JP4525210B2 - 超音波接合装置 - Google Patents
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Description
超音波接合装置は、一方主面にバンプなどの金属接合部が形成され、他方主面に平滑面が形成された部品の他方主面をボンディングツールで吸着保持し、部品に押圧力と超音波振動とを印加して金属接合部を被接合面に接合するものである。
本発明は、粗面のように機械的な摩擦力により滑りを防止するのではなく、部品と同じ材質で活性の高い微粒子を付着させ、微粒子と部品との間に働く分子間力を利用して滑りを防止するものである。一般的な粗面であれば、ボンディングを繰り返すことで摩耗し、滑りが発生するが、分子間力を利用しているので、摩耗の影響を受けず、ボンディングを繰り返しても滑りが発生しない。そのため、定期的な再生処理(再研磨など)を行う必要がなく、メンテナンスコストを低減できる。
ボンディングツールとしては、ステンレス、超硬材(タングステンカーバイト)、ジルコニアなどがあるが、このうち微粒子の付着性が最も良好な点でジルコニアが好ましい。また、ジルコニアは靱性が高く、超音波接合時の割れや欠けが起こりにくい点でも有利である。
この場合には、格別な装置を必要とせず、簡単に微粒子を付着させることができる。
この場合には、所望の粒径で部品と同材質の微粒子を予め湿式合成法(水熱合成法など)や固相反応法(仮焼など)により作製しておき、これをボンディングツールの表面にまぶして高温下(必要であれば高圧、振動などを印加して)で焼き付け、付着させる方法を用いる。これにより、微粒子を確実に付着させることができる。
この場合は、溶射により溶けた状態の微粒子がボンディングツールの接触面に付着し固化するので、自動的に微粒子を付着させることができる。
これらの方法は薄膜形成法の範疇に入るが、10〜100nmの微粒子を付着させるということは、実質的に薄膜形成を行っているのに等しく、微粒子を均等に付着させることができる。
また、粗面による機械的な摩擦力を利用したものと異なり、分子間力によって振動伝達性を高めたものであるから、摩耗の影響を受けず、ボンディングを繰り返しても振動伝達性が低下しない。そのため、定期的な再生処理を行う必要がなく、メンテナンスコストを低減できる。
超音波接合装置1は、バンプ付きの部品(例えばLiTaO3 チップ)Pを基板Bに対して押圧荷重と超音波振動とを加えて接合するものであり、超音波ホーン10を備えている。この実施例の超音波ホーン10は、アルミ合金、超硬合金、チタン合金、ステンレスなどの金属材料で逆二等辺三角形状に一体形成されている。超音波ホーン10の下頂部11と左右の頂部12,13にはそれぞれカット面が設けられている。下頂部11のカット面は上辺14に対して平行であり、左右の頂部12,13のカット面はそれぞれ斜辺15,16に対してほぼ垂直である。
部品Pを基板Bにボンディングする際、基板Bを加熱ステージS上に載置し、予め加熱しておく。ボンディングツール30に吸着された部品Pを基板Bに対して押圧した状態で、圧電振動子20から超音波ホーン10の右頂部13に対して超音波振動Uinを印加すると、ボンディングツール30には被接合面である基板Bの電極B1に対して平行な振動Uout が発生し、ボンディングツール30と部品Pとの間に働く摩擦力によって振動が部品Pに伝達される。これにより、部品Pに形成されたバンプP1と基板2とが接合される。
ここで、ボンディングツール30の接触面31の表面粗さはRa0.1μm以下の鏡面であり、ボンディングを繰り返しても、振動伝達性は殆ど変化することがなく、一定である。
ここで、ボンディングツールとして導電性ジルコニアを用い、微粒子としてLiTaO3 を用いた。
平滑面であるボンディングツールの表面に微粒子がほぼ均一に分散・付着していることがわかる。
図5から明らかなように、接触面31に微粒子33を付着させない場合には、振動伝達率が33%程度であるのに対し、接触面31に微粒子33を付着させた場合には、振動伝達率が50%以上に上昇した。つまり、振動伝達性が約1.5倍以上に向上したことがわかる。
図6から明らかなように、ボンディングを20000回繰り返しても、振動伝達率はほぼ50%を維持していることがわかる。
したがって、従来の粗面のように定期的な再研磨などを実施することなく、安定した接合性能を維持できる。
例えば、微粒子をボンディングツールの部品との接触面に分散配置した後、高温下で焼き付けしてもよいし、微粒子をボンディングツールの部品との接触面にプラズマ溶射により溶着してもよいし、ボンディングツールの部品との接触面に蒸着、スパッタリング、またはイオンプレーティングの何れかの方法により付着させてもよい。
いずれにしても、粒径が10〜100nmの範囲の微粒子を付着させることができればよい。
上記実施例では、バンプ付き部品の基板へのフリップチップ実装について説明したが、本発明はTABと呼ばれる複数のリードを有するチップのテープに対するボンディングや、金属同士の接合にも適用できる。つまり、金属と金属とを超音波振動を利用して接合するすべての装置に適用可能である。
上記実施例では、超音波ホーンの下頂部にボンディングツールを着脱可能に取り付けたが、超音波ホーンそのものをボンディングツールとして用いてもよい。
上記実施例では、逆三角形状の超音波ホーンを用いたが、超音波ホーンの形状は任意であり、公知の超音波ホーンを使用することもできる。
P 部品
1 超音波接合装置
10 超音波ホーン
20 振動子
21 出力軸(荷重印加手段)
30 ボンディングツール
31 接触面
33 微粒子
Claims (6)
- 一方主面に金属接合部が形成され、他方主面に平滑面が形成された部品の他方主面にボンディングツールを接触させ、部品に押圧力と超音波振動とを印加して金属接合部を被接合面に接合する超音波接合装置において、
上記ボンディングツールの部品との接触面をRa0.1μm以下の平滑面とするとともに、
上記接触面に、部品と同じ材質で、粒子径が10〜100nmの微粒子を分散して付着させたことを特徴とする超音波接合装置。 - 上記ボンディングツールの部品との接触面がジルコニアで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の超音波接合装置。
- 上記微粒子は、ボンディングツールの部品との接触面を微粒子と同じ材質の部材に対して押圧荷重と超音波振動を印加して接触させることにより付着させたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の超音波接合装置。
- 上記微粒子は、ボンディングツールの部品との接触面に分散配置した後、高温下で焼き付けたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の超音波接合装置。
- 上記微粒子は、ボンディングツールの部品との接触面にプラズマ溶射により溶着されたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の超音波接合装置。
- 上記微粒子は、ボンディングツールの部品との接触面に蒸着、スパッタリング、またはイオンプレーティングの何れかの方法により付着されたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の超音波接合装置。
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