JP4533050B2 - 表面形状測定装置および表面形状測定方法 - Google Patents
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Description
Mb(Xm)=F(Xm+d) ・・・(102)
Ma(Xn)=F(Xm+d)+E(Xn) ・・・(103)
Mb(Xn)=F(Xm+2d)+E(Xn) ・・・(104)
E(Xn)=Mb(Xm)−Ma(Xn) ・・・・(105)
(104)式に(105)式を代入すると
Mb(Xn)=F(Xm+2d)+Mb(Xm)−Ma(Xn)
よって、
F(Xm+2d)=Mb(Xn)+Ma(Xn)−Mb(Xm) ・・(106)
Mb(Xm)=F(Xm−d)・・・・・(112)
Ma(Xn)=F(Xm+d)+E(Xn)+S(Xn)・・・・・(113)
Mb(Xn)=F(Xm)+E(Xn)・・・・・・(114)
Mc(Xn)=F(Xm−d)+E(Xn)−S(Xn)・・・・・(115)
E(Xn)=Ma(Xm)−Mb(Xn)・・・・・・(116)
S(Xn)=2Mb(Xm)−Ma(Xm)−Mc(Xn)・・・・・(117)
(113)式に(116)および(117)式を代入すると
Ma(Xn)=F(Xm+d)+2Mb(Xm)−Mb(Xn)−Mc(Xn)
F(Xm+d)=Ma(Xn)−2Mb(Xm)+Mb(Xn)+Mc(Xn)
・・・・・(118)
となって移動ステージの移動誤差E(Xn)とピッチング誤差S(Xn)を分離した形状F(Xm+d)を求めることができる。
で第二のレーザ測長軸Bを、干渉計3と参照ミラー5と測定対象W1 で第三のレーザ測長軸Cをそれぞれ形成している。Y方向の測長変化は、干渉計1、2、3にそれぞれ搭載されている図示しない受光部によって読みとられる。
Mb(Xm)=F(Xm−d)・・・・・(2)
Ma(Xn)=F(Xm+d)+E(Xn)+S(Xn)・・・・・(3)
Mb(Xn)=F(Xm)+E(Xn)・・・・・・(4)
Mc(Xn)=F(Xm−d)+E(Xn)−S(Xn)・・・・・(5)
E(Xn)=Ma(Xm)−Mb(Xn)・・・・・(6)
S(Xn)=2Mb(Xm)−Ma(Xm)−Mc(Xn)・・・・(7)
(3)式に(6)および(7)式を代入すると
Ma(Xn)=F(Xm+d)+2Mb(Xm)−Mb(Xn)−Mc(Xn)
F(Xm+d)=Ma(Xn)−2Mb(Xm)+Mb(Xn)+Mc(Xn)
・・・・(8)
となって第三の移動ステージ11の移動誤差E(Xn)とピッチング誤差S(Xn)を分離した形状F(Xm+d)を求めることができる。
Lb(Xm)=Fl(Xm−d) ・・・(12)
La(Xn)=Fl(Xm+d)+El(Xn)+Sl(Xn) ・・・(13)
Lb(Xn)=Fl(Xm)+El(Xn) ・・・(14)
Lc(Xn)=Fl(Xm−d)+El(Xn)−Sl(Xn) ・・・(15)
El(Xn)=La(Xm)−Lb(Xn) ・・・(16)
Sl(Xn)=2Lb(Xm)−La(Xm)−Lc(Xn) ・・・(17)
(13)式に(16)および(17)式を代入すると
La(Xn)=Fl(Xm+d)+2Lb(Xm)−Lb(Xn)−Lc(Xn)
Fl(Xm+d)=La(Xn)−2Lb(Xm)+Lb(Xn)+Lc(Xn)
・・・(18)
となって第三の移動ステージ11のX方向移動時の移動誤差El(Xn)とピッチング誤差Sl(Xn)を分離した形状Fl(Xm+d)を求めることができる。
4 第一の移動ステージ
5 参照ミラー
6 第二の移動ステージ
7、12 ガイド
11 第三の移動ステージ
21 本体
22 NCコントローラ
23 操作盤
24 アンプ
25 計測コンピュータ
26 演算解析コンピュータ
Claims (2)
- 所定の走査方向に走査する複数のレーザ測長器を用いた2点法または3点法によって被測定面の形状測定を行う表面形状測定装置において、
各レーザ測長器に共通の参照ミラーと、
前記走査方向に前記被測定面および前記参照ミラーに対して相対的に前記レーザ測長器を移動させる第一の移動ステージと、
前記参照ミラーと前記被測定面に対して、前記走査方向に直交する方向に前記レーザ測長器を移動させる第二の移動ステージと、
前記被測定面に対して前記走査方向に前記レーザ測長器と前記参照ミラーを移動させる第三の移動ステージとを有し、
前記第一の移動ステージにより、前記参照ミラーと前記被測定面に対する任意の同一位置に各レーザ測長器を逐次位置決めし、各レーザ測長器のリセットまたは初期値入力処理を行うことを特徴とする表面形状測定装置。 - 複数のレーザ測長器および参照ミラーを用いて2点法または3点法によって被測定面の形状測定を行う表面形状測定方法において、
前記複数のレーザ測長器のそれぞれを所定の走査方向に移動可能な第一の移動ステージにて移動させ、
前記参照ミラーと前記被測定面に対して、前記走査方向に直交する方向に前記複数のレーザ測長器を移動させる第二の移動ステージにて移動させ、
前記被測定面および前記走査方向に移動可能な第三の移動ステージに配された前記参照ミラーに対する同一位置に位置決めし、各レーザ測長器のリセットまたは初期値入力処理を行った後、前記複数のレーザ測長器を走査方向および前記走査方向と直交する方向に移動させることで、前記被測定面の2次元形状を測定することを特徴とする表面形状測定方法。
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JP2004256412A JP4533050B2 (ja) | 2004-09-03 | 2004-09-03 | 表面形状測定装置および表面形状測定方法 |
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JPH06186028A (ja) * | 1992-10-20 | 1994-07-08 | Toshiba Corp | 長尺材真直度測定方法 |
JPH09210647A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 光学式物体形状測定装置及び光学式物体形状測定方法 |
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2004
- 2004-09-03 JP JP2004256412A patent/JP4533050B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
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