JP2018069308A - 超音波接合ツール - Google Patents
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Abstract
【課題】金属部材同士又は回路などが設けられた金属電極と電気を流すリード状の金属板とを直接接合させる際に、超音波接合する工程において、長期的に安定した接合を可能とする超音波接合ツールを提供する。
【解決手段】超音波振動を伝達するホーン22と、ホーンの一端に設けられ、超音波振動を発生する超音波振動子21と、複数の金属部材5,6を押圧するツール接合部25とを備える超音波接合ツールにおいて、ツール接合部は、金属部材と接触する先端部に、長方形の平面27を備えた四角錐状の突起部26であり、四角錐状の突起部は、ホーンに向かって広がり、かつ、四角錐状の突起部の先端部の平面の長方形の長辺Bが、超音波振動方向と平行である。
【選択図】図2
【解決手段】超音波振動を伝達するホーン22と、ホーンの一端に設けられ、超音波振動を発生する超音波振動子21と、複数の金属部材5,6を押圧するツール接合部25とを備える超音波接合ツールにおいて、ツール接合部は、金属部材と接触する先端部に、長方形の平面27を備えた四角錐状の突起部26であり、四角錐状の突起部は、ホーンに向かって広がり、かつ、四角錐状の突起部の先端部の平面の長方形の長辺Bが、超音波振動方向と平行である。
【選択図】図2
Description
本発明は、金属部材同士又は回路などが設けられた金属電極と電気を流すリード状の金属板とを直接接合させる超音波接合ツールに関するものである。
従来、プリント基板等の回路基板に電子部品を装着する装置では、部品保持部に保持された電子部品の電極と回路基板の電極とを接合する様々な方法が利用されている。例えば、電子部品を短時間で接合することができる方法の1つとして、超音波を利用する接合方法(以下、超音波接合という。)が知られている。超音波接合では、回路基板に押圧された電子部品に超音波振動を付与することにより、電子部品の金属電極(例えば、バンプ)と回路基板の上の金属電極とを接合する。
超音波接合技術の特徴としては、金属同士を接合することが可能なため、近年においては、大電流を流すような電子デバイスにおいても、金属同士の直接接合において、活用されている。
前述した金属同士の超音波接合においては、金属電極が設けられた回路基板に金属板を押圧させ、金属を変形させながら、超音波振動を付与することにより、金属同士を塑性変形させながら接合させることで、強固な接合力が得られる。
金属部材同士を強固に接合させる際には、電子部品実装で使用されるような保持ツールを用いるのではなく、金属部材に直接接触するツール表面に、微細な突起を設けることで、接合対象である金属部材を変形させやすくし、接合強度を向上させる方法がある(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載された超音波接合ツールについて、図6を用いて、説明する。
接合ツール10の先端には、多数の突起部11が設けられている。各突起部11は、六角錐の形状をしている。このような構成により、多数の突起部11を、接合する対象の金属部12に押し当てて、金属接合を行う。
超音波接合技術の特徴としては、金属同士を接合することが可能なため、近年においては、大電流を流すような電子デバイスにおいても、金属同士の直接接合において、活用されている。
前述した金属同士の超音波接合においては、金属電極が設けられた回路基板に金属板を押圧させ、金属を変形させながら、超音波振動を付与することにより、金属同士を塑性変形させながら接合させることで、強固な接合力が得られる。
金属部材同士を強固に接合させる際には、電子部品実装で使用されるような保持ツールを用いるのではなく、金属部材に直接接触するツール表面に、微細な突起を設けることで、接合対象である金属部材を変形させやすくし、接合強度を向上させる方法がある(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載された超音波接合ツールについて、図6を用いて、説明する。
接合ツール10の先端には、多数の突起部11が設けられている。各突起部11は、六角錐の形状をしている。このような構成により、多数の突起部11を、接合する対象の金属部12に押し当てて、金属接合を行う。
しかしながら、特許文献1などにおいては、超音波印加時に非常に大きな応力が発生してしまうため、超音波を印加した際に、接合ツール10に設けられた多数の突起部11は、磨耗しやすくなってしまう。
また、接合ツール10の先端部が傾いた場合などは、十分な接合強度を得られない箇所も発生し、接合不良が多発してしまう。
前述したような場合、接合ツール10を再加工し、接合ツール10を再生することで、品質を維持する手法を用いることも可能であるが、メンテナンス頻度が多く、生産性が大きく悪化してしまい、ランニングコストの課題も発生してしまう。
本発明は、前記従来の課題に鑑みなされたものであり、金属部材同士又は回路などが設けられた金属電極と電気を流すリード状の金属板とを直接接合させる際に、超音波接合する工程において、長期的に安定した接合を可能とする超音波接合ツールを提供するものである。
また、接合ツール10の先端部が傾いた場合などは、十分な接合強度を得られない箇所も発生し、接合不良が多発してしまう。
前述したような場合、接合ツール10を再加工し、接合ツール10を再生することで、品質を維持する手法を用いることも可能であるが、メンテナンス頻度が多く、生産性が大きく悪化してしまい、ランニングコストの課題も発生してしまう。
本発明は、前記従来の課題に鑑みなされたものであり、金属部材同士又は回路などが設けられた金属電極と電気を流すリード状の金属板とを直接接合させる際に、超音波接合する工程において、長期的に安定した接合を可能とする超音波接合ツールを提供するものである。
前記目的を達成させるために、本発明の1つの態様は、
超音波振動を伝達するホーンと、
前記ホーンの一端に設けられ、前記超音波振動を発生する超音波振動子と、
複数の金属部材を押圧するツール接合部とを備える超音波接合ツールにおいて、
前記ツール接合部は、前記金属部材と接触する先端部に、長方形の平面を備えた四角錐状の突起部であり、
前記四角錐状の突起部は、前記ホーンに向かって広がり、かつ、
前記四角錐状の突起部の前記先端部の前記平面の長方形の長辺が、超音波振動方向と平行である。
超音波振動を伝達するホーンと、
前記ホーンの一端に設けられ、前記超音波振動を発生する超音波振動子と、
複数の金属部材を押圧するツール接合部とを備える超音波接合ツールにおいて、
前記ツール接合部は、前記金属部材と接触する先端部に、長方形の平面を備えた四角錐状の突起部であり、
前記四角錐状の突起部は、前記ホーンに向かって広がり、かつ、
前記四角錐状の突起部の前記先端部の前記平面の長方形の長辺が、超音波振動方向と平行である。
本発明の前記態様によれば、金属部材同士又は回路などが設けられた金属電極と電気を流すリード状の金属板とを直接接合させる際に、超音波接合する工程において、長期的に安定した接合を可能とする。
以下、図面を参照しながら本発明にかかる実施の形態にかかる超音波接合ツールについて、銅などの金属部材を用いた金属接合を事例にしながら、詳細に説明する。
初めに、図1を参照しながら、本実施の形態における超音波接合ツールを有する超音波接合装置1の構成について説明する。
なお、図1は、本発明にかかる実施の形態における超音波接合装置1の概略的な正面図である。
なお、図1は、本発明にかかる実施の形態における超音波接合装置1の概略的な正面図である。
超音波接合装置1は、大電流を流す際に、電子デバイスなどに配線として利用される、リード状の金属板5に対し、相手側の対象物である回路が形成された金属板6との接合を行う、いわゆる超音波圧接接合装置である。金属板5及び6は金属部材の一例である。
超音波接合装置1は、超音波接合ツールの一例として機能する超音波接合ユニット2と、加圧ユニット3と、回路が形成された金属板6を保持するステージ部4を備えている。
超音波接合装置1は、超音波接合ツールの一例として機能する超音波接合ユニット2と、加圧ユニット3と、回路が形成された金属板6を保持するステージ部4を備えている。
以下、順を追って構成要素であるユニットについて簡単に全体構成を説明する。
まず、加圧ユニット3について、説明する。
加圧ユニット3は、加圧方向に押圧する力を発生させるためのモーター部31と、高い剛性を持つガイド部32と、加圧ユニット3と超音波接合ユニット2とを連結する連結部33とを備えている。
まず、加圧ユニット3について、説明する。
加圧ユニット3は、加圧方向に押圧する力を発生させるためのモーター部31と、高い剛性を持つガイド部32と、加圧ユニット3と超音波接合ユニット2とを連結する連結部33とを備えている。
超音波接合時には、初期の加速が大きく、図1に示すX方向にせん断方向の力が発生するため、上記のような剛性が強い構成が望ましい。また、モーター部31の代わりに、エアーシリンダなどを用いても良い。
次に、超音波接合ユニット2について説明する。
超音波接合ユニット2は、超音波振動子21と、横長のホーン22と、ツール接合部25とを備えている。
超音波接合ユニット2は、超音波振動子21と、横長のホーン22と、ツール接合部25とを備えている。
ホーン22の長手方向の一端には、超音波振動子21が固定されて、超音波振動を発生するとともに、ホーン22の長手方向の中間部には、ツール接合部25が下向きに突出して固定されており、超音波振動子21からの超音波振動がツール接合部25までホーン22で伝達される。ツール接合部25の下面には、複数でかつ同一の四角錘形状の先端突起部26が下向きに突出して固定されており、先端突起部26で複数の金属板5,6の接合箇所を押圧して、超音波圧接接合を行う。
先端突起部26は、金属板5と接触する先端部に、長方形の平面のツール接触面27を備えた四角錐状の突起部26である。この四角錐状の突起部26は、ホーン22に向かって広がり、かつ、四角錐状の突起部26の先端部のツール接触面27の長方形の長手方向、言い換えれば、長辺27bが、超音波振動方向と平行である。
先端突起部26は、金属板5と接触する先端部に、長方形の平面のツール接触面27を備えた四角錐状の突起部26である。この四角錐状の突起部26は、ホーン22に向かって広がり、かつ、四角錐状の突起部26の先端部のツール接触面27の長方形の長手方向、言い換えれば、長辺27bが、超音波振動方向と平行である。
超音波接合ユニット2のホーン22は、ホーン22の振動の影響を受けない各ノーダルポイント23にてホルダー部24に連結されて横長に配置され、ホーン22の一対のホルダー部24の中間にはツール接合部25が位置する。ホルダー部24は、連結部33を介し、加圧ユニット3に取り付けられている。よって、超音波接合ユニット2は、モーター部31を有する加圧ユニット3を利用して、Z方向に移動させられ、超音波圧接接合を行うことが可能な構成となっている。
超音波接合を行う際には、ステージ部4に固定されたリード状の金属板5に、回路が形成された金属板6を重ねるとともに、超音波接合ユニット2で金属板5に押し当てられるように、金属板5と金属板6とを超音波接合ユニット2の直下に配置し、超音波接合ユニット2に設けられたツール接合部25を、金属板6を介してリード状の金属板5に向けて前述した加圧ユニット3で加圧する。
次に、ツール接合部25が金属板6に接触して加圧した後、超音波振動子21からホーン22に超音波を印加することで、応力の集中する先端突起部26に振動エネルギーが集中するため、金属板6と金属板5との間で金属を変形しながら接合することが可能になる。
超音波振動子21からホーン22に超音波振動を印加する際には、超音波振動子21に超音波帯域の周期的な電圧負荷を電圧印加装置7から与え、ホーン22によって、伝達及び増幅され、ツール接合部25において最大振幅が発生されるように設計されている。
次に、先端突起部26の構成について、詳細に説明する。
図2の(a),(b),(c)は、先端突起部26の3面図である。リード状の金属板5に接触する面を、長方形の平面のツール接触面27とする。ツール接触面27を基準に、四角錐形状に広がるように、先端部の形状を定義する。ツール接触面27を基準に傾斜を伴って突起形状が作成されるが、このときの傾斜角を、接触面の短手方向を短辺Aとし、長手方向を長辺Bとしたときに、短手方向の短辺Aを下端縁とする第1傾斜面26aの傾斜角を傾斜角αとし、長手方向の長辺Bを下端縁とする第2傾斜面26bの傾斜角βとし、以下に詳細に説明する。
図2の(a),(b),(c)は、先端突起部26の3面図である。リード状の金属板5に接触する面を、長方形の平面のツール接触面27とする。ツール接触面27を基準に、四角錐形状に広がるように、先端部の形状を定義する。ツール接触面27を基準に傾斜を伴って突起形状が作成されるが、このときの傾斜角を、接触面の短手方向を短辺Aとし、長手方向を長辺Bとしたときに、短手方向の短辺Aを下端縁とする第1傾斜面26aの傾斜角を傾斜角αとし、長手方向の長辺Bを下端縁とする第2傾斜面26bの傾斜角βとし、以下に詳細に説明する。
第1傾斜面26aの傾斜角αの角度が大きい場合、短辺Aは、超音波接合する際に、応力がもっとも発生する箇所となる。そのため、接合力が非常に強くなり、超音波方向の力を抑制しなければ、接合対象であるリード状の金属板5に短辺Aが入り込んでしまい、接合するよりも破断する力が発生してしまう。
そのため、第1傾斜面26aの傾斜角αは小さいほうが良い。しかしながら、傾斜角αを小さくしすぎてしまうと、超音波接合を行う際に、金属の塑性変形を起こすことが難しくなるため、所望の接合力を維持できないということが起こる。そのため、傾斜角αは、15〜75度の角度が望ましい。その理由を以下に説明する。
傾斜角αが15度未満で形成されたツールおいては、超音波方向のすべり力が顕著に発生してしまうため、本来の接合が不可能となる。
また、傾斜角αが75度を超えて形成されたツールにおいては、以下の不具合が発生する。すなわち、接合時のリード状の金属板5に破断が発生することが多くなる一方で、破断箇所には、接合対象のリード状の金属板5の表面が擦れた粉塵が発生し、凝着され始める。このため、量産時などの多くの接合を行っていく際には、凝着部が、リード状の金属板5と超音波エネルギーによって接合されてしまうため、ツール上昇時に金属板6からリード状の金属板5を持ち上げてしまい、金属板5,6とで構成する製品自体を破断させてしまう。
傾斜角βにおいては、長辺Bに応力が発生するが、磨耗の進行にて、長辺Bについては、その長さが短くなっていくため、応力の変動を加味すると、傾斜角αと同様の角度にすることが望ましい。
これは、磨耗によって長辺Bの長さが短くなって、短辺Aの長さと同様になり、正方形になった場合を想定すると、応力が均一になり、残った先端突起部26が脱落する現象が発生するためである。このとき、傾斜角α=βであれば、急激な変化が起こりにくい。
次に、図3を用いて、ツール先端突起部26のツール接触面27の形状について説明する。
図3に、比較例として、1つの先端突起部26のツール接触面27の形状を正方形にした場合について説明する。図3の(a)に初期の1つの先端突起部26の形状の側面図を示し、図3の(b)に先端突起部26の形状の下面図を示し、図3の(c)に接合繰り返し後の先端突起部26の形状の側面図を示し、図3の(d)に接合繰り返し後の先端突起部26の形状の側面図を示す。
図3に、比較例として、1つの先端突起部26のツール接触面27の形状を正方形にした場合について説明する。図3の(a)に初期の1つの先端突起部26の形状の側面図を示し、図3の(b)に先端突起部26の形状の下面図を示し、図3の(c)に接合繰り返し後の先端突起部26の形状の側面図を示し、図3の(d)に接合繰り返し後の先端突起部26の形状の側面図を示す。
図3の(a)〜(d)に示すように、比較例としてツール接触面27を正方形にしたツール接触面127の場合、図3の(a)に示すように、振動方向沿いの正方形の一辺127b−1,127b−2の両端のエッジ部、言い換えれば、振動方向と直交する方向沿いの正方形の一辺127aのエッジ部に、応力集中箇所P1及びP2が発生する。超音波振動を先端突起部26に付与した瞬間、応力集中箇所P1とP2とに交互に応力集中が発生し、これらの応力集中箇所P1,P2から、接合対象である金属板5についても応力が発生し、せん断方向の超音波振動により、金属板5と金属板6との接合が強固になる。
しかし、このP1、P2の応力集中箇所が互いに近過ぎる場合には、図3の(b)で示すように、図3の(b)の下面図から考慮すると、ツール接触面127が正方形であるため、振動方向沿いの図3の(b)の上側の辺127b−1の両端のエッジ部と、振動方向沿いの図3の(b)の下側の辺127b−2の両端のエッジ部とが等距離に配置されているため、応力が分散しやすく、各エッジ部を基点に、先端突起部26に磨耗がそれぞれ発生し始める。
最終的には、図3の(c)に示すように、先端突起部26のツール接触面127の各エッジ部から中央に向けて磨耗が均等に促進し、摩耗により最後に中央に細く残った先端突起部26の残りが脱落するということが発生し、先端突起部26による接合力が大きく落ちてしまう。
先端突起部26の残りの脱落が起きると、図3の(b)から(d)に示すように、ツール接触面27の位置が、図3の(c)において初期位置81から摩耗後の位置82まで急に移動してしまい、ツール接触面27の面積が初期の面積から急激に大きくなるように変化してしまうため、接合力不足が急に発生してしまうという危険性がある。
加えて、上記のような脱落現象が発生するため、比較的短く、定期的な接合条件確認が超音波接合ユニット2に必須となり、メンテナンスなどの頻度が多くなり、生産性を大きく損なってしまう。
前述においては、超音波振動方向にツール接触面27の正方形の一辺127b−1,127b−2が振動方向と平行になるように設けられているが、正方形の一辺が振動方向に対して45度に傾けた配置を採る場合も同様の現象が発生するため、接合力の維持という点においては、同様の課題が発生することが分かっている。
次に、図4にて、本実施の形態におけるツール先端突起部26の形状について説明する。図3とは異なり、ツール接触面27は、超音波振動方向に長辺27bを有する長方形となっている。
図4に、図4の(a)に初期の先端突起部26の形状の側面図を示し、図4の(b)に先端突起部26の形状の下面図を示し、図4の(c)に接合繰り返し後の先端突起部26の形状の側面図を示し、図4の(d)に接合繰り返し後の先端突起部26の形状の側面図を示す。
図4の(a)に示すように、超音波振動方向に長辺27bが配置される構成のツール形状の場合、短辺27aの部分に応力集中箇所P3,P4は偏る。そのため、前述した原理と同様、図4の(b)に示すように、P3、P4に交互に発生すると、短辺27aのエッジ部からの磨耗が同様に進んでしまう。
しかしながら、超音波振動方向と平行に長辺27bを構成しているため、図4の(b)に示すように、P3、P4における応力範囲の両端領域R1,R2と、加圧できる中央領域R3とに3分割化され、せん断方向に広がる力を、長辺27bの両端のエッジ部から等しい距離の中央領域R3に定めることができる。
この結果、図4の(c)に示すように、P3、P4の応力発生箇所が磨耗しながらも、加圧力を十分に伝える箇所である中央領域R3が確実に存在するため、図4の(d)のように、両端領域R1,R2に残渣が残った状態でも、中央領域R3が正方形に近い形状になり、応力のバランスが均等化され、非常に良好な接合強度を維持することが可能となる。
ここで、長辺27bの長さLBと短辺27aの長さLAの好ましい比率について説明する。
上記理由により、P3、P4における応力範囲が均等化されるよう、長辺27bが構成されることが重要となるため、長辺27bが短辺27aの長さの3倍以上になる構成が最もよい形状となる。
一方で、短辺27aに対し、長辺27bの長さLBが3倍よりも小さいツール接触面27の場合、寿命自体は延びるが、磨耗後の残渣の形状が偏ってしまうため、接合対象の金属部の破断、もしくは、残渣周辺部への接合対象金属の付着及び凝着による金属の持ち上げなどが発生しやすくなる。
また、長辺27bの長さLBが短辺27aの長さLAの5倍より大きくなると、加圧方向の力に対し、ツール表面の抵抗が大きくなるため、超音波振動印加時には、初期のすべり力が発生してしまい、接合力不足が発生してしまう。
以上の理由により、ツール接触面27を構成する長辺27bの長さLBと短辺27aの長さLAの長さの比率は、3≦LB/LA≦5であることが望ましい。
次に、先端突起部26の材料についても、実施の形態を示す。
ホーン22を構成する材料は、たとえば、好適な振動特性及び振動伝達特性が保障されるように、超音波振動子21を構成するステンレス鋼などの材料に合わせて選定されたステンレス鋼である。
ホーン22を構成する材料は、たとえば、好適な振動特性及び振動伝達特性が保障されるように、超音波振動子21を構成するステンレス鋼などの材料に合わせて選定されたステンレス鋼である。
ホーン22とその一部であるツール接合部25とを超硬材などの硬質な材料を用いることなどが考えられるが、ホーン22そのものが音波などの伝達を考慮すると非常に重くなるため、接触時の制御が難しくなる。一方で、ツール接合部25に硬質材である超硬材を用いると、先端突起部26については、脱落現象が発生し、先端突起部26にマイクロクラックが入り、全体的にカケが発生するなどの現象が起こるため、単純な硬質化は、振動伝達という観点と先端突起部26の脱落という現象が起こるため、好ましくない。
よって、超硬材の代わりに、超微粒子超硬合金などの適用が好適である。
よって、超硬材の代わりに、超微粒子超硬合金などの適用が好適である。
超微粒子を用いる場合、先端突起部26の脱落現象を回避することが可能となる。先端突起部26においては、図4に示すように、エッジ部に応力が発生するため、ツール内部で応力が拡散することが非常に重要となる。
前述したように、エッジ部に応力が集中するため、超微粒子は細かい粒子単位で脱落が発生するため、前述した磨耗と同様の削れが進み、接合力を大きく損失することなく長期的に良好な接合が可能となる。
また、超微粒子材料を用いる場合には、ホーン先端部へのロウ付けを行うことで、前述したホーン自体の重量アップを回避し、振動損失も防ぐことが可能となる。
前記した内容を基に、本実施形態の先端突起部26を多数配列した場合の形態を図5にて、斜視図にて示す。
図5には、先端形状を上方に向けて、超音波ホーンを実際の取り付け時の配置より上下反転させ、ツール先端部が上面側に配置されるようにした状態で斜視図にて示している。
具体的には、図5の(a)、(b)には、前述したツール先端部の拡大斜視図を示している。
図5の(a)については、前述した四角錐の先端突起部26を9箇所、一辺の長さTの正方形の基台30上に配置したものである。接合対象である金属板5の厚みが薄い場合は、十分な強度を強固に得るために、最適な形状である。
また、図5の(b)に、ツール先端突起部26の一辺の長さTの正方形の基台30上に、四角錐を4箇所配置してものを示す。
図5の(b)は、図5の(a)とは異なり、ツール先端突起部26の高さHが高いため、接合対象の金属部材の厚みが厚い場合にも有効である。
接合対象の金属部材の厚みが厚い場合には、接合後の接合対象である金属部材に食い込むことになるため、金属への超音波振動の伝達においては、四角錐高さHによって、接合強度を強固にすることが可能である。
本実施形態の先端突起部26を用いる場合、接合対象の金属部材の厚みに対し、四角錐高さHが80%以上であれば、十分な接合強度が得られる。
前記実施形態によれば、四角錐状の突起部26の先端部の平らなツール接触面27の長方形の長手方向が、超音波振動方向と平行であることにより、先端部で摩耗が発生して両端領域R1,R2では接合作業が困難になっても、加圧力を十分に伝える箇所である中央領域R3が確実に存在することができる。よって、残った中央領域R3で、金属板5,6同士又は回路などが設けられた金属電極と電気を流すリード状の金属板とを超音波接合で直接接合することができ、長期的に安定した接合を行うことができる。すなわち、超音波接合ツール表面の磨耗が進んでも、長期間の接合強度の維持が可能となる。この結果、金属板5,6に常に安定した振動を付与することができ、超音波接合ツールの長寿命化によるメンテナンスレスによる生産性向上及び消耗品である超音波接合ツールのランニングコストの削減を実現することが可能となる。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、様々な形態が可能である。
なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
本発明の前記態様にかかる超音波接合ツールは、金属部材同士又は回路などが設けられた金属電極と電気を流すリード状の金属板とを直接接合させる際に、超音波接合する工程において、長期的に安定した接合を可能となる。よって、本発明の前記態様にかかる超音波接合ツールは、金属材料全般に適用可能であり、異種の金属材料においても、板状もしくは箔などの金属材料同士を超音波振動を利用して直接接合させる超音波接合装置に利用可能な技術である。
1 超音波接合装置
2 超音波接合ユニット
21 超音波振動子
22 ホーン
23 ノーダルポイント
24 ホルダー部
25 ツール接合部
26 先端突起部
27 ツール接触面
3 加圧ユニット
31 モーター部
32 ガイド部
33 連結部
4 ステージ部
5 リード状の金属板
6 回路が形成された金属板
7 電圧印加装置
81 初期位置
82 摩耗後の位置
10 接合ツール
11 突起部
P1 応力集中箇所
P2 応力集中箇所
A 短辺
B 長辺
LA 短辺長さ
LB 長辺長さ
P1,P2,P3,P4 応力発生箇所
R1,R2 両端領域
R3 中央領域
α 短辺傾斜角
β 長辺傾斜角
T ツール先端部辺長さ
H 四角錐高さ
2 超音波接合ユニット
21 超音波振動子
22 ホーン
23 ノーダルポイント
24 ホルダー部
25 ツール接合部
26 先端突起部
27 ツール接触面
3 加圧ユニット
31 モーター部
32 ガイド部
33 連結部
4 ステージ部
5 リード状の金属板
6 回路が形成された金属板
7 電圧印加装置
81 初期位置
82 摩耗後の位置
10 接合ツール
11 突起部
P1 応力集中箇所
P2 応力集中箇所
A 短辺
B 長辺
LA 短辺長さ
LB 長辺長さ
P1,P2,P3,P4 応力発生箇所
R1,R2 両端領域
R3 中央領域
α 短辺傾斜角
β 長辺傾斜角
T ツール先端部辺長さ
H 四角錐高さ
Claims (5)
- 超音波振動を伝達するホーンと、
前記ホーンの一端に設けられ、前記超音波振動を発生する超音波振動子と、
複数の金属部材を押圧するツール接合部とを備える超音波接合ツールにおいて、
前記ツール接合部は、前記金属部材と接触する先端部に、長方形の平面を備えた四角錐状の突起部であり、
前記四角錐状の突起部は、前記ホーンに向かって広がり、かつ、
前記四角錐状の突起部の前記先端部の前記平面の長方形の長辺が、超音波振動方向と平行である、超音波接合ツール。 - 前記長方形の前記長辺は、前記長方形の短辺の3〜5倍の長さである請求項1に記載の超音波接合ツール。
- 前記先端部の四角角錐の突起部の傾斜面の傾斜角αは、先端の接触面に対し、15〜75度となるように構成された請求項1又は2に記載の超音波接合ツール。
- 前記先端部の材料がステンレス鋼を用いた請求項1〜3のいずれか1つに記載の超音波接合ツール。
- 前記先端部の材料が超微粒子超硬合金を用いた請求項1〜3のいずれか1つに記載の超音波接合ツール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016214517A JP2018069308A (ja) | 2016-11-01 | 2016-11-01 | 超音波接合ツール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016214517A JP2018069308A (ja) | 2016-11-01 | 2016-11-01 | 超音波接合ツール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018069308A true JP2018069308A (ja) | 2018-05-10 |
Family
ID=62111954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016214517A Pending JP2018069308A (ja) | 2016-11-01 | 2016-11-01 | 超音波接合ツール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018069308A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4129551A1 (en) | 2021-08-06 | 2023-02-08 | Prime Planet Energy & Solutions, Inc. | Ultrasonic joining horn |
-
2016
- 2016-11-01 JP JP2016214517A patent/JP2018069308A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP4129551A1 (en) | 2021-08-06 | 2023-02-08 | Prime Planet Energy & Solutions, Inc. | Ultrasonic joining horn |
KR20230022122A (ko) | 2021-08-06 | 2023-02-14 | 프라임 플래닛 에너지 앤드 솔루션즈 가부시키가이샤 | 초음파 접합용 혼 |
US11878361B2 (en) | 2021-08-06 | 2024-01-23 | Prime Planet Energy & Solutions, Inc. | Ultrasonic joining horn |
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