JP4541904B2 - 加湿ガスの露点制御装置および露点制御方法 - Google Patents
加湿ガスの露点制御装置および露点制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4541904B2 JP4541904B2 JP2005002464A JP2005002464A JP4541904B2 JP 4541904 B2 JP4541904 B2 JP 4541904B2 JP 2005002464 A JP2005002464 A JP 2005002464A JP 2005002464 A JP2005002464 A JP 2005002464A JP 4541904 B2 JP4541904 B2 JP 4541904B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- dew point
- temperature
- humidified gas
- heat medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Fuel Cell (AREA)
- Air Humidification (AREA)
Description
(1)本発明の加湿ガスの露点制御装置は、加湿ガスを製造する蒸発部の下流側に設けられ、加湿ガスの露点を制御する熱交換器を備えた加湿ガスの露点制御装置であって、熱交換器は、熱媒体である気体にミストを混入させる急速調整手段を有しているので、一時的に加湿ガスの温度が上昇したときに、気体にミストを混入させて瞬時に加湿ガスの温度を下げ、露点を設定範囲に対して高精度に制御することができる。
(2)熱交換器に、熱媒体である気体を加熱する加熱手段を設けると、熱媒体である気体を加熱して、加湿ガスを保温するので、加湿ガスが小流量の場合の露点低下を防止し、加湿ガスの露点を設定範囲に対して高精度に制御することができる。
(3)熱交換器に、熱媒体として液体または気体を供給可能な熱媒体切替手段を設けると、設定流量に応じて熱媒体を切り替え、熱容量を変えることができ、露点の制御範囲が広がるので、加湿ガスの露点を設定範囲に対して高精度に制御することができる。
(4)本発明の加湿ガスの露点制御方法は、通過する加湿ガスの温度が上昇することを予測し、または通過する加湿ガスの温度が上昇したことを検知して、熱媒体である気体にミストを混入させるので、熱媒体の温度を瞬時に下げて流路内を通過する加湿ガスの温度を下げ、加湿ガスの露点を設定範囲に対して高精度に制御することができる。
(5)通過する加湿ガスの温度が下降することを予測し、または通過する加湿ガスの温度が下降したことを検知して、熱媒体である気体を加熱すると、加湿ガスの温度が設定温度より低くなることが防止され、加湿ガスの露点を設定範囲に対して高精度に制御することができる。
(6)熱交換器に、熱媒体として液体または気体を供給可能な熱媒体切替手段を設け、通過する加湿ガスの設定流量が閾値を超えた場合に熱媒体を液体に切り替え、閾値以下の場合に熱媒体を気体に切り替えると、加湿ガスの流量に応じて熱媒体の熱容量を変更することができ、加湿ガスの露点を設定範囲に対して高精度に制御することができる。
11 水供給手段
12 ガス供給手段
13 貯水槽
14 加熱ヒータ
15 蒸発部
38 加湿ガス配管
39 熱媒体切替手段
39a 気体供給部
39b 液体供給部
40 熱交換器
41 熱交換器本体
42 媒体供給管
43 媒体回収管
44 ガス媒体供給手段
45 流量調節弁
46 エアヒータ(加熱手段)
47 逆止弁
48 冷却水供給手段
49 ミスト発生手段(急速調整機能)
50 開閉弁
51 逆止弁
52 温度センサ
53 排気口
54 排水口
55 冷却水回収タンク
56 供給口
Claims (6)
- 加湿ガスを製造する蒸発部の下流側に設けられ、加湿ガスの露点を制御する熱交換器を備えた加湿ガスの露点制御装置であって、
前記熱交換器は、熱媒体である気体にミストを混入させる急速調整手段を有していることを特徴とする加湿ガスの露点制御装置。 - 前記熱交換器は、熱媒体である気体を加熱する加熱手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の加湿ガスの露点制御装置。
- 前記熱交換器は、熱媒体として液体または気体を供給可能な熱媒体切替手段を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の加湿ガスの露点制御装置。
- 加湿ガスを製造する蒸発部の下流側に設けられ、熱媒体である気体にミストを混入させる急速調整手段を有して加湿ガスの露点を制御する熱交換器を備えた加湿ガスの露点制御装置を用いた加湿ガスの露点制御方法であって、
通過する加湿ガスの温度が上昇することを予測し、または通過する加湿ガスの温度が上昇したことを検知して、熱媒体である気体にミストを混入させることを特徴とする加湿ガスの露点制御方法。 - 前記熱交換器に、熱媒体である気体を加熱する加熱手段を設け、通過する加湿ガスの温度が下降することを予測し、または通過する加湿ガスの温度が下降したことを検知して、熱媒体である気体を加熱することを特徴とする請求項4に記載の加湿ガスの露点制御方法。
- 前記熱交換器に、熱媒体として液体または気体を供給可能な熱媒体切替手段を設け、通過する加湿ガスの設定流量が閾値を超えた場合に熱媒体を液体に切り替え、閾値以下の場合に熱媒体を気体に切り替えることを特徴とする請求項4または5に記載の加湿ガスの露点制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005002464A JP4541904B2 (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | 加湿ガスの露点制御装置および露点制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005002464A JP4541904B2 (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | 加湿ガスの露点制御装置および露点制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006189215A JP2006189215A (ja) | 2006-07-20 |
JP4541904B2 true JP4541904B2 (ja) | 2010-09-08 |
Family
ID=36796590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005002464A Expired - Fee Related JP4541904B2 (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | 加湿ガスの露点制御装置および露点制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4541904B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7066892B2 (ja) * | 2020-05-20 | 2022-05-13 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 冷却装置、基板処理装置、冷却方法、および基板処理方法 |
KR102508040B1 (ko) * | 2020-05-20 | 2023-03-08 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 냉각 장치, 기판 처리 장치, 냉각 방법, 및 기판 처리 방법 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58112870U (ja) * | 1982-01-20 | 1983-08-02 | 株式会社日立製作所 | 横置式伝熱装置 |
JPH08200226A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-06 | Kawasaki Steel Corp | 圧縮機の運転方法 |
JP2001021277A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-26 | Corona Corp | 熱交換器 |
JP2001228924A (ja) * | 2000-02-15 | 2001-08-24 | Smc Corp | 熱交換器における温調流体温度の高速設定変更方法及びその装置を備えたサーキュレータ |
JP2002156148A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調用加湿方法 |
JP2003068340A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-07 | Sanki Eng Co Ltd | ガス供給装置及び検査システム |
JP2004273222A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Iwatani Industrial Gases Corp | 燃料電池の評価試験用ガス供給装置 |
-
2005
- 2005-01-07 JP JP2005002464A patent/JP4541904B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58112870U (ja) * | 1982-01-20 | 1983-08-02 | 株式会社日立製作所 | 横置式伝熱装置 |
JPH08200226A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-06 | Kawasaki Steel Corp | 圧縮機の運転方法 |
JP2001021277A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-26 | Corona Corp | 熱交換器 |
JP2001228924A (ja) * | 2000-02-15 | 2001-08-24 | Smc Corp | 熱交換器における温調流体温度の高速設定変更方法及びその装置を備えたサーキュレータ |
JP2002156148A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調用加湿方法 |
JP2003068340A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-07 | Sanki Eng Co Ltd | ガス供給装置及び検査システム |
JP2004273222A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Iwatani Industrial Gases Corp | 燃料電池の評価試験用ガス供給装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006189215A (ja) | 2006-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4871219B2 (ja) | スタック入口のrhを増大させるためのシステムレベル調整 | |
US7517600B2 (en) | Multiple pressure regime control to minimize RH excursions during transients | |
KR101113650B1 (ko) | 공급가스의 가습 성능이 향상되는 연료전지 시스템 | |
WO2008016216A1 (en) | Fuel cell system and cooling control method thereof | |
JP2004022283A (ja) | リン酸型燃料電池の運転方法 | |
JP2001210348A (ja) | 燃料電池装置 | |
JP2007512675A (ja) | 燃料電池発電設備におけるエネルギー回収装置の加湿制御のための方法並びに装置 | |
JP2008041505A (ja) | 燃料電池システム、燃料電池の水分量推定装置及び方法 | |
JP4541904B2 (ja) | 加湿ガスの露点制御装置および露点制御方法 | |
JP2007087779A (ja) | 燃料電池システム | |
KR101080782B1 (ko) | 서브 퍼지밸브를 구비한 연료전지 시스템 및 그 냉시동 방법 | |
Espiari et al. | Transient response of PEM fuel cells during sudden load change | |
JP2007078294A (ja) | ガス加湿装置および燃料電池システム | |
JP5794179B2 (ja) | 燃料電池システムおよび燃料電池の制御方法 | |
JP2006066112A (ja) | 燃料電池システム | |
JP5332089B2 (ja) | 燃料電池システム、燃料電池システムの停止方法 | |
JP2005038647A (ja) | 加湿ガス供給システム | |
JP2006339103A (ja) | 燃料電池システム | |
US8124287B2 (en) | Controlling an amount of liquid within a fuel cell | |
JP4541903B2 (ja) | 高速応答型の加湿ガス供給システムおよび加湿ガス供給方法 | |
US20140170512A1 (en) | Method for mitigating recoverable voltage loss through humidification control | |
JP2003142136A (ja) | 燃料電池システム | |
JP2008027606A (ja) | 燃料電池システム | |
JP2008177004A (ja) | 燃料電池システム | |
JP2004220868A (ja) | 燃料電池の加湿システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071030 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090527 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100528 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100615 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100624 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |