができる。
気化装置50は、液体を気化するものである。図4と図5には、各々、トーチ状プラズマ装置とマイクロプラズマ装置に気化装置を備えた液体導入プラズマシステムが示されている。気化装置50は、信号発生装置44から出力された気化タイミング信号48を受信し、直線上の液体に気化エネルギーを付与する。気化エネルギーは、光などの放射エネルギーを使用することができる。気化装置50は、移動している液体28を気化し、例えばプラズマ32に粒状の液体28が導入される前に、気化した液体284を形成することができる。気化装置50は、信号発生装置44からの気化タイミング信号48を受信する。気化タイミング信号48は、液体28の噴出のタイミングに合わせて形成される。気化タイミング信号48は、基準タイミング信号に基づいて作成され、例えば信号発生装置44により噴出タイミング信号46に基づいて作成される。これにより、気化装置4は、飛来している液体28をターゲットとして、エネルギーを照射する。気化装置50が発生するエネルギーは、プラズマ32に影響を与えない程度に気化した液体284を形成できるものであれば良く、液体28の体積が極めて小さい場合、赤外レーザー等を使用しなくても、ハロゲンランプ等の可視光源から出る赤外線でもよいし、マイクロ波などの電波でもよい。液体が多量かつ角度を持って噴霧される従来の液体導入プラズマシステムでは、外部からの熱伝導によって噴霧粒子を気化するしかなかったが、細い液体や間欠的な液滴の方式(ドロプレット方式)では、液体28の通過位置にエネルギーを集めることで、キャリアガス(分析液体を送るガス)を加熱することなく、液体28だけを気化することができる。気化エネルギーが光の場合、気化用光学系52により液体28に光を集光することができる。このように、周囲からの加熱ではなく光などの輻射エネルギーで気化するため、キャリアガスを加熱することがない。このため、ガスの温度や流速に影響を与えることがなくなるため、それらを個別に制御することが可能となり、分析感度の向上を得ることができる。また、完全に非接触な(熱伝導すら使用しない)ため、クリーンな状態で気化することができる。
測定装置66は、プラズマ32に導入された試料のプラズマ状態を測定するものである。プラズマ32に試料が導入されると、試料が励起・イオン化する。測定装置66は、例えば、励起した試料の光を測定し、又は、試料の原子、分子、又は、原子や分子のイオンなどを取り出して測定する。光の測定の場合、図6に示すように試料から発せられる光を測定用光学系70を介して分光測定する。又は、イオンの測定の場合、試料のイオンを質量分析する。測定装置66は、プラズマシステムで通常行われる測定装置を使用することができる。直線上の液体が噴出装置22から液滴280として噴出される場合、間欠的にプラズマ32に導入されるので、測定も間欠的にできる。これにより、ノイズを低減し、測定感度を向上することができる。
本発明の実施の態様では、試料の噴出、プラズマ32に供給する電力、測定信号の検出の3つのタイミングを同期させることにより、微少量の試料に対しても高感度分析が可能となる。また、気化装置50に付与する気化タイミング信号を加えた4つのタイミングを同期させることにより、より高感度分析が可能となる。従来のロックイン増幅のための信号変調は、光やイオン信号をチョッパー等で変調していたので光やイオンの信号の半分近くを犠牲にすることになっていた。これに対して、本発明の実施の態様では、間欠的に液滴を噴出し、高周波のパルス化など出力の変調を行うことで、試料の大幅な低減と高感度化を同時に得ることができる。これにより、微量元素分析用の溶液試料を測定できる。液体導入プラズマシステム20は、ピコリットルオーダーの溶液試料粒子の噴出、プラズマへのパルス変調電力の印加、光・イオンの信号検出の3又は4つのタイミングを同期させ、ロックイン増幅することで微少量試料の高感度分析を実現できる。即ち、本発明の実施の形態の液体導入プラズマシステム20は、パルス状に電力や分析試料を投入することで変調を行うことにより、電力や分析試料を大幅に低減できる。また、液体導入プラズマシステム20は、ロックイン増幅など色々な測定を行うことでS/N比を向上でき、分析感度を改善することができる。このように、分析試料量あたりの分析感度を大幅に改善でき、細胞液などの微少量の試料でも高感度に分析することができる。
Claims (13)
- プラズマが生じるプラズマ室と、
プラズマ室でプラズマを生成するプラズマ生成装置と、
液体を一滴ずつ噴出してプラズマ室に入れる噴出装置と、を備えている、液体導入プラズマシステム。 - 請求項1に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
前記液体は一滴ずつ一直線上に噴出されている、液体導入プラズマシステム。 - 請求項1または請求項2に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
プラズマ室は、マイクロプラズマ装置のプラズマ室である、液体導入プラズマシステム。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
液体を気化する気化装置を備え、
気化装置は、液体に放射エネルギーを照射する、液体導入プラズマシステム。 - 請求項3に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
プラズマ室は、絶縁体を介して対向配置された一対の板電極に貫通形成された穴である、液体導入プラズマシステム。 - 請求項1または請求項2に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
タイミング信号を作成する信号発生装置を備え、
噴出装置は、信号発生装置で作成したタイミング信号を受信して、液体を粒状に噴出する、液体導入プラズマシステム。 - 請求項6に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
プラズマ室は、マイクロプラズマ装置のプラズマ室である、液体導入プラズマシステム。 - 請求項6または請求項7に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
信号発生装置で作成したタイミング信号を受信して、液体を気化する気化装置を備える、液体導入プラズマシステム。 - 請求項6に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
プラズマ生成装置は、液体の噴出のタイミングに合わせて出力を変調する、液体導入プラズマシステム。 - 請求項6に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
プラズマ状態を測定する測定装置を備え、
測定装置は、液体の噴出のタイミングに合わせてプラズマ状態を測定する、液体導入プラズマシステム。 - 請求項6に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
プラズマ状態を測定する測定装置を備え、
測定装置は、プラズマ状態を測定する測定部と、測定部からの測定信号を増幅するロックインアンプ又はボックスカーアンプと、を備え、
ロックインアンプ又はボックスカーアンプは、タイミング信号に基づいて測定部からの測定信号を増幅する、液体導入プラズマシステム。 - 請求項6に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
プラズマ状態を測定する測定装置と、を備え、
プラズマ生成装置は、液体の噴出のタイミングに合わせて出力を変調し、測定装置は、該噴出のタイミングに合わせてプラズマ状態を測定する、液体導入プラズマシステム。 - 請求項6に記載の液体導入プラズマシステムにおいて、
液体を気化する気化装置と、
プラズマ状態を測定する測定装置と、を備え、
気化装置は液体の噴出のタイミング信号を受信して液体を気化し、プラズマ生成装置は該噴出のタイミングに合わせて出力を変調し、測定装置は該噴出のタイミングに合わせてプラズマ状態を測定する、液体導入プラズマシステム。
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