JP4559912B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
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- F16C32/044—Active magnetic bearings
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Description
図1は本発明の実施形態1における磁気軸受装置の全体構成を示すブロック図、図2は図1の実施形態1における要部拡大図である。
図3は本発明の実施形態2における磁気軸受装置の全体構成を示すブロック図である。実施形態2は、実施形態1とはケーシング38に温度センサ43を設けてケーシング38の熱膨張も考慮して補正を行うようにした点で異なるが、それ以外の構成は実施形態1と同様である。
B 磁気スラスト軸受手段
1 スラスト磁気軸受制御装置
2 加算器
3 フィルタ処理部
4 主軸径検出処理部
5 主軸伸び演算部
6 補正値演算部
7 補正指令演算部
8 伸び補正演算部
9 加算器
10 位相補償器
11 パワー増幅器
20,21 保護軸受
22,23,24,25 ラジアル磁気軸受電磁石
26,27 スラスト磁気軸受電磁石
28,29,40,41 ラジアル変位センサ
30 スラスト変位センサ
31 主軸
31a 加工ツール取付部
31b 主軸端面
31c スラスト位置ターゲット面
32 工具
33,34 ラジアル磁気軸受ロータ
35 モータロータ
36 モータステータ
37 ツールホルダー
38 ケーシング
38a 取り付けフランジ
39 スラスト磁気軸受ロータ
42 モータ駆動装置
43 温度センサ
44 ワーク
111 スラスト制御手段
115 補正演算器
117 加工ツール取付部位置補正手段
Claims (4)
- ツールを端部に取り付け可能な主軸を、ラジアル磁気軸受手段とスラスト磁気軸受手段とにより磁気浮上させると共に、前記主軸を回転駆動する磁気軸受装置であって、
前記主軸をスラスト方向に駆動するスラスト電磁石と、前記主軸のスラスト位置ターゲット面を検出するスラスト変位センサと、前記スラスト変位センサの検出値と規定値の差に基づいて前記スラスト電磁石を励磁するスラスト制御手段と、前記主軸の前記スラスト位置ターゲット面からスラスト方向に突出して前記ツールが取り付けられるツール取付部と、前記主軸の前記スラスト位置ターゲット面の近傍位置に配置され、かつ前記主軸を介してラジアル方向に対向して配置された一対のラジアル変位センサによって前記主軸の径を検出する参照センサと、前記対向するラジアル変位センサの出力を加算する加算器と、前記加算器により加算された前記一対のラジアル変位センサの出力より前記主軸の回転周波数成分を除去するフィルタ処理部とにより構成される主軸径検出処理部と、
前記主軸径検出処理部の出力に基づいて前記主軸の温度情報を計算して、これを前記ツール取付部のスラスト方向の温度膨張長さに変換する主軸伸び演算部と、プロセス状態信号を入力し、前記主軸伸び演算部の演算結果の補正値を演算する補正値演算部と、前記主軸伸び演算部と前記補正値演算部との出力により前記主軸の伸び補正値を演算する補正指令演算部とにより構成される伸び補正演算部と、
前記伸び補正演算部の出力を前記スラスト変位センサの検出に基づく前記スラスト制御手段によるスラスト方向の位置制御指令に加算してスラスト制御補正するスラスト制御補正部とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。
- ツールを端部に取り付け可能な主軸を、ラジアル磁気軸受手段とスラスト磁気軸受手段とにより磁気浮上させると共に、前記主軸を回転駆動する磁気軸受装置であって、
前記主軸を取り囲むケーシングの温度を検出する温度センサと、
前記主軸をスラスト方向に駆動するスラスト電磁石と、前記主軸のスラスト位置ターゲット面を検出するスラスト変位センサと、前記スラスト変位センサの検出値と規定値の差に基づいて前記スラスト電磁石を励磁するスラスト制御手段と、前記主軸の前記スラスト位置ターゲット面からスラスト方向に突出して前記ツールが取り付けられるツール取付部と、前記主軸の前記スラスト位置ターゲット面の近傍位置に配置され、かつ前記主軸を介してラジアル方向に対向して配置された一対のラジアル変位センサによって前記主軸の径を検出する参照センサと、前記対向するラジアル変位センサの出力を加算する加算器と、前記加算器により加算された前記一対のラジアル変位センサの出力より前記主軸の回転周波数成分を除去するフィルタ処理部とにより構成される主軸径検出処理部と、
前記主軸径検出処理と前記温度センサの検出情報に基づいて前記主軸の温度情報を計算して、これを前記ツール取付部のスラスト方向の温度膨張長さに変換する主軸伸び演算部と、プロセス状態信号を入力して前記主軸伸び演算部の演算結果の補正値を演算する補正値演算部と、前記主軸伸び演算部と前記補正値演算部との出力により前記主軸の伸び補正値を演算する補正指令演算部とにより構成される伸び補正演算部と、
前記伸び補正演算部の出力を前記スラスト変位センサの検出に基づく前記スラスト制御手段によるスラスト方向の位置制御指令に加算して、スラスト制御補正するスラスト制御補正部とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。
- 前記参照センサとして、前記ラジアル磁気軸受手段において前記主軸のラジアル方向の位置を検出するラジアルセンサを使用したことを特徴とする請求項1または2記載の磁気軸受装置。
- 前記主軸伸び演算部により、前記主軸の温度膨張による変形量と該主軸の遠心力による変形量とからスラスト制御補正することを特徴とする請求項1または2記載の磁気軸受装置。
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