JP4515180B2 - 音叉型圧電振動ジャイロ装置 - Google Patents
音叉型圧電振動ジャイロ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4515180B2 JP4515180B2 JP2004211466A JP2004211466A JP4515180B2 JP 4515180 B2 JP4515180 B2 JP 4515180B2 JP 2004211466 A JP2004211466 A JP 2004211466A JP 2004211466 A JP2004211466 A JP 2004211466A JP 4515180 B2 JP4515180 B2 JP 4515180B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- tuning fork
- fork type
- single crystal
- type piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
2 (第1の)脚部
3 (第2の)脚部
4 支持部
5 埋め込み酸化膜層
6 シリコン支持層
7,11 検出電極
8,10 駆動電極
9 基準電位電極
12 信号処理回路
13 シリコン活性層
14 圧電単結晶
15 音叉型圧電振動子
16 支持体
31 SOI基板
32 窒化シリコン膜
33 ニオブ酸リチウム基板
34 Cr/Au電極
35 空隙部
36,38 埋め込み酸化膜
37 シリコン活性層
41 音叉型圧電振動子
42,43 脚部
44 支持部
45 主面
50,51,52,53 下部電極
54,55,56,57 圧電薄膜
58,59,60,61 上部電極
70 音叉型圧電振動子
71 支持部
72 駆動電極
72a,72c 第1駆動電極
72b,72d 第2駆動電極
73A,73B 脚部
73a 一面側
73b 他面側
74 溝
100 移相回路
101 加算回路
102 自励発振回路
103 同期検波回路
104 ローパスフィルタ
111,112 オペアンプ
113,114 抵抗
Claims (3)
- シリコン支持層上に埋め込み酸化膜層、シリコン活性層を順に設けたSOI基板と、前記シリコン活性層上に接合された圧電単結晶とからなる音叉型圧電振動ジャイロ装置であって、前記圧電単結晶、前記シリコン活性層及び前記埋め込み酸化膜層の一部を除去して形成され、前記埋め込み酸化膜層を介して前記シリコン支持層に支持された、少なくとも2つ以上の脚部を有し、前記圧電単結晶と前記シリコン活性層とからなる音叉型圧電振動子と、前記圧電単結晶上に形成された駆動電極、検出電極及び基準電位電極と、前記シリコン活性層上の前記圧電単結晶が接合されていない部分に形成された信号処理回路とから構成され、前記信号処理回路は、前記圧電振動子を励振させるための駆動信号を前記圧電振動子に供給する機能と、角速度が与えられた場合に発生するコリオリ力に起因する前記圧電振動子の検出振動に応じる出力信号を信号処理する機能とを有することを特徴とする音叉型圧電振動ジャイロ装置。
- 請求項1記載の音叉型圧電振動ジャイロ装置において、前記圧電振動子の駆動モードと検出モードの周波数がほぼ一致することを特徴とする音叉型圧電振動ジャイロ装置。
- 請求項1又は2に記載の音叉型圧電振動ジャイロ装置において、前記圧電単結晶は、水晶、ニオブ酸リチウム、酸化亜鉛、ランガサイト、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムカリウム、ニオブ酸カリウムのいずれかであることを特徴とする音叉型圧電振動ジャイロ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004211466A JP4515180B2 (ja) | 2004-07-20 | 2004-07-20 | 音叉型圧電振動ジャイロ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004211466A JP4515180B2 (ja) | 2004-07-20 | 2004-07-20 | 音叉型圧電振動ジャイロ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006030062A JP2006030062A (ja) | 2006-02-02 |
JP4515180B2 true JP4515180B2 (ja) | 2010-07-28 |
Family
ID=35896595
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004211466A Expired - Fee Related JP4515180B2 (ja) | 2004-07-20 | 2004-07-20 | 音叉型圧電振動ジャイロ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4515180B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4694380B2 (ja) * | 2006-02-06 | 2011-06-08 | 株式会社日立製作所 | 薄膜音叉型屈曲振動子及び電気信号処理素子 |
JP4726133B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2011-07-20 | Necトーキン株式会社 | 圧電振動子および圧電振動ジャイロ |
JP4404218B2 (ja) | 2006-03-29 | 2010-01-27 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉振動子およびその製造方法 |
JP4562004B2 (ja) * | 2006-11-01 | 2010-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサの製造方法 |
JP2008118264A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Seiko Epson Corp | 音叉振動子およびその製造方法 |
JP5023734B2 (ja) * | 2007-02-21 | 2012-09-12 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動素子 |
JP4415997B2 (ja) | 2007-03-19 | 2010-02-17 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサおよび電子機器 |
JP5347355B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2013-11-20 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び加速度センサ |
JP4640459B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2011-03-02 | ソニー株式会社 | 角速度センサ |
JP2010060398A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Alps Electric Co Ltd | ジャイロセンサ及びその製造方法 |
WO2011074329A1 (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-23 | 株式会社村田製作所 | 圧電デバイスの製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08159776A (ja) * | 1994-12-08 | 1996-06-21 | Nissan Motor Co Ltd | 角速度センサ |
JPH09126783A (ja) * | 1995-10-27 | 1997-05-16 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JPH09330892A (ja) * | 1996-04-11 | 1997-12-22 | Nippon Soken Inc | 半導体装置の製造方法 |
JPH11257965A (ja) * | 1998-03-09 | 1999-09-24 | Hitachi Ltd | 角速度検出センサ |
-
2004
- 2004-07-20 JP JP2004211466A patent/JP4515180B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08159776A (ja) * | 1994-12-08 | 1996-06-21 | Nissan Motor Co Ltd | 角速度センサ |
JPH09126783A (ja) * | 1995-10-27 | 1997-05-16 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ |
JPH09330892A (ja) * | 1996-04-11 | 1997-12-22 | Nippon Soken Inc | 半導体装置の製造方法 |
JPH11257965A (ja) * | 1998-03-09 | 1999-09-24 | Hitachi Ltd | 角速度検出センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006030062A (ja) | 2006-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8661899B2 (en) | Microelectromechanical gyroscopes and related apparatus and methods | |
US8766512B2 (en) | Integration of piezoelectric materials with substrates | |
JP4515180B2 (ja) | 音叉型圧電振動ジャイロ装置 | |
JP3335122B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP4478495B2 (ja) | 振動型ジャイロセンサ素子及びその製造方法 | |
JP2007043054A (ja) | 圧電素子及びその製造方法 | |
JP4640459B2 (ja) | 角速度センサ | |
WO2005096493A1 (ja) | 水晶振動子の製造方法及び水晶振動子 | |
WO1994011706A1 (en) | Angular velocity detector circuit | |
JP5023734B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法及び圧電振動素子 | |
JP3355998B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2005227110A (ja) | 振動型ジャイロセンサ素子の製造方法及び振動型ジャイロセンサ素子 | |
JPH10103961A (ja) | 振動ジャイロの温度特性調整方法 | |
Obitani et al. | Electrode design of single crystal lithium niobate piezoelectric disk gyroscope | |
JP3891182B2 (ja) | 振動型ジャイロセンサ素子の製造方法及び離調度調整方法 | |
JP4441729B2 (ja) | 電子機器 | |
JP5353651B2 (ja) | 角速度センサの製造方法 | |
JPH10221087A (ja) | 振動子、振動型ジャイロスコープ、その製造方法、振動子を励振する方法および振動子の振動を検出する方法 | |
WO2024042819A1 (ja) | 振動型角速度検出器 | |
JP2003057035A (ja) | 振動ジャイロおよび振動ジャイロ素子の製造方法 | |
JP2002372421A (ja) | 角速度センサ及びその製造方法 | |
JPH08261766A (ja) | 振動ジャイロスコープ | |
JPH06174476A (ja) | 回転角速度センサ | |
JP3188929B2 (ja) | 振動ジャイロの振動体共振周波数の調整方法 | |
JPH06194176A (ja) | 振動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100303 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100506 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100512 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130521 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140521 Year of fee payment: 4 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |