JP3415414B2 - 熱圧着ツール - Google Patents
熱圧着ツールInfo
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- JP3415414B2 JP3415414B2 JP31499897A JP31499897A JP3415414B2 JP 3415414 B2 JP3415414 B2 JP 3415414B2 JP 31499897 A JP31499897 A JP 31499897A JP 31499897 A JP31499897 A JP 31499897A JP 3415414 B2 JP3415414 B2 JP 3415414B2
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- Japan
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- tool
- thermocompression bonding
- pressing portion
- tool body
- bonding tool
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルに
周辺部品を電気的に接続する際に用いる熱圧着ツールに
関するもので、特に耐摩耗性に優れ、安定した接続を行
うことができる熱圧着ツールに関するものである。
周辺部品を電気的に接続する際に用いる熱圧着ツールに
関するもので、特に耐摩耗性に優れ、安定した接続を行
うことができる熱圧着ツールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルにドライバー用ＩＣ等の
周辺部品を電気的に接続する方法として、ファインピッ
チで多数の配線を一括してコンパクトに接続できるとい
う利点により、異方性導電膜を用いて加熱と加圧とを行
う熱圧着による実装方法が知られている。
周辺部品を電気的に接続する方法として、ファインピッ
チで多数の配線を一括してコンパクトに接続できるとい
う利点により、異方性導電膜を用いて加熱と加圧とを行
う熱圧着による実装方法が知られている。
【０００３】熱圧着を行うためのツールとしては、パル
スヒート型のツールが一般的に広く知られている。これ
は図６に示すように、金属製の短尺ツール５１を短尺ツ
ール取り付け台５２で固定し、短尺ツール５１に電流
（電流の流れを矢印で示す）を流すことにより、短尺ツ
ール５１にジュール熱を発生させ、短尺ツール５１の底
面である押圧部５３によって熱圧着を行うものである。
スヒート型のツールが一般的に広く知られている。これ
は図６に示すように、金属製の短尺ツール５１を短尺ツ
ール取り付け台５２で固定し、短尺ツール５１に電流
（電流の流れを矢印で示す）を流すことにより、短尺ツ
ール５１にジュール熱を発生させ、短尺ツール５１の底
面である押圧部５３によって熱圧着を行うものである。
【０００４】近年、液晶表示装置は大型化が進んでお
り、液晶表示パネルとドライバーＩＣ等の周辺部品との
接続部は、５０〜３５０ｍｍ程度と長くなってきてい
る。そのため、図６に示すような短尺の熱圧着ツールで
は、押圧部５３の長さＬが２０〜３０ｍｍと短く、押圧
部５３を長くすると押圧部５３全体にわたって均一に圧
力を加えることが困難となるという問題点がある。
り、液晶表示パネルとドライバーＩＣ等の周辺部品との
接続部は、５０〜３５０ｍｍ程度と長くなってきてい
る。そのため、図６に示すような短尺の熱圧着ツールで
は、押圧部５３の長さＬが２０〜３０ｍｍと短く、押圧
部５３を長くすると押圧部５３全体にわたって均一に圧
力を加えることが困難となるという問題点がある。
【０００５】そこで、長い接続部に対して熱圧着を行う
場合、図７に示すような長尺の熱圧着ツールが用いられ
る。この熱圧着ツールは、ツール取り付け台５４に金属
製のツール本体５５を固定し、金属製のツール本体５５
に電流（電流の流れを矢印で示す）を流すことにより、
金属製のツール本体５５にジュール熱を発生させ、金属
製のツール本体５５の底面である押圧部５６によって熱
圧着を行うものである。
場合、図７に示すような長尺の熱圧着ツールが用いられ
る。この熱圧着ツールは、ツール取り付け台５４に金属
製のツール本体５５を固定し、金属製のツール本体５５
に電流（電流の流れを矢印で示す）を流すことにより、
金属製のツール本体５５にジュール熱を発生させ、金属
製のツール本体５５の底面である押圧部５６によって熱
圧着を行うものである。
【０００６】図７に示すような長尺の熱圧着ツールにお
いては、押圧部５６を長くしてもツール取り付け台５４
が長さ方向に設けられているので、押圧部５６全体にわ
たって均一に圧力を加えることが可能となる。
いては、押圧部５６を長くしてもツール取り付け台５４
が長さ方向に設けられているので、押圧部５６全体にわ
たって均一に圧力を加えることが可能となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示すような従来の長尺の熱圧着ツールは、金属製のツー
ル本体５５が金属のみで形成されているため、頻繁に加
熱と加圧とを繰り返すことによる金属製のツール本体５
５の変形および摩耗が著しく、そのために金属製のツー
ル本体５５の寿命が短くなり、長期の連続生産において
安定した温度および圧力が確保しにくいという問題点が
ある。
示すような従来の長尺の熱圧着ツールは、金属製のツー
ル本体５５が金属のみで形成されているため、頻繁に加
熱と加圧とを繰り返すことによる金属製のツール本体５
５の変形および摩耗が著しく、そのために金属製のツー
ル本体５５の寿命が短くなり、長期の連続生産において
安定した温度および圧力が確保しにくいという問題点が
ある。
【０００８】これは、金属製のツール本体５５に直接電
流を流しジュール熱によって加熱するため、ジュール熱
を金属製のツール本体５５の底面である押圧部５６に集
中させないと所望の温度に到達できないことから、押圧
部５６の肉厚を薄く形成しているためである。
流を流しジュール熱によって加熱するため、ジュール熱
を金属製のツール本体５５の底面である押圧部５６に集
中させないと所望の温度に到達できないことから、押圧
部５６の肉厚を薄く形成しているためである。
【０００９】さらに、高い発熱効率を得るためと電流を
流す経路が必要なことから、金属製のツール本体５５に
は中空の切り込み５７が設けられており、金属製のツー
ル本体５５の押圧部５６近傍は肉厚が薄くなっている。
その結果、金属製のツール本体５５が強度的に脆くな
り、耐久性に乏しくなるのである。
流す経路が必要なことから、金属製のツール本体５５に
は中空の切り込み５７が設けられており、金属製のツー
ル本体５５の押圧部５６近傍は肉厚が薄くなっている。
その結果、金属製のツール本体５５が強度的に脆くな
り、耐久性に乏しくなるのである。
【００１０】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、耐久性に優れた熱圧着ツール
を提供することを目的としている。
みなされたものであって、耐久性に優れた熱圧着ツール
を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項１記載の熱圧着ツールは、ツー
ル本体を加熱し、前記ツール本体の先端部に設けられた
押圧部で少なくとも２つの部品を押圧することにより、
前記２つの部品を電気的に接続する熱圧着ツールにおい
て、前記ツール本体および前記押圧部はセラミックス材
料で形成されてなり、前記ツール本体と押圧部との間に
は金属層が形成されていることを特徴としている。
ために、本発明の請求項１記載の熱圧着ツールは、ツー
ル本体を加熱し、前記ツール本体の先端部に設けられた
押圧部で少なくとも２つの部品を押圧することにより、
前記２つの部品を電気的に接続する熱圧着ツールにおい
て、前記ツール本体および前記押圧部はセラミックス材
料で形成されてなり、前記ツール本体と押圧部との間に
は金属層が形成されていることを特徴としている。
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】また、請求項２記載の熱圧着ツールは、請
求項１記載の熱圧着ツールにおいて、前記ツール本体ま
たは前記押圧部を形成するセラミックス材料は、酸化ア
ルミニウム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホ
ウ素もしくは五酸化タンタルのうち何れか１つ、または
これらのうちの少なくとも２つ以上の混合物であること
を特徴としている。
求項１記載の熱圧着ツールにおいて、前記ツール本体ま
たは前記押圧部を形成するセラミックス材料は、酸化ア
ルミニウム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホ
ウ素もしくは五酸化タンタルのうち何れか１つ、または
これらのうちの少なくとも２つ以上の混合物であること
を特徴としている。
【００１６】本発明の熱圧着ツールによれば、少なくと
も押圧部がセラミックス材料で形成されていることによ
り、押圧部の硬度および耐摩耗性を向上させることがで
きる。したがって、短尺型のパルスヒート型熱圧着ツー
ルに比べて押圧部に高精度の平行度が要求される長尺型
のパルスヒート型熱圧着ツールにおいても、長期間にわ
たって電気的接続を行う部品に均一に押圧力を加えるこ
とができる。
も押圧部がセラミックス材料で形成されていることによ
り、押圧部の硬度および耐摩耗性を向上させることがで
きる。したがって、短尺型のパルスヒート型熱圧着ツー
ルに比べて押圧部に高精度の平行度が要求される長尺型
のパルスヒート型熱圧着ツールにおいても、長期間にわ
たって電気的接続を行う部品に均一に押圧力を加えるこ
とができる。
【００１７】また、ツール本体もセラミックス材料で形
成されていることより、ツール本体、特に押圧部近傍の
肉厚が薄い部分の強度および耐久性を向上させることが
できる。
成されていることより、ツール本体、特に押圧部近傍の
肉厚が薄い部分の強度および耐久性を向上させることが
できる。
【００１８】さらに、セラミックス材料からなるツール
本体と押圧部との間に金属層が形成されていることによ
り、押圧部付近の導電性を高く保つことができ、発熱効
率を高くすることができる。
本体と押圧部との間に金属層が形成されていることによ
り、押圧部付近の導電性を高く保つことができ、発熱効
率を高くすることができる。
【００１９】
【００２０】また、セラミックス材料は、酸化アルミニ
ウム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素も
しくは五酸化タンタルのうち何れか１つ、またはこれら
のうちの少なくとも２つ以上の混合物であることが望ま
しい。
ウム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素も
しくは五酸化タンタルのうち何れか１つ、またはこれら
のうちの少なくとも２つ以上の混合物であることが望ま
しい。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１乃至図５を用いて、本発明に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２２】（参考例１）
図１および図２を用いて、本発明について説明する。図
１は本発明に係わる熱圧着ツールを示す斜視図、図２は
本発明に係わる熱圧着ツールを示す断面図である。尚、
図１は押圧部２を明確に説明するため、上下を逆さまに
して記載している。
１は本発明に係わる熱圧着ツールを示す斜視図、図２は
本発明に係わる熱圧着ツールを示す断面図である。尚、
図１は押圧部２を明確に説明するため、上下を逆さまに
して記載している。
【００２３】図１および図２に示すように、本発明の熱
圧着ツールは、長さが５０〜３５０ｍｍの長尺のパルス
ヒート型であり、ツール本体１全体が酸化アルミニウ
ム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素もし
くは五酸化タンタルのうちの何れか１つ、またはこれら
のうち少なくとも２つ以上の混合物であるセラミックス
材料で構成されている。セラミックス材料は成型後焼結
を行った後、さらに切断研磨等の機械加工を行い、所定
のツール形状に加工することができ、ツール本体１の底
面である押圧部２の肉厚を厚く加工することができる。
圧着ツールは、長さが５０〜３５０ｍｍの長尺のパルス
ヒート型であり、ツール本体１全体が酸化アルミニウ
ム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素もし
くは五酸化タンタルのうちの何れか１つ、またはこれら
のうち少なくとも２つ以上の混合物であるセラミックス
材料で構成されている。セラミックス材料は成型後焼結
を行った後、さらに切断研磨等の機械加工を行い、所定
のツール形状に加工することができ、ツール本体１の底
面である押圧部２の肉厚を厚く加工することができる。
【００２４】このツール本体１にネジ穴３を介して電流
を流すことにより、寸法を小さくしてある押圧部２近傍
の電流密度が上がり温度が上昇する。そして、電気的接
続を行う２つの部品の接続端子部分に押圧部２を所定の
圧力で押し当てることにより、加熱と加圧とによる熱圧
着を行うことができる。
を流すことにより、寸法を小さくしてある押圧部２近傍
の電流密度が上がり温度が上昇する。そして、電気的接
続を行う２つの部品の接続端子部分に押圧部２を所定の
圧力で押し当てることにより、加熱と加圧とによる熱圧
着を行うことができる。
【００２５】図１および図２には図示していないが、電
流を制御するための温度検出用熱電対がツール本体１に
埋め込まれている。
流を制御するための温度検出用熱電対がツール本体１に
埋め込まれている。
【００２６】また、図１および図２には図示していない
が、ヒーターをツール本体１の内部に埋め込み、ヒータ
ーに電流を流して加熱するようにした熱圧着ツールでも
同様の効果を得ることができる。
が、ヒーターをツール本体１の内部に埋め込み、ヒータ
ーに電流を流して加熱するようにした熱圧着ツールでも
同様の効果を得ることができる。
【００２７】このようにして作製した熱圧着ツールは、
押圧部２の硬度および耐摩耗性を向上させることができ
るとともに、ツール本体１、特に押圧部２近傍の肉厚が
薄い部分の強度および耐久性を向上させることができ
る。
押圧部２の硬度および耐摩耗性を向上させることができ
るとともに、ツール本体１、特に押圧部２近傍の肉厚が
薄い部分の強度および耐久性を向上させることができ
る。
【００２８】（参考例２）
図３を用いて、本発明の参考例２について説明する。図
３は本発明の参考例２に係わる熱圧着ツールの作製方法
を示す説明図である。
３は本発明の参考例２に係わる熱圧着ツールの作製方法
を示す説明図である。
【００２９】図３に示すように、金属製のツール本体４
は、モリブデン、スーパーインバーまたはインコネル等
の金属材料で形成されており、押圧部２となる部分に
は、セラミックス材料５として酸化アルミニウム、窒化
珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素もしくは五酸
化タンタルのうち何れか１つ、またはこれらのうち少な
くとも２つの混合物を溶射蒸着、スパッタ法またはＣＶ
Ｄ法等によってコーティングする。
は、モリブデン、スーパーインバーまたはインコネル等
の金属材料で形成されており、押圧部２となる部分に
は、セラミックス材料５として酸化アルミニウム、窒化
珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素もしくは五酸
化タンタルのうち何れか１つ、またはこれらのうち少な
くとも２つの混合物を溶射蒸着、スパッタ法またはＣＶ
Ｄ法等によってコーティングする。
【００３０】このようにして作製した熱圧着ツールは、
従来と同様の発熱効率を保ちながら押圧部の硬度および
耐摩耗性を向上させることができる。
従来と同様の発熱効率を保ちながら押圧部の硬度および
耐摩耗性を向上させることができる。
【００３１】（参考例３）
図４を用いて、本発明の参考例３について説明する。図
４は本発明の参考例３に係わる熱圧着ツールの作製方法
を示す説明図である。
４は本発明の参考例３に係わる熱圧着ツールの作製方法
を示す説明図である。
【００３２】図４に示すように、金属製のツール本体４
は、モリブデン、スーパーインバーまたはインコネル等
の金属材料で形成されており、押圧部２となる部分に
は、セラミックス材料５として酸化アルミニウム、窒化
珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素もしくは五酸
化タンタルのうち何れか１つ、またはこれらのうち少な
くとも２つの混合物を金属製のツール本体４にはんだ付
けを行う、または接着材料、例えば東亜合成化学社製の
アロンセラミクス等により接着することによって作製す
る。
は、モリブデン、スーパーインバーまたはインコネル等
の金属材料で形成されており、押圧部２となる部分に
は、セラミックス材料５として酸化アルミニウム、窒化
珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素もしくは五酸
化タンタルのうち何れか１つ、またはこれらのうち少な
くとも２つの混合物を金属製のツール本体４にはんだ付
けを行う、または接着材料、例えば東亜合成化学社製の
アロンセラミクス等により接着することによって作製す
る。
【００３３】このようにして作製した熱圧着ツールは、
従来と同様の発熱効率を保ちながら押圧部の硬度および
耐摩耗性を向上させることができる。
従来と同様の発熱効率を保ちながら押圧部の硬度および
耐摩耗性を向上させることができる。
【００３４】この方法によれば、参考例２で説明したよ
うな高価なコーティング用の装置を必要としない。
うな高価なコーティング用の装置を必要としない。
【００３５】（実施例）
図５を用いて、本発明の実施例について説明する。図５
は本発明の実施例に係わる熱圧着ツールを示す断面図で
ある。
は本発明の実施例に係わる熱圧着ツールを示す断面図で
ある。
【００３６】図５に示すように、酸化アルミニウム、窒
化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素もしくは五
酸化タンタルのうち何れか１つ、またはこれらのうち少
なくとも２つ以上の混合物からなるツール本体１に、金
属層６をはんだ付けまたは接着剤を用いて底面に取り付
けた後、さらに金属層６に、セラミックス材料５として
酸化アルミニウム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、
窒化ホウ素もしくは五酸化タンタルのうち何れか１つ、
またはこれらのうち少なくとも２つの混合物をはんだ付
けもしくは接着剤を用いて取り付ける、または熔射蒸
着、スパッタ法もしくはＣＶＤ法等の方法によってコー
ティングする。
化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素もしくは五
酸化タンタルのうち何れか１つ、またはこれらのうち少
なくとも２つ以上の混合物からなるツール本体１に、金
属層６をはんだ付けまたは接着剤を用いて底面に取り付
けた後、さらに金属層６に、セラミックス材料５として
酸化アルミニウム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、
窒化ホウ素もしくは五酸化タンタルのうち何れか１つ、
またはこれらのうち少なくとも２つの混合物をはんだ付
けもしくは接着剤を用いて取り付ける、または熔射蒸
着、スパッタ法もしくはＣＶＤ法等の方法によってコー
ティングする。
【００３７】このようにして作製した熱圧着ツールは、
セラミックス材料からなるツール本体１と押圧部２との
間に金属層６が形成されていることにより、金属層６に
よって押圧部２付近の導電性を高く保つことができ、発
熱効率を高くすることができる。
セラミックス材料からなるツール本体１と押圧部２との
間に金属層６が形成されていることにより、金属層６に
よって押圧部２付近の導電性を高く保つことができ、発
熱効率を高くすることができる。
【００３８】以上の説明のように、本発明の熱圧着ツー
ルによれば、押圧部２の硬度および耐摩耗性を向上させ
ることができるため、短尺型のパルスヒート型熱圧着ツ
ールに比べて押圧部２に高精度の平行度が要求される長
尺型のパルスヒート型熱圧着ツールにおいても、長期間
にわたって電気的接続を行う部品に均一に押圧力を加え
ることができる。
ルによれば、押圧部２の硬度および耐摩耗性を向上させ
ることができるため、短尺型のパルスヒート型熱圧着ツ
ールに比べて押圧部２に高精度の平行度が要求される長
尺型のパルスヒート型熱圧着ツールにおいても、長期間
にわたって電気的接続を行う部品に均一に押圧力を加え
ることができる。
【００３９】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の熱圧着ツ
ールによれば、少なくとも押圧部がセラミックス材料で
形成されていることにより、押圧部の硬度および耐摩耗
性を向上させることができる。したがって、短尺型のパ
ルスヒート型熱圧着ツールに比べて押圧部に高精度の平
行度が要求される長尺型のパルスヒート型熱圧着ツール
においても、長期間にわたって電気的接続を行う部品に
均一に押圧力を加えることができる。
ールによれば、少なくとも押圧部がセラミックス材料で
形成されていることにより、押圧部の硬度および耐摩耗
性を向上させることができる。したがって、短尺型のパ
ルスヒート型熱圧着ツールに比べて押圧部に高精度の平
行度が要求される長尺型のパルスヒート型熱圧着ツール
においても、長期間にわたって電気的接続を行う部品に
均一に押圧力を加えることができる。
【００４０】また、ツール本体もセラミックス材料で形
成されていることより、ツール本体、特に押圧部近傍の
肉厚が薄い部分の強度および耐久性を向上させることが
できる。
成されていることより、ツール本体、特に押圧部近傍の
肉厚が薄い部分の強度および耐久性を向上させることが
できる。
【００４１】さらに、セラミックス材料からなるツール
本体と押圧部との間に金属層が形成されていることによ
り、押圧部付近の導電性を高く保つことができ、発熱効
率を高くすることができる。
本体と押圧部との間に金属層が形成されていることによ
り、押圧部付近の導電性を高く保つことができ、発熱効
率を高くすることができる。
【００４２】
【００４３】また、セラミックス材料は、酸化アルミニ
ウム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素も
しくは五酸化タンタルのうち何れか１つ、またはこれら
のうちの少なくとも２つ以上の混合物であることが好ま
しい。
ウム、窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素も
しくは五酸化タンタルのうち何れか１つ、またはこれら
のうちの少なくとも２つ以上の混合物であることが好ま
しい。
【図１】本発明の参考例１に係わる熱圧着ツールを示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】本発明の参考例１に係わる熱圧着ツールを示す
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明の参考例２に係わる熱圧着ツールの作製
方法を示す説明図である。
方法を示す説明図である。
【図４】本発明の参考例３に係わる熱圧着ツールの作製
方法を示す説明図である。
方法を示す説明図である。
【図５】本発明の実施例に係わる熱圧着ツールを示す断
面図である。
面図である。
【図６】従来の短尺の熱圧着ツールを示す斜視図であ
る。
る。
【図７】従来の長尺の熱圧着ツールを示す斜視図であ
る。
る。
１ ツール本体
２ 押圧部
３ ネジ穴
４ 金属製のツール本体
５ セラミックス材料
６ 金属層
５１ 短尺ツール
５２ 短尺ツール取り付け台
５３ 押圧部
５４ ツール取り付け台
５５ 金属製のツール本体
５６ 押圧部
５７ 中空の切り込み
Claims (2)
- 【請求項１】 ツール本体を加熱し、前記ツール本体の
先端部に設けられた押圧部で少なくとも２つの部品を押
圧することにより、前記２つの部品を電気的に接続する
熱圧着ツールにおいて、前記ツール本体および前記押圧部はセラミックス材料で
形成されてなり、 前記ツール本体と押圧部との間には金属層が形成されて
いることを特徴とする熱圧着ツール。 - 【請求項２】 前記ツール本体または前記押圧部を形成
するセラミックス材料は、酸化アルミニウム、窒化珪
素、炭化珪素、サイアロン、窒化ホウ素もしくは五酸化
タンタルのうち何れか１つ、またはこれらのうちの少な
くとも２つ以上の混合物であることを特徴とする請求項
１記載の熱圧着ツール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31499897A JP3415414B2 (ja) | 1997-11-17 | 1997-11-17 | 熱圧着ツール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31499897A JP3415414B2 (ja) | 1997-11-17 | 1997-11-17 | 熱圧着ツール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11150160A JPH11150160A (ja) | 1999-06-02 |
| JP3415414B2 true JP3415414B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=18060188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31499897A Expired - Fee Related JP3415414B2 (ja) | 1997-11-17 | 1997-11-17 | 熱圧着ツール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3415414B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4525210B2 (ja) * | 2004-06-29 | 2010-08-18 | 株式会社村田製作所 | 超音波接合装置 |
| CN114871561B (zh) * | 2022-05-12 | 2024-02-27 | 昂纳科技(深圳)集团股份有限公司 | 热压焊头及热压焊设备 |
-
1997
- 1997-11-17 JP JP31499897A patent/JP3415414B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11150160A (ja) | 1999-06-02 |
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