JPH05231428A - 磁気軸受の制御方法および制御装置 - Google Patents

磁気軸受の制御方法および制御装置

Info

Publication number
JPH05231428A
JPH05231428A JP14194391A JP14194391A JPH05231428A JP H05231428 A JPH05231428 A JP H05231428A JP 14194391 A JP14194391 A JP 14194391A JP 14194391 A JP14194391 A JP 14194391A JP H05231428 A JPH05231428 A JP H05231428A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
frequency
notch filter
magnetic bearing
rotation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14194391A
Other languages
English (en)
Inventor
Minoru Hiroshima
実 広島
Takafumi Sakanashi
尚文 坂梨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP14194391A priority Critical patent/JPH05231428A/ja
Publication of JPH05231428A publication Critical patent/JPH05231428A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) [目的] 圧縮機、ポンプなどの回転体であるロータを
磁気的に支持する磁気軸受の剛性と減衰を電気的に制御
する磁気軸受の制御において、多くの調整日数を必要と
するノッチフィルタの位相進み特性のピークを固有振動
数に一致させるための調整作業を不要にし、かつ大きな
位相進み特性を与えることを可能とする。 [構成] 移動式ノッチフィルタ35,36と、移動式
ノッチフィルタ中心周波数演算回路39と、トラッキン
グ回路40とを組合せ、減衰を与える位相進み特性が最
大値となる位置を常に運転中のロータ3の回転数に一致
させることが可能となり、これによって、PID制御や
ノッチフィルタの調整が不要となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧縮機、ポンプなどの
回転体であるロータを磁気的に支持する磁気軸受が、前
記ロータのすべての運転範囲において、低い振動レベル
で安定に運転するのに好適な磁気軸受の制御方法および
制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気軸受は、磁石の磁力により回転体の
ロータを支持するため、磁石とロータ間にはギャップが
あり、電気的な制御のみで軸受部の支持剛性および減衰
を与えなければならない。したがって、ロータと軸受部
のメタル間に油膜を形成し、その油膜により大きな軸受
剛性と大きな減衰を与える油軸受とは、原理、特性が大
幅に異なっている。従来の磁気軸受装置は、たとえば、
図4に示すように、磁気軸受本体1と、制御手段2から
構成されている。上記磁気軸受本体1は、圧縮機、ポン
プなどの回転体であるロータ3の周囲対向方向に少なく
とも2個配置され、磁力でロータ3を支持する図では4
個の電磁石11、12、13、14にて構成されてい
る。上記制御手段2は、直角方向に隣接する2個の電磁
石11、12内に設置され、4個の電磁石11、12、
13、14およびロータ3の位置を検出する2個の変位
センサ21、22と、2個のゲイン23、24と、2個
のPID制御回路25、26と、ロータ3の固有振動数
の数だけ設置された固定のノッチフィルタ27a、27
b……、28a、28b……と、2個の演算回路29、
30と、4個の電力増幅器31、32、33、34とか
ら構成されている。上記2個の変位センサ21、22
は、4個の電磁石11、12、13、14と、上記ロー
タ3との相対位置を検出し、検出信号を制御回路2によ
り制御信号に変換されたのち、4個の電力増幅器31、
32、33、34により増幅された制御信号が4個の電
磁石11、12、13、14の電流を制御してロータ3
の動きを制御する。上記2個のゲイン23、24は、そ
れぞれ変位センサ21、22からの検出信号を信号処理
可能なレベルに変換したのち、2個のPID制御回路2
5、26に出力する。2個のPID制御回路25、26
は、周波数領域を、低周波領域と、中間周波数領域と、
高周波領域とに分け、それぞれの領域で要求される内容
に応じて制御特性を変えている。低周波領域では、ロー
タ3の自重による軸受部での変位量を小さくするため
に、剛性を高くするように制御を行っている。また高周
波領域では、ロータ3の固有振動数付近における軸振動
の応答を制御するため、減衰を与えるようにしている。
減衰を与えるためには、位相進み特性を作ることが必要
になる。しかるに、PID制御回路25、26では、大
きな位相進み特性を与えようとすると、剛性も上げなけ
ればならない。この場合、いままで制御範囲として考え
ていた周波数範囲の外側にある固有振動数で不安定にな
る場合が出てくる。そこで、このような問題をさけるた
め、固定ノッチフィルタ27、28を併用している。こ
れらの固定ノッチフィルタ27、28は、中心周波数の
前後のある周波数範囲で軸受剛性を小さくする性質をも
っている。また中心周波数より低い周波数では位相遅れ
になり、逆に中心周波数より高い周波数では、減衰が大
きくなる。固定ノッチフィルタ27、28の特性によっ
て異なるが、位相進み特性に位相のピーク値がある。こ
の位相進み特性がピークになる位置をロータ3の固有振
動数と一致させることで固有振動数付近で大きな減衰を
与えることが可能となる。そこで、図示のように、ノッ
チフィルタ27、28は、運転範囲に有する複数個の固
有振動数に対応する数27a、27b……、28a、2
8b……、を設置している。しかるに、これらのノッチ
フィルタ27a、27b……、28a、28b……は、
その中心周波数より高い周波数範囲では位相進み特性を
示すが、低い周波数範囲では位相遅れを示す。そのた
め、複数個設置されたノッチフィルタ27a、27b…
…、28a、28b……の特性、複数の固有振動数の位
置関係によっては、あらかじめ設定された固有振動数の
位相進み特性がそれよりも高い周波数のノッチフィルタ
の影響で位相進み特性が低下する。また、ノッチフィル
タ27、28は、固定式のものであるため、フィルタの
位相進み特性のピークを固有振動数に一致させるための
調整が必要である(以下、このような調整作業をチュー
ニングと呼ぶ)。このチューニング作業には、ロータ3
系の特性の測定を含めて、多くのパラメータの調整を実
施しなければならない。そのため、非常に多くの日数が
必要となる。
【0003】この種の技術に関しては、たとえば、第2
回磁気軸受国際シンポジューム(1990年)第57頁
から第64頁(2nd International
Symposium on Magnetic Bea
ring July 12−14,1990,Toky
o,Japan)に紹介されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、大き
な位相進み(大きな減衰)を得ることが困難であり、か
つ位相進み特性を改善しようとすると、高い周波数範囲
の剛性を上げねばならず、高い周波数範囲の固有振動を
不安定にすることが有るという問題があった。また、固
定式ノッチフィルタを使用しているので、複数個のノッ
チフィルタの特性が互いに影響し合って位相進み特性を
悪くするという問題があった。さらにPID制御方式の
みの場合でも、各種制御パラメータの調整に非常に多く
の日数が必要であり、これに加えて固定式ノッチフィル
タを併用しているので、さらにチューニング作業に多く
の日数が必要であるという問題があった。
【0005】本発明の目的は、複雑で多くの日数を必要
とするチューニング作業を不要にし、かつ大きな位相進
み特性(大きな減衰特性)を与えることを可能とする磁
気軸受の制御方法および制御装置を提供することにあ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第1の発明は、回転機械のロータに対向して配置さ
れた磁気軸受の電磁石を電気的に制御し、上記ロータを
浮上させるとともに、非接触で回転させる磁気軸受の制
御方法において、移動式ノッチフィルタを備え、該移動
式ノッタフィルタの中心周波数を、上記ロータの回転周
波数より低い周波数に設定し、かつ位相進み特性が位相
のピークになる位置に上記ロータの回転周波数を一致さ
せるとともに、両周波数が互いに同期して移動させるも
のである。
【0007】また、上記目的を達成するために、第2の
発明は、回転機械のロータに対向して配置された磁気軸
受の電磁石を電気的に制御し、上記ロータを浮上させる
とともに、非接触で回転させる磁気軸受の制御装置にお
いて、中心周波数が、上記ロータの回転周波数より低い
周波数に設定し、かつ上記ロータの回転周波数より高い
周波数における位相進め特性が位相ピークになる位置に
上記ロータの回転周波数が一致するとともに、両周波数
が互いに同期して移動するように構成された移動ノッチ
フィルタを設けたものである。
【0008】また、上記目的を達成するために、第3の
発明は、回転機械のロータに対向して配置され、磁気力
にて上記ロータを浮上させるとともに、非接触で回転さ
せる電磁石と、上記ロータにら対向して配置され、上記
ロータの動きを検出する変位センサと、該変位センサの
検出結果に基づき、低周波領域、中周波領域、高周波領
域のそれぞれの領域における特性を制御するPID制御
回路と、中心周波数の前後の所定の周波数範囲で軸受剛
性が小さくなる特性を有し、かつ上記中心周波数より高
い周波数では位相進み特性を有するとともに、該位相進
み特性に位相のピークになる位置を持ち、運転中、上記
ロータに発生する固有振動数の数だけ設置された固定ノ
ッチフィルタを備えた磁気軸受の制御装置において、上
記固定式ノッチフィルタの代りに設置された移動式ノッ
チフィルタと、上記ロータに対向して配置され、上記ロ
ータの回転パルスを検出する回転センサと、該回転セン
サの検出結果に基づいて上記ロータの回転周波数より低
い周波数で、上記ロータの回転周波数に同期するよう
に、上記移動式ノッチフィルタの中心周波数を演算して
求める移動式ノッチフィルタ中心周波数演算回路と、該
移動式ノッチフィルタ中心周波数演算回路で求められた
周波数で上記移動式ノッチフィルタを上記ロータの回転
周波数に同期して移動させるトラッキング回路とを設け
たことを特徴とする磁気軸受の制御装置。
【0009】
【作用】第1の発明は、移動式ノッチフィルタを用い
て、その中心周波数を、ロータの回転周波数より低い周
波数に設定し、かつ位相進み特性が位相のピークになる
位置に上記ロータの回転周波数を一致させるとともに、
両周波数が互いに同期して移動させる磁気軸受の制御方
法であるから、全ての運転範囲において、上記ロータの
回転周波数に対して、軸受に減衰を与えるのに必要とな
る大きな位相進み特性を与えることが可能となる。
【0010】また、第2の発明は、中心周波数が、ロー
タの回転周波数より低い周波数に設定され、かつ上記ロ
ータの回転周波数より高い周波数における位相進みが位
相ピークになる位置に上記ロータの回転周波数が一致す
るとともに、両周波数が互いに同期して移動するように
構成された移動式ノッチフィルタを設けた磁気軸受の制
御装置であるから、全ての運転範囲において、磁気軸受
で支持されたロータ系の振動を共振周波数通過時も含め
て減少が可能である。
【0011】さらに、第3の発明は、移動式ノッチフィ
ルタと、ロータの回転周波数より低い周波数で、上記ロ
ータの回転周波数に同期するように上記移動式ノッチフ
ィルタの中心周波数を演算して求める移動式ノッチフィ
ルタ中心周波数演算回路と、該移動式ノッチフィルタ中
心周波数演算回路で求められた周波数で上記移動式ノッ
チフィルタを上記ロータの回転周波数に同期して移動さ
せるトラッキング回路とを組合せた磁気軸受の制御装置
であるから、減衰を与える位相進み特性が最大値となる
位置を常に運転中の上記ロータの回転数に一致させるこ
とが可能となり、これによって、PID制御やノッチフ
ィルタの調整が不要となる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の一実施例を示す図1乃至図3
について説明する。
【0013】図1に示す実施例と、前記従来技術を示す
図4との相違点は、固定式ノッチフィルタの代りに2個
の移動式ノッチフィルタ35、36を設けたこと、およ
び該2個の移動式ノッチフィルタ35、36は、2個の
PID制御回路25、26の他にトラッキング回路40
に接続している。そして該トラッキング回路40は、ロ
ータ3の周囲2個の電磁石11、12間に配置された回
転センサ37と、コンバータ38、および移動式ノッチ
フィルタ中心周波数演算回路39を介して接続している
点であり、上記以外は同一であるから、同一部分は同一
符号をもって示す。
【0014】上記回転センサ37は、ロータ3の回転パ
ルスを検出する。上記コンバータ38は、上記回転セン
サ37で検出された回転パルスを所定の電圧に上昇した
直流電圧に変換する。なお、上記コンバータ38は、上
記移動式ノッチフィルタ中心周波数演算回路39で直接
回路パルスから演算可能に構成されている場合には省略
することができる。上記移動式ノッチフィルタ中心周波
数演算回路39は、上記コンバータ38からの直流電圧
により、ロータ3の回転周波数が移動進みを生ずるよう
な上記移動式ノッチフィルタ35、36の中心周波数f
0 を演算して求める。上記トラッキング回路40は、上
記移動式ノッチフィルタ中心周波数演算回路39で求め
られた周波数で、上記ロータ3の回転周波数と同期して
上記移動式ノッチフィルタ35、36を移動させる。一
方、2個の変位センサ21、22は4個の電磁石11、
12、13、14およびロータ3の位置を検出し、検出
信号をゲイン23、24を介して2個のPID制御回路
25、26に出力する。2個のPID制御回路25、2
6は、積分要素と比例要素と微分要素とから構成されて
いる。積分要素は、静的に定常偏差をなくする機能をす
る部分すなわち、定常状態を考える場合、微分シンボル
S=d/dt=0におくと、伝達関数Gc (0)=∞と
なるので、外部信号の値のいかんにかかわらず常に0に
することができる。そのため、図3の上段の剛性と周波
数の関係図に示すように、低周波領域での剛性を上げる
役割をし、静的な変化に対しても、常にロータ3を所定
位置にて支持することが可能となる。微分要素は、図3
の中段に位相と周波数の関係図を示すように、ロータ3
系の固有振動数のある位置たとえばf2 に対して位相進
めをさせ、これによって軸受に減衰特性をもたせ、ロー
タ3が運転中にロータ3系の固有振動数を通過するとき
に大きな振動が発生しないようにし、かつ高い周波数領
域で制御系が不安定にならないようにしている。上記微
分要素は、補助的手段であり、これにより問題となるす
べての固有振動数に対して正の位相進みを与える必要は
ないし、また全く使用しない場合も可能である。比例要
素は、中間の周波数領域に対する特性すなわち、移動式
ノッチフィルタ35、36の使用時に上記ロータ3の回
転周波数において、剛性が負にならないように適当な剛
性を与える機能を有する。2個の上記移動式ノッチフィ
ルタ35、36は、図2の上段に剛性と周波数の関係図
を示すように、中心周波数f0 を中心にして△fだけ低
い周波数から△fだけ高い周波数範囲の軸受の剛性を低
下させ、かつ図2の下段に位相と周波数の関係図を示す
ように、中心周波数より高い周波数で位相進み特性を示
し、回転周波数fn で位相ψがピーク値を有する。そこ
で本実施例においては、2個の移動式ノッチフィルタ3
5、36を2個のPID制御回路25、26と、トラッ
キング回路40からの信号により上記周波数fn にロー
タ3系の回転周波数を一致させているので、ロータ3系
の回転周波数における減衰特性が最適かつ最大となる。
また移動式ノッチフィルタ35、36は、中心周波数f
0 がロータ3系の回転周波数に同期して移動するため、
ロータ3系のいずれの回転数においても、回転周波数の
減衰特性は、最適な値を保持することができる。したが
って、運転中、ロータ3系の固有振動数を通過する場合
でも、図3の下段の振幅と周波数の関係図に斜線にて示
すように、従来の場合には、固有振動数の振幅が、
1 、f2 、f3 の3個所で大きくなるのに対し、本実
施例の場合には、実線にて示すように、小さく押えるこ
とができる。また、本実施例によれば、ロータ3系の回
転周波数が変化しても、ロータ3系の回転周波数と、移
動式ノッチフィルタ35、36の中心周波数は同期して
いるため、ロータ3系の回転周波数における減衰特性
は、最適に保持されており、これによって、従来のチュ
ーニング作業が不要になる。
【0015】
【発明の効果】第1の発明によれば、全ての運転範囲に
おいて、上記ロータの回転周波数に対して、軸受に減衰
を与えるのに必要となる大きな位相進み特性を与えるこ
とができる。
【0016】第2の発明によれば、全ての運転範囲にお
いて、磁気軸受で支持されたロータ系の振動を共振周波
数通過後も含めて減少することができる。
【0017】第3の発明によれば、減衰を与える位相進
み特性が最大値となる位置を常に運転中の上記ロータの
回転数に一致させることができ、これによって、PID
制御やノッチフィルタの調整を不要にすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である磁気軸受の制御装置を
示す図である。
【図2】上段は、剛性と周波数との関係図、下段は、位
相と周波数との関係図である。
【図3】上段は、剛性と周波数との関係図、中段は、位
相と周波数との関係図、下段は、振幅と周波数との関係
図である。
【図4】従来の磁気軸受の制御装置を示す図である。
【符号の説明】
1…磁気軸受本体、2…制御手段、3…ロータ、11、
12、13、14…電磁石、21、22…変位センサ、
23、24…ゲイン、25、26…PID、29、30
…演算回路、31、32、33、34…演算回路、3
5、36…移動式ノッチフィルタ、38…コンバータ、
39…移動式ノッチフィルタ中心周波数演算回路、40
…トラッキング回路。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転機械のロータに対向して配置された
    磁気軸受の電磁石を電気的に制御し、上記ロータを浮上
    させるとともに、非接触で回転させる磁気軸受の制御方
    法において、移動式ノッチフィルタを備え、該移動式ノ
    ッチフィルタの中心周波数を、上記ロータの回転周波数
    より低い周波数に設定し、かつ位相進み特性が位相のピ
    ークになる位置に上記ロータの回転周波数を一致させる
    とともに、両周波数が互いに同期して移動させることを
    特徴とする磁気軸受の制御法法。
  2. 【請求項2】 回転機械のロータに対向して配置された
    磁気軸受の電磁石を電気的に制御し、上記ロータを浮上
    させるとともに、非接触で回転させる磁気軸受の制御装
    置において、中心周波数が、上記ロータの回転周波数よ
    り低い周波数に設定され、かつ上記ロータの回転周波数
    より高い周波数における位相進み特性が位相ピークにな
    る位置に上記ロータの回転周波数が一致するとともに、
    両周波数が互いに同期して移動するように構成された移
    動式ノッチフィルタを設けたことを特徴とする磁気軸受
    の制御装置。
  3. 【請求項3】 回転機械のロータに対向して配置され、
    磁気力にて上記ロータを浮上させるとともに、非接触で
    回転させる電磁石と、上記ロータに対向して配置され、
    上記ロータの動きを検出する変位センサと、該変位セン
    サの検出結果に基づき、低周波領域、中周波領域、高周
    波領域のそれぞれの領域における特性を制御するPID
    制御回路と、中心周波数の前後の所定の周波数範囲で軸
    受剛性が小さくなる特性を有し、かつ上記中心周波数よ
    り高い周波数では位相進み特性を有するとともに該位相
    進み特性に位相のピークになる位置を持ち、運転中、上
    記ロータに発生する固有振動数の数だけ設置された固定
    ノッチフィルタを備えた磁気軸受の制御装置において、
    上記固定式ノッチフィルタの代りに設置された移動式ノ
    ッチフィルタと、上記ロータに対向して配置され、上記
    ロータの回転パルスを検出する回転センサと、該回転セ
    ンサの検出結果に基づいて上記ロータの回転周波数より
    低い周波で、上記ロータの回転周波数に同期するように
    上記移動式ノッチフィルタの中心周波数を演算して求め
    る移動式ノッチフィルタ中心周波数演算回路と、該移動
    式ノッチフィルタ中心周波数演算回路で求められた周波
    数で上記移動式ノッチフィルタを上記ロータの回転周波
    数に同期して移動させるトラッキング回路とを設けたこ
    とを特徴とする磁気軸受の制御装置。
JP14194391A 1991-06-13 1991-06-13 磁気軸受の制御方法および制御装置 Pending JPH05231428A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14194391A JPH05231428A (ja) 1991-06-13 1991-06-13 磁気軸受の制御方法および制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14194391A JPH05231428A (ja) 1991-06-13 1991-06-13 磁気軸受の制御方法および制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05231428A true JPH05231428A (ja) 1993-09-07

Family

ID=15303750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14194391A Pending JPH05231428A (ja) 1991-06-13 1991-06-13 磁気軸受の制御方法および制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05231428A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0663538A1 (en) * 1993-12-24 1995-07-19 Koyo Seiko Co., Ltd. Magnetic bearing device
CN113124051A (zh) * 2019-12-30 2021-07-16 坎德拉(深圳)科技创新有限公司 一种磁悬浮轴承系统及其磁轴承设置方法
CN113700739A (zh) * 2021-08-18 2021-11-26 北京奇峰聚能科技有限公司 用于磁悬浮飞轮的变化模态频率计算方法及自适应陷波器组

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0663538A1 (en) * 1993-12-24 1995-07-19 Koyo Seiko Co., Ltd. Magnetic bearing device
US5736802A (en) * 1993-12-24 1998-04-07 Koyo Seiko Co., Ltd. Magnetic bearing device
CN113124051A (zh) * 2019-12-30 2021-07-16 坎德拉(深圳)科技创新有限公司 一种磁悬浮轴承系统及其磁轴承设置方法
CN113124051B (zh) * 2019-12-30 2022-08-09 坎德拉(深圳)新能源科技有限公司 一种磁悬浮轴承系统及其磁轴承设置方法
CN113700739A (zh) * 2021-08-18 2021-11-26 北京奇峰聚能科技有限公司 用于磁悬浮飞轮的变化模态频率计算方法及自适应陷波器组
CN113700739B (zh) * 2021-08-18 2023-02-03 北京奇峰聚能科技有限公司 用于磁悬浮飞轮的变化模态频率计算方法及自适应陷波器组

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3696398B2 (ja) 静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置
EP1188943B1 (en) Magnetic levitation rotating machine
WO2000045059A1 (fr) Dispositif de support magnetique commande
JPH07256503A (ja) スピンドル装置
JP3463218B2 (ja) 磁気軸受装置
EP0716241A1 (en) Magnetic bearing apparatus
JPH05231428A (ja) 磁気軸受の制御方法および制御装置
JP3301619B2 (ja) 磁気軸受装置
JP3609614B2 (ja) 静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置
US6259178B1 (en) Initial adjustment circuit and initial adjustment method of magnetic bearing apparatus
JP2004324895A (ja) 静圧磁気複合軸受
JP2000257633A (ja) 磁気軸受制御装置
JP2001295841A (ja) 磁気軸受の制御装置
JP2002349566A (ja) 磁気軸受制御装置
JPH07139546A (ja) 磁気軸受装置
JP2001295842A (ja) 磁気軸受装置
JPH09257035A (ja) 磁気軸受の制御装置
JPH1113761A (ja) 静圧磁気複合軸受
JP2000161358A (ja) 磁気軸受装置
JPH0965607A (ja) インナロータ型モータ
JP3517846B2 (ja) 磁気軸受制御装置
JPH02201101A (ja) 磁気軸受用変位センサ
JPH0534336Y2 (ja)
JPH02236018A (ja) 磁気軸受け制御装置
JPH07103233A (ja) スラスト磁気軸受の制御装置及び方法