JP4545585B2 - 二重電極容量型ダイアフラム真空計と共に使用するための改善された電子インターフェース - Google Patents
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Description
発明の分野。本発明は、概して測定装置に関し、特に、二重電極静電容量型ダイアフラムセンサ(「CDS」)を用いる静電容量型ダイアフラム真空計(「CDG」)の性能を、CDSに対する電気インターフェースを改善することにより改善すると共にCDGのコストを軽減する装置及び方法に関する。
先に概略を述べた問題の1つまたはそれ以上を本発明の様々な実施形態により解決できる。大まかに言えば、本発明は、リアクティブ回路の対における差分電流を決定する装置及び方法を具える。好適な実施形態では、これら装置及び方法は、CDSのようなセンシング素子に対する電気インターフェースを改善するのに実施される。この改善されたインターフェースは、性能の改善及びコストの軽減を行う。
本発明の好適な実施形態を以下に記述する。以下に記述するこれ及びその他の実施形態は代表的なものであり、本発明を限定せず、例示するものであることに留意すべきである。
大まかに言えば、本発明は、リアクティブ回路の対における差分電流を決定する装置及び方法を具える。好適な実施形態では、これら装置及び方法は、CDSのようなセンシング素子に対する電気インターフェースを改善するのに実施される。この改善されたインターフェースは、従来技術の設計に比較して性能を改善し、コストを軽減できる。
本発明の好適な実施形態は、静電容量型ダイアフラムセンサに対するインターフェースとして用いられるように設計されている。図4を参照する。図4は、CDSの一般構造を示す線図である。CDS10が、ガスを流せるコンジット12に結合されるように形成されていることがこの図から分かる。ガスは典型的に、ガスの圧力を厳密に制御することを必要とする製造プロセスで用いられる。コンジット12内のガス圧力はインレット14を通ってCDSのハウジング16に伝達される。ハウジング16はダイアフラム22により2つのチャンバー18,20に分割されている。チャンバー18内で極めて低い圧力を測定できるように典型的にチャンバー20が排気されている。チャンバー20内には、2つの円形同心的キャパシタプレート26,28を支持する基板が位置し、各キャパシタプレート26,28は、ダイアフラム22に極めて接近して維持されている。ダイアフラム22の湾曲はチャンバー18内の圧力(すなわち、コンジット12内のガス圧力)で変化する。このことは、26,28上の静電容量間の差がチャンバー18内の圧力に反映するように、プレート26,28上で測定される対接地静電容量を変化する。
図5を参照する。図5は、CDS10の電気構造を示す線図である。この図では、CDS10の対象の電気部品がキャパシタ30,32であることが分かる。ダイアフラムと電極との間の移動が電極の静電容量の変化として現れるようにダイアフラムの周囲と相互作用する円形電極からこれらキャパシタの一方が構成されている。他の電極は円形であり、かつ、CDSの軸を囲む中心にある。それはダイアフラムの中心部分と相互作用し、ダイアフラムが湾曲または移動すると静電容量を変化する。最も内側の電極の静電容量から、最も外側の電極の静電容量を減算することによりダイアフラムの偏位を、普通の運動によるわずかな影響で知覚できる。
図6を参照する。図6は、本発明のインターフェースの一実施形態の設計を示す線図である。図の左側にはCDS10を示す。CDS10の出力ポート(特に、CDSの容量性回路への接続部)は電流変成器111の1次巻線に接続されている。励磁源110も電流変成器111の1次巻線に接続されている。電流変成器111の2次巻線は電荷増幅器112の加算ノードに接続されている。電荷増幅器112の出力はコモンモード変成器113の巻線を通過する。コモンモード変成器113は励磁源110により励磁される。コモンモード変成器113の他の巻線は励磁源110に接続されている。最後に、同期検出器114は励磁源110に接続されている。
(励磁源)
図6に示す電気インターフェースは以下のように実質的に動作する。励磁源110は正弦波AC励磁電圧を発生する。この実施形態では、励磁源110は、20kHzの5.8V(RMS)正弦波信号を発生する低インピーダンス源である。励磁源110は、電流変成器111の1次巻線を介してCDSを駆動し、電荷増幅器112及び電流変成器111に対する基準電位を発生し、同期検出器114をゲートするのに用いられる。また、励磁源110は、エンクロージャ115及びリード116,117に結合されて、電流変成器、電流増幅器及びセンサリードの周囲にガード電圧を発生する。更に、励磁源110は、励磁電圧を最終DC信号レベルから除去し、電源電圧B+,B−を追加できるようにコモンモード変成器113を励磁するように作用する。
励磁源110からの励磁電圧は、しっかりと結合された電流変成器111の1次巻線に加えられる。励磁源110と大地との間では、結果として生じたAC電流が追随できる2つの経路が存在する。第1の経路は、電流変成器の1次巻線の最初の半分とCDS10の第1のキャパシタとを通って流れる。第2の経路は、1次巻線の残りの半分とCDS10の第2のキャパシタとを通って流れる。
電流変成器111の2次巻線は、電荷増幅器112の低インピーダンスの加算ノードに接続されている。このことは、電流変成器の1次巻線に低インピーダンスを生じさせる。一実施形態では、このインピーダンスは励磁電圧の周波数で100オームよりも少ない。また、増幅器の加算ノードへの結合は、比較的安定した負荷の利益をもたらし、このことは次に、ダイナミックに安定した回路の利益をもたらす。
上述したように、電荷増幅器112の出力は励磁電圧を含む。これを除去して電荷増幅器の実際の出力を決定しなければならない。従って、電荷増幅器の出力はコモンモード変成器113の巻線の1つを通過される。変成器の他の巻線は励磁電圧源110と大地との間に接続されている。コモンモード変成器113への励磁電圧の結合により生じたEMFは信号から励磁電圧を効果的に相殺し、電流変成器111の2次巻線に誘起された電流から生じた信号の成分のみを残す。また、コモンモード変成器は、励磁源110からの励磁電圧を電荷増幅器の電源電圧「B+」,「B−」上に重ねるように作用する。他の実施形態では、コモンモード変成器を電源増幅器と、高コモンモード除去比を特徴とする増幅器とにより置き換えることができることに留意すべきである。
最後に、同期検出器114はコモンモード変成器113に結合されている。同期検出器114は電荷増幅器112と同じ巻線に結合され、その結果、大地に対する電荷増幅器の出力の時間変化成分を受信する。同期検出器114はこの信号成分を、(CDSの場合、2つのキャパシタの異なる静電容量に依存する)センサの2つの回路間の電流の差分を示すDCレベルに変換する。
CDS(静電容量型ダイアフラムセンサ)を参照して上記に電気インターフェースの実施形態を説明したが、他のセンサまたは回路対と用いることを目的とする実施形態があることに留意すべきである。例えば、圧力計ダイアフラム以外の素子(すなわち、無加圧の位置センサ)の位置のわずかな変化を測定するように構築された容量性センサに対するインターフェースに一実施形態を設計できる。同様に、回路対を容量性回路に限定する必要はなく、それらを誘導性とすることができ、それらを抵抗性とすることができ、あるいは、それらは、複数の回路部品から生じる複素インピーダンスを持つことができる。これら及びその他のこのような変形形態は、この開示の範囲内にあると考えられる。
Claims (7)
- 静電容量型ダイアフラムセンサ(CDS)用のインターフェースであって、このインターフェースが、
前記CDSのポートに結合された少なくとも1つの1次巻線を持つ差分用電流変成器と、
この電流変成器の2次巻線に結合され、この電流変成器の2次巻線で誘起された信号を増幅するように形成された電荷増幅器と、
前記電流変成器及び前記増幅器の周りに配置された導電性遮蔽構造体と、
前記電荷増幅器から増幅された信号を受信するように結合された第1巻線を持つコモンモード変成器と、
前記電流変成器の前記1次巻線に結合され、励磁電圧を前記ポートに供給するように形成されるとともに、前記コモンモード変成器の第2巻線と前記遮蔽構造体に結合された励磁電圧源と、
前記コモンモード変成器の前記第1巻線に結合され、前記CDSの差分静電容量に対応する信号電圧を発生するように形成された同期検出器と
を具えるインターフェース。 - 請求項1に記載のインターフェースであって、前記電流変成器が2つの1次巻線を持ち、これら1次巻線の各々が、前記励磁電圧源と静電容量型ダイアフラムセンサの対応の容量性回路との間に結合されたインターフェース。
- 請求項1に記載のインターフェースであって、前記遮蔽構造体が更に、前記インターフェースと静電容量型ダイアフラムセンサとの間のリード対の周りに導電性スリーブを具えるインターフェース。
- 請求項1に記載のインターフェースであって、前記電流変成器がトロイダルコアを持つインターフェース。
- 請求項1に記載のインターフェースであって、前記コモンモード変成器がトロイダルコアを持つインターフェース。
- 請求項1に記載のインターフェースであって、前記電流変成器及びコモンモード変成器の双方がトロイダルコアを持ち、前記電流変成器及びコモンモード変成器の対称の軸線が相互に直角であるインターフェース。
- 請求項1に記載のインターフェースであって、前記励磁電圧源が、正弦波電圧を発生するように形成されているインターフェース。
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JP2002057945A (ja) * | 1999-09-03 | 2002-02-22 | Texas Instr Inc <Ti> | ディジタル・カメラ及びカムコーダ用の可変利得cmosアナログ・フロントエンド・アーキテクチャ |
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