JPH08166019A - 磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低速回転領域では適切な軸受特性が得られ、
高速回転領域では適切な剛性が得られる磁気ラジアル軸
受用電磁石の制御装置を提供する。 【構成】 高速回転時において、所定の回転軸７を第１
及び第２の１対の電磁石６、１６によって回転自在に無
接触で軸支する磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装置で
あって、回転軸７と電磁石６、１６とのギャップ量を検
出するギャップ寸法計測機能２５と、ギャップ寸法計測
機能２５の計測値と別に設定された位置指令信号との比
較結果に基づき、位置制御信号を作成する機能（２０、
２１）を備え、かつ、補償特性を自動操作する位置制御
信号補償機能２２Ａと、位置制御信号補償機能２２Ａが
作成する位置制御信号上の回転軸７の回転速度に対応す
る周波数成分の存在を除去するように、該周波数に対応
して中心周波数を自動操作するようにしたノッチフィル
タ２３をもち、かつ、別に設定するバイアス電流指令値
に加算して上記電磁石の内の第１の電磁石のコイル電流
指令信号を作成するように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、高速回転する回転軸
を安定に回転自在に無接触で軸支する磁気ラジアル軸受
に係り、特に、定常回転において負荷を受ける磁気ラジ
アル軸受の制御、即ち、この磁気ラジアル軸受用電磁石
の制御装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】２０ｋＷで４万乃至８万回転のような高
速回転をするモータ等の回転機の回転軸を低摩擦で安定
に軸支するラジアル軸受として、しばしば磁気軸受が使
用される。このような磁気ラジアル軸受用電磁石の駆動
回路は、軸受と回転軸とのギャップを０．１ｍｍ程度の
高精度に維持するために、例えば図２に示すブロック図
のように構成される。図２において、この軸受機能とし
て設定される第１の電磁石６の基準電流を指令する第１
のバイアス電流指令信号が、第１のバイアス電流指令出
力部１から加算機能２の第１の加算入力部に入力し、加
算機能２の第２の加算入力部には詳細を後述する力指令
信号が入力している。加算機能２の加算結果は第１の比
較機能３の基準値入力部（＋で示す）に入力している。
第１の比較機能３による比較結果である偏差信号は第１
の電流制御増幅機能４に入力し、第１の電流制御増幅機
能４の出力は第１の電磁石駆動機能５に入力している。
第１の電磁石駆動機能５は、第１の電流制御増幅機能４
の出力（電圧信号）に比例した電圧値を第１の電磁石６
のコイル６ａに供給する。第１の電磁石６の中心部は軸
支すべき対象の回転軸７に対向して配置されている。第
１の電磁石６のコイル６ａを流れる電流は、第１の電流
値計測機能８、例えば、ＤＣＣＴ（ＤＣ Ｃｕｒｒｅｎ
ｔ Ｔｒａｎｓｆｏｒｍｅｒ）によって計測されて第１
の比較機能３の比較値入力部（−で示す）に入力してい
る。即ち、上述した第１の電磁石６の駆動回路は第１の
フィードバックループを形成している。図２において
は、第１の電流値計測機能８からのフィードバック回路
が有する回路機能は図示を省略し、第１の電流制御増幅
機能４に第１のフィードバックループとしての伝達関数
の特性を総合して含めて示している。

【０００３】また、図２において、この軸受機能として
設定される第２の電磁石１６の基準電流を指令する第２
のバイアス電流指令信号が、第２のバイアス電流指令出
力部１１から減算機能１２の被減算入力部（＋で示す）
に入力し、減算機能１２の減算入力部（−で示す）には
詳細を後述する力指令信号が入力している。減算機能１
２の減算結果は第２の比較機能１３の基準値入力部（＋
で示す）に入力している。第２の比較機能１３の比較結
果である偏差信号は第２の電流制御増幅機能１４に入力
し、第２の電流制御増幅機能１４の出力は第２の電磁石
駆動機能１５に入力している。第２の電磁石駆動機能１
５は第１の電磁石駆動機能５と同一の構成であって、例
えば、第２の電流制御増幅機能１４の出力（電圧信号）
に比例した電圧値を第２の電磁石１６のコイル１６ａに
供給する。第２の電磁石１６のコイル１６ａを流れる電
流は第２の電流値計測機能１８、例えば、ＤＣＣＴによ
って計測されて第２の比較機能１３の比較値入力部（−
で示す）に入力している。即ち、上述した第２の電磁石
１６の駆動回路は第１の電磁石６の駆動回路同様第２の
フィードバックループを形成している。図２において
は、第２の電流値計測機能１８からのフィードバック回
路が有する回路機能は図示を省略し、第２の電流制御増
幅機能１４に第２のフィードバックループとしての伝達
関数の特性を総合して含めて示している。第１の電流制
御増幅機能４と第２の電流制御増幅機能１４には、第１
及び第２の夫々のフィードバックループとも対応して力
指令通りの電磁力を回転軸７に与えるように構成した電
流制御信号補償機能を備えている。第１の電磁石６と第
２の電磁石１６の中心部は対向して配置され、夫々のコ
イル６ａ、１６ａに流す電流により発生する磁気力によ
って無接触で回転軸７を軸支する。

【０００４】図２において、この軸受機能として設定さ
れる２個１対の電磁石６及び１６が回転軸７を軸支すべ
きギャップ量を指定する位置信号（通常はギャップの真
ん中に相当する信号が固定されている。）が、図示しな
い上位の制御装置で作成されて位置指令信号出力部２０
から、第３の比較機能２１の基準値入力部（＋で示す）
に入力している。第３の比較機能２１で比較した結果で
ある偏差信号は、位置制御信号補償機能２２に入力し、
位置制御信号補償機能２２の出力である位置制御信号は
ノッチフィルタ２３に入力している。ノッチフィルタ２
３の出力回路からは力指令信号２４が出力している。力
指令信号２４は加算機能２の第２の加算入力部（＋で示
す）と減算機能１２の減算入力部（−で示す）に接続し
ている。第２の電磁石１６と回転軸７とのギャップ量
は、ギャップ寸法計測機能２５、例えば、渦電流式等の
ギャップセンサによって計測され、第３の比較機能２１
の比較値入力部（−で示す）に入力している。即ち、符
号２０から２５までの回路は第１、第２のフィードバッ
ク回路を含む上位の第３のフィードバック回路を形成し
ている。図２においては、ギャップ寸法計測機能２５か
らフィードバックする第３のフィードバック回路が有す
る回路機能は、図示を省略し位置制御信号補償機能２２
に第３のフィードバックループとしての伝達関数の特性
を総合して含めて示している。また、回転軸７には回転
速度計測機能２６、例えば速度発電機、ディジタルエン
コーダ等が装着されて回転軸７の回転速度を計測し、ノ
ッチフィルタ２３の中心周波数を回転軸７の回転速度に
合わせるように自動制御している。また、回転速度計測
機能２６が計測する回転速度信号が、予め設定した所定
値以下の場合はノッチフィルタ２３の機能を停止して信
号を直通させるようにしている。上述の回路例では、第
２の電磁石１６と回転軸７とのギャップ量を計測するよ
うに説明したが、第２の電磁石１６と回転軸７とのギャ
ップ量と第１の電磁石６と回転軸７とのギャップ量は相
互に逆方向に変位するので、第１の電磁石６と回転軸７
とのギャップを計測する等その他の計測手段もとられ
る。

【０００５】磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装置は、
位置指令信号を入力し、第１の電磁石６のコイル６ａ及
び第２の電磁石１６のコイル１６ａを流れる実電流値の
夫々をフィードバックさせた第１と第２のフィードバッ
クループと、１対の電磁石６及び１６と回転軸７との間
のギャップ量の値をフィードバックさせた第３のフィー
ドバックループの２重のフィードバックループによっ
て、第１の電磁石６のコイル６ａを流れる電流値及び第
２の電磁石１６のコイル１６ａを流れる電流値を適切に
制御し、よって回転軸７を２個１対の電磁石の中央に維
持するように制御している。さらに、ノッチフィルタ２
３によってギャップ寸法計測機能２５による計測値に含
まれる回転軸７の回転に伴う振動成分、即ち、ふれ回り
信号成分を除去してより安定な磁気軸受を形成させてい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な回路構成においては、第１及び第２夫々のフィードバ
ックループにおける夫々の補償機能である第１、第２の
電流制御増幅機能４、１４及び第３のフィードバックル
ープにおける補償機能である位置制御信号補償機能２２
は夫々、この回転軸７の定常回転速度に対応して適切に
設定されている。例えば、回転軸７の回転速度における
回転振動の影響を除去するようにノッチフィルタ２３の
中心周波数を自動操作させて回転軸７の回転速度を示す
周波数成分をギャップ寸法計測値のフィードバック処理
信号から除去し、例えば、電磁石のコイル電圧信号が飽
和することを防止している。しかし、ノッチフィルタ２
３の中心周波数を可変にしても、低周波領域まで可変に
することは補償機能の増幅特性における位相余裕を減少
させ、補償機能の安定度を劣化させる。そのために、ノ
ッチフィルタ２３の操作可能中心周波数はある周波数か
ら高い周波数に限定される。従って、ノッチフィルタの
機能を活かすことができる高周波領域、即ち、この磁気
ラジアル軸受が実用される高速回転領域において、所望
される剛性が得られるように第１、第２の電流制御増幅
機能４、１４及び位置制御信号補償機能２２の特性を夫
々設定しておくと、例えば、位置制御信号補償機能２２
に備えたＰＩＤ機能（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ機能：
比例機能 Ｉｎｔｅｇｒａｌ機能：積分機能 Ｄｉｆｆ
ｅｒｅｎｔｉａｌ機能：微分機能）の特性、特にＰゲイ
ン（比例増幅度）、Ｄゲイン（微分された信号成分の振
幅増幅度）や第１、第２の電流値計測機能８、１８の計
測値をフィードバックする第１、第２の各フィードバッ
クループにおける第１、第２の電流制御増幅機能４、１
４の電流フィードバックゲインを高めておくと、ノッチ
フィルタが機能するまでの回転軸の低速回転領域におい
ては、ギャップ寸法計測機能２５によって得られる変位
信号に重畳される回転軸７の回転に伴うふれ回り信号が
除去されないため、制御信号成分に比べて比較的高い周
波数成分であるふれ回り信号は第１、第２の電流制御増
幅機能４、１４及び位置制御信号補償機能２２夫々の特
性によって制御信号成分以上に振幅が増幅される。

【０００７】ふれ回り信号成分の信号の影響でフィード
バックループを備えた系によって発振したり、ふれ回り
信号成分が増幅されて増幅機能が飽和する恐れも生じ
る。そのために、この制御系の安定性が損なわれる恐れ
がある。しかし、低回転領域に対応させて、ＰＩＤ機能
を設けた場合のＰゲインやＤゲイン等、上記した所定箇
所の特性を低下させておくと、実用領域である高速回転
領域における軸受の剛性を所望されるように高めること
ができない。従って、上述したようにノッチフィルタが
機能する周波数までの回転軸回転速度における特性と、
ノッチフィルタが機能し得る周波数における回転軸回転
速度における特性のバランスを考える必要があるため、
磁気ラジアル軸受としての必要剛性を完全に得ることが
できるようには形成できないという問題があった。本発
明は従来のものの上記課題（問題点）を解決し、回転軸
の低速回転域においても適切な軸受性能が得られると共
に所望される高速回転領域において適切な剛性を得るこ
とができる磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装置を提供
することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に基づく磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装
置においては、高速回転時において、所定の回転軸を第
１及び第２の１対の電磁石によって回転自在に無接触で
軸支する磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装置であっ
て、当該回転軸と電磁石とのギャップ量を検出するギャ
ップ寸法計測機能と、該ギャップ寸法計測機能の計測値
と別に設定された位置指令信号との比較結果に基づき、
位置制御信号を作成する機能を備え、かつ、補償特性を
自動操作する位置制御信号補償機能と、該位置制御信号
補償機能が作成する位置制御信号上の当該回転軸の回転
速度に対応する周波数成分の存在を除去するように、該
周波数に対応して中心周波数を自動操作するようにした
ノッチフィルタをもち、かつ、別に設定するバイアス電
流指令値に加算して上記電磁石の内の第１の電磁石のコ
イル電流指令信号を作成するように構成した。この場
合、低速回転時において、上記位置制御信号補償機能を
もち、かつ、上記ノッチフィルタを停止させるように機
能するのが望ましい。また、上記位置制御信号補償機能
にはＰＩＤ機能を備え、当該回転軸の回転速度を示す信
号によって、上記ＰＩＤ機能の内、少なくともＰＤ機能
の特性を低速回転時は低いゲインとし、高速回転時は高
いゲインとして剛性を強くするように自動操作するのが
望ましい。さらに、上記１対の電磁石夫々のコイル電流
指令信号を対象電磁石のコイル電流計測機能の計測値と
比較し、この比較結果である偏差値を夫々の電流制御信
号補償機能を経由して、夫々の電磁石駆動機能に供給す
る機能を設けた磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装置に
おいて、上記回転軸の回転速度を示す信号によって、上
記１対の電磁石夫々に対応する電流制御信号補償機能の
補償特性を低速回転時は低いゲインとし、高速回転時は
高いゲインとして剛性を強くするように自動操作するの
が望ましい。

【０００９】

【作用】本発明は回転軸の回転速度に対応して電磁石の
電流を制御する機能のフィードバック特性を自動操作す
るようにしたので、回転軸の回転速度に影響されない
で、例えば、低速の回転領域でも安定に制御し高速回転
領域で所望される剛性が得られる。さらに、ノッチフィ
ルタを備えた制御装置では、ノッチフィルタを機能させ
ることができない低速の回転領域でも安定に制御し高速
回転領域では所望される剛性が得られる。制御回路にＰ
ＩＤ機能を備えている場合は、ＰＩＤ機能の内、少なく
ともＰＤ補償特性を自動操作することによって回転軸の
回転速度に影響されることなく安定に制御し所望される
剛性が得られる。電磁石の電流値をフィードバックさせ
る制御機能の場合は、このフィードバック系に備えた電
流制御信号補償機能の補償特性を自動操作することによ
って回転軸の回転速度に影響されることなく安定に制御
し所望される剛性が得られる。さらに、高速回転時では
負荷容量に合った所望の軸受剛性が得られるため、ふれ
回り信号が除去でき、低速回転時ではＰＤや電流フィー
ドバックゲインを低く保って剛性を下げるため、ふれ回
り信号による飽和を防ぐことができる。

【００１０】

【実施例】本発明に基づく磁気ラジアル軸受用電磁石の
一例を図１によって詳細に説明する。同図において、従
来の技術と同一又は相当の要素機能については、図２の
ものと同一の符号で示して詳細説明は省略する。また、
本発明を適用して改善された従来の要素機能に対する相
当機能については図２の符号に対してＡを付加して示し
ている。図１において、４Ａは第１の電流制御増幅機能
で、これには回転速度計測機能２６から出力される回転
軸７の回転速度信号を入力し、この信号を参照して自動
操作する機能が付加されている。同様に、１４Ａは第２
の電流制御増幅機能で、これも回転速度計測機能２６か
ら出力される回転軸７の回転速度信号を入力し、この信
号を参照して自動操作する機能が付加されている。この
ため、回転速度信号によって、回転軸７の回転速度がノ
ッチフィルタ２３の機能を停止させる低回転速度域にお
いては、第１及び第２の電流制御増幅機能４Ａ、１４Ａ
に夫々に設けた電流フィードバックゲインを所定量低下
させる。即ち、第１及び第２の電流制御増幅機能４Ａ、
１４Ａが有する又は第１、第２の夫々のフィードバック
ループが有する総合伝達関数を、入力する電磁石の電流
値を指令する電流制御信号に含まれる回転軸７の回転速
度に対応する周波数成分の増大を防止すると共に、磁気
ラジアル軸受として必要な機能を電磁石が発揮できるよ
うにする。

【００１１】また、２２Ａは位置制御信号補償機能で、
これも回転軸７の回転速度に対応して操作する機能を設
けた位置制御信号補償機能を付加したものである。この
ため、回転軸の回転速度がノッチフィルタ２３の機能を
停止させる低回転速度域においては位置制御信号補償機
能２２Ａに備えたＤ機能のゲインを所定量に低下させ
る。また、Ｄ機能のゲイン低下で回転軸７の回転速度に
おけるふれ回りの影響を除去しきれない場合はＰ機能の
ゲインも所定量に低下させる。さらに、Ｄ機能のゲイン
低下に伴う位置指令を力指令に変換する機能を劣化させ
る恐れのある場合はＩゲインを自動操作する。即ち、位
置制御信号補償機能２２Ａが有する又はこの第３のフィ
ードバックループの有する総合伝達関数を、回転軸７の
回転に伴ってフィードバック信号に含まれる回転軸７の
回転速度に対応する振動の周波数成分による影響を減少
させて磁気ラジアル軸受として必要な機能を電磁石が発
揮できるようにする。

【００１２】上述したノッチフィルタの機能を停止させ
る条件における第１、第２の電流制御増幅機能４Ａ、１
４Ａ又は位置制御信号補償機能２２Ａの特性の自動操作
には、従来のノッチフィルタの中心周波数の自動操作同
様、例えば、これらの機能がディジタル処理によって行
われている場合は、所定の周波数に対応する処理用のプ
ログラム又は演算用係数等を所定のメモリに記録し、入
力する回転軸７の回転速度を示す信号に対応して、これ
らのメモリに記録されたプログラム又は演算用係数等を
読み出し、その読み出し内容に従って処理を実行すれば
良い。第１、第２の電流制御増幅機能４Ａ、１４Ａ又は
位置制御信号補償機能２２Ａの機能がアナログ処理によ
って行われている場合は、その回路構成に従って、例え
ば、演算増幅器の増幅度を変化させる電子部品によっ
て、等価的に設定されているＣ（キャパシティ）やＲ
（抵抗）の値を印加電圧を変化させる等の手段によって
変化させるようにすれば良い。

【００１３】上述した回転軸７の回転速度に対応するゲ
インの具体的な操作内容は、次の各手段を条件に対応し
て適切に設定すれば良い。 対象フィードバックループの構成における特性を理論
的に解析した結果に基づく演算結果に従って設計し、自
動操作できるようにする。また、上述の設計結果に対応
して適切な自動操作ができるように第１、第２の電流制
御増幅機能４Ａ、１４Ａ又は位置制御信号補償機能２２
Ａを構成する。 第１、第２の電流制御増幅機能４Ａ、１４Ａ又は位置
制御信号補償機能２２Ａを含む夫々のフィードバックル
ープの特性と入力する回転軸７の回転速度に対応する振
動の周波数成分とその振幅値によってコンピュータを使
用したシミュレーションを行って最適条件を求め、計測
する回転軸７の回転速度に対応して、この最適条件が自
動操作で実現できるようにする。 第１、第２の電流制御増幅機能４Ａ、１４Ａ又は位置
制御信号補償機能２２Ａを含む夫々のフィードバックル
ープの特性と入力する回転軸７の回転速度に対応する振
動の周波数成分とその振幅値に対応する実験を行って最
適条件を求め、計測する回転軸７の回転速度に対応し
て、この最適条件が自動操作で実現できるようにする。 上記の各手段を組み合わせる。 上述の結果を踏まえ又は第１、第２の電流制御増幅機
能４Ａ、１４Ａ又は位置制御信号補償機能２２Ａを手動
調節可能にしておいて、装置完成時に実験的に求め計測
する回転軸７の回転速度に対応して、この最適条件が自
動操作で実現できるようにする。 自動操作機能にファジィ制御を適用して、回転軸７の
現実の回転速度に対応した柔軟性のある自動修正を実行
させる。 自動修正機能に人工知能的機能を設け、修正内容の最
適化に関する自己学習の実行によって、最適条件に収斂
させる。

【００１４】上述の説明では、第１、第２の電流制御増
幅機能４Ａ、１４Ａ及び位置制御信号補償機能２２Ａの
両方の特性を自動補正するように説明し、また、位置制
御信号補償機能２２ＡのＰＩＤ各機能を自動操作するよ
うに説明したが、このラジアル磁気軸受の必要仕様に対
応して、位置制御信号補償機能２２Ａの特性のみを自動
補正するようにしても良い。また、Ｄ機能のみ、ＤとＰ
機能のみを自動操作するようにしても良い。また、この
ラジアル磁気軸受の必要仕様に対応して、回転軸７の回
転速度に対応してステップ状に特性を自動操作しても、
回転軸７の回転速度に対応して連続的に特性を自動操作
しても良い。また、上述の実施例の説明では回転軸７の
回転速度を計測する回転速度計測機能２６を設けるよう
に説明したが、回転軸７の回転速度はこの回転軸７を備
えた装置の制御機能から得るようにしても、回転軸７を
備えた装置の制御機能に含まれる回転速度センサから得
るようにしても良い。回転軸７を備えた装置の制御機能
から回転軸７の回転速度に関する情報を得るようにする
と、回転速度の上昇計画データ等、現在の回転速度以外
の情報を得ることによって操作機能を現実の回転速度の
変化に先行して適切に自動補正することも可能であり、
情報の質の向上を図ることによって操作のタイミングと
内容の精度をあげ、よって低速回転時の軸受の等価的剛
性の向上を図ることができる。また、位置制御信号補償
機能２２Ａの後に、ノッチフィルタ２３が構成されてい
る例について説明したが、ノッチフィルタ２３の後に位
置制御信号補償機能２２Ａが構成されている場合であっ
ても、位置制御信号補償機能２２Ａとノッチフィルタ２
３が一体に構成されている場合にも同様に実施が可能で
ある。

【００１５】上述の説明は、本発明の技術思想を実現す
るための基本方法と構成を示したものであって、上記の
各要素機能はアナログ回路によって処理するようにして
もディジタル回路によって処理するようにしても良く、
マイクロコンピュータ等を使用する場合は、上述した本
発明に対応する機能専用にマイクロコンピュータと自動
操作内容を記録した記憶機能等を設けても、この磁気ラ
ジアル軸受を備えた装置を制御する上位制御装置の一部
機能を使用するようにしても良いことは当然である。ま
た、電磁石の構成とその制御機能の構成条件等に対応し
て、上述した実施例に示す技術思想を活用し各部で検出
し、また構成する信号の条件等に対応して実施例に説明
した以外の手段を適切に構成させても良いことも当然で
ある。

【００１６】

【発明の効果】本発明は、上述のように回転軸の回転速
度に対応して各要素機能の特性を自動操作するように構
成したので、次のような優れた効果を有する。 ノッチフィルタの機能を停止させた低速の回転領域で
ふれまわり信号の影響を低減できる。 この磁気ラジアル軸受の対象回転軸の回転速度がノッ
チフィルタの機能を停止させる必要のある低速の回転領
域の制御条件を考慮しないで、実用域の回転速度の時に
必要な最適設計が可能になる。 従って、このラジアル磁気軸受として必要な最適剛性
が得られる。 さらに、最適剛性の得られる高速の回転領域ではふれ
まわり信号を除去できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に基づく磁気ラジアル軸受用電磁石の制
御装置の実施例を説明する概要ブロック図である。

【図２】従来の磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装置を
説明する概要ブロック図である。

【符号の説明】

１、１１：バイアス電流指令出力部 ２：加算機能 ３、１３、２１：比較機能 ４Ａ、１４Ａ、：電流制御増幅機能 ５、１５：電磁石駆動機能 ６、１６：電磁石 ６ａ、１６ａ：電磁石のコイル ７：回転軸 ８、１８：電流値計測機能 １２：減算機能 ２０：位置指令信号出力部 ２２Ａ：位置制御信号補償機能 ２３：ノッチフィルタ ２４：力指令信号 ２５：ギャップ寸法計測機能 ２６：回転速度計測機能

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高速回転時において、所定の回転軸を第
   １及び第２の１対の電磁石によって回転自在に無接触で
   軸支する磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装置であっ
   て、当該回転軸と電磁石とのギャップ量を検出するギャ
   ップ寸法計測機能と、該ギャップ寸法計測機能の計測値
   と別に設定された位置指令信号との比較結果に基づき、
   位置制御信号を作成する機能を備え、かつ、補償特性を
   自動操作する位置制御信号補償機能と、該位置制御信号
   補償機能が作成する位置制御信号上の当該回転軸の回転
   速度に対応する周波数成分の存在を除去するように、該
   周波数に対応して中心周波数を自動操作するようにした
   ノッチフィルタをもち、かつ、別に設定するバイアス電
   流指令値に加算して上記電磁石の内の第１の電磁石のコ
   イル電流指令信号を作成することを特徴とする磁気ラジ
   アル軸受用電磁石の制御装置。
2. 【請求項２】 低速回転時において、上記位置制御信号
   補償機能をもち、かつ、上記ノッチフィルタを停止させ
   るように機能する請求項１記載の磁気ラジアル軸受用電
   磁石の制御装置。
3. 【請求項３】 上記位置制御信号補償機能にはＰＩＤ機
   能を備え、当該回転軸の回転速度を示す信号によって、
   上記ＰＩＤ機能の内、少なくともＰＤ機能の特性を低速
   回転時は低いゲインとし、高速回転時は高いゲインとし
   て剛性を強くするように自動操作する請求項１又は２記
   載の磁気ラジアル軸受用電磁石の制御装置。
4. 【請求項４】 上記１対の電磁石夫々のコイル電流指令
   信号を対象電磁石のコイル電流計測機能の計測値と比較
   し、この比較結果である偏差値を夫々の電流制御信号補
   償機能を経由して、夫々の電磁石駆動機能に供給する機
   能を設けた請求項１又は３記載の磁気ラジアル軸受用電
   磁石の制御装置において、上記回転軸の回転速度を示す
   信号によって、上記１対の電磁石夫々に対応する電流制
   御信号補償機能の補償特性を低速回転時は低いゲインと
   し、高速回転時は高いゲインとして剛性を強くするよう
   に自動操作するようにした磁気ラジアル軸受用電磁石の
   制御装置。