JP4526890B2 - 回転ステージ - Google Patents
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Description
きる。
〔A〕第1の実施の形態(図1〜図7)
図1は、本発明に係る回転ステージの第1の実施の形態を示し、(A)が回転テーブルを省略した平面図、(B)が回転テーブルを装着した平面図、(C)が図1(A)において回転テーブルを装着した状態のC矢視図である。図2は図1の回転ステージを示し、(D)、(E)、(F)が図1(A)のそれぞれIID矢視図、IIE矢視図、IIF‐IIF線に沿う断面図である。
(1)回転テーブル11にアリ14が、ベース12及びこのベース12に一体化されるスラスト調整部材17に上記アリ14に嵌合するアリ溝15が形成されると共に、回転テーブル11の回転軸Oが当該回転テーブル11のテーブル面13内に設定され、上記アリ14のアリ斜面18とアリ溝15のアリ溝斜面19及び20とが互いに接触し、これらのアリ斜面18とアリ溝斜面19及び20とのそれぞれが回転軸Oを囲む位置に湾曲して延びる円錐面形状に構成されたことから、回転テーブル11に作用する荷重が、互いに接触するアリ14のアリ斜面18とアリ溝15のアリ溝斜面19及び20によって支持されて、当該回転テーブル11における回転軸Oの振れ(図2(F)のP方向)が抑制されるので、この回転テーブル11のベース12に対する剛性を高めることができる。
図8は、本発明に係る回転ステージの第2の実施の形態を示し、(A)が回転テーブルを省略した平面図、(B)が回転テーブルを装着した平面図、(C)が図8(A)において回転テーブルを装着した状態のC矢視図である。図9は図8の回転ステージを示し、(D)、(E)、(F)が図8(A)において回転テーブルを装着した状態のそれぞれIXD矢視図、IXE矢視図、IXF‐IXF線に沿う断面図である。この第2の実施の形態において、前記第1の実施の形態と同様な部分は、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
図10は、本発明に係る回転ステージの第3の実施の形態を示し、(A)が回転テーブルを省略した平面図、(B)が回転テーブルを装着した平面図、(C)、(D)が図10(A)において回転テーブルを装着した状態のC矢視図、D矢視図である。図11は、図10の回転ステージを示し、(E)、(F)、(G)が図10(A)において回転テーブルを装着した状態のそれぞれXIE矢視図、XIF矢視図、XIG‐XIG線に沿う断面図である。この第3の実施の形態において、前記第1の実施の形態と同様な部分は、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
例えば、上記第1〜第3の各実施の形態では、アリ14が回転テーブル11に形成され、アリ溝15がベース12及びこのベース12に一体化されるスラスト調整部材17に形成されるものを述べたが、図12に示すように、アリ14がベース12に形成され、アリ溝15が回転テーブル11及びこの回転テーブル11に一体化されるスラスト調整部材17に形成されて、これらのアリ14とアリ溝15とが互いに嵌合するものでもよい。この場合には、ベース12におけるアリ14のアリ斜面18は、ベース12のベース面16の方向に先細り状に設定される。
11 回転テーブル
12 ベース
13 テーブル面
14 アリ
15 アリ溝
16 ベース面
17 スラスト調整部材
18 アリ斜面
19、20 アリ溝斜面
23 アジャストねじ
25、26 支持面
31 送りねじ機構
32 送りねじ
33 ナット
50 送りねじ機構
51 駆動ばね
52 送りねじ
54 当接部
O 回転軸
Claims (7)
- 回転テーブルがベースに対し、回転軸を中心に回転する回転ステージにおいて、
上記回転テーブルと上記ベースの一方にアリが、他方に上記アリに嵌合するアリ溝が形成され、これらのアリ及びアリ溝の互いに接触する斜面が、上記回転軸を囲む位置に湾曲して延びる円錐面形状に構成され、上記回転テーブルの回転軸が、当該回転テーブルのテーブル面内に設定されたことを特徴とする回転ステージ。 - 上記回転テーブルと上記ベースの一方に形成されるアリと、他方に形成されるアリ溝との互いに接触する斜面が、上記回転テーブルの回転軸を挟む対向位置に分離して配置されたことを特徴とする請求項1に記載の回転ステージ。
- 上記アリ溝における斜面の少なくとも一部が、回転テーブルの回転軸方向に移動可能なスラスト調整部材に形成され、このスラスト調整部材が、上記アリ溝が形成されるベースまたは回転テーブルに一体に取り付けられたことを特徴とする請求項1又は2に記載の回転ステージ。
- 上記ベースには回転テーブルを支持する支持面が、当該回転テーブルの回転軸に垂直に設けられ、この支持面は、アリ及びアリ溝の斜面が延びる湾曲形状と略平行な円弧面形状に形成されたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の回転ステージ。
- 上記アリの円錐面形状の斜面は、当該アリが形成される回転テーブルまたはベースの、それぞれテーブル面、ベース面の方向に先細り状に設定されたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の回転ステージ。
- 上記回転テーブルと上記ベースの一方に送りねじが、他方に上記送りねじに螺合するナットがそれぞれ配設され、これらの送りねじ及びナットを有する送りねじ機構によって、上記回転テーブルが上記ベースに対し正転または逆転し得るよう構成されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の回転ステージ。
- 上記回転テーブルと上記ベースの一方に送りねじが、他方に上記送りねじに当接する当接部がそれぞれ設けられた送りねじ機構と、上記回転テーブルと上記ベースとの間に配設
された弾性部材とによって、上記回転テーブルが上記ベースに対し正転および逆転し得るよう構成されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の回転ステージ。
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