JP4541903B2 - 高速応答型の加湿ガス供給システムおよび加湿ガス供給方法 - Google Patents
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Description
(1)本発明の高速応答型の加湿ガス供給システムは、水供給手段と、ガス供給手段と、貯水槽および加熱手段を有し、さらに内部に原水を貯留する補助タンクと、この補助タンク内の原水を所定温度に加熱する補助加熱手段と、貯水槽に所定量の原水を供給する補助供給管とを備えた設定変更加速手段を有しているので、貯水槽内の原水の温度より高い温度に加熱した原水を補助タンクから貯水槽に流入すると、貯水槽内の原水に、加熱手段から与えられる熱量以外に補助タンク内の原水の熱量が与えられるため、貯水槽内の原水の温度移行が連続的かつ迅速に行われる。原水の温度を下降させる場合においても、同様の手順で、貯水槽内の原水の温度より低い原水を補助タンクから貯水槽に流入すると、貯水槽内の原水の熱量が補助タンクから流入した原水に移動するため、貯水槽内の原水の温度移行が連続的かつ迅速に行われる。このように設定変更を迅速に行うとともに安定性を高くすることができる。
(2)貯水槽の内部に、原水中を通過する気泡を微細化する多孔層を形成すると、水蒸気の発生によって成長しながら上昇する気泡が細分化され、また、気泡の上昇速度を低下させて原水中の通過時間を長くするため、気泡内の原料ガスの温度および湿度が均一になり、装置の安定性を高くすることができる。また、補助タンクからの原水の流入時に流入した原水が多孔層によって拡散するので、貯水槽内の原水の温度変更を迅速に行うことができる。
(3)補助タンクに、貯水槽から所定量の原水を回収する回収管を設けると、補助タンクから貯水槽内に原水を流入させながら貯水槽内の原水を回収することにより、貯水槽内の原水の量を一定量に保持することができ、発生する水蒸気量を制御しながら温度移行を連続的かつ迅速に行うことができる。
(4)補助タンクを複数設けると、一の補助タンクに貯水槽内の原水より低温の原水を貯留しておくとともに、他の補助タンクに貯水槽内の原水より高温の原水を貯留しておくことができ、貯水槽内の原水の温度を下降させる場合には、一の補助タンクから原水を流入させ、また、貯水槽内の原水の温度を上昇させる場合には、他の補助タンクから原水を流入させることにより、設定温度の上昇または下降に係らず、温度移行を連続的かつ迅速に行うことができる。
(5)蒸発部の下流側に、液体または気体を供給可能な熱媒体切替手段を備えた熱交換器を設け、熱媒体切替手段に、気体にミストを混入させる急速調整手段を設けると、誤差要因に起因する温度の変動に対し、瞬時の冷却効果を与えるとともに、その影響を時間的に長く及ぼさないので、設定変更を迅速に行うとともに整定時間を短く抑えることができる。
(6)本発明の高速応答型の加湿ガス供給方法は、補助タンク内の原水の温度を、貯水槽内の原水とは異なる温度に保持しておき、補助タンクから貯水槽内に原水を供給するので、貯水槽内の原水の温度変更を迅速に行うことができる。
(7)補助タンクに、貯水槽から所定量の原水を回収する回収管を設け、補助タンクから前記貯水槽内に原水を供給するとともに、貯水槽内から補助タンクに原水を回収すると、貯水槽内の原水と補助タンク内の原水の交換を短時間に行って、温度変更を迅速に行うことができる。また、貯水槽内の原水の量を一定に保持しながら原水を交換できるので、安定性を高くすることができる。
(8)蒸発部の下流側に、液体または気体を供給可能な熱媒体切替手段を備えた熱交換器を設け、熱媒体切替手段に、気体にミストを混入させる急速調整手段を設け、製品加湿ガスの設定流量を変更した直後に、熱媒体切替手段を作動させると、流量変更直後の温度を迅速に調整することができる。
11 水供給手段
12 ガス供給手段
13 貯水槽
14 加熱ヒータ(加熱手段)
15 蒸発部
16,17 補助タンク
18 冷却器(補助温度調節手段)
19 加熱ヒータ(補助温度調節手段)
20,21 補助供給管
22,23 回収管
24,25 設定変更加速手段
26 ボール(多孔層)
27 開閉弁
28 ポンプ
29 開閉弁
30 循環用配管
31 開閉弁
32 水位計
33 循環用配管
34〜36 開閉弁
37 ポンプ
38 加湿ガス配管
39 熱媒体切替手段
39a 気体供給部
39b 液体供給部
40 熱交換器
41 熱交換器本体
42 媒体供給管
43 媒体回収管
44 ガス媒体供給手段
45 流量調節弁
46 エアヒータ
47 逆止弁
48 冷却水供給手段
49 ミスト発生手段(急速調整手段)
50 開閉弁
51 逆止弁
52 温度センサ
53 排気口
54 排水口
55 冷却水回収タンク
56 供給口
Claims (8)
- 原水を供給する水供給手段と、原料ガスを供給するガス供給手段と、前記水供給手段から供給された原水を貯留する貯水槽および前記貯水槽内の原水を加熱する加熱手段を有し、前記貯水槽内で原水を加熱するとともに、前記ガス供給手段から供給された前記原料ガスを通過させて加湿ガスを発生させる蒸発部とを備えて、所定の温度、流量、および湿度の製品加湿ガスを連続的に製造する加湿ガス供給システムであって、
内部に原水を貯留する補助タンクと、この補助タンク内の原水を所定温度に保持する補助温度調節手段と、前記補助タンクから前記貯水槽に所定量の原水を供給する補助供給管とを備えた設定変更加速手段を有していることを特徴とする高速応答型の加湿ガス供給システム。 - 前記貯水槽の内部には、原水中を通過する気泡を微細化する多孔層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の高速応答型の加湿ガス供給システム。
- 前記補助タンクは、前記貯水槽から所定量の原水を回収する回収管を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の高速応答型の加湿ガス供給システム。
- 前記補助タンクは複数設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれかの項に記載の高速応答型の加湿ガス供給システム。
- 前記蒸発部の下流側には、液体または気体を供給可能な熱媒体切替手段を備えた熱交換器が設けられ、前記熱媒体切替手段には、気体にミストを混入させる急速調整手段が設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれかの項に記載の高速応答型の加湿ガス供給システム。
- 原水を供給する水供給手段と、原料ガスを供給するガス供給手段と、前記水供給手段から供給された原水を貯留する貯水槽、前記貯水槽の内部に形成され、原水中を通過する気泡を微細化する多孔層および前記貯水槽内の原水を加熱する加熱手段を有し、前記貯水槽内で原水を加熱するとともに、前記ガス供給手段から供給された前記原料ガスを通過させて加湿ガスを発生させる蒸発部と、内部に原水を貯留する補助タンク、この補助タンク内の原水を所定温度に加熱する補助温度調節手段、および前記貯水槽に所定量の原水を供給する補助供給管を備えた設定変更加速手段とを有する加湿ガス供給システムを用いて、製品加湿ガスを連続的に製造する加湿ガス供給方法であって、
前記補助タンク内の原水の温度を、前記貯水槽内の原水とは異なる温度に保持しておき、前記補助タンクから前記貯水槽内に原水を供給して前記製品加湿ガスの温度、流量または湿度を高速に変更することを特徴とする高速応答型の加湿ガス供給方法。 - 前記補助タンクに、前記貯水槽から所定量の原水を回収する回収管を設け、前記補助タンクから前記貯水槽内に原水を供給するとともに、前記貯水槽内から前記補助タンクに原水を回収することを特徴とする請求項6に記載の高速応答型の加湿ガス供給方法。
- 前記蒸発部の下流側に、液体または気体を供給可能な熱媒体切替手段を備えた熱交換器を設け、前記熱媒体切替手段に、気体にミストを混入させる急速調整手段を設け、製品加湿ガスの設定流量を変更した直後に、前記熱媒体切替手段を作動させることを特徴とする請求項6または7に記載の高速応答型の加湿ガス供給方法。
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