JP6167272B2 - 原子発光検出器用マイクロプラズマ装置 - Google Patents

Description

本発明は、高輝度でのプラズマの発光を可能とし、さらに、前記発光を効率よく測光することができる原子発光検出器用マイクロプラズマ装置に関する。

従来から、マイクロプラズマの用途の一つとして、特許文献１に記載されているように、被測定物質を含むサンプルガスと、ヘリウムガス等のキャリアガスとの混合気体からなるプラズマ生成用ガスをプラズマ発生室に導入してプラズマを発生させ、そのプラズマの発光を光ファイバーを通して分光器に導き、当該分光器において光を波長毎の強度情報へと変換して原子発光分析を行うことで、被測定物質の物質同定に用いられている。

このような、従来の原子発光検出器のためのマイクロプラズマ装置２０においては、図７に示すように、一対の対向電極２２，２２の間に誘電板２３を設けた積層体２０Ｌに貫通孔として形成されたプラズマ発生室２４内においてプラズマを生成し、当該プラズマの発光Ｐを光ファイバー２７を通して分光器に導くようにされている。

特開２０１１−０５３０７８号公報

このとき、放電は電極の壁面に沿って発生するため、プラズマの発光Ｐは、図７に示すように、プラズマ発生室２４の開口部２４ａ，２４ｂから漏れた放電によって、対向電極２２，２２の外壁面にまでプラズマの発光Ｐが生じる。

ここで、上記のような原子発光検出器のためのマイクロプラズマ装置２０においては、例えば、円筒形状のプラズマ発生室２４の中心軸と同軸に配置された光ファイバー２７を通してプラズマの発光Ｐを分光器に導くようにされており、プラズマ発生室２４内におけるプラズマの発光Ｐの発光強度が検出感度に大きく影響を与える。

このため、図７に示すように、プラズマの放電が開口部２４ａ，２４ｂの外側に漏れて、電極２２，２２の外壁面にまでプラズマの発光Ｐが生じてしまうと、プラズマ発生室２４内における発光強度が弱くなって、プラズマの発光をサンプリングするための単位時間が長くなり、結果的に、被測定物質の検出能が低下するという課題を有している。

そこで、本発明においては、プラズマ発生室内において高輝度でのプラズマの発光を可能とし、さらに、前記発光を効率よく測光して被測定物質の検出感度に優れた原子発光検出器用マイクロプラズマ装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するべく、本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第１の態様においては、金属板からなる一対の対向電極の間および両外側面に誘電体からなる誘電板をそれぞれ配置した積層体において、積層方向に貫通して形成された貫通孔からなるプラズマ発生室と、前記プラズマ発生室の一方の開口部から前記プラズマ発生室に対してプラズマ生成用ガスを導入するプラズマ生成用ガス導入部と、前記積層体の前記プラズマ発生室の他方の開口部が開口している外側面と所定の間隙を形成した状態で設けられた透明板と、前記透明板を隔てて前記プラズマ発生室の前記積層体の積層方向における中心軸と同軸に設けられた光ファイバーとを備え、前記プラズマ生成用ガス導入部から前記プラズマ発生室の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、前記一対の対向電極に対して電圧を印加することにより、前記プラズマ発生室内に発生したマイクロプラズマの発光を前記光ファイバを通して検出するように形成されていることを特徴とする。

このような、本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第１の態様によれば、前記対向電極の両外側面に前記誘電板を配置することにより、プラズマの放電をプラズマ発生室外に漏らさずに被測定物質をプラズマ発生室内で確実に発光させるように形成されているので、高輝度のプラズマの発光を得ることができる。また、前記透明板を設けることにより、外部から前記他方の開口部を通して不純物がプラズマ発生室内に混入することを防止するとともに、他方の開口部から排気されるプラズマ中に含まれる物質が化学蒸着することによって光ファイバーの光導入部が汚染されることを防止し、さらには、対向電極と光ファイバーとの間での放電の発生を防止することができるので、前記プラズマの発光を効率よく測光することを可能とする。これらの結果、サンプリングにかかる所要時間を短くすることができるので、高い検出能で被測定物質内の物質を検出することができる。

本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第２の態様においては、前記プラズマ発生室の他方の開口部と前記光ファイバとの間に集光レンズが設けられていることを特徴とする。

このような、本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第２の態様によれば、前記集光レンズを設けることにより、プラズマ発生室内に生じたプラズマの発光を集光してさらに高強度の光を光ファイバーに導入することを可能とする。

本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第３の態様においては、前記プラズマ発生室の一方の開口部と前記プラズマ生成用ガス導入部との間に前記マイクロプラズマの発光を前記光ファイバ方向へ反射するための反射部材が設けられていることを特徴とする。

このような、本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第３の態様によれば、反射部材を設けることにより、光ファイバーが配置されているのとは反対方向に放射される光を反射して、さらに高強度の光を光ファイバーに導入することを可能とする。

本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第４の態様においては、複数の前記積層体が、各前記プラズマ発生室が同軸上に連続して設けられていることを特徴とする。

このような、本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第４の態様によれば、前記積層体を連続して設けることにより、光ファイバーによって発光を測光する測光方向へのプラズマの放電可能な長さを長くすることができるので、発光強度を増大させて、高強度の光を光ファイバーに導入することを可能とする。

本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置によれば、プラズマ発生室内において高輝度でのプラズマの発光を可能とし、さらに、前記発光を効率よく測光して被測定物質の検出感度に優れた原子発光検出器用マイクロプラズマ装置を提供することを可能とする。

本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第１実施形態を示す概略断面図 本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第２実施形態を示す概略断面図 本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第３実施形態を示す概略断面図 本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第４実施形態を示す概略断面図 図１の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置によって得られた塩化メチルのクロマトグラムであり、（ａ）はサンプル濃度３０ｐｐｍの場合のクロマトグラム、（ｂ）はサンプル濃度５０ｐｐｂの場合のクロマトグラム、（ｃ）はサンプル濃度３ｐｐｔの場合のクロマトグラム、（ｄ）はキャリアーガスのみの場合のクロマトグラム 図１の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置によって得られた臭化メチルのクロマトグラムであり、（ａ）はサンプル濃度３０ｐｐｍの場合のクロマトグラム、（ｂ）はサンプル濃度５０ｐｐｂの場合のクロマトグラム、（ｃ）はサンプル濃度３ｐｐｔの場合のクロマトグラム、（ｄ）はキャリアーガスのみの場合のクロマトグラム 従来の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の形態を示す概略断面図

本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置の第１実施形態乃至第４実施形態について図１乃至図４を用いて以下に説明する。

＜第１実施形態＞
本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１の第１実施形態は、図１に示すように、モリブデンなどの金属板からなる一対の対向電極２，２の間と両外側面とにガラスなどの誘電体からなる３枚の誘電板３をそれぞれ配置した積層体Ｌにおいて、積層方向に貫通して形成された、例えば、円孔状の貫通孔Ｌａからなるプラズマ発生室４と、プラズマ発生室４の一方の開口部４ａからプラズマ発生室４内にプラズマ生成用ガス（図中にＧＡＳとして示す。）を導入するプラズマ生成用ガス導入部５と、プラズマ発生室４の他方の開口部４ｂが開口している積層体Ｌの外側面Ｌ４ｂと所定の間隙Ｓを形成した状態で、当該外側面Ｌ４ｂと平行に設けられた透明板６と、透明板６を隔ててプラズマ発生室４の積層体Ｌの積層方向における一点鎖線で示された中心軸Ａと同軸に設けられた光ファイバー７とを備えている。

そして、第１実施形態の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１においては、プラズマ生成用ガス導入部５からプラズマ発生室４の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、一対の対向電極２，２に対して図示を省略した電源から電圧を印加することにより、プラズマ発生室４内にマイクロプラズマを発生させて、当該マイクロプラズマの発光Ｐを光ファイバー７を通して図示を省略した分光器などに導入するように形成されている。

プラズマ生成用ガス導入部５から導入するプラズマ生成用ガスとしては、本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１を用いて物質の同定をする場合には、被測定物質を含むサンプルガスと、ヘリウムガス等のキャリアガスとの混合気体もしくは被測定物質を含むサンプルガスのみを用いるようにされる。この他にも、プラズマ状態とされた際の発光を検出したい物質を含む気体を用いることができる。

また、プラズマ生成用ガスは、被測定物質を単に気化させたガスを導入するだけでなく、本発明のマイクロプラズマ発生検出器１のプラズマ生成用ガスの流れ方向における上流側にガスクロマトグラフもしくは、特許文献１に記載のイオン検出器などを設けて、当該ガスクロマトグラフまたはイオン検出器にて被測定物質の分析を行った後の被測定物質を含む排気ガスを導入するようにしてもよい。

この他にも、一旦、プラズマ発生室４にてプラズマ化された後のガスを再度、プラズマ生成用ガスとしてプラズマ生成用ガス導入部５に導いて、被測定物質を含むガスを所定回数循環させるようにしてもよい。

プラズマ発生室４は、円筒形状、角柱形状など特にその形状を限定するものではないが、特に、円筒形状とすることにより、プラズマの発光Ｐをより均一に発生させることができる。

また、透明板６は、積層体Ｌの他方の外側面Ｌ４ｂと透明板６の平面とが平行となるように設けられることが好ましい。

このような、第１実施形態の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１によれば、まず、一対の対向電極２，２の間および両外側面にそれぞれ誘電体３を配置した積層体Ｌにプラズマ発生室４を形成することにより、プラズマ生成用ガスが接触する範囲において対向電極２，２の両外側面が露出されることがないので、放電がプラズマ発生室４の内部以外で発生するのを防止することができる。

そして、透明板６を設けることにより、プラズマの発光Ｐと光ファイバー７の光導入部７ａとの間の光路を遮ることなく、プラズマ生成用ガスの積層体Ｌの積層方向への流路のみを遮って、プラズマ生成用ガスをプラズマ発生室４内に留まらせることで、プラズマ生成用ガスに含まれる被測定物質をプラズマ発生室４内で確実に発光させることを可能とする。さらに、透明板６を積層体Ｌの他方の外側面Ｌ４ｂと所定の間隙Ｓを形成した状態で邪魔板状に設けることにより、プラズマ発生室４から当該間隙Ｓを通って排出されるプラズマ生成用ガスの間隙Ｓにおけるプラズマ生成用ガスの流速をプラズマ発生室４におけるプラズマ生成用ガスの流速よりも速くさせることで、外部から間隙Ｓを通って空気が流入することを防止して、不純物のプラズマの発光を検出することがなく、所望の物質のプラズマの発光のみを得ることを可能とする。

以上の作用効果によって、本実施形態における原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１は、高輝度のプラズマの発光が得られることにより、サンプリングにかかる積分時間を短くすることができるので、ピークが現れるＲｅｔｅｎｔｉｏｎＴｉｍｅ同士が近い物質が含まれるプラズマ生成用ガスを用いる場合においても高い検出能で各物質を検出することを可能とする。

また、透明板６は、光ファイバー７の光導入部７ａがプラズマ中の物質によって汚染されることを防止することができる。例えば、当該透明板６を着脱可能に設置することにより、透明板６の表面がプラズマ中の物質が付着して曇り、光導入部７ａへの光路が遮られた場合においても、透明板６を取り外して洗浄するもしくは新しいものと交換することで、当該光路を確実に確保して、プラズマの発光Ｐを光ファイバー７に導入することを可能とする。

＜第２実施形態＞
本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１の第２実施形態は、図２に示すように、プラズマ発生室４の他方の開口部４ｂと光ファイバー７との間、より具体的には、透明板６と光ファイバー７のとの間の他方の開口部４ｂに対応する位置に、プラズマの発光Ｐを集光して光ファイバー７の光導入部７ａに導入するための集光レンズ８が設けられている。なお、第１実施形態と同じ構成については説明を省略する。

そして、第２実施形態の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１においては、プラズマ生成用ガス導入部５からプラズマ発生室４の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、一対の対向電極２，２に対して図示を省略した電源から電圧を印加することにより、プラズマ発生室４内にマイクロプラズマを発生させ、当該マイクロプラズマの発光Ｐを集光レンズ８によって集光して光ファイバー７の光導入部７ａに導入するように形成されている。

このような、第２実施形態の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１によれば、集光レンズ８によってプラズマ発生室４内に生じたプラズマの発光Ｐを集光して光ファイバー７の光導入部７ａに導入するので、さらに高強度の光を光ファイバー７を通して分光器などに導入することを可能とする。

＜第３実施形態＞
本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１の第３実施形態は、図３に示すように、プラズマ発生室４の一方の開口部４ａとプラズマ生成用ガス導入部５との間、より具体的には、プラズマ発生室４の一方の開口部４ａが開口している積層体Ｌの外側面Ｌ４ａとプラズマ生成用ガス導入部５との間に光ファイバー７とは逆方向に放射されたプラズマの発光Ｐを光ファイバー７方向へ反射するための反射部材９が設けられている。

反射部材９のプラズマ発生室４の一方の開口部４ａに対応する位置には、図３に示すように、プラズマ生成用ガス導入部５から導入されるプラズマ生成用ガスをプラズマ発生室４に通すための１つまたは複数のガス孔９ａが形成されている。

なお、図３においては、反射部材９を平板状としているが、すり鉢状のパラボロイド形状（回転放物面）とすることで、反射および集光を同時にするようにしてもよい。

そして、第３実施形態の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１においては、プラズマ生成用ガス導入部５からプラズマ発生室４の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、一対の対向電極２，２に対して図示を省略した電源から電圧を印加することにより、プラズマ発生室４内にマイクロプラズマを発生させ、当該マイクロプラズマの発光Ｐのうち光ファイバー７方向に放射される光を光導入部７ａに導入するとともに、光ファイバー７とは反対方向に放射される光を反射部材９によって光ファイバー７方向へ反射して光導入部７ａに導入するように形成されている。

このような、第３実施形態の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１によれば、反射部材９によってプラズマ発生室４に内に生じたプラズマの発光Ｐのうち、光ファイバー７とは反対方向に放射される光を光ファイバー７の方へ反射するので、プラズマの発光Ｐによる光のうち光ファイバー７方向へ放射された光と、光ファイバー７とは反対方向へ放射された光の両方を光ファイバー７の光導入部７ａに導入することができるので、さらに高強度の光を光ファイバー７を通して分光器などに導入することを可能とする。

＜第４実施形態＞
本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１の第４実施形態は、図４に示すように、第１実施形態において説明した積層体Ｌを２つ、それぞれのプラズマ発生室４の中心軸が同軸となるように直列的に連結して、１つの連続した積層体Ｌｃとして形成されている。なお、図４においては、１つの連続した積層体Ｌｃの左側の積層体を第１積層体Ｌ１、右側の積層体を第２積層体Ｌ２として示す。

第１積層体Ｌ１と第２積層体Ｌ２とは、図４に示すように、中間位置にある１つの誘電板３を共有して、１つの連続した積層体Ｌｃとされている。なお、単純に第１積層体Ｌ１と第２積層体Ｌ２とを接続、すなわち、第１積層体Ｌ１のプラズマ生成用ガスの流れ方向における下流側の外側面と第２積層体Ｌ２のプラズマ生成用ガスの流れ方向における上流側の外側面とを接着することにより、１つの連続した積層体Ｌｃを形成するようにしてもよい。

そして、第４実施形態の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１においては、プラズマ生成用ガス導入部５からプラズマ発生室４の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、第１積層体Ｌ１および第２積層体Ｌ２の一対の対向電極２，２に対してそれぞれ図示を省略した電源から電圧を印加することにより、１つの連続した積層体Ｌｃ中に形成された２つの貫通孔Ｌａからなるプラズマ発生室４内にマイクロプラズマを発生させて当該マイクロプラズマの発光Ｐを光導入部７ａに導入するように形成されている。

このような、第４実施形態の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１によれば、第１積層体Ｌ１と第２積層体Ｌ２を直列的に接続して、２つの貫通孔Ｌａからなるプラズマ発生室４とすることにより、光ファイバー７の測光方向、図４においては、プラズマ発生室４の中心軸方向にマイクロプラズマを長く形成することができるので、発光強度を増大させて、より高輝度の光を光ファイバー７に導入することを可能とする。

また、上記の第１実施形態乃至第４実施形態の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１の対向電極２，２に対して、公知の冷却装置などによる冷却手段を設けることが好ましい。特に、第４実施形態のように、対向電極２，２を連続してプラズマ発生室４を形成する場合においては、中央付近の電極の排熱が間に合わずに著しく装置の温度が高くなることが考えられるので、対向電極２，２に冷却手段を設けることにより、対向電極２，２の長寿命化を図ることができるとともに、装置全体の温度上昇を抑制することができる。

＜実施例＞
以下に、本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１の実施例を説明する。本実施例においては、図１に示した第１実施形態の本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１を用いて検討を行った。

プラズマ発生室４に導入するプラズマ生成用ガスは、上流側に設置したガスクロマトグラフにてサンプルを予め分離させた状態でプラズマ発生室４に導入し、プラズマの生成を行った。なお、実験に使用したガスクロマトグラフは、ＧＣ７００（Ｊ−ＳＣＩＥＮＣＥ ＬＡＢ ＣＯ．，Ｌｔｄ社製）を用い、カラムとしては、ジメチルポリシロキサンを充填剤とし、直径０．５３ｍｍ、長さ２５ｍの無極性ＧＣカラム（ＤＢ−１、Ａｇｉｌｅｎｔ Ｊ＆Ｗ社製）を用いた。分離条件は、カラム温度５０℃、注入ポート温度１００℃、キャリーガスをヘリウムガスとして行った。

電極２，２には、３０ｋＨｚ、９ｋＶｐ−ｐのネオン変圧器を用いて電圧を印加した。

また、光ファイバー７に導入された光は、分光器（ＨＲ４０００、ＯｃｅａｎＯｐｔｉｃｓ，Ｉｎｃ．社製）にて波長ごとの強度情報へと変換し、原子発光分析を行うようにした。分光器の積分時間は、本実験に用いた分光器の最小積分時間である３．８ｍｓとして行った。

サンプルとしては、塩化メチル（ＣＨ_２Ｃｌ_２）および臭化メチル（ＣＨ_２Ｂｒ_２）を用い、ヘリウム１Ｌ中に塩化メチル２μＬ、臭化メチル２μＬを導入し、それぞれ塩化メチル７７０ｐｐｍ、臭化メチル７００ｐｐｍのサンプルを作成した。さらに、当該サンプルの濃度を１／５ずつ減少させながら導入し、塩化メチルにおいては１５４ｐｐｍ〜３ｐｐｔ、臭化メチルにおいては１４０ｐｐｍ〜３ｐｐｔまで変化させて、それぞれ、３０ｐｐｍ、５０ｐｐｂ、３ｐｐｔの濃度の場合およびキャリアーガスのみの場合にて測定を行った。なお、各サンプルの測定波長は、塩化メチルにおいては塩素の検出を検討するべく８３７．５９４ｎｍ、臭化メチルにおいては臭素の検出を検討するべく８８９．８６２ｎｍとして測定を行った。

本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１を用いて、塩化メチルおよび臭化メチルを測定して得られたクロマトグラムを図５および図６に示す。図中の破線は、図５においては塩素の炎色波長を示す８３７．５９４ｎｍのピークが現れる位置、図６においては臭素の炎色波長を示す８８９．８６２ｎｍのピークが現れる位置をそれぞれ示したものである。

サンプルを塩化メチルとして塩素の検出を行った場合においては、図５に示すように、３０ｐｐｍ、５０ｐｐｂおよび３ｐｐｔのいずれの濃度においてもピークが検出されていることが分かる。また、サンプルを臭化メチルとして臭素の検出を行った場合においては、図６に示すように、３０ｐｐｍ、５０ｐｐｂおよび３ｐｐｔのいずれの濃度においてもピークが検出されていることが分かる。

特許文献１に記載（図１１（ａ）および（ｂ）を参照）の塩化メチルおよび臭化メチルの検出結果に示されているように、従来の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置２０においては、塩化メチルおよび臭化メチルのいずれのサンプルについても１０ｐｐｍの濃度が検出限界であったのに対して、図５および図６に示すように、本発明の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置１においては、３ｐｐｔの濃度のサンプルにおいても、被測定物質である塩素および臭素の検出が可能であり、従来の検出器と比較して、約１００万分の１の濃度のサンプルの検出が可能であることが分かった。

本発明のマイクロプラズマ発生検出器１の実施の形態は、上記第１実施形態乃至第４実施形態に限定されるものではなく、発明の特徴を損なわない範囲において、例えば、プラズマ発生室４のプラズマ生成用ガス導入部５が設けられた一方の開口部４ａに透明板６を備えた光ファイバー７を設け、他方の開口部４ｂにイオン検出器もしくは質量分析装置を接続するようにしたり、積層体Ｌの貫通孔Ｌａに対して、垂直な挿通孔を設けて積層体Ｌの内部にＴ字型の空間を形成し、当該挿通孔の開口部をプラズマ生成用ガス導入部とするとともに、プラズマ発生室４の一方の開口部４ａに光ファイバー７を設け、他方の開口部４ｂにイオン検出器を設けるようにして、光ファイバー７を介したプラズマの発光Ｐの検出と、イオン検出器によるプラズマ中のイオンの検出もしくは質量分析装置による質量分析などとを同時に行うように形成するなどの応用が可能である。

１ 原子発光検出器用マイクロプラズマ装置
２ 対向電極
３ 誘電板
４ プラズマ発生室
４ａ 一方の開口部
４ｂ 他方の開口部
５ プラズマ生成用ガス導入部
６ 透明板
７ 光ファイバー
８ 集光レンズ
９ 反射部材
Ｌ 積層体
Ｌａ 貫通孔
Ｌ４ｂ 外側面
Ｓ 間隙
Ｐ プラズマの発光

Claims (4)

1. 金属板からなる一対の対向電極の間および両外側面に誘電体からなる誘電板をそれぞれ配置した積層体において、積層方向に貫通して形成された貫通孔からなるプラズマ発生室と、
   前記プラズマ発生室の一方の開口部から前記プラズマ発生室に対してプラズマ生成用ガスを導入するプラズマ生成用ガス導入部と、
   前記積層体の前記プラズマ発生室の他方の開口部が開口している外側面と所定の間隙を形成した状態で設けられた透明板と、
   前記透明板を隔てて前記プラズマ発生室の前記積層体の積層方向における中心軸と同軸に設けられた光ファイバーとを備え、
   前記プラズマ生成用ガス導入部から前記プラズマ発生室の内部にプラズマ生成用ガスを導入するとともに、前記一対の対向電極に対して電圧を印加することにより、前記プラズマ発生室内に発生したマイクロプラズマの発光を前記光ファイバを通して検出するように形成されていることを特徴とする原子発光検出器用マイクロプラズマ装置。
2. 前記プラズマ発生室の他方の開口部と前記光ファイバとの間に集光レンズが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置。
3. 前記プラズマ発生室の一方の開口部と前記プラズマ生成用ガス導入部との間に前記マイクロプラズマの発光を前記光ファイバ方向へ反射するための反射部材が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置。
4. 複数の前記積層体が、各前記プラズマ発生室が同軸上に連続して設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の原子発光検出器用マイクロプラズマ装置。